《半导体物理学》---固体物理第一章
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《半导体物理及固体物理基础》课程教学大纲课程名称:半导体物理及固体物理基础课程代码:MICR3021英文名称:Fundamentals of Semiconductor Physics and Solid-State Physics课程性质:专业必修课学分/学时:3/63开课学期:5适用专业:微电子科学与程、电子科学与技术先修课程:量子力学、统计物理后续课程:半导体器件物理、大规模集成电路制造工艺开课单位:电子信息学院课程负责人:王明湘大纲执笔人:张冬利大纲审核人:王明湘一、课程性质和教学目标课程性质:《半导体物理与固体物理基础》课程是微电子科学与技术的一门专业必修课,也是本专业的必修主干课程,是半导体器件物理、大规模集成电路制造工艺等课程的前导课程。
课程旨在使学生掌握半导体物理中的涉及的各种物理机制和基本概念,为分析半导体器件的工作原理打好基础。
教学目标:本课程的教学目的是使学生掌握半导体材料常见特性的物理机制以及基本半导体器件的工作原理。
通过本课程的学习,要求学生能掌握半导体的导电机制、掺杂原理、载流子统计分布、非平衡载流子的概念等,能运用这些理论来分析p-n结、金半接触、 MIS、异质结等基本半导体器件结构的应用原理。
本课程的具体教学目标如下:1、理解固体分类、晶体结构、共价键等基本概念。
【1.3】2、掌握载流子、能带、费米能级等物理概念以及各种载流子输运机制。
【1.3】3、能够根据所学知识计算载流子浓度、费米能级位置以及载流子分布。
【2.1】4、能够利用所学知识解释简单半导体器件的工作原理。
【2.1】5、能够对半导体器件进行测量和参数提取,并对非理想因素进行分析解释。
【4.1】二、课程目标与毕业要求的对应关系三、课程教学内容及学时分配(重点内容:★;难点内容:∆)第一章固体物理预备知识课时:2周,共6课时教学内容第一节半导体的特性及分类(支撑课程目标1)一、什么是半导体★按照电阻率划分二、半导体的基本特性及分类掺杂敏感性,光敏,热敏三、常见的半导体材料元素半导体,化合物半导体第二节半导体科学发展史(支撑课程目标1)一、按年代的发展历程二、与其他学科的关系量子力学,统计物理,固体物理第三节晶体学常识(支撑课程目标1)一、基本晶体结构★SC,FCC,BCC等二、晶格★晶列,晶向,晶面,密勒指数,三、晶体结构类型★基元,点阵,原胞,单胞,简单晶格,复式晶格四、倒格子倒格矢思考题:1、试证体心立方点阵和面心立方点阵互为正倒点阵。
理论体系半导体物理学是固体物理学的一个分支固体物理学的理论基础:(1) 晶体学: 晶体周期结构的确定1669: 晶面角守恒律(Steno)1784: 有理指数定律和晶胞学说(Hauy)1848: 空间点阵学说(Bravais)1889-1891: 空间群理论(Federov和Schvenflies) 1912: 晶体X射线衍射实验(Laue)(2) 固体比热的理论: 初步的晶格动力学理论1907: 独立振子的量子理论(Einstein)1912: 连续介质中的弹性波的量子理论(Debye)1912: 周期结构中的弹性波(Born 和von Karman)(3) 金属导电的自由电子理论: Fermi 统计1897: 电子的发现(Thomson)1900: 金属电导和热传导的经典自由电子理论(Drude) 1924: 基于Fermi统计的自由电子理论(Pauli和Sommerfield) (4) 铁磁性研究:自旋量子理论1894: 测定铁磁--顺磁转变的临界温度(Curie)1907: 铁磁性相变的分子场理论(Weiss)1928: 基于局域电子自旋相互作用的铁磁性量子理论另外:电子衍射的动力学理论(Bethe)金属导电的能带理论(Bloch)基于能带理论的半导体物理(Wilson)标志: 1940年Seitz “固体的现代理论”凝聚态物理学凝聚态物理从微观角度出发,研究相互作用多粒子系统组成的凝聚态物质(固体和液体)的结构和动力学过程, 及其与宏观物理性质之间关系的一门科学.和固体物理相比, 凝聚态物理:(1) 研究对象日益扩大和复杂;(2) 基本概念和理论工具已大为丰富;(3) 作为固体物理学分支的金属物理, 半导体物理, 磁学, 低温物理, 电介质物理之间交叉日益密切;(4) 一些新的分支如无序系统物理学, 准晶物理学, 介观系统物理学, 团簇物理学被开拓和建立起来。
要讲授的内容:半导体的晶格结构和电子状态(第一章)杂质和缺陷能级(第二章)载流子的统计分布(第三章)载流子的散射及电导问题(第四章)非平衡载流子产生、复合及其运动规律(第五章)半导体的表面和界面-包括p-n结、金属和半导体的接触、半导体表面及MIS结构、异质结(第六~九章)第一章半导体中的电子状态§1.1 半导体的晶体结构和结合性质一、金刚石型结构和共价键硅和锗属于Ⅳ族元素(元素周期表)。