扫描电子显微镜 SEM
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扫描电镜(SEM)简介扫描电子显微镜(Scanning Electron Microscope,简称SEM)是一种利用电子束对样品表面进行扫描的显微镜。
相比传统的光学显微镜,SEM具有更高的分辨率和更大的深度视野,使得它成为材料科学、生命科学和物理科学等领域中常用的研究工具。
SEM通过利用电子多次反射,将样品表面的形貌细节放大数千倍,可以观察到微观结构,比如表面形态、粗糙度、纳米级颗粒等。
SEM通常需要真空环境下操作,因为电子束在大气压下很快会失去能量而无法达到高分辨率。
工作原理SEM的工作原理可以简单地分为以下几步:1.电子发射:SEM中,通过热发射或场发射的方式产生电子束。
这些电子被加速器加速,形成高速的电子流。
电子束的能量通常在10-30 keV之间。
2.样品照射:电子束通过一个聚焦系统照射到样品表面。
电子束与样品原子发生相互作用,从而产生各种现象,比如电子散射、透射和反射。
3.信号检测:样品与电子束发生相互作用后,产生的信号会被探测器捕获。
常见的SEM信号检测器包括二次电子检测器和反射电子检测器。
这些探测器可以测量电子信号的强度和性质。
4.信号处理和图像生成:SEM通过对探测到的信号进行处理和放大,生成图像。
这些图像可以显示出样品表面的微观结构和形貌。
应用领域SEM在许多科学领域中都有广泛的应用。
以下是一些常见的应用领域:材料科学SEM可以用于研究材料的结构和形态。
它可以观察微观缺陷、晶体结构、纳米颗粒等材料细节。
这对于材料工程师来说非常重要,可以帮助他们改进材料的性能和开发新的材料。
生命科学SEM可以用于观察生物样品的微观结构。
比如,它可以观察细胞的形态、细胞器的分布和细胞表面的纹理。
这对于生物学家来说非常重要,可以帮助他们了解生物体的结构和功能。
纳米科学SEM在纳米科学领域中也有广泛的应用。
通过SEM可以对纳米材料进行表面形貌和结构的观察。
它可以显示出纳米结构的细节,帮助科学家研究纳米颗粒的组装、层析和相互作用等现象。
化学中semSEM(扫描电子显微镜)是一种在化学研究中广泛应用的仪器,它通过使用电子束对样品进行扫描,然后根据样品表面反射的电子的能量、电子的发射能量以及电子的散射能量等信息来观察并分析样品的形貌、成分和结构等。
SEM的工作原理是利用高能电子束对样品表面进行扫描。
电子束与样品表面的原子和分子相互作用,产生次级电子、反射电子、散射电子、透射电子等不同种类的电子。
这些电子被收集并转换成电子束之外的其他形式,例如光信号、电流信号等。
通过控制电子束扫描的速度和方向,可以得到样品表面的形貌信息。
通过收集和分析不同种类的电子,可以获得样品的结构和成分信息。
这些信息是通过SEM形成的图像和光谱进行观察和分析的。
SEM具有许多优点,使它在化学研究中扮演重要的角色。
首先,SEM具有很高的分辨率。
由于电子具有更短的波长,因此SEM具有比光学显微镜更高的分辨率。
这使得SEM可以观察到更小的细节和结构。
其次,SEM具有较大的深度。
电子束穿透样品的能力使得SEM可以观察到样品的内部结构和深度信息。
此外,SEM还具有非常高的灵敏度和检测能力,可以检测到非常低浓度的元素和物质。
在化学研究中,SEM被广泛应用于材料科学、纳米科学、表面科学、环境科学等领域。
例如,在材料科学中,SEM可以用于研究材料的微观形貌、晶体结构、材料之间的相互作用等。
在纳米科学中,SEM可以用于观察和测量纳米材料的大小、形状、分布和聚集情况。
在环境科学中,SEM可以用于分析和检测环境污染物、微生物、化学物质等。
除了形貌观察和成分分析外,SEM还可以进行电子探针分析、样品制备和表面处理等操作。
例如,通过在SEM中加入X射线能谱仪(EDS)或电子能谱仪(EELS),可以对样品进行定性和定量分析,以确定样品的化学成分和元素分布。
此外,通过SEM可以进行样品的金属蒸发、碳膜覆盖、切割和离子注入等处理,以便更好地观察和分析样品。
综上所述,SEM是一种在化学研究中不可或缺的仪器。
扫描电子显微镜的简称为扫描电镜,英文缩写为SEM(Scanning Electron Microscope). SEM与电子探针的功能和结构基本相同,但SEM一般不带波谱仪。
它是用细聚焦的电子束轰击样品表面,通过电子与样品相互作用产生的二次电子,背散射电子等对样品表面或断口相貌将行观察和分析。
现在SEM都与能谱组合,可以进行成分分析。
所以,SEM也是显微结构分析的主要仪器,已经广泛用于材料,冶金,矿物,生物学等领域。
扫描电镜结构原理1.扫描电镜的工作原理及特点2.扫描电镜的工作原理与闭路电视系统相似2.扫描电镜的主要结构主要包括有电子光学系统,扫描系统,信号检测放大系统,图像显示和记录系统,电源和真空系统等透射电镜一般由电子光学系统(照明系统),成像放大系统,电源和真空系统三部分组成扫描电镜扫描电镜图像及衬度1.二次电子象2.背散射电子象二次电子象入射电子与样品相互作用后,使样品原子较外层电子电离产生的电子,称二次电子。
二次电子能量较低,习惯上把能量小于50ev电子成为二次电子,仅在样品表面5nm-10nm的深度内才能逸出表面,这是二次电子分辨率高的重要原因之一。
1.二次电子象二次电子象使表面形貌衬度,它是利对样品表面形貌变化敏感的物理信号作为调节信号得到的一种象衬度。
因为二次电子信号的主要来处样品表层5-10NM的深度范围,它的强度与原子序数没有明确的关系,便对微区表面相对于入射电子束的方向却十分敏感,二次电子象分辨率比较高,所以适用于显示形貌衬度。
凹凸不平的样品表面所产生的二次电子,用二次电子探针器很容易全部被收集,所以二次电子象无阴影效应,二次电子易受电场和磁场的影响背散射电子像背散射电子像使指入射电子与样品相互作用之后,再次逸出样品表面的高能电子,其能量接近与入射电子能量。
背射电子大的产额随样品的原子序数增大而增加,所以背散射电子信号大的的强度与样品的化学组成有关,即与组成样品的各元素平均原子序数有关。
仪器分析SEMTEMSEM(扫描电子显微镜)和TEM(透射电子显微镜)是两种常用的仪器分析方法,用于观察材料的微观结构和成分。
它们都利用电子束与样品的相互作用来获取信息。
下面将分别介绍SEM和TEM的工作原理和应用。
SEM利用高能电子束与样品表面的相互作用来观察样品的表面形貌和成分。
其工作原理如下:电子枪产生的聚焦电子束通过透镜系统形成一个细小的电子束,并聚焦引导到样品表面上。
与样品表面相互作用的电子束导致了反射、散射或吸收,其中部分电子通过接收器收集到形成信号。
这些信号被转换成图像,并在显微镜屏幕上显示出来。
SEM可以提供高分辨率、大深度以及大视场的表面形貌图像,并且可以通过能谱分析系统对样品的元素组成进行表征。
SEM广泛应用于材料科学、生物科学、纳米科学等领域。
在材料科学中,SEM可以用于观察材料的晶体形态、纹理、表面缺陷等。
在生物科学中,SEM可以用于观察细胞、组织和生物材料的形貌和结构。
在纳米科学中,SEM可以用于研究纳米材料的形貌、尺寸和形状。
此外,SEM还可以用于分析样品的成分和化学组成。
相比之下,TEM是一种通过透射电子束与样品相互作用来观察材料的内部结构和成分的方法。
其工作原理如下:电子枪产生的电子束经过透镜系统形成一个细小的电子束,并聚焦到样品上。
样品上的一部分电子透过样品,并通过设备上的透射电子探测器来检测。
这些透射电子被转换成图像,并在显微镜屏幕上显示出来。
TEM具有高分辨率的优点,可以提供关于样品内部结构和成分的详细信息。
TEM广泛应用于材料科学、生物科学、纳米科学等领域。
在材料科学中,TEM可以用于观察材料的晶格结构、晶界、层状结构等。
在生物科学中,TEM可以用于观察细胞、组织和病毒等的内部结构。
在纳米科学中,TEM可以用于观察纳米材料的结构、尺寸和形貌。
此外,TEM还可以用于分析样品的成分和化学组成。
综上所述,SEM和TEM是常用的仪器分析方法,用于观察材料的微观结构和成分。