半导体物理学[第二章半导体中的杂质和缺陷能级]课程复习
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第二章 半导体中的杂质和缺陷能级
(1)在纯净的半导体中掺入少量其他元素杂质,对半导体性能有很大影响。
根据杂质原子在晶体中存在的位置,可分为间隙式和替位式两种。
后者在半导体中应用较多。
由于杂质的存在,使该处的周期性势场受到扰乱,因而杂质的电子不可能处于正常的导带和价带中,而是在禁带中引入等高的分立能级,即杂质能级。
根据杂质能级在禁带中所处的位置不同,分为深能级杂质和浅能级杂质。
又根据杂质电离后施放电子还是空穴,分为施主和受主杂质两类。
(2)杂质原子电离后,向导带提供电子,而自身成为不可移动的带正电离子,使半导体成为n 型,这种杂质称为施主杂质;杂质原子电离后,接收价带中电子,使价带中增加空穴,成为p 型半导体,而自身成为不可移动的带负电的离子,这种杂质称为受主杂质。
如果施、受主能级分别离导带底和价带顶很近,电离能很小,在常温下杂质基本全部电离,使导带或价带增加电子或空穴,这些杂质称浅能级杂质,它的重要作用是改变半导体的导电类型和调节半导体的导电能力。
如Ⅳ族元素半导体中Ⅲ、Ⅴ族杂质和大多数Ⅲ-Ⅴ族半导体中的Ⅱ、Ⅵ族杂质,大都成为重要的浅能级杂质而得到使用。
(3)浅能级杂质的电离能可以通过类氢原子模型进行估算,经修正后施主杂质电离能可表示为
式中,E 0=13.6eV 为氢原子基态电离能;εr 为半导体的相对介电常数;m n *,m p *分别为电子和空穴的电导有效质量。
(4)半导体中同时掺入施主和受主杂质,它们具有相互补偿的作用,施主能
级上的电子会落入受主能级上,使两者均被电离,但不会给导带和价带提供电子
和空穴。
补偿的程度由施、受主杂质浓度来确定:(N
D —N
A
)>O,成为含有受主的
n型半导体;(N
D —N
A
)<O成为含有施主的p型半导体;N
D
≈N
A
为重补偿情况,与
本征半导体相似,但若两者的浓度均很高,会对半导体质量产生严重影响。
用杂质补偿的办法,往往是借以改变半导体导电类型作为制造各种半导体器件的基础。
(5)一般非Ⅲ、Ⅴ族元素在Ⅳ族元素半导体中,非Ⅱ、Ⅵ族元素在Ⅲ-Ⅴ族化合物半导体中,它们在禁带中引入的能级,施主离导带底较远,受主离价带顶较远,在常温下它们不能达到强电离,称它们为深能级杂质。
深能级杂质既可引入施主又可引入受主,同时还可能发生多重电离。
它的掺入不仅对浅能级杂质起补偿作用,而且往往成为非平衡载流子的复合中心。
Au在Si、Ge中的多重能级状况,就是一个深能级杂质作用的典型例子。
(6)半导体中的缺陷和位错,也在禁带中引入能级,既可以是施主又可以是受主,多为深能级。