装料作业指导书
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炉区进料作业指导书
一作业准备
装料前,检查水、电、气。
要求:水压50-65psi,进水出水压力差不小于37psi,进水温度21-30℃,压缩空气压力73-115psi氩气压力40-50psi。
二真空泵检查
观察真空泵的油位,确保油位在观察窗1/3—2/3的位置。
若油位过低时,需及时加油,以确保泵正常工作,并具有良好的抽率。
三热区检查
首先检测螺母有无松动,螺栓有无断折,松动的要及时扭紧,断的要及时更换;而后检测相应加热区元件的连接性、加热板与炉体的电绝缘性,一般要求绝缘阻抗大于1千欧。
石棉与下炉腔底部是否贴合紧密,溢料金属线是否完好。
用吸尘器将炉腔内清理干净,清理顺序为:DS块、石墨纤维板、溢流孔、腔内壁杂物、石棉,直至确认炉体内无明显污物为准。
检修及清理完成后,要确认没有物体遗落到炉内,这一点很重要,要切记。
四装料操作
三人协作,戴好劳保用品,进行炉体卫生清洁并确认炉子正常后开始装料操作。
1.检查料的高度及坩锅边缘是否有料(硅料高不得超过坩埚15CM)
2.装护板(至少2人)盖料的塑料布叠好在硅料上且要把硅料遮住,
护板装完后去掉塑料布并迅速盖好盖板。
3.装好护板后检查螺母的松紧度(拧紧后再往后转1.5-2圈)
4.叉车装料时,一人控制叉车,一人指挥以免撞到叉车臂手,损坏石
墨底板(需调节好叉车臂的升降速度)
5.将料装至叉车后,将叉车臂手放至离底座5CM处,移动叉车至炉子
正对面即距离炉子正对面50cm左右处,将叉车臂上升至已做好标记的上下限范围内(高于DS-BLOCK 以不撞到上炉体为准)
6.一人开叉车,一人到炉子后面指挥,另一人用尺子粗测以节省时间
7.料进去后将叉车降低大约离DS-BLOCK 2-3厘米处,测量前后左右都在10.1±0.2厘米范围内。
之后,缓慢的将料放在DS-BLOCK正中间(需调节好叉车臂的升降速度),一定要保证DS-BLOCK上没有异物及尺子也已移开,测量时要注意石墨底板不能与DS-BLOCK有碰触(尤其是在叉车移动时)
8.叉车降至下炉体O型圈高1cm以上与石墨底板之间,同时一人指挥叉车,将叉车缓慢的退出。
9.对O型圈先用酒精清洁干净后再涂抹真空油。
10.合炉,装好4个夹子。
注意观察在上升时下炉体是否保持水平。
11.抽真空。
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