雷尼绍干涉仪使用方法ML-80

雷尼绍激光干涉仪螺距补偿操作说明补偿点坐标（激光仪显示的数值）与机械坐标值一致，从小往大（矢量）‐560到0的方向补一，FANUC ,三菱系列1， 3605 #0 是否使用双向螺距补偿；（选项）2， 3620 每个轴的参考点的螺距误差补偿点号3， 3621 螺距补偿表最小点（螺距补偿表长度与补偿点个数不一定一一对应）4， 3622 螺距补偿表的最大点5， 3623 螺距误差补偿系数(螺距补偿表的数值最大只能输7，当补偿值大 于7时，例如8，就只能将改值改为2，在对应点输入8/2=4)6， 3624 螺距误差补偿点间隔例：加工中心X轴的坐标是从0到1050，Y轴的坐标从0到‐560，Z轴坐标从0到‐560.在FANUC系统中设置参数如下：本例中1000/25=40,即激光干涉仪的补偿表数据输入100~139而对于Y轴与Z轴则与X轴有不同，X轴机械坐标是从0到1050，Y Z轴机械坐标是从0到‐560(550/25=22) 因此补偿起始点是从221（301）开始，激光干涉仪的补偿表就倒过来（从下面往上）补程序：%O0100G01G57G90Y1F3000G4X1.Y0G4X4.M98P0101L21Y-1G4X1.Y1G4X4.M98P0102L21M99%雷尼绍软件误差补偿表格设置如下：测量后误差补偿值如下：补偿前的定位/重复定位曲线：补偿后的曲线：注：此为Z轴实测图，是错位输入：具体操作是将23 的‐2输入螺补的300中，22的‐2输入299中,21的‐2输入298中，21的‐1输到297中，依次类推，最后将25的0输入到277中。

二，西门子雷尼绍软件应设绝对32450 反向间隙32700 螺补生效，在螺补文件执行后更改为1，执行时应为零，否则报警17070.断电重新启动，螺补生效（在诊断的轴信息在绝对补偿值测量系统 1 中可以观察到当前点生效的补偿值。

具体设置如图：该例是ATV35SM 车削加工中心的X轴根据上图设置所产生的补偿表：补偿原理及方法参见西门子简明调试手册。

干涉仪器的使用方法和标准
一、功能介绍：用于检查研磨后镜片面形精度（牛顿环、局部误差），
检查范围≤∮75，放大比例：１：１
二、精度描述：标准板精度为λ/ 20
三、操作规程
a)确认校验有效期：看干涉仪的标识校验有效期是否超过，若
超过有效期，则先向校验员提出校验后再使用。

b)开电源：打开变压器（２２０Ｖ变为１１０Ｖ），此时激光
干涉仪电源驱动器进入对激光管驱动工作。

c)电源驱动激光管约15分钟左右，干涉仪专用电源稳定后指
示灯亮，进入稳定状态。

d)清理台面，将待检品、不良、良品按标示区域整理准备检测
镜片。

e)擦拭干净放置镜片的检测治具，戴好手指套、口罩。

f)放置镜片到载物台或载物台的治具上，将对焦/成像开关切
换到对焦，在目视视场中可见三个光点，调节载物台的旋
扭，让屏幕上可移动按扭中较亮点与原视场点重合；再将
对焦/成像开关切换至成像。

g)调整载物台旋扭，读取需要数据，最好是将干涉条纹调到
3-5条相对数据比校准确。

四、保管保养
a)仪器玻璃表面严禁用手触摸，可用镜头纸或脱脂棉蘸酒精清
擦。

b) 清洁毛巾不能沾水，放置场地需保持干燥、清洁。

c) 若需在2H以内需使用则不需关闭电源，但需关闭显示器的
电源；若需超2H再使用则需关闭电源。

开电源：打开变压器（２２０Ｖ变为１１０Ｖ），此时
五、注意事项
a)放置干涉仪桌子与墙壁不能接触，干涉仪及干涉仪桌子不能受外力震动，否则会影响检测精度。

b)室内需恒温在１℃以内，否则会影响检测精度。

雷尼绍中文说明书 山善（上海）贸易有限公司技术部一. 雷尼绍测头的标定:测头标定是矫正测头球相对主轴中心线的偏差和测头的长度误差以及探针球的半径误差。

1在以下几种情况下需要标定测头: a 第一次使用测头时。

b 测头上安装了新的探针。

c 怀疑探针弯曲或测头发生碰撞时。

d 周期性地进行标定以补偿机床的机械变化误差。

e 如果测头柄的重新定位的重复性差。

2 将已知内孔经的Master （随测头一起标定用的标准块）置于工作台且靠近主轴的一边。

a. 如图一所示用千分表将Master 沿着X 方向拉平后水平的固定在台 面上;b. 用千分表找正Master标位置(将其置于G54X- Y-中）; c.在主轴上安装验棒(Testbar),移动 Z 轴并用块规测量master 的位置如图二所示 d.使w 轴在原点位置，譬如 Testbar 长度=350.311mm块规长度=30.00mm此时Z轴机械坐标为-1148.291mm （图一）（图二） e.设定标定时用的工件坐标系Z=-1148.291+(-30.0)+（-350.311）=-1528.602mm(将其置于G54Z--)f.执行T1M06(因为预先设定T01为测头专用)；g.将测头安装到主轴上,擦干净测球并用千分表测量测球的跳动，如果跳动大需要重新调整（测头柄上四个方向均有调整螺丝）；h.测头每次安装到主轴孔内时必须一致即不能旋转180度再安装,为了避免误差;3.完整标定测头需要O9801、O9802及其O9803或者O9804程序 标定程序依次说明:1．(O9801)测头长度的标定:格式如下:G65P9801Zz Tt;例题:在G54工件坐标系中设置X、Y、Z的值;O0001G90G80G40G0G54X0Y0G43H01Z100. (因测头通常设定为T01,激活1号补正,定位到100mm处) G65P9832 (旋转开启测头包含主轴定位)G65P9810Z10.F3000(保护定位移动)G65P9801Z0T1 (Z向标定,T1表示刀补号码)G65P9810Z100 (保护定位移动到Z100.0处)G65P9833 (旋转关闭测头)G28Z100. (参考点返回)H00 (取消刀补)M302(O9802)标定探针的X、Y方向偏心:格式:G65P9802Dd Zz上述D是表示标准块的内径值，当使用凸台标定时要使用Zz，省略时表示用孔来标定。

MP10自动探头设定一:调整自动探头1.刀柄擦干净2.装电池(注意正.负级)如图A电池正负极,及其表示位置图A3.装探头(用专用扳手扳紧)(如图B)图B4.将自动探头装入主轴中5.用杠杆千分表打在红宝石最高点,转动自动探头,看百分表的数值,假如数值小于0.02MM,就不用在调整自动探头,反之需要调整(如图C)6.把杠杆表打在红宝石最高点, 图C用内六角调整自动探头上的四个螺丝(如图D)二:自动探头直径补偿1.把一个标准圆环固定在工作台上.2.用千分表寻找圆环中心,是主轴中心与圆环中心重合.(千分表尽可能为0)(如图E)3.在圆环中心设定一个机床坐标系原点.4.把主轴移开,在返回进行确认.(此时千分表为0)Ⅰ调整螺丝位置图D 图E (FM MP3的调整螺丝在圆锥盖得里面)5.把自动探头放入主轴中,走到设定的原点(如图F)6.在MDI方式下,输入CALL OO18,启动.(自动探头加电,会有几秒的延时) (FMMP3输入 : CALL OO16)7.把自动探头下降到基准圆环平面以下10MM左右.8.在MDI方式下,输入CALL OO21,启动.(将设定的原点读入MSB原点)9.画面放在"测量结果显示",按"MSB原点"(MSB原点坐标,No.3号坐标系).10.输入VNCOM[1]=8,启动.11.将画面放在"测量结果显示"按"传感器",用手轻碰探头,看到传感器画面有黄色的指示灯会亮,进行信号确认,表示探头有信号.12.在MDI方式下,输入:CALL OO10 PMOD=9 PDI=50 POVT=3 启动.PMOD=9 表示自动探头半径补偿 PDI=50 表示基准环的准确直径 POVT=3表示超行程距离13.测量结果在"测量表示画面",按"MSB刀具ON/OFF"键.半径补偿的1-4号半径补偿值为探头4个方向的补偿值.14.在MDI方式下,输入:CALL OO19 启动(表示断电)(FMMP3输入:CALL OO17)三:自动探头长度方向补偿1.换基准棒.(记下标准棒的长度,假如为199.9MM)2.将基准棒的端面与量块轻微接触到(如图G).3.在此位置设定Z方向的原点.a.绝对长刀具补偿:运算199.9b.相对刀具补偿:运算04.抬起基准刀具,主轴换上自动探头.5.在MDI方式下输入:CALL OO18 启动 <VNCOM[1]=8检测信号>6.在手动方式下,将自动探头放在量块的上方,大约10MM左右(如图F).* 相对补偿,PLI=自动探头长度-基准棒长度(大概距离)9.CALL OO19 (自动探头断电)四:复制补偿数值图F1.将"MSB刀具ON/OFF"中的,半径补偿1-4号复制到5-20号,长度补偿的5号复制的1-4号.2.在MDI方式下,输入:CALL OO22 Ⅱ间距10MM左右 图G 图H使用自动探头一:内径测量1.探头放在孔的中心位置(大概),把探头的顶端移到孔内.2.MDI方式下:输入 CALL OO18 启动(FMMP3输入CALL OO16)3.测量: CALL OO10 PMOD=7 PDI=50 启动 .(PMOD=7表示测量孔德半径.PDI=50表示孔直径的预想值) 4:测量结果在"测量结果显示"中.5.设定孔中心为原点: CALL OO20 PHN=3 PX=0 PY=0 启动.(PHN=3表示为3号坐标系,PX,PY表示X与Y偏移量) 6:在MDI方式下,输入: CALL OO19 启动(FMMP3输入:CALL OO17)二:外径测量1.探头放在孔的中卫,并且在零件的上方.2.CALL OO18启动.3.测量: CALL OO10 PMOD=6 PDI=100 PIN=25 启动 (PMOD=6表示测量外径 PDI=100表示外径的预想值 PIN=25表示从探头顶端下降25mm.)4.以下操作同测内径操作.三:X向的端面测量 1.探头放在离被测平面不远的地方.2.在MDI方式下,输入: CALL OO10 PMOD=1 PEI=-255 启动 .(PEI=-255表示X向的预想值,预想值=当前位置+到被测面得距离) 3.设原点同上,设好原点后,再次确认,输入:CALL OO10 PMOD=1 PEI=0启动 PEI=0表示确认面与测量面差值为0.四:Y向端面测量1.测量:CALL OO10 PMOD=2 PEI=800 启动2.设原点和再次确认操作步骤同上.五:Z向测量.1.探头方在被测零件平面的上方.2.在MDI方式下,输入: G56H5 启动,HS=5表示MSB刀具长度补偿为五号.3.测量:CALL OO10 PMOD=3 PEI=-111 启动4.设原点和再次确认同上.六:测量两点间的距离探头放在被测量两点的大约中间位置.*X向测量:CALL OO10 PMOD=11 PELI=60 启动 *Y向测量:CALL OO10 PMOD=12 PELI=85 启动七:测量两端面的距离探头放还在被测两端面的中间,并放在零件的上面.* X向测量:CALL OO10 PMOD=11 PELI=130 PIN=30 启动* Y向测量:CALL OO10 PMOD=12 PELI=130 PIN=30 启动END Ⅲ。

安装指南OMP40-2光学机床测头© 2009-2015 Renishaw plc 版权所有本文档未经Renishaw plc事先书面许可，不得以任何形式，进行部分或全部复制或转换为任何其他媒体形式或语言。

出版本文档所含材料并不意味着Renishaw plc 放弃对其所拥有的专利权。

雷尼绍文档编号： H-4071-8518-04-A首次发布： 2009.02修订： 2015.05前言..........................................................................1.1前言 ......................................................................1.1免责声明 ................................................................1.1商标...................................................................1.1保修...................................................................1.1设备更改 ................................................................1.1数控机床 ................................................................1.1测头的保养 ..............................................................1.1专利...................................................................1.2 EC标准符合声明............................................................1.3废弃电子电气设备 (WEEE) 指令 ................................................1.3安全须知..................................................................1.4 OMP40-2基本介绍 .............................................................2.1简介 ......................................................................2.1入门...................................................................2.1系统接口 ................................................................2.1 Trigger Logic™（触发逻辑）................................................2.2测头模式..................................................................2.2可配置的设定 ...............................................................2.2开启/关闭方式 ............................................................2.2增强型触发滤波器 .........................................................2.4光学传输模式............................................................2.4光学功率 ................................................................2.4 OMP40-2尺寸..............................................................2.6 OMP40-2规格..............................................................2.6典型电池寿命 ............................................................2.7系统安装 ......................................................................3.1安装OMP40-2与OMM-2 / OMI-2T / OMI-2H / OMI-2 / OMI / OMM ......................3.1 OMM-2 / OMI-2T / OMI-2H / OMI-2 / OMI / OMM定位 .............................3.2OMP40-2安装指南ii目录与OMM-2 / OMI-2T / OMI-2H / OMI-2 配合使用的光学信号范围（调制传输）....................3.3 OMP40-2使用前的准备工作...................................................3.3安装测针 ................................................................3.3测针弱保护杆............................................................3.4安装电池 ................................................................3.5将测头安装到刀柄上 .......................................................3.6测针对中调整............................................................3.7标定OMP40-2 ..............................................................3.8为什么要标定测头？ .......................................................3.8用镗孔或车削直径进行标定.................................................3.8用环规或标准球进行标定...................................................3.8标定测头长度............................................................3.8Trigger Logic™（触发逻辑） ..................................................4.1检查测头设定 ...............................................................4.1测头设定记录 ...............................................................4.2更改测头设定 ...............................................................4.4工作模式..................................................................4.6维护..........................................................................5.1维护 ......................................................................5.1清洁测头..................................................................5.1更换电池..................................................................5.2OMP40M 系统.................................................................6.1OMP40M 系统..............................................................6.1OMP40M 尺寸..............................................................6.1OMP40M 螺钉扭矩值 .........................................................6.2OMP40-2LS 系统..............................................................7.1简介 ......................................................................7.1与OMM-2 / OMI-2T / OMI-2H / OMI-2配合使用的光学信号范围（调制传输）.............7.2查错..........................................................................8.1零件清单 ......................................................................9.1前言免责声明RENISHAW已尽力确保发布之日此文档的内容准确无误，但对其内容不做任何担保或陈述。

镭射干涉仪操作手册手册内容一.RENISHAW 公司简介 1二.镭射干涉仪原理 2(1)波的速度 3(2)干涉量测原理 3(3)镭射干涉仪 4(4)镭射干涉仪一般量测项目 4三.注意事项 5四.镭射干涉仪防止误差及保养 5(1)镭射干涉仪防止误差 5(2)镭射干涉仪保养方法 6五.安全及注意事项 6六.镭射光原理及特性7七.镭射硬件介绍8八.镭射架设流程图15九.定位量测原理及操作16(1)线性定位量测原理16(2)量测方式17十.镭射易发生之人为架设误差20(1)死径误差20(2)余弦误差21(3)阿倍平移误差21 十一.镭射操作之步骤22(1)软件安装之步骤22(2)执行量测软件22(3)定位量测硬件架设之操作23(4)镜组架设前之注意事项24(5)镜组架设之步骤24 十二.定位量测之程序范例29 十三.定位量测之软件操作步骤30 热漂移量测38 快速功能键44 十四.动态软件量测之操作45(1)动态量测硬件之架设45(2)执行量测之软件46(3)位移与时间48(4)速度与时间49(5)加速度与时间50 十五.角度量设之操作52(1)注意事项52(2)镜组架设的种类53(3)镜组架测之步骤54(4)角度量测之软件操作步骤57 十六.RX10旋转轴之量测62(1)说明62(2)硬件配件之介绍62(3)硬件操作之步骤64(4)软件操作之步骤67 十七.直度量测之操作75(1)直度之分类75(2)直度量测之硬件架设75(3)镜组架设之步骤75(4)直度软件之操作步骤80 十八.Z轴直度镜组织架设方法85 十九.垂直度量测之操作89(1)垂直度镜组架设之步骤89(2)软件操作之步骤95 二十.平面度量测之原理与操作101(1)硬设备101(2)操作之原理102(3)镜组架设之步骤102(4)软件操作之步骤110RENISHAW 公司简介RENISHAW为一家英国公司,产品营销全世界,主要产品有三次元量床之测头、测针、BALLBAR循圆测试仪、镭射干涉仪････････等等及产品经NPL(英国国家标准)认证为ISO 9001之合格厂商RENISHAW公司为机器设备制造商提供量测检验系统的仪器,提供各种用于机器精度检定的量测设备进而改善机器的精度RENISHAW XL80 高性能镭射干涉仪是机床、三次元坐标量床及其它定位装置精度校准用的高性能仪器,由于最新电子技术的应用,使其镭射波长非常稳定并保持了低成本高效率的工作流程RENISHAW 产品介绍：镭射干涉仪量测系统循圆测试仪器(BALLBAR)量测系统三次元测头测针系列黏贴式光学尺系列镭射干涉仪量测原理MICHELSON E0 干涉原理两个频率振幅波长相同的镭射光波因相位变化而发生不同程度的干涉a.相长干涉(建设性干涉)b.相消干涉(破坏性干涉)相长干涉相消干涉1.波的速度V＝fλ 若f，λ const . 则V const2.干涉量测原理3.镭射干涉仪：一般镭射干涉仪均为氦氖镭射,其镭射光为红色波长0.6329μm长期稳定误差0.05ppm以下(10个波长相差0.5个波)其优点：a.测量范围大b.简化以往光学仪器结构c.测量速度快缺点：易受大气环境影响因波长常会随温度、气压、湿度而变化(因镭射光以空气为传递介质)4.镭射干涉仪一般量测项目：(一)定位精度、距离量测、重复性(二)速度、加速度、动态量测(三)角度量测：a.垂直方向角度(pitch)b.水平方向角度(yaw)(四)真直度量测：a.垂直方向b.水平方向(五)直角度量测(六)平面度量测(七)平行度量测(八)旋转角度量测注意事项：(1)三脚架置于待测物适当位置,地基稳固不可摇晃及避免人员和机器碰触的地方(2)三脚架之水平气泡调至中央位置固定(3)信号线之插头,红点表示向上,各线接头缺口部份确实吻合方可插入(4)各电源线、信号线连接或拔除时,各仪器需均在OFF状态,否则会对仪器造成伤害(5)给予稳定独立电源,确实不漏电环境中使用(6)短距离量测(50mm内)亦产生余弦误差,先校直度再作定位(6)对焦时避免反射回来的镭射光打在镭射光射出口处(7)镭射先热机稳定后,再做镭射量测(8)操作中确认XC80(环境补偿系统)是监控中,每7秒各侦测一项,以42秒为一次循环(9)镭射干涉仪设备存放地点尽量保持干燥镭射干涉仪防止误差及保养1﹒镭射干涉仪防止误差(1)量测周围环境应尽量避免太阳光直接照射或突然流动的风产生扰流现象(2)装设干涉镜及反射镜在被测机台上时,必须牢固,否则机台移动会造成不可预期的量测误差(3)环境侦测感应器与材料温度感应器是否作动,必须于量测前确实检查,以免造成不必要的误差(4)要获得最佳精度并减少误差,建议遵守下列规定：a﹒在校验环境条件中执行量测b﹒激光束需作确实校直c﹒需注意量测时的周围条件d﹒牢固地装设镜组(3)在量测执行中不可因其它因素而中断,量测必须一次完成检验,若发生量测中断情形,必须重新执行检验2﹒镭射干涉仪保养方法(1)使用时应防止碰撞及震动(2)工作完毕应循操作方法反顺序逐一拆卸并且擦拭干净置回仪器盒内(3)金属平台在使用完后应擦拭干净(4)干涉镜及反射镜片应使用光学镜片专用擦拭纸做圆形回转擦拭(注意严禁使用酒精或具有挥化性及腐蚀性之清洁液擦拭,请干擦,因镜面有镀一层蓝色薄墨,而激光束是靠此薄墨产生折射与反射,如果使用具有挥化性或腐蚀性之清洁液会将此薄墨破坏,如果镜面没有薄墨折射率既减弱而影响光强,且无法再镀上此薄墨,请注意小心使用)(5)应小心搬运尤其对镜片类应有适当防护与防震,暂不用时以干净东西覆盖安全注意事项1.镭射光属二级镭射,建议勿长时间直视镭射光2.镭射预热时可将镭射光闸暂时关闭,镜组对焦时再予以打开3.对焦时尽量避免反射之镭射光打在镭射头的镭射发射出口处,以免镭射造成不良影响4.架设镜组前,先将机器欲测轴全行程来回移动,观察机器移动空间并决定镜组架设位置,当镜组架设至机台后,使用手动慢速移动机器确定移动空间无其它干涉物后,机器才可改为自动移动5.架设或操作镭射干涉仪时,闲杂人等避免靠近,以免拌到电源线或传输线6.确认电压伏特是否正确,并且所使用的电力来源尽量能够独立,并加稳压器.镭射光原理及特性1.光的相关原理光为一种无质量的微粒子(牛顿)光为一种电磁波(马克士威尔)光具有粒子与波动的性质2.光的特性方向性直线性波动性3.波的基本物理量频率f、周期T、振幅A、波长λ、其中波长是长度单位4.何谓镭射光对某种元素施予能量,使其原来稳定的基态(低能阶)变为不稳定的激态(高能阶),元素会由激态(高能阶)释放出能量后变回原来的基态(低能阶) 再释放能量的过程中会产生一种光,我们谓之镭射光5.镭射光之特性A.高单频性：光的频率即是色,高纯频率即是高单色,一般可见光包含红、澄、黄、绿、蓝、靛、紫、频率纯度较低B.高方向性：镭射光配合聚光镜的发散角度非常小,而一般光线其扩散角度都非常大C.高亮度性：其光线亮度比一般光线亮度大数倍(视镭射而定)硬件介绍XL80 镭射头XC80 环境补偿系统8XC80 环境补偿系统插槽示意图夹持器组线性定位量测镜组角度量测镜组Z轴直度量测镜组及附件垂直度量测镜平坦度量测镜组旋转轴量测系统镭射头微调平台重负荷三脚架镭射架设联机流程图1﹒镭射架设及量测流程表15定位量测原理及操作1﹒线性定位量测原理：(一)架设方式：干涉镜不动,移动反射镜反射镜不动,移动干涉镜(二)何谓线性定位精度：CNC机器执行时,程序之坐标点未必是机器的坐标点,程序坐标点为理想值,机器坐标点为实际值,两者之间差为机器的定位精度(三)线性定位误差原因：误差原因可能是导程误差、控制器误差、机器几何误差及震动等原因(四)线性定位量测的目的：量测出机台可能因零件和组装所造成的误差,可利用机器参数补偿或重新组装改进机器加工机精度,确保机器加工的质量(五)镭射干涉仪定位量测发生误差的原因：a﹒空气、温度、湿度、气压等影响b﹒待测物之热膨胀系数c﹒电子误差d﹒死径误差(图一)e﹒阿倍(ABBE)误差(图二)f﹒余弦(COS)误差(图三)g﹒震动误差h﹒镜组热膨胀飘移镭射干涉仪量测数据是以数值方式显示,并没有一般量测时有人为读值判定所产生的误差162﹒量测方式a﹒线性(linear)方式---单向---2次b﹒线性(linear)方式---双向---2次17C﹒朝圣(pilgrim)方式---单向---2次d﹒朝圣(pilgrim)方式---双向---2次18e﹒钟摆(pendulum)方式---单向---2次f﹒钟摆(pendulum)方式---单向---2次镭射架设易发生之误差1﹒死径误差(如图一所示)˙死径误差是一种与使用XC80 自动补偿的线性量测过程中的环境因子变化有关的误差。

雷尼绍激光干涉仪结果解读（最新版）目录一、雷尼绍激光干涉仪概述二、雷尼绍激光干涉仪的性能特点三、雷尼绍激光干涉仪的应用范围四、雷尼绍激光干涉仪的操作使用方法五、雷尼绍激光干涉仪的维护保养六、雷尼绍激光干涉仪的注意事项正文一、雷尼绍激光干涉仪概述雷尼绍激光干涉仪是一种高精度的测量仪器，它利用激光干涉原理对物体的线性尺寸、角度、平面度等进行测量。

雷尼绍激光干涉仪具有高精度、高稳定性、操作简便等特点，广泛应用于工业生产、科学研究、精密测量等领域。

二、雷尼绍激光干涉仪的性能特点1.高精度：雷尼绍激光干涉仪的测量精度可达 0.5ppm（线性模式）和 1 纳米的分辨率，能够在各种工作环境下保持稳定的测量性能。

2.高稳定性：雷尼绍激光干涉仪采用先进的闭环控制系统，能够实时对测量结果进行修正，保证测量结果的稳定性。

3.便携性：雷尼绍激光干涉仪采用紧凑的设计，整个系统（包括小型三脚架）重量轻，便于携带和安装。

三、雷尼绍激光干涉仪的应用范围雷尼绍激光干涉仪广泛应用于工业生产中，如线性测量、角度测量、直线度测量、垂直度测量、平面度测量、回转轴测量等。

此外，雷尼绍激光干涉仪还可以进行动态测量，为各种精密制造过程提供实时监测和控制。

四、雷尼绍激光干涉仪的操作使用方法1.开机：连接雷尼绍激光干涉仪的电源，打开仪器开关，启动仪器。

2.预热：启动仪器后，进行预热，等待仪器稳定后开始测量。

3.测量：将待测物体放置在激光干涉仪的测量范围内，启动测量程序，获取测量结果。

4.关闭：测量完成后，关闭仪器。

五、雷尼绍激光干涉仪的维护保养1.定期检查：定期检查雷尼绍激光干涉仪的各个部件，确保其正常工作。

2.清洁：定期清洁雷尼绍激光干涉仪的镜片和光学部件，避免灰尘和污垢影响测量精度。

3.校准：定期对雷尼绍激光干涉仪进行校准，确保测量精度。

六、雷尼绍激光干涉仪的注意事项1.使用时，避免雷尼绍激光干涉仪受到剧烈震动和撞击。

2.不使用时，请将雷尼绍激光干涉仪存放在干燥、通风、避光的环境中。

雷尼绍激光干涉仪螺距补偿操作说明补偿点坐标（激光仪显示的数值）与机械坐标值一致，从小往大（矢量）‐560到0的方向补一，FANUC ,三菱系列1， 3605 #0 是否使用双向螺距补偿；（选项）2， 3620 每个轴的参考点的螺距误差补偿点号3， 3621 螺距补偿表最小点（螺距补偿表长度与补偿点个数不一定一一对应）4， 3622 螺距补偿表的最大点5， 3623 螺距误差补偿系数(螺距补偿表的数值最大只能输7，当补偿值大 于7时，例如8，就只能将改值改为2，在对应点输入8/2=4)6， 3624 螺距误差补偿点间隔例：加工中心X轴的坐标是从0到1050，Y轴的坐标从0到‐560，Z轴坐标从0到‐560.在FANUC系统中设置参数如下：本例中1000/25=40,即激光干涉仪的补偿表数据输入100~139而对于Y轴与Z轴则与X轴有不同，X轴机械坐标是从0到1050，Y Z轴机械坐标是从0到‐560(550/25=22) 因此补偿起始点是从221（301）开始，激光干涉仪的补偿表就倒过来（从下面往上）补程序：%O0100G01G57G90Y1F3000G4X1.Y0G4X4.M98P0101L21Y-1G4X1.Y1G4X4.M98P0102L21M99%雷尼绍软件误差补偿表格设置如下：测量后误差补偿值如下：补偿前的定位/重复定位曲线：补偿后的曲线：注：此为Z轴实测图，是错位输入：具体操作是将23 的‐2输入螺补的300中，22的‐2输入299中,21的‐2输入298中，21的‐1输到297中，依次类推，最后将25的0输入到277中。

二，西门子雷尼绍软件应设绝对32450 反向间隙32700 螺补生效，在螺补文件执行后更改为1，执行时应为零，否则报警17070.断电重新启动，螺补生效（在诊断的轴信息在绝对补偿值测量系统 1 中可以观察到当前点生效的补偿值。

具体设置如图：该例是ATV35SM 车削加工中心的X轴根据上图设置所产生的补偿表：补偿原理及方法参见西门子简明调试手册。

干涉仪的使用流程1. 干涉仪简介干涉仪是一种科学仪器，常用于研究光的干涉现象。

它可以通过将光束分割成两个或多个部分，再将其重新合并，利用光束的干涉来测量物体的形状、表面特性等。

2. 准备工作在使用干涉仪之前，首先需要进行一些准备工作。

2.1 确定实验目的和要求在使用干涉仪之前，需要明确实验的目的和要求。

这有助于确定所需的测量参数、选择合适的干涉仪型号和配置。

2.2 清洁工作台和干涉仪干涉仪的精度和稳定性对实验结果有重要影响，因此在使用之前需要确保工作台和干涉仪的清洁。

清除灰尘、污渍等杂质可以减少对测量结果的干扰。

2.3 探查干涉仪的工作状态在使用干涉仪之前，需要检查干涉仪的工作状态。

确保光源、干涉仪的各部分（如分束器、反射镜等）都正常工作。

3. 干涉仪的操作步骤接下来，将介绍干涉仪的操作步骤。

3.1 调整光源和分束器1.打开干涉仪的电源，确保光源正常发光。

2.调整分束器，使光线被分割成两个相干的光束。

3.2 调整干涉仪的路径差1.移动一个反射镜，调整路径差，使两个光束在干涉区域合成干涉图样。

2.使用调节装置微调路径差，以获得最佳的干涉图案。

3.3 进行测量和记录1.使用干涉仪测量所需参数。

可以通过调整干涉仪的路径差或移动测量物体来实现。

2.记录测量结果，并进行必要的数据处理。

3.4 分析实验结果根据实验目的和要求，分析实验结果。

可以使用相关的数学模型和统计方法对测量数据进行分析。

4. 实验注意事项在使用干涉仪时，需要注意以下事项：•确保干涉仪的稳定性，避免外界振动和干扰。

•保持实验环境的恒温和恒湿。

•小心操作干涉仪，避免损坏仪器。

•在进行测量时，尽量减少人为误差。

5. 结束实验实验结束后，需要进行一些收尾工作。

•关闭干涉仪的电源和光源。

•清理实验现场，归还使用的器材。

•对实验结果进行总结和分析，准备相应的报告。

6. 总结通过以上步骤，我们可以完成干涉仪的使用流程。

从准备工作到实验操作再到实验结果的分析，每一步都需要细心和严谨。