激光干涉仪可对机床、三测机及各种定位装置进行高精度的(位置和几何)精度校正，可完成各项参数的测量，如线形位置精度、重复定位精度、角度、直线度、垂直度、平行度及平面度等。
一、常用的数控机床维修工具1.拆卸及装配工具(1)单头钩形扳手：分为固定式和调节式，可用于扳动在圆周方向上开有直槽或孔的圆螺母。
(2)端面带槽或孔的圆螺母扳手：可分为套筒式扳手和双销叉形扳手。
(3)弹性挡圈装拆用钳子：分为轴用弹性挡圈装拆用钳子和孔用弹性挡圈装拆用钳子。
(4)弹性手锤：可分为木锤和铜锤。
(5)拉带锥度平键工具：可分为冲击式拉锥度平键工具和抵拉式拉锥度平键工具。
(6)拉带内螺纹的小轴、圆锥销工具(俗称拨销器)。
(7)拉卸工具：拆装在轴上的滚动轴承、皮带轮式联轴器等零件时，常用拉卸工具，拉卸工具常分为螺杆式及液压式两类，螺杆式拉卸工具分两爪、三爪和铰链式。
(8)拉开口销扳手和销子冲头。
2.常用的机械维修工具(1)尺：分为平尺、刀口尺和90°角尺。
(2)垫铁：面为90°的垫铁、角度面为55°的垫铁和水平仪垫铁。
(3)检验棒：有带标准锥柄检验棒、圆柱检验棒和专用检验棒。
(4)杠杆千分尺：当零件的几何形状精度要求较高时，使用杠杆千分尺可满足其测量要求，其测量精度可达0．001mm。
(5)万能角度尺：用来测量工件内外角度的量具，按其游标读数值可分为2′和5′两种，按其尺身的形状可分为圆形和扇形两种。
二、常用的数控机床维修仪表1．百分表百分表用于测量零件相互之间的平行度、轴线与导轨的平行度、导轨的直线度、工作台台面平面度以及主轴的端面圆跳动、径向圆跳动和轴向窜动。
读数方法百分表的读数方法为：先读小指针转过的刻度线（即毫米整数），再读大指针转过的刻度线（即小数部分），并乘以0.01，然后两者相加，即得到所测量的数值。
2．杠杆百分表杠杆百分表又被称为杠杆表或靠表，是利用杠杆-齿轮传动机构或者杠杆-螺旋传动机构,将尺寸变化为指针角位移,并指示出长度尺寸数值的计量器具.用于测量工件几何形状误差和相互位置正确性，并可用比较法测量长度。
杠杆百分表目前有正面式、侧面式及端面式几种类型.杠杆百分表的分度值为0.01mm,测量范围不大于1mm.它的表盘是对称刻度的.杠杆百分表可用于测量形位误差,也可用于比较测量的方法测量实际尺寸,还可以测量小孔、凹槽、孔距、坐标尺寸等.使用时应注意使测量运动方向与测头中心成垂直，以免产生测量误差。
3．千分表及杠杆千分表用精密齿千分表结构图条齿轮机构制成的表式通用长度测量工具。
图为千分表的结构。
当量杆移动1毫米时，这一移动量通过齿条、轴齿轮1、齿轮和轴齿轮2放大后传递给安装在轴齿轮2上的指针，使指针转动一圈。
若增加齿轮放大机构的放大比，使圆表盘上的分度值为0.001毫米或0.002毫米（圆表盘上有200个或100个等分刻度），则这种表式测量工具即称为千分表。
二者的原理是相同的。
千分表是美国的B.C.艾姆斯等于1890年制成的。
它常用于形状和位置误差以及小位移的长度测量。
千分表的示值范围一般为0～10毫米，大的可以达到100毫米。
改变测头形状并配以相应的支架，可制成千分表的变形品种，例如厚度千分表、深度千分表千分表和内径千分表(见孔径测量)等。
如用杠杆代替齿条则可制成杠杆千分表和杠杆千分表，其示值范围较小，但灵敏度较高。
此外，它们的测头可以在一定角度内转动，能适应不同方向的测量，结构也紧凑。
它们适用于测量普通千分表难以测量的外圆、小孔和沟槽等的形状和位置误差。
（见彩图）千分表有纵形（Ｔ）、横形（Ｙ）、垂直形（Ｓ）几种,要根据使用用途选择合适的种类。
・纵形（Ｔ）：正面观测刻度板的话,测头为前后移动型・横形（Ｙ）：正面观测刻度板的话,测头为左右移动型・垂直形（Ｓ）：纵形刻度板相对于测头垂直安装型种类1、表盘千分表（1）刻度为0.01ｍｍ的千分表测量轴移动1mm相当于长轴转动一圈，测量范围有5mm、10mm不等。
（2）刻度为0.001ｍｍ的千分表测量轴移动0.2mm相当于长轴转动一圈，测量范围有1m、2mm、5mm不等。
2、杠杆式千分表杠杆式千分表中，一般有按照0.01mm分度，测量范围为0.5mm、0.8mm的千分表以及按照0.002mm分度，测量范围为0.2mm、0.28mm的千分表。
3、电子数显千分表4、数显测厚千分表5、数显内径千分表结构千分表的结构较简单,传动机构是齿轮系,外廓尺寸小,重量轻,传动机构惰性小,传动比千分表结构较大,可采用圆周刻度,并且有较大的测量范围,不仅能作比较测量,也能作绝对测量。
千分表的工作原理,是将被测尺寸引起的测杆微小直线移动,经过齿轮传动放大,变为指计在刻度盘上的转动,从而读出被测尺寸的大小。
千分表的构造主要由3个部件组成：表体部分、传动系统、读数装置。
千分表已实施出口产品质量许可制度，未取得出口质量许可证的产品不准出口。
电子千分尺1、外观：百分表的表蒙应透明洁净,不应有气泡和明电子千分表显的划痕；表盘刻线应清晰平直,无目力可见的断线和粗细不匀；测头上不应有碰伤、锈迹、斑点和明显的划痕。
其它表面上不应有脱漆、脱铬和毛刺及影响外观质量的其它缺陷。
表上必须有制造厂名、分度值和出厂编号。
使用中和修理后的百分表,允许有不影响使用准确度的外观缺陷。
2、各部分相互作用：①表圈转动应平稳,静止应可靠,与表体的配合应无明显的松动。
②测杆的移动及指针回转应平稳、灵活,不得有跳动、卡住和阻滞现象。
③指针应紧固在轴上,测杆移动时,指针不应松动。
④紧固百分表装夹套筒后,测杆应能自由移动,不得卡住。
3、指针与表盘的相互位置。
①百分表的测杆处于自由状态时,调整表盘零刻线和测杆轴线方向重合,此时指针位置应符合表6—10—36的要求。
表盘刻度型式指针在距零刻度左上方50 4～12100 8～25200 16～50②百分表测杆行程应超过工作行程终点,超过的行程应满足表6—10—37的要求。
表6—10—37超行程要求测量范围(mm) 表盘刻度型式(分度) 超过终点的行程不少于(mm)0-3 50 0.30-5，0-10 100 0.5③转动指针对准任何整转数时,指针位置偏离零位应不大于15μm。
④指针末端与表盘刻线方向应一致,无目力可见的偏斜,指针末端上表面至表盘之间的距离应不超过表6—10—38的要求。
表6—10—38指针末端上表面至表盘距离表盘刻度型式(分度) 指针末端上表面至表盘距离(mm)50、100 0.9⑤指针末端应盖住短刻线长度的30～80%。
4、指针末端及表盘刻线宽度：应不超过表6—10—39的要求。
表6—10—39指针末端及表盘刻线宽度测量范围(mm) 表盘刻度型式(分度) 表圈直径(mm) 指针末端及表盘刻线宽度(mm)0～3 50 42 0.10～0.200～5,0～10 100 ＞42 0.15～0.255、测头测量面的表面粗糙度：应不超过表6—10—40的要求。
表6—10—40测头测量面表面粗糙度测头材料钢硬质合金宝石测头测量面表面粗糙度 Ra 0.1 Ra 0.2 Ra 0.05(6)装夹套筒直径：直径为Φ800-0.015。
7、测力：测力应不超过表6—10—40的要求。
正行程中的最大测力值即为百分表的最大测力。
单向行程中的最大测力值与最小测力值之差即为表的单向行程测力变化,各点的正行程测力值与反行程测力值之差,即为同一点正反向测力变化,均不应超过表6—10—41的要求。
表6—10—41测力要求测量范围(mm) 最大测力单向行程测力变化同一点正反向测力变化0～3,0～5,0～10 1.5 0.5 0.48、示值变动性：应不超过表6—10—42的要求。
9、测杆径向受力对示值的影响不应超过表6—10—42的要求。
表6—10—42示值变动性测量范围(mm) 示值变动性(μm) 测杆径向受力对示值影响(μm)0级 1级 0级 1级0-3,0-5,0-10 3 5 3 510、示值误差：百分表的示值误差不得超过表6—10—43的要求。
表6—10—43百分表示值误差准确度等级百分表示值误差(μm) 回程误差(μm)任意0.1mm 任意1mm 0～3mm 0～5mm 0～10mm0 5 8 10 12 14 31 7 10 15 18 20 511、回程误差：百分表的回程误差应不超过表6—10—43的要求。
外径千分尺的读数读数时，先以微分筒的端面为准线，读出固定套管下刻度线的分度值（只读出以毫米为单位的整数），再以固定套管上的水平横线作为读数准线，读出可动刻度上的分度值，读数时应估读到最小刻度的十分之一，即0．001毫米。
如果微分筒的端面与固定刻度的下刻度线之间无上刻度线，测量结果即为下刻度线的数值加可动刻度的值；如微分筒端面与下刻度线之间有一条上刻度线，测量结果应为下刻度线的数值加上0．5毫米，再加上可动刻度的值，有的千分尺的可动刻度分为100等分，螺距为1毫米，其固定刻度上不需要半毫米刻度，可动刻度的每一等分仍表示0．01毫米。
有的千分尺，可动刻度为50等分，而固定刻度上无半毫米刻度，只能用眼进行估计。
对于已消除零误差的千分尺，当微分筒的前端面恰好在固定刻度下刻度线的两线中间时，若可动刻度的读数在40－50之间，则其前沿未超过0．5毫米，固定刻度读数不必加0．5毫米；若可动刻度上的读数在0－10之间，则其前端已超过下刻度两相邻刻度线的一半，固定刻度数应加上0．5毫米。
外径千分尺的零误差的判定校准好的千分尺，当测微螺杆与测砧接触后，可动刻度上的零线与固定刻度上的水平横线应该是对齐的。
如果没有对齐，测量时就会产生系统误差——零误差。
如无法消除零误差，则应考虑它们对读数的影响。
若可动刻度的零线在水平横线上方，且第x条刻度线与横线对齐，即说明测量时的读数要比真实值小x／100毫米，这种零误差叫做负零误差；若可动刻度的零线在水平横线的下方，且第y条刻度线与横线对齐，则说明测量时的读数要比真实值大y／100毫米，这种零误差叫正零误差。
对于存在零误差的千分尺，测量结果应等于读数减去零误差，即物体长度＝固定刻度读数＋可动刻度读数－零误差。
4．比较仪利用相对法进行测量的长度测量工具，主要由测微仪和比较仪座组成。
测量时，先用量块研合组成与被测基本尺寸相等的量块组，再用此量块组使测微仪指针对零，然后换上被测工件，测微仪指针指示的即为被测尺寸的偏差值。
比较仪可分为扭簧比较仪与杠杆齿轮比较仪。
扭簧比较仪特别适用于精度要求较高的跳动量的测量。
和百分表和千分表、杠杆齿轮式测微仪或扭簧测微仪等机械式指示表作为放大、指示部件。
杠杆齿轮式测微仪的工作原理与百分表和千分表相似。
但第1级放大机构是杠杆，其分度值通常为1微米。
扭簧测微仪是一种具有无机械摩擦放大机构的指示表（图[扭簧测微仪工作原理].它的主要放大元件是一根从中间起一端向右扭曲，另一端向左扭曲的金属薄片（宽度为0.1毫米左右，厚度为0.005毫米左右），称为扭簧丝。
