origin-直接处理XPS数据说明

实验条件：样品用VG Scientific ESCALab220i-XL型光电子能谱仪分析。

激发源为Al KαX射线，功率约300 W。

分析时的基础真空为3×10-9 mbar。

电子结合能用污染碳的C1s峰（284.8 eV）校正。

X-ray photoelectron spectroscopy data were obtained with an ESCALab220i-XL electron spectrometer from VG Scientific using 300W AlKα radiat ion. The base pressure was about 3×10-9 mbar. The binding energies were referenced to the C1s line at 284.8 eV from adventitious carbon.处理软件：Avantage 4.15XPS数据考盘后的处理数据步骤Origin作图：1.open Excel文件，可以看到多组数据和谱图，一个sheet 对应一张谱图及相应的数据（两列）。

2.将某一元素的两列数据直接拷贝到Origin中即可作出谱图。

（注意：X轴为结合能值，Y轴为每秒计数）3. 如果某种元素有两种以上化学态，需要进行分峰处理时，按“XPS Peak 分峰步骤”进行。

XPS Peak分峰步骤1．将所拷贝数据转换成所需格式：把所需拟合元素的数据引入Origin后，将column A和C中的值复制到一空的记事本文档中（即成两列的格式，左边为结合能，右边为峰强），并存盘。

如要对数据进行去脉冲处理或截取其中一部分数据，需在Origin中做好处理。

2．打开XPS Peak，引入数据：点Data----Import(ASCII)，引入所存数据，则出现相应的XPS谱图。

3．选择本底：点Background，在所出现的小框中的High BE和Low BE下方将出现本底的起始和终点位置（因软件问题，此位置最好不改，否则无法再回到Origin），本底将连接这两点，Type可据实际情况选择。

实验条件：样品用VG Scientific ESCALab220i-XL型光电子能谱仪分析。

激发源为AlKαX射线，功率约300 W。

分析时的基础真空为3×10-9 mbar。

电子结合能用污染碳的C1s峰（284.6 eV）校正。

X-ray photoelectron spectroscopy data were obtained with an ESCALab220i-XL electron spectrometer from VG Scientific using 300W AlKα radiati on. The base pressure was about 3×10-9 mbar. The binding energies were referenced to the C1s line at 284.6 eV from adventitious carbon.XPS数据考盘后的处理数据步骤数据是.TXT文件，凡是可以打开TXT文件的软件都可以使用。

下面以origin5.0为例：1.open文件，可以看到一列数据，找到Region 1(一个Region 对应一张谱图)。

2.继续向下找到Kinetic Energy，其下面一个数据为动能起始值，即谱图左侧第一个数据。

用公式BE始=1486.6-KE始-ϕ换算成结合能起始值，ϕ是一个常数值，即荷电位移，每个样品有一个值在邮件正文中给出。

3.再下面一个数据是步长值,如0.05或0.1或1，每张谱图间有可能不一样。

4.继续向下8行,可以找到401或801这样的数，该数为通道数，即有401或801个数据点。

5.再下面的数据开始两个数据是脉冲，把它们舍去，接下来的401或801个数据都是Y轴数据，将它们copy到B(Y)。

6.X轴：点A(X)，再点右键，然后点set column values，出现一个对话框，在from中填1，在to中填401(通道数)，在col(A)中填BE始-0.05*(i-1)，最后点do it。

欢迎阅读材料Ｘ射线光电子能谱数据处理及分峰的分析实例例：将剂量为1?107ions/cm 2，能量为45KeV 的碳离子注入单晶硅中，然后在1100C 退火2h 进行热处理。

对单晶硅试样进行XPS 测试，试对其中的C 1s 高分辨扫瞄谱进行解析，以确定各种可能存在的官能团。

分析过程：1、在Origin 中处理数据中B 中4。

2、打开XPS Peak ，引入数据：点Data--Import (ASCII)，引入所存数据，则出现相应的XPS谱图，见图5、图63，图74、加峰：点Add peak，出现小框，在Peak Type处选择s、p、d、f等峰类型（一般选s），在Position 处选择希望的峰位，需固定时则点fix前小方框，同法还可选半峰宽（FWHM）、峰面积等。

各项中的constraints可用来固定此峰与另一峰的关系。

点Delete peak可去掉此峰。

然后再点Add peak 选第二个峰，如此重复。

在选择初始峰位时，如果有前人做过相似的实验，可以查到相应价键对应的峰位最好。

但是如果这种实验方法比较新，前人没有做过相似的，就先用标准的峰位为初始值。

最优化所有的峰位，然后看峰位位置的变化。

本例中加了三个峰，C元素注入单晶硅后可能形成C-C、C-Si和C-H三个价键。

根据这三个价键对应的结合能确定其初始峰位，然后添加。

具体过程见图8、9、10。

图8图9图105678Word点击Data――Export （spectrum），则将拟合好的数据存盘，然后在Origin中从多列数据栏打开，则可得多列数据，并在Origin中作出拟合后的图。

XPS能谱数据处理王博吕晋军齐尚奎能谱数据转化成ASC码文件后可以用EXCEL、ORIGIN等软件进行处理。

这篇文章的目的是向大家介绍用ORIGIN软件如何处理能谱数据，以及它的优势所在。

下面将分三部分介绍如何用ORIGIN软件处理能谱数据：1、多元素谱图数据处理2、剖面分析数据处理3、复杂谱图的解叠一、多元素谱图的处理：1、将ASC码文件用NOTEPAD打开：2、复制Y轴数值。

材料Ｘ射线光电子能谱数据处理及分峰的分析实例例：将剂量为1 107ions/cm2，能量为45KeV的碳离子注入单晶硅中，然后在1100C退火2h进行热处理。

对单晶硅试样进行XPS测试，试对其中的C1s高分辨扫瞄谱进行解析，以确定各种可能存在的官能团。

分析过程：1、在Origin中处理数据图1将实验数据用记事本打开，其中C1s表示的是C1s电子，299.4885表示起始结合能，-0.2500表示结合能递减步长，81表示数据个数。

从15842开始表示是光电子强度。

从15842以下数据选中Copy到Excel软件B列中，为光电子强度数据列。

同时将299.4885Copy到Excel软件A列中，并按照步长及个数生成结合能数据，见图2图2将生成的数据导入Origin软件中，见图3。

图3此时以结合能作为横坐标，光电子强度作为纵坐标，绘出C1s谱图，检查谱图是否有尖峰，如果有，那是脉冲，应把它们去掉，方法为点Origin 软件中的Data-Move Data Points，然后按键盘上的↓或↑箭头去除脉冲。

本例中的实验数据没有脉冲，无需进行此项工作。

将column A和B中的值复制到一空的记事本文档中（即成两列的格式，左边为结合能，右边为峰强），并存盘，见图4。

图42、打开XPS Peak，引入数据：点Data--Import (ASCII)，引入所存数据，则出现相应的XPS谱图，见图5、图63、选择本底：点Background，因软件问题，High BE和Low BE的位置最好不改，否则无法再回到Origin，此时本底将连接这两点，Type可据实际情况选择，一般选择Shirley 类型，见图7。

图74、加峰：点Add peak，出现小框，在Peak Type处选择s、p、d、f等峰类型（一般选s），在Position处选择希望的峰位，需固定时则点fix前小方框，同法还可选半峰宽（FWHM）、峰面积等。

各项中的constraints可用来固定此峰与另一峰的关系。

材料Ｘ射线光电子能谱数据处理及分峰的分析实例例：将剂量为1 107ions/cm2，能量为45KeV的碳离子注入单晶硅中，然后在1100C 退火2h进行热处理。

对单晶硅试样进行XPS测试，试对其中的C1s高分辨扫瞄谱进行解析，以确定各种可能存在的官能团。

分析过程：1、在Origin中处理数据图1将实验数据用记事本打开，其中C1s表示的是C1s电子，299.4885表示起始结合能，-0.2500表示结合能递减步长，81表示数据个数。

从15842开始表示是光电子强度。

从15842以下数据选中Copy到Excel软件B列中，为光电子强度数据列。

同时将299.4885Copy到Excel软件A列中，并按照步长及个数生成结合能数据，见图2图2将生成的数据导入Origin软件中，见图3。

图3此时以结合能作为横坐标，光电子强度作为纵坐标，绘出C1s谱图，检查谱图是否有尖峰，如果有，那是脉冲，应把它们去掉，方法为点Origin 软件中的Data-Move Data Points，然后按键盘上的↓或↑箭头去除脉冲。

本例中的实验数据没有脉冲，无需进行此项工作。

将column A和B中的值复制到一空的记事本文档中（即成两列的格式，左边为结合能，右边为峰强），并存盘，见图4。

图42、打开XPS Peak，引入数据：点Data----Import (ASCII)，引入所存数据，则出现相应的XPS谱图，见图5、图6。

3、选择本底：点Background，因软件问题， High BE和Low BE的位置最好不改，否则无法再回到Origin，此时本底将连接这两点，Type可据实际情况选择，一般选择Shirley 类型，见图7。

图74、加峰：点Add peak，出现小框，在Peak Type处选择s、p、d、f等峰类型（一般选s），在Position处选择希望的峰位，需固定时则点fix前小方框，同法还可选半峰宽（FWHM）、峰面积等。

Origin在谱图处理中的应用081130086 缪宇润一．谱图平滑：在红外的测量中，所得到的红外吸收很容易受到一些高频波的影响，如交流电产生的电磁波等，故在实际应用过程中应该将这些扰动的影响去除。

本实验使用傅立叶变换（FFT）对谱图进行平滑处理。

在特殊的条件下，也可以选取不同频段的信息进行平滑处理。

操作如下：（1）打开Origin软件。

进入Worksheet界面。

（2）依次打开“File”->“Import”->“ASCII…”，打开对话框，选择原始文件“text.txt”，此时窗口中出现两列数据，列标题为“A(X)”“B(Y)”，可更改标题。

（3）在工具栏的“Plot”下拉菜单中选择“Line”命令。

（“Scatter”命令用于数据较少的情况）“Plot”下拉菜单中的“X axis”“Y axis”可以改变XY轴的设定。

例如，改变对话框中的“From”“To”可以改变坐标的起止位置，“Increment”可改变坐标轴的单位长度。

在“Display”中可以设置坐标轴的显示与否。

双击坐标轴标签可以改变坐标轴文字，选定文字后按“+”可使文字成为上标。

（4）“Data”下拉菜单中对数据可以进行多种操作。

“Real FTT”。

由于高频部分衰减很快，将100以后的数据删除。

（先选定101行，再按住“shift”选定最后一行，按“Edit”中的“Clear”）。

在“Plot1”中可以看到去除了高频部分的频域曲线，再进行反向FTT，选择新生成的worksheet内的“real”列，作图，可以看到所得曲线变得平滑了。

（5）可通过新建图层将两个不同的曲线放在同一个图片内加以比较。

还可用插入文字（工具箱内的“T”）工具插入标题和必要的说明等。

二．分峰在红外光谱、拉曼光谱，甚至是X射线光电子能谱等谱图中，可能有很多峰是互相重叠的，若不进行分峰处理，会遗漏重要的结构信息。

进行分峰处理，才能确定各个峰的归属，从而判断相应的化学键状态或是化学组成。

材料Ｘ射线光电子能谱数据处理及分峰的分析实例例：将剂量为1 107ions/cm2，能量为45KeV的碳离子注入单晶硅中，然后在1100C高分辨扫瞄谱退火2h进行热处理。

对单晶硅试样进行XPS测试，试对其中的C1s进行解析，以确定各种可能存在的官能团。

分析过程：1、在Origin中处理数据图1将实验数据用记事本打开，其中C1s 表示的是C1s电子，299.4885表示起始结合能，-0.2500表示结合能递减步长，81表示数据个数。

从15842开始表示是光电子强度。

从15842以下数据选中Copy到Excel软件B列中，为光电子强度数据列。

同时将299.4885Copy到Excel软件A列中，并按照步长及个数生成结合能数据，见图2图2将生成的数据导入Origin软件中，见图3。

图3谱图，检查谱此时以结合能作为横坐标，光电子强度作为纵坐标，绘出C1s图是否有尖峰，如果有，那是脉冲，应把它们去掉，方法为点Origin 软件中的Data-Move Data Points，然后按键盘上的↓或↑箭头去除脉冲。

本例中的实验数据没有脉冲，无需进行此项工作。

将column A和B中的值复制到一空的记事本文档中（即成两列的格式，左边为结合能，右边为峰强），并存盘，见图4。

图42、打开XPS Peak，引入数据：点Data----Import (ASCII)，引入所存数据，则出现相应的XPS谱图，见图5、图6。

3、选择本底：点Background，因软件问题， High BE和Low BE的位置最好不改，否则无法再回到Origin，此时本底将连接这两点，Type可据实际情况选择，一般选择Shirley 类型，见图7。

图74、加峰：点Add peak，出现小框，在Peak Type处选择s、p、d、f等峰类型（一般选s），在Position处选择希望的峰位，需固定时则点fix前小方框，同法还可选半峰宽（FWHM）、峰面积等。

Origin软件分析XPS数据
纵坐标：Intensity(cps)
横坐标：bindingenergy（eV）
除了氢氦元素，其他的元素都可以进行分析；先进行宽扫，确定样品有何种元素，再对该元素进行窄扫。

该元素的不同键接方式都对应不同的峰，所以对元素窄扫的峰要进行分峰（分峰之前要进行调整基线）。

如何分峰，不同的键接方式会对应不同的结合能。

第一步：先把元素的窄扫峰用origin画出来；
纵坐标：Intensity(cps)
横坐标：bindingenergy（eV）
第二步：调整基线；
选择CeateBaseline-----next------next-----add/modify添加（双击）或去除（delete）基点，保证基线水平-----Finish
最小化图，会出现调整基线后的坐标。

插入一列，
单机右键选择setcolumnvalues输入col（b）-col（d）：即开始纵坐标减去调整基线后的纵坐标。

再用横坐标与刚开始得到的纵坐标作图------调整基线后的XPS窄扫图。

第三步：对峰求积分面积；
选择integratepeaks-----next-------狂点------完成
即area为峰的面积。

第四步：分峰较难（有专门的分峰软件，origin也能分峰）
第五步：求组分元素比：
元素比等于：窄扫峰面积/XPS灵敏度因子（每一个元素的灵敏度因子不一致）
西北工业大学的XPS 设备选择的是铝板（AlKα）。

⼤⽓、好看！巧⽤Origin完成XPS能谱峰的分峰拟合材料的X射线光电⼦能谱(XPS)数据曲线⼀般是多峰叠加的⼀条复杂的曲线，需要对该曲线进⾏基线扣除、分峰拟合。

⽽对XPS能谱数据的这两种处理，通常需要⽤XPSpeaks进⾏处理。

其实，Origin绘图软件也能实现。

下⾯以图1中的A图为例，为⼤家演⽰Origin的分峰拟合过程。

图1 Cu2O@Cu4(SO4)(OH)6的XPS能谱(来源：黄⼩燕,古颖,钟嘉豪,等. Cu2O包覆碱式铜盐催化剂的形成机理及催化性能[J]. 华南师范⼤学学报(⾃然科学版),2019,51 (1): 41-46)⾸先绘制出线图（line），然后点击菜单Analysis→Peaks and Baseline→ Multiple Peak Fit→OpenDialog...，具体操作步骤如图2所⽰。

图2 分峰拟合的操作步骤于是，会弹出图3所⽰的对话框，选择峰拟合函数Peak Function为Gaussian，然后点击“OK”。

图3 拟合函数的选择弹出⼀条提⽰框：双击拾取峰位置，或者单击并敲击←、→⽅向键精确调节峰中⼼位置，最后按回车或点击“Open NLFit”。

图4 弹出的多峰选择提⽰我们按照提⽰，在曲线上选择每条隐藏的峰中⼼位置（这要凭经验判断隐藏的峰位置），在选择峰位置后会出现多条红⾊竖线，如图5所⽰。

图5 寻峰回车或点击“Open NLFit”后，会弹出⼀个对话框，点击“Done”即可得到如图6所⽰的分峰拟合效果。

当然，我们只是双击确定峰位置，没有精细调节，所以图6所⽰的分峰效果较差，⼤家可以多次尝试确定精确的峰位置，这样分峰拟合越完美。

图6 Origin分峰拟合的效果华算科技专注理论计算模拟服务，具有超强的技术实⼒和专业性。

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材料X射线光电子能谱数据处理及分峰得分析实例例:将剂量为１ 107ions／cｍ2,能量为45KeＶ得碳离子注入单晶硅中,然后在１10０C退火2ｈ进行热处理、对单晶硅试样进行XＰＳ测试,试对其中得C１s高分辨扫瞄谱进行解析,以确定各种可能存在得官能团、分析过程:1、在Origin中处理数据图1将实验数据用记事本打开,其中Ｃ1s 表示得就是C1ｓ电子,２99.４８8５表示起始结合能,—0。

２500表示结合能递减步长,81表示数据个数、从１5８４2开始表示就是光电子强度。

从15842以下数据选中Copy到Excel软件B列中,为光电子强度数据列、同时将29９、4885Coｐy到Ｅｘｃeｌ软件A列中,并按照步长及个数生成结合能数据,见图２图2将生成得数据导入Origin软件中,见图３。

图３此时以结合能作为横坐标,光电子强度作为纵坐标,绘出C谱图,检查谱图就1ｓ是否有尖峰,如果有,那就是脉冲,应把它们去掉,方法为点Ｏriｇiｎ软件中得D ａｔａ—Move Data Ｐoints,然后按键盘上得 或。

箭头去除脉冲、本例中得实验数据没有脉冲,无需进行此项工作。

将column A与Ｂ中得值复制到一空得记事本文档中(即成两列得格式,左边为结合能,右边为峰强),并存盘,见图4。

图４2、打开XＰS Peaｋ,引入数据:点Ｄaｔa－-Iｍｐorｔ(ASＣＩI),引入所存数据,则出现相应得XPＳ谱图,见图5、图63、选择本底:点Ｂａｃkｇrｏｕｎd,因软件问题, Hｉgh ＢE与LｏｗＢE 得位置最好不改,否则无法再回到Ｏrｉgin,此时本底将连接这两点,Type 可据实际情况选择,一般选择Shirｌｅy 类型,见图７。

图74、加峰:点Ａdd ｐeaｋ,出现小框,在Ｐeaｋ Tyｐe处选择s、p、d、ｆ等峰类型(一般选s),在Positioｎ处选择希望得峰位,需固定时则点fix前小方框,同法还可选半峰宽(FWHM)、峰面积等。

（1）数据(shùjù)输入：将得到的ASII code 文档在excell 中打开(dǎ kāi)，将里面的binding energy 和intensity 两列数据拷贝到origin中作图。

注意：其峰位是未经过荷电校正(jiàozhèng)的不能用来判断价态。

（2）荷电校正(jiàozhèng)：将你的横坐标加之或者减去所给的C1s 校准值后，在origin 中连线(lián xiàn)得到的谱图就是正确的谱图。

（3）谱图分峰拟合：在origin 中，经过平滑,得到下图：1、去本底：选择tools baseline3、浮现下面的窗口(chuāngkǒu)，选择baseline，将number of points 后的参数改小一些(yīxiē)，比如2，点击create baseline4、浮现下图：选择(xuǎnzé)小窗口中的modify：5、拖动每一点到合适的位置(wèi zhi) （点住鼠标左键不放向来拖到合适的位置）：如图6、然后(ránhòu)选择substract 得到7、分别点击X 轴、Y 轴将坐标(zuòbiāo)更换为原来顺序和数值同时关闭baseresult ：8、如图：选择(xuǎnzé)analysis→Fit multi-peaks→gaussian9、浮现下面的窗口：按需要(xūyào)拟合的子峰个数输入10、点击(diǎn jī)ok，得到：11、点击OK 默认选择，根据(gēnjù)谱图的形状双击选择子峰位置(wèi zhi)（红十字代表峰顶）：如图12、刚才设置为两个子峰，所以双击两个位置，这时电脑自动计算出相关数据：如果想要看拟合(nǐhé)后的曲线，需激活（调出）谱图窗口。

然后，选择analysis non liner curve fit 如图：13、得到(dédào) ：14、上图不合理，两子峰半峰宽相差太大，需要加入(ji ār ù)新的子峰进行调整。

XPS分峰软件的使用和数据处理XPS（X-ray Photoelectron Spectroscopy，X射线光电子能谱）是一种常用的表面分析技术，广泛应用于材料科学、催化剂研究、纳米科学等领域。

XPS分峰软件是对XPS数据进行分析和处理的工具，能够提取有关样品表面元素化学状态、化学成分和电子结构等信息。

1.数据导入：将XPS仪器获得的原始数据导入软件中。

数据通常以文本文件或仪器专用格式存储，分峰软件可以识别并导入这些数据。

在导入数据之前，应该先了解数据格式，并确定所需的数据范围和区域。

2. 背景修正：数据导入后，需要进行背景修正，以去除实验过程中的仪器背景和杂散光等干扰。

背景修正方法通常包括线性减法、谐波函数、Shirley函数等，具体方法根据实验条件和样品性质选择。

3. 峰形拟合：在背景修正后，需要对数据中的峰进行拟合。

峰拟合是将实验数据与已知的峰形函数进行匹配，以确定化学元素的存在和化学状态。

通常情况下，可以使用高斯-Lorentzian混合函数对峰进行拟合，拟合过程可以手动进行，也可以使用软件自动拟合功能。

4.能量标定：在进行峰形拟合之前，需要对X射线束进行能量标定。

能量标定是将X射线能量与测量数据进行关联，以确定化学元素的能级位置和化学键结构。

能量标定通常使用已知元素的能级作为标准，例如碳、氧、铜等元素。

5.数据处理和结果输出：在峰形拟合步骤完成后，可以根据需要进行数据处理和结果输出。

常见的数据处理包括计算元素丰度、化学键价、化学迁移率等。

结果输出可以以图表形式展示，也可以导出为表格或文本文件。

在使用XPS分峰软件时，有一些细节需要注意：1.导入数据前，应该了解数据的格式和采集参数，确保数据和软件相兼容。

2.在进行峰形拟合时，应该根据样品的特性和实验要求选择合适的峰形函数和拟合范围。

3.在选择背景修正方法时，应该根据数据的特点，选择适合的修正方法，并进行必要调整。

4.在能量标定时，应该使用合适的能级标准，并进行修正，以达到更准确的能量标定效果。

材料Ｘ射线光电子能谱数据处理及分峰的分析实例例:将剂量为1 107ions/cm2，能量为45KeV的碳离子注入单晶硅中，然后在1100C 退火2h进行热处理。

对单晶硅试样进行XPS测试,试对其中的C1s高分辨扫瞄谱进行解析,以确定各种可能存在的官能团.分析过程：1、在Origin中处理数据图1将实验数据用记事本打开，其中C1s 表示的是C1s电子,299。

4885表示起始结合能，—0.2500表示结合能递减步长,81表示数据个数。

从15842开始表示是光电子强度。

从15842以下数据选中Copy到Excel软件B列中，为光电子强度数据列.同时将299.4885Copy到Excel软件A列中，并按照步长及个数生成结合能数据,见图2图2将生成的数据导入Origin软件中，见图3。

图3此时以结合能作为横坐标,光电子强度作为纵坐标，绘出C谱图,检查谱图是1s否有尖峰，如果有，那是脉冲，应把它们去掉,方法为点Origin 软件中的Data—Move Data Points,然后按键盘上的 或。

箭头去除脉冲.本例中的实验数据没有脉冲，无需进行此项工作.将column A和B中的值复制到一空的记事本文档中(即成两列的格式，左边为结合能，右边为峰强)，并存盘,见图4。

图42、打开XPS Peak，引入数据:点Data——Import （ASCII），引入所存数据，则出现相应的XPS谱图,见图5、图63、选择本底：点Background，因软件问题， High BE和Low BE的位置最好不改，否则无法再回到Origin，此时本底将连接这两点，Type可据实际情况选择，一般选择Shirley 类型，见图7。

图74、加峰：点Add peak,出现小框，在Peak Type处选择s、p、d、f等峰类型(一般选s）,在Position处选择希望的峰位，需固定时则点fix前小方框，同法还可选半峰宽(FWHM）、峰面积等。

材料Ｘ射线光电子能谱数据处理及分峰的分析实例例:将剂量为1 107ions/cm2，能量为45KeV的碳离子注入单晶硅中，然后在1100C 退火2h进行热处理。

对单晶硅试样进行XPS测试,试对其中的C1s高分辨扫瞄谱进行解析,以确定各种可能存在的官能团.分析过程：1、在Origin中处理数据图1将实验数据用记事本打开，其中C1s 表示的是C1s电子,299。

4885表示起始结合能，—0.2500表示结合能递减步长,81表示数据个数。

从15842开始表示是光电子强度。

从15842以下数据选中Copy到Excel软件B列中，为光电子强度数据列.同时将299.4885Copy到Excel软件A列中，并按照步长及个数生成结合能数据,见图2图2将生成的数据导入Origin软件中，见图3。

图3此时以结合能作为横坐标,光电子强度作为纵坐标，绘出C谱图,检查谱图是1s否有尖峰，如果有，那是脉冲，应把它们去掉,方法为点Origin 软件中的Data—Move Data Points,然后按键盘上的 或。

箭头去除脉冲.本例中的实验数据没有脉冲，无需进行此项工作.将column A和B中的值复制到一空的记事本文档中(即成两列的格式，左边为结合能，右边为峰强)，并存盘,见图4。

图42、打开XPS Peak，引入数据:点Data——Import （ASCII），引入所存数据，则出现相应的XPS谱图,见图5、图63、选择本底：点Background，因软件问题， High BE和Low BE的位置最好不改，否则无法再回到Origin，此时本底将连接这两点，Type可据实际情况选择，一般选择Shirley 类型，见图7。

图74、加峰：点Add peak,出现小框，在Peak Type处选择s、p、d、f等峰类型(一般选s）,在Position处选择希望的峰位，需固定时则点fix前小方框，同法还可选半峰宽(FWHM）、峰面积等。

材料Ｘ射线光电子能谱数据处理及分峰的分析实例例:将剂量为1 107ions/cm2，能量为45KeV的碳离子注入单晶硅中，然后在1100C 退火2h进行热处理。

对单晶硅试样进行XPS测试,试对其中的C1s高分辨扫瞄谱进行解析,以确定各种可能存在的官能团.分析过程：1、在Origin中处理数据图1将实验数据用记事本打开，其中C1s 表示的是C1s电子,299。

4885表示起始结合能，—0.2500表示结合能递减步长,81表示数据个数。

从15842开始表示是光电子强度。

从15842以下数据选中Copy到Excel软件B列中，为光电子强度数据列.同时将299.4885Copy到Excel软件A列中，并按照步长及个数生成结合能数据,见图2图2将生成的数据导入Origin软件中，见图3。

图3此时以结合能作为横坐标,光电子强度作为纵坐标，绘出C谱图,检查谱图是1s否有尖峰，如果有，那是脉冲，应把它们去掉,方法为点Origin 软件中的Data—Move Data Points,然后按键盘上的 或。

箭头去除脉冲.本例中的实验数据没有脉冲，无需进行此项工作.将column A和B中的值复制到一空的记事本文档中(即成两列的格式，左边为结合能，右边为峰强)，并存盘,见图4。

图42、打开XPS Peak，引入数据:点Data——Import （ASCII），引入所存数据，则出现相应的XPS谱图,见图5、图63、选择本底：点Background，因软件问题， High BE和Low BE的位置最好不改，否则无法再回到Origin，此时本底将连接这两点，Type可据实际情况选择，一般选择Shirley 类型，见图7。

图74、加峰：点Add peak,出现小框，在Peak Type处选择s、p、d、f等峰类型(一般选s）,在Position处选择希望的峰位，需固定时则点fix前小方框，同法还可选半峰宽(FWHM）、峰面积等。

XPSPeak分峰步骤origin实验条件：样品用VG Scientific ESCALab220i-XL型光电子能谱仪分析。

激发源为AlKαX射线，功率约300 W。

分析时的基础真空为3×10-9 mbar。

电子结合能用污染碳的C1s峰（284.6 eV）校正。

X-ray photoelectron spectroscopy data were obtained with an ESCALab220i-XL electron spectrometer from VG Scientific using 300W AlKα radiati on. The base pressure was about 3×10-9 mbar. The binding energies were referenced to the C1s line at 284.6 eV from adventitious carbon.XPS数据考盘后的处理数据步骤数据是.TXT文件，凡是可以打开TXT文件的软件都可以使用。

下面以origin5.0为例：1.open文件，可以看到一列数据，找到Region 1(一个Region 对应一张谱图)。

2.继续向下找到Kinetic Energy，其下面一个数据为动能起始值，即谱图左侧第一个数据。

用公式BE始=1486.6-KE始-?换算成结合能起始值，?是一个常数值，即荷电位移，每个样品有一个值在邮件正文中给出。

3.再下面一个数据是步长值,如0.05或0.1或1，每张谱图间有可能不一样。

4.继续向下8行,可以找到401或801这样的数，该数为通道数，即有401或801个数据点。

5.再下面的数据开始两个数据是脉冲，把它们舍去，接下来的401或801个数据都是Y轴数据，将它们copy到B(Y)。

6.X轴：点A(X)，再点右键，然后点set column values，出现一个对话框，在from中填1，在to中填401(通道数)，在col(A)中填BE始-0.05*(i-1)，最后点do it。