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C1A制绒工序操作流程1主题内容本文规定了C1A制绒工序的基本操作流程。
2适用范围本规定适用于C1A制绒工序。
3内容3.1 准备工作3.1.1 生产组长提前10分钟到岗与上班进行工作交接。
3.1.2 进入车间室时必须穿好工作服、工作鞋，戴工作帽、手套和防尘口罩，衣着标准严格按照6S执行，不得穿着工作服在车间外活动，进入车间必须走风淋门。
3.1.3进入车间后按照工序分工，清点员工是否到齐，安排进入各自的工作岗位，开始交接工作，听取上班组长说明生产运行情况。
3.1.4 检查车间卫生，物品是否摆放整齐；地面是否干净；车间内是否有杂物，垃圾是否全部清理出去。
如果有问题，马上要求上班给予解决。
3.1.5 观察自动补液罐液位情况，如液位低于警戒线，按工艺要求进行配液罐配液。
3.2操作规程3.2.1 上料3.2.1.1 用小推车从硅片检测间取硅片到制绒间。
注意流程单要和硅片相对应，防止搞混硅片。
3.2.1.2 从大花篮存放处取大花篮到制绒机上料台上，注意检查大花篮有无损坏。
3.2.1.3 取小花篮放到大花篮内，注意轻拿轻放，每次最多允许拿两个小花篮。
3.2.1.4 取小花篮“H”面起取第五片称重，记录于《制绒配液记录表》中。
3.2.1.5 填写《力诺电力生产流程单》和《制绒配液记录表》，要求各项都必须认真填写。
3.2.2 配液3.2.2.1 ND150溶液的配置：用专用器具吸取ND150于专用量杯内，然后倒入制绒1#槽内。
3.2.2.2 观察液位：打开制绒槽，观察液位是否符合工艺要求，若符合开始配液，若不符合及时调整。
3.2.2.3 NaOH的添加：先确认所加NaOH为工艺要求的NaOH，然后用NaOH专用量杯量取，最后加入制绒槽内。
NaOH出现结晶等异常情况时，立即停止使用并报告组长。
加液时要注意安全，防止灼伤。
3.2.2.4 添加剂的添加：先确认所加添加剂为工艺要求的添加剂，然后用量杯量取，最后加入制绒槽内。
清洗制绒工序初始配比：2#槽HNO3:HF=3:176(L)，设定温度3度；4#槽NaOH=52(L)，设定温度20度；6#槽HF: HCl =32:64(L)常见问题：A：新换制绒液1．新换制绒液，为保证片子不发白和保证绒面大小正常，前几张单子的减薄量控制在0.27～0.300克之间；添加酸前后的减薄量波动较大。
新换制绒液做出的片子减薄量偏小，但绒面正常；因此新换液减薄量要比老液小(＞0.275g即可接受，正常要求0.32-0.34g)。
2．开始时减薄量小，为了防止高温现象和温度波动过大，采取了降低传动带速；生产稳定后，逐渐调整到1.2M/S。
3．制绒槽新换制绒液，刚开始片子表面有污渍没洗干净，在碱槽中加20升NaOH后正常。
1．制绒槽硝酸流量计记数错误，导致硝酸加不进；设备维修。
2．制绒槽的HF的流量计不准，当加入80升时就液位超高，打开循环泵后继续加，当加到98升时自动排液，远未达到设定值176升，所以流量计的误差太大；更换新流量计。
添加液的量决定溶液配比浓度，故流量计应能准确计量。
3．PECVD二线有一个舟有问题，镀出膜边缘发红，舟已经换掉；4线由于清洗间新换制绒液(绒面偏大)，员工没有及时更改镀膜时间，用770秒镀膜使800多片片子发白，更改到750秒后正常。
PECVD镀膜时间与绒面相关：绒面大镀膜时间短，绒面小镀膜时间长。
另外：镀膜后片子边沿状况可以反映出舟的状态。
5．制冷机的乙二醇的液位传感器松动了，使制冷机无法正常工作；设备维修。
6．制绒槽风刀一端有点偏高，致使第4、第5道的片子边缘有残留液带出；片子镀完膜后有白边；调整风刀后正常。
7．制绒槽的风刀压力过大，液位过高；9．制绒槽温度在9点30分时温度突然升高，立刻停止生产，但制绒槽里没片子温度还是从3.7度升高到7.5度；KUTTLER的厂家派出工程师维修，修改控制程序。
10．单晶制绒槽体温度测试，液体上表面的温度为80度，液体底为79.5度，相差很小。
制绒作业指导书A1作业任务去除硅片表面的损伤层，在硅片的表面制作出均匀一致的金字塔形绒面,增加光的吸收。
2工艺控制标准初始参数3作业流程开机→配液→联动/单独→投片→转酸洗3.1开机3.1.1确认各空开都处于断开状态，没有物体阻碍机械臂正常运行，操作面板上“手动→单独→联动”选择开关处于手动位置。
确认高压空气、纯水、氮气等管道上的手动阀门均已打开；且压力正常，空压（0.5-0.6）MPa，N2（0.5-0.6）MPa，纯水（0.2-0.25）MPa。
3.1.2依次闭合控制底板上的空气开关QFO-14。
3.1.3将操作面板下方电源开关旋至“Ⅰ”位，系统处于手动状态开始自检。
3.2配液3.2.1在手动状态下，点击触摸屏，将相应的槽体盖子打开，点击注水，将所有工艺槽内注满水(注水停止为限)。
3.2.2准备好所需化学试剂，带上防护面具和长筒乳胶手套，将NaOH、Na2SiO3按量倒入相应槽内(由于Na2SiO3是块状，NaOH是细小颗粒状，配液时应先添加Na2SiO3，再加NaOH；另外在配液时，撒倒试剂时要缓慢、均匀，防止大量NaOH，Na2SiO3倒入，致使溶液飞溅，对人造成伤害)。
由于IPA在高温下具有很强的挥发性（沸点82.5℃），可在设备自动运行、载有硅片的片篮进QDR槽、制绒槽盖子打开时，加进制绒槽。
3.2.3 调节温控器将温度设定成工艺值，点击触摸屏上的加热按钮，给溶液加热。
3.3将设备运行状态启动成“联动”或“单独”状态。
3.3.1 当各温控器上的实际值达设定值时（室温升至80℃大约需要30分钟），点击“设备状态区”查看设备是否满足“单独”或“联动”运行条件。
3.3.2 当“设备状态区”条件满足时，点击“工艺选择区”，选择所需设定的工艺号；点击“工艺号”键。
利用弹出的键盘输入工艺号。
点击“工艺参数修改”键，进入请求密码屏，密码输入正确后进入更改工艺参数修改屏，点击各槽键设定相应槽的工艺参数，完毕后点击“确定”键然后再点击“返回”键，工艺设定完毕。
分发部门份数分发部门份数修改日期版本修改内容号文控中心(DCC)正本人力资源部 1 2012/11/07 A/0 首版发行总经理 1 总务部0常务副总 1 商务副总0管理者代表 1 商务部0技术副总 1 昆山办事处0技术研发部 1 财务副总0生产工艺部 1 财务部0品质控制部 1 董事长0生产副总 1生产部铸切0生产部电池片 1设备部0厂务部0安环部0行政副总0资材部0分发总数10编制 / 日期： /审核 / 日期： /受控印章受控印章为红色有效，请依据受控副本；批准 / 日期： / 未经授权，本文件不得拷贝及外传。
1.0目的在硅片表面用一定比例硝酸,氢氟酸及水的混合液处理以形成有一定规则的绒面。
2.0范围适用于多晶硅片(硅片型号：RG156*156)。
3.0职责3.1所有操作人员都必须严格按照本文件进行操作。
3.2在操作过程中遇到问题应及时向相关技术员或设备工程师反应，相关技术、设备工程师及时提供帮助。
4.0作业流程4.1注意4.1.1用腐蚀性的化学品工作时需要足够的防护，需使用能抵抗腐蚀性的遮板、衣服、鞋、手套和护目镜。
4.1.2确保自己如果发生事故,能找到适当的紧急冲洗设施。
决不单独进入机器内工作，正在作业的机器不允许打开、除去盖板，因为内部气体有特别危险的碱或酸化学品。
4.2生产准备4.2.1穿上工作服，戴上PVC乳胶手套；清洗操作人员需要戴上安全眼镜、防护面具、防酸碱围裙、长袖防酸手套。
4.2.2确保手套没有粘有油脂性物质，严禁直接接触硅片的正反面，只允许接触硅片的两侧，戴好手套后，在插片过程中禁止手套正面接触皮肤等污染物体，如接触过皮肤、头发或者是带有油脂的物品，请更换手套。
4.2.3确认配套各动力项目是否正常4.2.3.1压缩空气：压缩空气压力要求4～6bar 的气压。
当 Air Knifes 不使用时，压力必须大于4bar。
4.2.3.2化学品供应：查看供应化学品的手阀是否处于开启状态。
文件修订记录目录1.目的 (3)2. 范围 (3)3. 职责 (3)4. 内容 (3)5. 记录 (3)6. 附件 (4)1. 目的规范多晶硅电池片生产中制绒工序的各项操作。
2. 范围用于本公司156 多晶电池片生产中RENA 清洗机制绒工序的操作作业指导。
3. 职责3.1 所有操作人员都必须严格按照本文件进行操作。
3.2 在操作过程中遇到问题应及时向工艺和设备人员反应，工艺和设备人员及时提供帮助。
3.3电池技术部负责按文件要求对产线进行检查、监督。
4. 内容4.1 制绒工序注意事项规定，见5-8页。
4.2 RENA制绒上料操作作业指导书（多晶），见9-10页。
4.3 RENA制绒流程操作作业指导书(多晶)，见11-12页。
4.4 RENA制绒下料操作作业指导书（多晶），见13-14页。
4.5 减薄量测试作业指导书, 见15页。
4.6返工片操作作业指导书，见16-20页。
4.7产线异常控制作业指导书，见21页。
4.8 D8反射率使用作业指导书见22-23页。
5. 记录5.1 制绒减重反射率记录表（电子版）5.2 制绒换液记录表5.3 制绒工艺日常点检表5.4 电池生产流程单6. 附件6.1制绒常见异常处理方法（设备），见24-25页。
6.2多晶制绒工艺流程图，见26页。
6.3 化学品安全使用和应急处理，见27-28页。
制绒工序注意事项规定1．制绒工序区域环境要求1.1 洁净度：控制线8000 级，停产线10000 级1.2 温度：22±2℃1.3 湿度：<70%1.4 对参观通道保持3pa 正压1.5 排风：（500±50）Pa(RENA 机排风)2．着装及劳保用品使用要求2.1 人员着装要求：现场作业人员、支持人员须穿戴整齐（包括公司配备的洁净服、洁净帽、工作鞋、口罩）并保证着装整洁（如脏污须清洗或更换）。
2.2 手套使用要求：现场作业人员须戴乳胶手套作业，沾污、破损必须更换新手套；手动放片每两小时更换一次手套，出入车间后更换手套。
清洗机作业指导书文件编号:制绒清洗机作业指导书编制：审核：批准：文件批号：高平市融高太阳能开发有限公司清洗机作业指导书文件编号:作业指导书一、目的本程序为清洗工序的生产作业提供文件化的标准作业指导。
二、适用范围本程序规定适用于清洗工序所有操作人员（包括班组长等）的作业流程。
三、职责1、让使用本台机器的所有操作人员都熟悉操作，尽量减少操作失误。
2、清洗工序的相关操作人员要严格按照该程序操作。
工艺人员和班组长管理人员对该工序的生产操作行使管理和监督职能。
四、作业程序简介:该全自动17槽制绒清洗机控制系统采用PLC和人机界面相结合组成，利用触摸屏提供友好的人机操作界面，监控画面按清洗工艺流程设计，对清洗过程实现全自动监视与控制。
㈠、指示灯及操作面板控制器件的含义、功能1.1 三色指示灯黄色：原点指示灯。
绿色：运行指示灯。
红色：故障指示灯。
1.2 ‘自动/手动’开关：自动/手动切换。
‘停止’开关：按下时，机械手完成步骤后，整机停止运作。
‘蜂鸣器停止’开关：按下时，可停止当前正在鸣响的报警。
‘紧急停止’按钮：按下时，整机立即停止运作，不能启动，动力电源被切断，同时红灯闪烁报警。
㈡、触摸屏画面介绍1 、通用现象：1.1 画面中控件检测由其它色变为绿色（或从无显示变为绿色显示），表示该位检测有效。
清洗机作业指导书文件编号:1.2 上下马达条处闪动，表示该设备正在动作。
1.3 画面右上角（或底部）“主菜单”按钮，为画面间切换按钮。
2、主菜单画面说明：此画面共分三个子菜单，分别为〈手动控制菜单〉〈实时监控〉〈参数设置〉，触摸子菜单中的各个子按钮，可进入相应的操作界面。
3、系统启动画面说明：此画面为整机自动启动及相关重负载启动监控界面！当需要自动启动时，按如下步骤进行操作：1）将手/自动转换开关打到手动状态。
2）按住回原点按钮1秒钟以上，系统将自动回原点，等到按钮后显示“OK”字样时，表示回原点完成。
3）回原点完成后，将手/自动转换开关打到自动，再按自动启动，按钮后即出现“OK”字样，表示整机已处于自动状态。
女中长款羽绒服生产重要工序——冲绒作业指导书女中长款羽绒服生产重要工序——做装门襟作业指导书襟女中长款羽绒服生产重要工序——装拉链作业指导书女中长款羽绒服生产重要工序——装袋作业指导书女中长款羽绒服生产重要工序——各式开袋作业指导书女中长款羽绒服生产重要工序——装袖作业指导书女中长款羽绒服生产重要工序——装领作业指导书女中长款羽绒服生产重要工序——装袖口,拉装松紧带作业指导书女中长款羽绒服生产重要工序——装腰带作业指导书女中长款羽绒服生产重要工序——行绒作业指导书女中长款羽绒服生产重要工序——拷边、锁钉扣作业指导书领子2、把护领、拉链加于领子3、把领装于本身1、把外门襟装于右面门襟，缉线0.6cm。
1、缝纫机1、目测2、直尺量1、按照样板划好罗廓线。
1、与样板相符度±0.5cm1、剪刀1、目测2、沿划好的轮廓线进行裁剪。
2、直尺量3、将裁剪好的衣片按规格捆扎。
8、拼合领子10、裁剪9、装外门襟序——冲绒作业指导书——做装门襟作业指导书序——装拉链作业指导书序——装袋作业指导书——各式开袋作业指导书序——装袖作业指导书序——装领作业指导书装袖口,拉装松紧带作业指导书序——装腰带作业指导书序——行绒作业指导书—拷边、锁钉扣作业指导书2、缝制表面、里面线路顺直、平整、牢固、圆顺。
1、所有拼缝皆为1cm。
2、缝制表面、里面线路顺直、平整、牢固、圆顺。
1、裁剪高度不超过10cm.2、衣片各规格捆扎正确无误。
酸碱制绒工艺第一部分碱制绒作业规程一碱制绒作业步骤1、称重每次试制绒片需称重，计算硅片的减薄量，了解制绒液的反应情况。
2、预清洗先精确称量氢氧化钠和清洗剂进行配液，加热，温度稳定在60℃左右，开始定时5min超声预清洗，取出时尽量使硅片表面附着的清洗剂滴回预清洗槽内。
每清洗900片需换液。
3、漂洗漂洗时，片盒上下抖动。
根据实际情况，可以加超声，延长漂洗时间，多次漂洗，用热水漂洗，用有机溶剂如IPA漂洗等等。
确保漂洗干净。
4、制绒配液，制绒液控制在80~83℃范围内，搅拌均匀后定时25min制绒。
制绒过程中的影响因素：①碱液浓度、异丙醇浓度；②溶液温度、制绒时间长短；③槽体密封程度、IPA挥发程度；④制绒槽内硅酸钠的累积量。
5、漂洗制绒完后，取出硅片，放入漂洗槽中漂洗，也将片盒上下抖动，确保漂洗干净。
6、酸洗及后道工序7、制绒补液经验补液量来补液：一般每盒25片单晶（125×125）硅片，补氢氧化钠40克，补异丙醇300毫克。
三绒面分析第二部分酸制绒多晶操作工艺一概述太阳能电池片的生产流程：一次清洗→扩散→刻蚀→二次清洗→PECVD→丝网印刷→烧结→测试分选→检验入库二一次清洗（扩散前清洗）1、一次清洗的目的：a. 去除切割硅片时硅片表面产生的损伤层，清除硅片表面的油类分子及金属杂质。
b.对硅片表面进行织构化处理，降低硅片表面对光的反射率。
2、绒面的作用及其陷光机理：作用：减少光的反射率，提高短路电流（Isc），最终提高电池的光电转换效率。
解释机理：当光入射到一定角度的斜面或粗糙的表面，光会反射到另一角度的斜面，形成二次或者多次吸收，从而增加吸收率。
3、一次清洗工艺流程：酸制绒→漂洗→碱洗→漂洗→HF→漂洗、溢流→酸洗→漂洗、溢流→喷淋4、一次清洗中各反应原理：制绒槽：HF-HNO3溶液，去除表面油污、切割损伤层以及制备绒面；反应如下：3Si + 18HF + 4HNO3→3H2SiF6 + 8H2O + 4NO↑碱洗槽：NaOH溶液，主要中和残留在硅片表面的酸，同时发生下列化学反应：Si+2NaOH+H2O = Na2SiO3+2H2↑酸洗槽：HF去除硅片在清洗过程中形成的很薄的SiO2层，反应如下：SiO2+6HF = H2[SiF6]+2H2OHCL,HF同一些金属离子络合，使金属离子脱离硅片表面。
保密级别C文件种类作业指导书文件编号LW－PT3－012－A0编制部门工艺技术部编制/日期修订/日期审核/日期批准/日期RENA制绒工序作业指导书1 目的指导电池车间制绒工序人员的正常生产操作。
2 适用范围100MW电池车间制绒工序工作人员。
3 定义无4 职责权限4.1 生产员工：若无工艺工程师许可严禁擅自对任何工艺参数进行修改与调整。
4.2 操作员4.2.1 在工艺工程师授权的情况下才能对工艺参数进行调整。
在未经工艺工程师授权时不得更改、调节、删除任何设备的工艺参数。
4.2.2 协助班组长对自己所操作机器的工艺参数进行监控，当发现工艺参数发生变化时应及时通知班组长，由班组长通知工艺工程师。
4.3 班组长4.3.1 班组长应该严格要求本组员工按工艺要求进行生产，对其操作进行监督，杜绝违反工艺规定现象出现。
4.3.2 当工艺工程师不在现场，且制绒后硅片的腐蚀深度、表面状况出现异常的时对腐蚀温度、带速、风刀频率、溶液浓度、溶液配比在一定范围内进行微调。
当微调无效时，班组长应该通知工艺工程师进行调整。
4.3.3 当硅片出现异常，班组长应立即通知工艺人员。
班组长在未得到工艺工程师的授权时，不得对制绒的工艺参数以及清洗机的清洗工艺进行任何调整。
4.3.4 班组长应该配合工艺人员严格按照实验要求完成各项实验。
4.3.5 协助工艺人员对超净间的各种工艺进行监控，监督工艺质量，当发现工艺被修改时应及时通知工艺人员，由工艺人员进行确认处理。
4.4 工艺工程师：4.4.1 保持超净车间的工艺稳定，保证超净车间生产的连续，当工艺出现重大波动且影响到生产质量时，应该及时采取相应的解决措施。
4.4.1.1 工艺工程师应该指导生产人员进行生产，保证生产的顺利进行；4.4.1.2 当工艺工程师对工艺进行优化时，应事先与主管工程师讨论确认方案的可行性，然后请求生产部协助，按计划进行实验。
4.4.1.3 工艺人员的实验在没有成熟时不得进行大批量生产。
4.4.2 在进行各种实验时，为生产人员设定好各种工艺参数；4.4.3 巡视超净车间各工艺情况，当发现工艺参数发生变化时，调查其原因然后进行相应处理；4.4.4 保证超净间各个工艺在规定的工艺参数下进行，对设备的各工艺参数进行定期复查，完成SPC相关工作；4.4.5 配合其他车间工艺人员完成各项实验和质量控制。
5 工作流程无6 正文6.1 附属设施技术要求6.1.1 环境温度：0 ℃～40 ℃6.1.2 相对湿度：＜85%、无凝露6.1.3 周围环境：无腐蚀性气体6.2 RENA制绒结构特征Station1: 腐蚀槽 Station5：HF/HCL润洗Station2：冲洗1槽 Station6: 冲洗3槽Station3：KOH润洗 Station7: 气刀风干Station4：冲洗2槽RENA Inline Texture Etching包括上料→HNO3及HF腐蚀→冲洗1→KOH润洗→冲洗2→HF/HCl润洗→冲洗3→气刀风干→下料。
6.3 设备的操作6.3.1 操作准备确认设备能正常运行,压缩空气、DI水等压力及流量正常。
戴口罩，操作时戴洁净手套，并保持室内正压，严禁随便开启门窗,以保持室内的洁净度。
6.3.2 信号灯及其状态灯声音状态信息无无声音机器处于关闭模式或SERVICE(服务）状态绿（连续）无声音1、机器处于自动模式。
2、机器准备并在工艺运行中绿（闪烁）无声音1、机器处于自动模式。
2、机器准备执行工艺黄（连续）蜂鸣响指令错误，未解决黄（闪烁）无声音机器处于手动模式红（连续）无声音当前有机器错误或异常中断错误并已承认红（连续）蜂鸣响新的机器错误或异常中断错误，并未解决蓝（连续）无声音机器处于待命，并等待新的硅片6.3.3 设备的操作模式6.3.3.1 操作模式关闭：关闭所有输出信号。
例如设备停止时，选择这种操作模式。
状态显示的背景颜色是蓝色。
模块关闭，所有输出信号关闭。
6.3.3.2 手动模式：单独控制每一模块的状态。
状态显示的背景颜色是黄色。
模块处于手动模式。
6.3.3.3 服务模式：主要用于维护。
当选择该模式，关闭所有输出信号。
可以在屏幕的“输出”内手动关闭独立部件。
没有安全互锁。
状态显示的背景颜色是红色。
模块处于服务模式。
6.3.3.4 自动模式：当所有部分处于准备时并且不是工艺中即不忙时，选择该模式后，设备可以自动进行操作。
状态显示的背景颜色是绿色。
模块处于自动操作模式。
6.3.4 设备主界面6.3.5 信息栏显示当前时间、日期；显示设备模式（手动或自动模式），与PLC的通讯状况：正常（OK），登录名称：Service(服务)、Operator（操作者）等。
6.3.6 报警诊断栏显示当前出现的报警的相关信息：日期、时间：出现报警的时间；功能部件：出现报警的部件；功能：出现报警的部件的执行功能；错误信息：出现的报警信息，相关错误解释可查阅操作手册；状态：报警的状态。
未解决、已承认等。
6.3.7 按钮信息栏A 软件登录。
B 软件版本信息。
C用户管理。
D 关闭操作模式，所有输出信号将被关闭（断电关机时使用）。
E 将机器切换到手动模式，所有部件操作将切换到手动模式。
F 将机器切换到服务操作模式，非设备维护人员禁止点击。
G 将机器切换到自动操作模式。
H 切换主界面。
I 进入Service界面，将会显示各种输入、输出信号状态。
J 单独手动控制每个部件。
K 进入工艺方案子界面。
L进入曲线子界面。
M进入错误诊断子界面。
N消除报警声。
O消除错误P传送带状态Conveyor 1: 传送Input 上料部分。
Conveyor 2: 传送Input 上料部分， Etch bath, Rinse 1 bath, Alkaline bath。
Conveyor 3: 传送Input 上料部分， Rinse 2 bath, Acidic bath, Rinse 3 bath, Dry 2, Output 下料部分。
Offset adjustments: 偏差调节。
Conveyor Speed [m/min]: 传送速度调节。
Temperature Etch bath[℃]: 刻蚀槽温度调节。
Q计数器、前玻璃门Reset input:投入硅片数量复位。
Wafer charge input: 实际投入硅片数量。
Reset output:输出硅片数量复位。
Wafer charge output: 实际输出硅片数量。
Temperature etch bath:腐蚀槽温度。
R各个槽的状态及相关信息Manual:操作模式为手动模式Not Ready:该部件未准备好Ready:该槽已做好准备，等待工艺运行Filling DI:该槽正在添加纯水。
Full DI:该槽内已添满纯水Filling Chem:该槽正在添加化学药品。
Full Chemical:该槽已充满化学药品。
Empty:该槽没有化学药品或纯水。
In Process:表示该槽工艺正在运行中。
Draining:该槽正在排放化学药品或纯水。
Error:该槽出现错误。
Standby:待命。
等待硅片的投入。
Temp out:腐蚀槽出路温度。
Flow:该槽化学药品的流速。
Bath quality:腐蚀槽内规定腐蚀重量的当前剩余值。
Bath Lifetime:该槽使用寿命。
Airknife:风刀工作频率。
Enter a note: 输入一个提示信息。
Lockpane：琐闭拉窗。
Recipe in Use:当前使用的工艺。
Start:自动模式下，开始工艺运行。
Stop:自动模式下，停止工艺运行，所有传输、马达停止。
Test Lams:测试报警声音是否正常剩余值。
6.4 关于操作6.4.1 标准开机打开配电柜电源开关，打开镶在配电柜外面的控制机器照明灯的按钮。
按下操作面板上的On按钮，将显示器的开关打开。
所有紧急制动如无紧急情况，不得按下。
如按下紧急制动按钮，机器的所有动作将会停止。
6.4.2 登陆操作点击按钮，将弹出用户登陆对话框。
操作者输入用户名（User Name）：operator，密码(Passward)： operator，点击确定按钮。
Login name处将显示operator用户。
6.4.3 填充药液/纯水：点击按钮，将机器操作模式切换到手动模式。
逐一给每一个槽添加化学药品或纯水。
Etch Bath（腐蚀槽）：点击添加药液（Fill Chem）按钮，待该槽状态显示Full Chem并且Ready时，点击开始运转按钮（Start Mainfunction），该槽的状态显示工艺运行中（In Process）。
Alkaine (碱槽)：点击添加药液（Fill Chem）按钮，待该槽状态显示为Full Chem并且Ready时，点击开始循环（Start Circulation）按钮，待循环泵运转后，点击开始腐蚀（Start Etching）按钮，该槽的状态显示工艺运行中（In Process）。
Acidic（酸槽）：点击添加药液（Fill Chem）按钮，待该槽状态显示为Full Chem并且Ready时，点击开始循环（Start Circulation）按钮，待循环泵运转后，点击开始腐蚀（Start Etching）按钮，该槽的状态显示工艺运行中（In Process）。
Rinse (冲洗槽)：点击添加纯水（Fill DI）按钮, 待该槽状态显示为Full DI并且Ready 时,点击开始腐蚀（Start Etching）按钮，该槽的状态显示工艺运行中（InProcess）。
完成以上所有槽的准备工作后，将机器的操作模式切换到自动模式，点击开始按钮，机器开始自动运行。
注意：自动模式运行前，必须确定传输是停止的，并且风刀的状态是关闭的才能在自动模式下start，运行工艺。
6.4.4 乙二醇的更换步骤A、点击界面上Coolingunit单元排放draining按钮；B、待冷却器内液体全部排空后，从冷却器设备顶部加注20L乙二醇；C、乙二醇加注完成后，在主界面Coolingunit单元点击Glycolchange OK；D、点击Filling按钮加注City water；E、加液完成后，冷却柜还需排气。
步骤为：冷却柜上的操作面板set→select program→111→1(on) .排气后水位如降低则到主界面加注City water.完成后还需将排气步骤关闭，set→selectprogram→11→0（off）。
排气步骤反复两次。
6.4.5 自动分析仪电极的更换和校准操作6.4.5.1 在主界面下，单击“workplace”菜单，选择“offline”模式；6.4.5.2 在“Run”窗口下的“Method”命令中选择“calibration pH electrode”；6.4.5.3 拧下电极并用DI水冲洗后，再用无尘布擦干；6.4.5.4 检查电极内部氯化钾溶液的最低液位是否没过电极头部（若液位低于电极头部需添加氯化钾溶液）；6.4.5.5 将电极放入加好储存液的存储管里，储存；6.4.5.6 取出新电极，打开上部的橡皮塞加入氯化钾溶液（使液位达到管长的80%处，即橡胶头的下缘）；6.4.5.7 拧好电极并进行电极的校准操作。
