生效日期：2006年 4 月25日
1、目的
为正确、规范的操作单晶炉，确保生产作业正常，特制订本规范。
2、适用范围
适用于单晶炉的操作。
3、主要内容
A.单晶的取出（适用于拉晶过程中单晶的取出）
a.作业准备
1)准备好手套、耐高温手套、纸巾。
2)准备好钳子、取单晶的架子。
3)用湿纸巾将炉体从上到下擦拭一遍。
注意事项及原由
4)所需物品必须准备齐全而且洁净，且就近摆放，以减少不必要的时间浪费。
5)取单晶前一定要将炉体内彻底擦拭一遍，有利于整体环境，防止交叉污染。
6)彻底清扫炉体时不要将所有控制接线及开关碰断或碰坏。
b.单晶的取出
1)单晶冷却完毕后，关闭Ar气同时提升单晶至副室，从副室观察窗确认单晶升至所
需高度。
2)待炉内压力到达极限后关闭主室球阀而后关闭真空泵电源之后进行测漏并进行相
应记录。
3)若无异常，充Ar气至常压，盖住翻板，打开液压泵，升起副室(副室为开门结构
的打开副室炉门)。
4)缓慢转动副室至侧面，同时把安全接盘移到炉筒口处。
5)把取单晶的架子放在副室炉筒正下方，准备接单晶。
6)稳定单晶，移开安全接盘，按下晶快降，将单晶降入架子内。
7)确认单晶完全入架子内后，按住籽晶，用钳子将籽晶从细径处夹断，将籽晶从重
锤上取下，放在指定场所，再将重锤升至副室内适当位置。
8)将单晶放入中转区，待冷却后将炉号写在单晶上。
注意事项及原由
9)漏气率<0.67Pa/min为正常，否则有关人员处理并报告班长或主任。
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10)升副室前必须确认炉内压力正常，翻板必须盖住，防止单晶坠落，缓慢转动副室，
防止单晶与副室内壁碰撞，必须安全接盘移至炉筒口处，防止单晶附落。
11)夹断籽晶后，应稳定重锤，防止重锤快速转动，损坏钢丝绳(重锤温度高，不可用
手直接接触)。
12)取籽时应慎重作业，防止损坏籽晶。
13)单晶取出后，必须及时、准确的记录炉号。
B.石墨件的取出（适用于每炉石墨件及埚底料的取出及大清时整个热场的取出）
a.取出导流筒及大盖
1)准备好不锈钢小车。
2)戴好手套、及耐高温手套。
3)按顺序取出导流筒及大盖。
4)取出的石墨件要放在不锈钢台车上。
b.取出埚底料
1)准备好耐高温手套、钳子、不锈钢筒。
2)用钳子夹住石英埚的上端部分提起，使其松动。
3)戴好耐高温手套将石英埚取出，若石英埚体能将埚底料全部带出直接放入不锈钢
筒；若不能则将石英埚、埚底料放到车间指定的区域，剩下的埚底料随三瓣埚一
并取出。若出现闷炉等意外情况则是能随石英埚体一并取出的一并取出，否则，
用耐高温手套、钳子像装料一样取出，直至彻底取出。
注意事项及原由
4)所需物品必须准备齐全，且就近摆放，以减少不必要的时间浪费。
5)取导流筒及大盖时要从炉内向上平移轻拿放小心烫伤人身及衣服，切忌石墨件的
碰撞造成损坏及对成型毡的磕碰，造成成型毡与热电堆孔发生偏移影响欧陆，影
响温度，影响成晶。
6)不锈钢小车上平铺一层石墨板，而且要处于洁净状态，一是为了防止重金属原子
在高温时向石墨件的扩散，进而在拉晶时向单晶内的扩散，影响了单晶的寿命，
二是不洁净的石墨条对石墨件的再次污染。
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7)用工具操作时注意别磕碰坏石墨件，炉内温度高小心烫伤人身入衣服，切忌将埚
底料不慎从热场的缝隙掉下，这一工序尽量把埚内的料全部取出。
c.三瓣埚、埚底、埚杆的取出
1)带好手套、耐高温手套准备好埚杆板手。
2)依次取出三瓣埚、埚底、埚杆，埚杆从中央孔的位置用埚杆板手取出不锈钢螺栓。
3)取出的石墨件一并放在不锈钢小车上移至适当的位置，自然冷却。
注意事项及原由
4)注意别磕碰坏石墨件，炉内温度高小心烫伤人身及衣服。
5)耐高温手套切忌不要碰到加热器，这样会将耐高温手套的碎屑粘到加热器上。
6)取三瓣埚、埚底时残留的埚底料不要掉入炉底及炉底波纹管内，若出现这样的情
况，一定要设法将其取出，否则会造成下炉液面晃动影响成晶，残留的埚底料一
并取出将其全部倒入不锈钢筒内。
7)取埚杆时不要使埚杆碰到加热器、保温筒等其它石墨件以免造成损坏，取出后要
将埚杆板手从埚杆内取出放到指定的位置保证埚杆板手再次使用仍然处于常温以
防烫伤。
8)不锈钢小车在移动时不要碰到车间其它的物品，以防烫坏或损坏而污染石墨件。
9)操作时要轻拿轻放以免造成石墨件的损坏。
10)出现异常立刻处理，并报告组长或主任，并进行相应记录。
d.埚底料的分类
1)埚底料或事故引起的闷炉料都要将其存在不锈钢筒内移到指定的区域自然冷却。
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2)不锈钢筒内的埚底料或事故引起的闷炉料待其冷却后都要将其放入指定料筐指定
区域，并表明原料P、N型及对应的炉号及成晶情况以便为原料的进一步处理提
供方便。
注意事项及原由
3)埚底料应及时存放到指定的区域，避免多个拆炉对埚底料分类记忆不清。
4)一定要把表征埚底料或事故引起的闷炉料所对应的参数表征清楚，目的是再利用
时减少因分离不清而造成单晶参数的不合格。
C.大罐的清理（适用于单晶炉的清扫作业）
a.作业准备
1)准备好毛刷、吸管、专用工具.
2)带好手套、防尘口罩.
注意事项及原由
3)所需物品必须准备齐全而且洁净，且就近摆放，以减少不必要的时间浪费。
b.清理大罐
1)用专用工具打开大罐盖，取出过滤网。
2)用毛刷和吸尘器仔细清扫过滤网及大罐内的挥发物。
3)将清扫后的过滤网缓慢放进大罐。
4)用刷子和吸尘器清扫大罐盖。
5)盖好大罐盖并用专用工具上好大罐盖。
注意事项及原由
6)打开在罐前确认真空泵球阀在关闭状态，否则在清理过程中会向炉内返气，造成
炉内污染。
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7)工作时要慎重作业，防止造成意外伤害。
8)盖大罐盖前要将大罐盖密封圈擦净。
9)安装大罐盖时检查封圈是否完全就位，防止出现脱落或出槽影响抽空。
10)大罐内挥发物较多，在清扫时应尽量避免与周围作业造成交叉污染。
D.单晶炉的清洗（适用于单晶炉的清扫作业）
a.作业准备
1)带口罩、手套。
2)准备好防尘口罩、纸巾、酒精、清扫用的氩气(氮气) 、研磨布、吸尘气管等清扫
所需物品。
注意事项及原由
3)工作服必须洁净，工作服及物品如果不洁净会给清扫作业及后续的工作带来污染。
4)所用物品必须洁净、就近摆放整齐。物品的齐全及就近摆放能减少不必要的时间
浪费。
b.管道的清扫
1)用扳手打开抽气管道上的封盖螺丝，取下封盖和密封圈。
2)用毛刷和吸尘器清扫抽气管道内的挥发物，吸尘器管必须伸入管道底部以便将管
道内的挥发物彻底吸净。
c.小付室的清扫
1)打开炉盖。
2)用沾有酒精的纸巾擦拭小付室的附着物。
3)用沾有酒精的纸巾认真擦拭付室抽气口、其它小孔及翻板四周及转轴(带旋转阀的
小付室要认真擦拭到后腔的每个角落)。
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4)翻板的沟槽部位及焊缝处先用纸巾卷成利于操作的形状认真擦拭。
5)擦拭过的部位要氩气或氮气认真吹净直至确认无污物。
6)以上做过的部位反复操作，直至确认无污物。
7)清扫过的小付室将翻板或旋转阀盖住阀口，并关闭室小门。
8)用洁净的纸巾将小付室上口盖住。
注意事项及原由
9)先清理小付室，如果先清理炉盖后清理小付室，在清扫翻板时都会给清理过的炉
盖造成污染。
10)挥发物附着较多时，先用毛刷及吸尘器处理。
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11)清扫付室抽气孔时要把纸巾卷成卷以便伸进抽气孔内部更容易清理，当出现返气
情况时要将付室气管拆下用酒精或丙酮清理并吹净。
12)用氩气或氮气吹扫时应注意向外或向下吹，这样会将附着物及纸巾碎屑完全吹出
小付室。
13)反复操作有利于彻底清除污物。
14)盖住阀口，防止在清理炉盖时将污物带入小付室。
15)注意阀板上的钢丝水管是否拧劲，接头是否松动漏水，造成不成晶。
16)注意检查阀口密封圈是不是损坏或出槽。
17)用纸巾盖住小付上口防止空气中的污物进入小付室。
18)出现异常立刻处理，并报告组长或主任。
d.炉盖清扫
1)先用纸巾擦拭内壁(氧化物过多先用毛刷和吸尘器清理)。
2)小孔部位、观察窗部位、伊尔根部位、阀口部位等各处的接口及焊接口等不易清
扫的部位要用沾有酒精的纸巾认真擦拭，直至确认无污染。
3)用氩气或氮气将擦拭过的部位认真吹净，直至确认无污物。
4)以上做过的部位反复操作，直至确认无污物。
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注意事项及原由
5)附着物较多时(停电、真空泵故障等造成返气)先用毛刷和吸尘器清理。
6)硅粉强力附着时或炉盖局部发黑、发白时要用研磨布认真研磨直至炉盖整个内壁
出现光亮无污物。
7)观察窗、伊尔根窗口要认真清理，所有小孔的位置要把纸巾卷成卷以便伸进气孔
内部更容易清理直至没有污物。
8)反复操作有利于彻底清除污物。
E.石墨件及炉内的清扫（适用于单晶炉的清扫作业）
a.石墨件的清扫
1)石墨件必须在指定的清扫室进行清扫。
2)准备好清扫用品(毛刷、纸巾、氩气或氮气、吸尘器管、研磨布、除硅点的专有工
具、放石墨件的洁净小车等)戴好手套、防尘口罩。
3)依次用毛刷、吸尘器、纸巾清扫石墨件直至确认无污物。
4)沟槽及接口等吸附挥发物较多的部位要用研磨布认真打磨，而后进行b、c的操作。
5)依次按三瓣埚、埚底、埚杆、导流筒大盖(必须分开清理)的先后顺序进行认真的清
扫并吹净直至无污物。
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6)清理完毕的石墨件放到事先准备好的洁净小车上。
注意事项及原由
7)清扫台内及周围环境必须洁净。
8)所需物品必须准备齐全而且洁净，且就近摆放，以减少不必要的时间浪费。
9)操作时要轻拿轻放以免造成石墨件的损坏。
10)必须保证氩气或氮气的压力。
11)清扫时注意检查各石墨件是否有损坏及粘硅。
12)清扫垃圾放入垃圾内定期处。
13)清扫完毕后的石墨件禁止叠加，挪动不锈钢小车要稳当。
14)出现异常立刻处理，并报告组或主任。
b.炉内的清扫及检查
1)准备好毛刷和吸尘器及专用工具。
2)用专用工具仔细疏通废气孔。
3)用吸管吸净炉筒和保温材料及加热器上沿拆时掉落的残渣。
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4)用毛刷和吸管仔细用力清扫保温筒，加热器所能触及到的部位。
5)检查电极螺丝是否松动、胶落或粘硅。
6)如果在拆炉时不小心引起热场移动或转动一定要检查热场是否对称，侧温孔是否
校正。(如图所示，距离是否一致)。
7)用吸尘器吸净炉底、炉底波纹管、废气孔内的附尘及残渣。
8)再用吸管吸净炉筒和保温材料及加热器上沿的残渣。
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9)用带有酒精的纸巾清理炉壁上部。
注意事项及原由
10)所需物品还必须准备齐全而洁净，且就近摆放，以减少不必要的时间浪费。
11)加热器清理不净加热时挥发物会迅速挥发扩散，从而严重污染原料的质量。
12)电极螺丝如果松动、胶落或粘硅，在化料时很可能引起打火,造成事故。
13)炉底必须清理洁净，不然会造成化料时污染物挥发影响料的质量，再就是不挥发
的杂质渗透到炉底影响保温，或者在操作时不慎会掉进波纹管内造成液面抖，不
成晶，严重时造成事故。
14)在清理废气孔时必须作到两侧彻底清理，若两侧的废气孔抽气速率不同会造成气
流向某一侧偏移，而导致单晶晃，若两侧都是疏通不畅会影响抽气速率，至使挥
发物大量地向付室挥发。
15)热场不对称一是会造成单晶晃，二是单晶晃会碰到导流筒。
16)在清扫炉内过程中，可能有残渣再次掉落。
17)如果侧温孔有偏离会影响测光信号，导致欧陆数值过小，无法对炉内温度进行自
动控制无法成晶。
F.整个热场的清理和安装（适用于单晶炉整个热场的清扫作业）
a.准备工具
1)准备好不锈钢小车及专用工具。
2)戴好手套、及耐高温手套。
注意事项及原由
3)所需物品必须准备齐全，且就近摆放，以减少不必要的时间浪费。
b.取出石墨件<< 见B石墨件的取出>>。
c.升起炉筒
1)取下热电锥，将其及对应的密封及玻璃放到适当的位置以放损坏丢失。
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2)打开油泵开关。
3)按住炉筒升按纽，升起炉筒至限位。
4)旋转炉筒，并降至适当位置。
注意事项及原由
5)炉筒升起过程中注意与炉盖的间隙，切忌与炉盖发生接触，否则会油缸损坏或炉
盖、炉筒、对应支架、液压缸导柱发生变形损坏。
6)炉筒上升一定要到上限，否则在旋转炉筒时造成炉筒机械限位损坏。
7)旋转后的炉筒一定要降到适当的位置，否则炉筒的突然下滑造成人员的伤害，再
就是不下降长期会导致油缸导柱弯曲变形。
d.取出热场
1)依次取出保温材料放在不锈钢小车上，移至适当位置自然冷却。
2)用工具取下电极螺丝后，取下加热器移至指定区域自然冷却。
3)取出成型炉底。
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注意事项及原由
4)所需物品必须准备齐全，且就近摆放，以减少不必要的时间浪费。
5)取出保温材料时要轻拿轻放小心烫伤人身及衣服，切忌成型毡、加热器的碰撞造
成损坏。
6)所需物品必须准备齐全，且就近摆放，以减少不必要的时间浪费。
7)取出保温材料时要轻拿轻放小心烫伤人身及衣服，切忌成型毡、加热器的碰撞造
成损坏。
8)出现异常立刻处理，并报告组长或主任。
e.热场的清理及安装
1)准备好毛刷、吸管、纸巾、研磨布、石墨纸等所需物品。
2)用吸管、毛刷清扫不锈钢炉底、电极柱，直致无污物。
3)用毛刷、吸管认真清扫成型毡炉底各部位。
4)清扫后的成型毡炉底装好。
5)用毛刷、吸尘器、氮气或氩气依次清扫保温筒、成型毡等保温材料，清扫的保温
材料依次装好。
6)用毛刷、吸尘器清扫加热器后，用研磨布、吸尘器认真打磨加热器上的挥发物。
7)再次用毛刷、吸尘器吸净加热器, 而后用氮气或氩气认真吹净加热器，直至确认
无污物。
8)清扫后的加热器装好。
9)用沾有酒精的纸巾清扫主室炉筒及测取光孔，直至确认无污物。
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注意事项及原由
10)清扫不锈钢炉底时一定注意将管道抽气孔彻底清理，否则可能会造成管道堵塞，
影响抽速。
11)清扫电极时检查接触面是否平整。
12)清扫成型毡炉底时要彻底清扫废气，安装炉底及成型毡时要慎重作业，防止磕碰
成型毡造成损坏。
13)清扫及安装加热器时要慎重作业，防止损坏加热器。
14)电极柱、加热器各接触面要保证平整，安装时要在接触面上垫一层石墨纸，防止
热场打火。
f.炉筒复位
1)打开液压泵，升起炉筒至上限，用沾有酒精的纸巾擦拭下炉筒上部的结合部和炉
筒下部的结合部，同时转动炉筒到适当位置。
2)按炉筒降，降炉筒至下限。
3)炉筒降到位后，校对测温孔，转入日常清理工序。
注意事项及原由
4)转动炉筒时要确认炉筒与炉盖的间隙，防止损坏炉筒及炉盖的支架和油缸导柱。
5)确认炉筒是否降至下限，否则会造成抽空漏气。
6)要认真校对测温孔，防止测光信号过小无法温度自控。
G.石墨件的安装和装料准备（适用于装炉作业）
a.安装石墨件
1)用专用工具装好埚杆。
2)依次装好埚底、埚邦。
注意事项及原由
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3)装埚杆、埚底、埚邦时要认真、细心，防止碰坏保温材料或加热器。
4)一定要拧紧埚杆螺丝，防止因松动造成液面晃动。
5)确认埚底、埚杆、埚邦是否吻合，若有异常及时处理并报告班长或主任。
b.装料准备
1)炉筒、炉盖的外侧及周遍，用沾有酒精的纸巾擦拭平干净，炉体周围地面认真打
扫。
2)从指定的场所将指定的材料及石英埚取来。
3)将取来的材料放在装料台上。
4)带好防尘口罩、装料用的手套。
5)远离操作区，用氮气将操作者身体吹净浮尘。
注意事项及原由
6)彻底打扫炉体及周围卫生，防止装料过程中造成污染。
7)取来的材料及石英埚应与上次的数据对照，防止影响单晶型号及各种参数。
8)远离操作区，吹扫操作者，防止环境交叉污染。
c.石英埚的检查安装
1)打开石英埚包装，对光确认有无裂纹、污物、气泡。
2)若无异常，用氮气或氩气对石英埚做认真仔细的整体吹扫，吹净浮尘。
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3)在炉内的石墨埚上装好石英埚。
4)在操作记录上记好所用石英埚编号，同时保管好石英埚标签号，放入指定地方。
注意事项及原由
5)一定要仔细检查石英埚是否有异常，石英埚若有异常可能会导致成晶困难或漏硅。
6)石英埚内残留浮尘会严重影响成晶，不要使氮气或氩气管碰到石英埚。
7)注意要将石英埚平衡安装，否则会导致石英埚变形造成液面抖动。
H.装炉（适用于装炉作业）
a.装料
1)取来装料车和料，仔细核对装料单的各项内容是否与单晶炉号、配料一致，若有
异常及时处理并报告班长或主任。
2)更换装料用的手套。
3)将合金放入石英埚。
4)将粉材、小材平铺与埚底。
5)将大块料放置中央，用中型料隐于大料四周2/3左右予以固定。
6)将小料放入中间附近用大块料圈其周围。
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注意事项及原由
7)更换手套，防止污染原料。
8)先将合金放入石英埚，防止遗落。
9)装料时要就近摆放，防止碰撞石英埚造成事故。
10)装料用手套不要接触周遍物品，装料用手套注意更换，防止手套破损，掉入埚内
污染材料。
11)装料时注意不要使料探出石英埚或四周材料，否则会在化料过程中硅液流下，损
坏石墨件，甚至焖炉。
12)装料时要慎重作业，不要使料掉在保温材料的缝隙，以免造成打火。
13)装料时一定要使料合理搭配，防止化料埚位过低，造成漏硅。
14)装料时在保证装料质量的情况下，应提高装料速度，降低装料过程村料被污染的
机率。
b.安装导游筒及大盖
1)装料完成后为2/RPM左右旋转，确认无摩擦快速将埚降至下限。
2)埚下降的缝隙，周边(埚上部、加热器上部、保温材料上部、炉盖接合部)用干净吸
尘器吸净浮尘及硅渣。
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3)埚降到位后停止旋转。装好保温大罩、导流筒。
注意事项及原由
4)给埚转降埚便于查看加热器与保温材料间有夹料，以便处理。
5)吸净浮尘、硅渣可防止在后续工作中掉入埚中影响成晶，此时必须确认吸管在干
净状态，防止污染材料。
6)保温大罩、导流筒安装前要远离装料区用氮气或氩气吹净表面。
7)安装保温大罩、导流时要相互吻合，安装导流筒时要慎重作业，如果与材料发生
接触时要调整料的摆放，防止在化料过程中发生沾硅。
I.合炉及籽晶的安装（适用于合炉及籽晶的安装作业）
a.合好炉盖
1)用沾有酒精的纸巾擦拭炉盖接合部的密封圈，炉筒的接合部，确认导流筒的间隙
同时将炉盖旋转至炉筒上部。
2)打开液压泵电源，按炉盖降按钮降下炉盖。
注意事项及原由
生效日期：2006年 4 月25日
3)70 炉在降下炉盖时一定要注意炉盖限位是否正常，防止与炉盖与保温大盖接触，
损坏石墨件。
4)炉盖降到位后确认炉盖是否合好，防止漏气。
b.副室的清扫安装
1)准备好清扫棒、纸巾、酒精、氮气或氩气。
2)在清扫棒上缠上沾有酒精的纸巾，清扫副室内部至上部。
3)用清扫棒吹扫副室内部至上部，直至确认无污物。
4)快速降下籽晶夹头，用氮气或氩气吹扫钢丝绳。
5)用沾有酒精的纸巾认真擦拭重锤及钼夹头，最后用氮气或氩气认真吹净。
6)按晶快升升起重锤至适当位置，用沾有酒精的纸巾擦拭副室下部的接合部和炉盖
上部的接合部，转动副室，降下与炉盖合炉。
注意事项及原由
7)所需物品必须准备齐全而且洁净，且就近摆放，以减少不必要的时间浪费。
8)副室上部也要清扫，中央部位用氮气或氩气认真吹扫。
9)擦拭过的重锤及钼夹头一定要用氮气或氩气吹净，防止有残留纸巾碎屑。
10)需要时要将重锤摘下用研磨布认真打磨，并清扫干净。摘下重锤时要慎重作业，
防止钢丝绳上弹造成钢丝绳出槽。
11)清扫钢丝绳时要检查其接头部位是否老化或损坏，若有应截去一截钢丝绳，防止
在拉晶过程中单晶掉下。
12)升重锤时，不要使重锤晃动，防止重锤挂住副室下沿，拉断钢丝绳。
13)要缓慢转动副室，防止重锤与副室内壁碰撞。
c.安装籽晶
1)从指定的场所将腐蚀好的籽晶取来。
生效日期：2006年 4 月25日
2)用沾有酒精的纸巾认真擦拭籽晶，而后用氮气或氩气吹净。
3)把籽晶装在夹头上，装好钼销。
4)用力向下拽一下籽晶使其牢固，稳定好籽晶后按晶快升使其上升至适当位置。
5)用沾有酒精的纸巾擦拭副室小门的密封圈和接合部，关闭小门。
6)打开翻板开始抽空。
注意事项及原由
7)注意不要直接用手接触籽晶，防止汗渍污染籽晶。
8)籽晶上升到适当位置后，确认籽晶不再上升后方可关闭小门。
9)打开翻板前要确认籽晶上升的高度，防止碰到籽晶，同时不要用力过猛否则可能
会损坏或挤出阀口密封圈。
10)对于没有副室小门的单晶炉则在安装副室前安装籽晶。
11)抽空前检查钢丝绳是否与卷轮吻合，以防钢丝绳出槽，造成单晶下坠甚至单晶脱
落。
J.抽空、加热（适用于单晶炉抽空加热作业）
a.抽空
1)打开真空泵电源。
2)缓慢打开球阀。
3)抽空后炉内力达<20Pa 时进行反复充氩气使炉内压力<5Pa。
4)待炉内压力<5Pa后，关闭主室球阀而后关闭真空泵电源之后进行测漏，要求炉子
漏气速率<0.67Pa/min，检漏时间3分钟。检漏合格进入加热化料工序。
5)若炉子漏气速率>0.67Pa/min，则需重复1、2、3、4步进行抽空检漏，若仍不合格
报告组长或主任。并进行相应记录。
晶体结构解析基本步骤 Steps to Crystallographic Solution (基于SHELXL97结构解析程序的SHELXTL软件，尚需WINGX和DIAMOND程序配合) 注意：每一个晶体数据必须在数据所在的目录(E:\STRUCT)下建立一子目录(如E:\STRUCT\AAA)，并将最初的数据备份一份于AAA目录下的子目录ORIG，形成如右图所示的树形结构。 一. 准备 1. 对IP收录的数据, 检查是否有inf、dat和f2(设为sss.f2, 并更名为sss.hkl)文件; 对CCD 收录的数据, 检查是否有同名的p4p和hkl(设为sss.hkl)文件 2. 对IP收录的数据, 用EDIT或记事本打开dat或inf文件, 并于记录本上记录下相关数据(下面所说的记录均指记录于记录本上)： ⊕从% crystal data项中，记下晶胞参数及标准偏差(cell)；晶体大小(crystal size)；颜色(crystal color)；形状(crystal habit)；测量温度(experiment temperature)； ⊕从total reflections项中，记下总点数；从R merge项中，记下Rint＝?.???? % (IP收录者常将衍射数据转化为独立衍射点后传给我们); ⊕从unique reflections项中，记下独立点数 对CCD收录的数据, 用EDIT或记事本打开P4P文件, 并于记录下相关数据： ⊕从CELL和CELLSD项中，记下晶胞参数及标准偏差; ⊕从CCOLOR项中，记下晶体颜色; 总点数；从CSIZE项中，记下晶体大小; ⊕从BRA V AIS和SYMM项中，记下BRA V AIS点阵型式和LAUE群 3. 双击桌面的SHELXTL图标(打开程序), 呈 4. New, 先在“查找范围”选择数据所在的文件夹(如E:\STRUCT\AAA), 并选择衍射点数据文件(如sss.hkl),?单击Project Open,?最后在“project name”中给一个易于记忆和区分的任务名称(如050925-znbpy). 下次要处理同一结构时, 则只需Project 在任务项中选择050925-znbpy便可 5. 单击XPREP , 屏幕将显示DOS式的选择菜单: ⊕对IP收录的数据, 输入晶胞参数后回车(下记为
单晶炉安全操作规范集团公司文件内部编码：（TTT-UUTT-MMYB-URTTY-ITTLTY-
单晶炉安全操作规范1、开机安全检查 单晶炉开机、装料前，应对电气、机械、液压等部分进行检查，使单晶炉电极处于无电压输出，各机械传动安全可靠； 1）检查主加热器处于关闭状态（是否切断主回路的空开？）； 2）欧陆表输出设定为0； 3）上炉膛、炉盖、付室的机械联接部位螺丝无松动现象； 4）检查上、炉膛、炉盖付室的液压升降应正常； 2、装炉时安全事项 在开机检查正常情况下，可以装炉，同时在控制柜现眼位置悬挂禁止合闸警示牌； 3、抽真空安全事项
1）开真空泵前，应检查真空泵房，确保对应本设备的真空泵及管道处于无其他人员操作状态； 2）按真空泵操作规程正确操作； 3）抽真空过程中，应检查各环节的密封圈处于正常，应无脱落、装反等现象； 4）在单晶炉真空状态过程中，严禁用手或其他物品碰触或堵漏气处，以免造成人身或设备损害，如发现漏气，应按停炉恢复常压规程操作；4、装炉、装料、拆炉、清炉、清理真空泵及真空管道过程的安全事项 1）按工艺操作规程进行正确操作； 2）必须在主加热器处于关闭状态、欧陆表输出设定为0的状态下操作； 3）在控制柜现眼位置悬挂禁止合闸警示牌； 4）禁止操作人员身体处于液压可升降部件如炉盖、炉膛下方，以免液压控制失灵造成人身伤害，如确需在上述部件下操作，必须设置足够强度和能保证足够安全空间的支撑部件来支撑因故障时升降部件的下坠而不致于伤及人身；
5）清理真空泵及真空管道时，必须在真空泵停止运行的状态下进行，在对应控制柜显眼位置处悬挂维修警示牌或禁止合闸警示牌，以防其他人员误开启真空泵，造成人身伤害； 6）炉体内清洁时，必须打开炉盖、上升上炉膛并偏移至合适位置，使操作人员操作空间处于敞开状态，避免操作人员处于缺氧环境状态下工作； 5、加热器加热过程安全事项 在上述检查准备工作就绪，且符合工艺操作规程的前提下，才能开启加热器。 1）开启加热器前，必须检查冷却水路开启、水压正常，否则严禁开启加热器； 2）开启加热器，必须缓慢增加输出电压或加热功率；严禁超功率或过电流运行； 3）在加热器工作过程中，如发现电极打火、过电流等现象或报警，应按直拉应急方案处置，
1、目的 为正确、规范地操作单晶炉,确保生产作业正常,特制订本规范。 2、适用范围 适用于 TDR-70A/B和 JRDL-800型单晶炉的操作。 3、单晶炉操作工艺流程 作业准备→ 热态检漏→ 取单晶和籽晶→ 石墨件取出冷却→ 真空过滤器清洗→ 真空泵油检查更换→ 石墨件清洗→ 单晶炉室清洗→ 石墨件安装→ 石英坩埚安装→ 硅料安装→ 籽晶安装→ 抽空、检漏→ 充氩气、升功率、熔料→ 引晶、缩颈、放肩、转肩→ 等径生长→ 收尾→ 降功率、停炉冷却 4、主要内容 A. 作业准备 a. 进入单晶车间须穿戴好洁净工作服、鞋。 b. 开炉前,按工艺要求检查水、电、气,确认无误后方能开炉。 c. 准备好一次性洁净手套、耐高温手套、毛巾、纸巾、研磨布、酒精、吸尘刷、吸尘管、防尘口罩。 d. 准备好钳子、扳手和各类装拆炉专用工具。 e. 取单晶的架子、装石墨件的不锈钢小车、装埚底料的不锈钢筒和装硅料的不锈钢小车,并处理干净。 f. 用毛巾将炉体从上到下一遍, 擦洗时注意不要将所有控制接线及开关碰断或碰坏,并把炉子周围清扫干净。 B. 热态检漏
a. 检查上一炉功率关闭时间,在单晶冷却 4.0小时(TDR-70A/B型单晶炉、 5.0 小时(JRDL-800型单晶炉后,关闭氩气(只关闭氩气阀门,主、付室流量计调节阀打开并分别调节到 30L/Min,开始抽高真空,并作时间记录。 b. 待炉内压力到达极限(要求达到 3Pa 以下后,先关闭主室球阀而后关闭真空泵电源进行检漏,并作相应时间记录,若 0.5小时内抽不到 3Pa 以下时,交有关维修人员处理,在此期间须配合有关维修人员进行装拆炉,并作相关记录。 c. 检漏要求 3分钟以上,漏气率 <0.34Pa/min为正常,同时作好漏气率记录, 若漏气率>0.34Pa/min时,交有关维修人员处理,在此期间须配合有关维修人员进行装拆炉,并作相关记录。 C. 取单晶和籽晶 a. 热态检漏后,旋松付室小门 4个螺丝,打开氩气阀门充氩气至常压,关闭氩气,旋开付室小门 4个螺丝,打开付室小门。 b. 提升单晶至付室,从付室小门内确认单晶升至所需高度,若无异常,盖住翻板阀,打开液压泵,升起付室。 c. 把安全接盘移到炉筒口处,缓慢转动付室至侧面。 d. 把取单晶的架子放在付室炉筒正下方,准备接单晶。 e. 稳定单晶,移开安全接盘,按下籽晶快降,将单晶降入架子内。 f. 确认单晶完全入架子内后, 按住籽晶, 用钳子将籽晶从细径处钳断, 钳断籽晶后,应稳定重锤,防止重锤快速转动,损坏钢丝绳。 g. 将籽晶从重锤上取下,放在指定场所,再将重锤升至付室内适当位置。 h. 将单晶移到中转区,及时、准确的将单晶编号写在单晶上,待自然冷却后对单晶进行各项参数检测并作好记录。 D. 石墨件取出冷却
shelxtl open new name xp fmol kill $q proj select the good direction exit telp 0 -30 plotfile enter file name draw file name select file(ps file) black and white cell fmol kill $q matr 1=a 2=b 3=c pbox 5 15 pack select (space=keep, enter=del) fmol telp cell enter file name draw file name select file type(a=psfile) black and white(enter) plane xp read file name fmol mpln atom1 atom 2..... enter angle xp read file name fmol
mpla n(atom number) atom1 atom 2..... mpla n(atom number) atom1 atom 2..... mpla n(atom number) atom1 atom 2..... enter fmol kill link matr pbox pack undo c**? C**? telp cell xl 计算方法 在ins中任何地方插入 mpla 虚拟平面的原子个数（例如六个原子只有四个可能共平面，即输入4），后面连续输入可能共平面的4个原子，后面在输入其他两个平面外的原子。 例如c1 c2 c3 c4 c5 n1中，c1 c2 c4 c5 共平面 mpla 4 c1 c2 c4 c5 c3 n1 txt 运行xcif 选择t 两次回车 输入文件名.txt 选择def 回车直到选择q 理论加氢 在ins中输入 HFIX 要加氢的原子 保存ins 运行XL 打开RES 拷贝相应的数据到ins中即可。 CHEMICAL DRAW 选中画笔 点出两个点 按ESC 点选择键 选中画笔 鼠标移动至出现小手
． 全自动软件界面操作手册 REV. HXSC_A1.HA03 （TDR-95A/100A/100B-ZJS适用） 2010年06月 杭州慧翔电液技术开发有限公司HangZhou HuiXiang Electro-Hydraulic Technology Development Co.Ltd
目录 介绍.............................. ........................... ...................... ........ ............................. .. (3) 炉体控制.............................. .......................................... ........ ............................. .. (4) 晶体、坩埚提升运动控制界面..................................... ........ ............................. .. (5) 晶体、坩埚旋转运动控制界面..................................... ........ ............................. .. (5) 坩埚自动定位界面............. .......................................... ........ ............................. .. (6) 加热功率控制界面............. .......................................... ........ ............................. .. (6) 磁场电流设置界面............. .......................................... ........ ............................. .. (7) 等径闭环界面..................... .......................................... ........ ............................. .. (7) 热场温度控制界面............. .......................................... ........ ............................. .. (7) 温度闭环参数设置界面..... .......................................... ........ ............................. .. (8) 热场温升控制界面............. .......................................... ........ ............................. .. (8) 液面温度控制界面............. .......................................... ........ ............................. .. (8) 生长控制界面..................... .......................................... ........ ............................. .. (9) 坩埚跟踪控制界面............. .......................................... ........ ............................. .. (9) 压力控制界面..................... .......................................... ........ ............................. .. (10) 自动工艺选择..................... .......................................... ........ ............................. .. (10) 氩气、真空控制............. .......................................... ....... ..... ............................. .. (11) 曲线数据.............................. .......................................... ........ ............................. .. (12) 曲线数据选择............. .......................................... . (13) 工艺参数.............................. .......................................... ........ ............................. .. (14) 下载SOP说明............. .......................................... ........ ............................. (18) 辅助功能.............................. .......................................... ........ ............................. .. (19) 硅晶体重量长度计算........ . .......................................... ........ ............................. .. (19) 大气压力设定.................... . .......................................... ........ ............................. .. (20) 液面温度校正.................... . .......................................... ........ ............................. .. (20) 热场温度校正.................... . .......................................... ........ ............................. .. (21) 晶体、坩埚行程设置........ . .......................................... ........ ............................. .. (21) 晶体、坩埚位置设置........ . .......................................... ........ ............................. .. (22) 磁场零位校正.................... . .......................................... ........ ............................. .. (23) 日期时间校正.................... . .......................................... ........ ............................. .. (23) 系统参数.............................. .......................................... ........ ............................. .. (24) 注册.............................. . .......................................... ........ ............... ................... .. (24)
第一章单晶生长条件 设备要求 运行条件（以下以TDR-85A-ZJS 炉为例，其余炉型要求参照说明书） （1）冷却水要求 水压：炉子进出水压差要求介于2~3 公斤之间，真空泵进出水压差要求公斤以上； 炉子进水压力不可超过公斤，炉子上冷却水安全阀设置压力6 公斤；水流率：炉子和电源要求供水量不低于250 升每分钟，单独电源要求供水量不低于20 升每分钟；水温：推荐进水温度18~24oC，最大不超过25oC； 水质：弱碱性水，PH 值6~9；氯离子含量≤10ppm，碳酸钙含量≤50ppm；以纯净软水为好。 连接方式：进出水管与炉子之间采用软连接，防止震动传递到炉子。 （2）压缩空气要求 气压：≥7 公斤；推荐在压缩空气入口处使用压力调节器。 流率：≥升每秒； 汽缸容积：主真空球阀：2 升；辅助真空球阀：升。 （3）电力要求 相制：3 相AC380V(±10%)/50Hz； 功率：≥192KVA。 配电柜应装有500V、400V 的空气开关，和380V/400A的隔离开关。 （4）炉子真空要求空炉真空度：≤15mTorr；空炉泄漏 率：≤30mTorr/hr；带热场泄漏率：≤50mTo r r/hr。 （热场已经煅烧完全） 日常维护 （1）坩埚轴驱动部件的维护保养a、经常检查坩埚轴的冷却水是否通畅，避免冷却不充分而损坏坩埚轴； b、每个月对下轴丝杠至少清理一次，每次应先清理干净丝杠和导轨上的油污，加上适当（不可太多） 润滑油，然后上下快升降两次。 （2）提拉头的维护保养a、每次开炉后，检查钢丝绳是否损坏（包括变硬、缠松、有严重毛刺等），如有损坏，立即更换；b、钢丝绳在保管、使用、维修、安装过程中不能造成任何死弯角，否则在运行过程中会引起抖动。 （3）水冷系统的维护保养a、每次加热前检查水流量是否充足，确保所有水路没有堵塞，水温传感器运行正常；b、出现水温或水量报警要查找原因及时处理。 （4）翻板阀的维护保养每次装炉前检查阀口密封圈是否完好，翻板阀操作是否轻松、无卡滞，底部挥发物是否打扫干净，如发现问题应及时排除。 （5）真空系统的维护保养a、经常检查泵油，上下腔油均应浸过小观察窗一半。如上泵腔油不够，应及时补新油；下泵腔油不够，需关闭球阀，打开左侧阀门，使上泵腔油下到下泵腔，然后关闭阀门。注意右侧阀门保持常开；b、每次大清，先彻底放尽泵腔内的废油（用手慢慢拉动传动皮带，盘出下泵腔内的废油），然后打开上泵腔，清除干净沉淀油污。最后换上新油；c、每次拆炉时，拆开真空管道所有盲板和波纹管，彻底清扫管内的粉尘。
夏津县奥德新能源有限公司 直拉单晶炉操作规程 版本/修订0 文件编号：AD-ZY-DJ-07-2010 1 目的 为了使单晶制造厂直拉单晶炉操作工熟练掌握单晶炉，使生产正常运行。 2 适用范围 单晶制造厂所有单晶操作工。 3 内容 3.1 拆炉 3.1.1 准备 确认停炉冷却时间达5h，准备好钳子及取晶筐，向炉内充Ar气，确认炉内为常压时，副室门打开，关闭Ar 流量计启动液压，升起副室筒，稳住晶体轻推左旋副室，晶体筐对准副室筒口，按下晶快降速按钮。将晶体安全降入筐内，手扶籽晶夹头，用钳子将细颈处剪断，手扶夹头，待钢丝绳拧力全部消失后取籽晶，重锤升进副室内启动液压升起炉盖。左旋至副室筒下。 3.1.2 炉子清扫 3.1.2.1 戴好工作帽，口罩及专用手套，准备好酒精,吸尘器，无尘纸及放石墨件的不锈钢 车。 3.1.2.2 依次取出导流筒及上保温盖，先取掉热偶升起主炉室向右旋出，取出上保温筒石 英坩锅及埚底料，并放入到不锈钢桶内到指定的地方，锅底料应写清炉号及炉次。 注意：1：石墨件不能用手接触。 2：小心锋利的石英锅碎片和锅底料扎伤手指。 3：石英碎片和锅底料渣不要掉入轴波纹管及加热器缝隙内。 3.1.2.3 每炉必须在取下晶棒后及时清理过滤罐、过滤网， 3炉大清炉，每炉管道。 注意：清理过滤罐和管道，具有自燃的现象不能造成人生事故和将密封圈烧坏的 现象，所以拆除的地方必须用酒精擦净密封圈并装好。保证密封圈的完好。 3.1.2.4 戴好一次性手套，采取自上而下的原则，清扫副室筒及炉盖，用专用工具沾上酒 精，一圈一圈的仔细擦拭副炉筒。 注意：长棍不要和钢丝绳绕在一起，用纸巾沾上酒精擦炉盖顶上密封圈及翻板阀，密封圈并保证密封较进槽无误。 3.1.2.5 主炉清扫 戴好一次性手套用吸尘器与毛刷先刷净附着在主炉室的挥发物，吸净加热器托盘， 炉底。 注意：加热器电极螺丝是否松动，炉底排气孔是否畅通。用沾有酒精的纸巾把主 炉室及密封圈擦拭干净。 3.1.2.6 石墨件的清扫 吸净导流筒，保温罩，三瓣埚，用纸巾沾少量的酒精反复擦拭直至无污物。
单晶炉常见应急事故处理方法及注意事项 常见事故： (一)停水 1)发生停水或水压报警时，先确认水压表是否偏低，水管和炉筒温度是否明 显升高。 1.快速提升晶体或籽晶，使晶体或籽晶脱离液面150mm。 2.关闭加热功率。 3.复位控制柜面板上单晶生长控制器，使其处于手动状态。 4.降低埚位到熔料埚位。 5.关闭埚转。 2)停水后水压恢复。 1.冷却水恢复供应时，监控水压，有异常立即报告管理人员。 2.水压恢复时，炉内无严重氧化现象，熔体未结晶或已结晶但液面结晶小 于10分钟且石英坩埚未破裂，按加热功率开，调节功率到熔料功率。 3.启动埚转，设定为2转/分。 4.熔化结晶面，在此期间应密切炉内有无严重氧化现象，注意硅料液面熔 化情况，一旦发生严重氧化现象、硅液面下降，立即停炉并上报管理人 员。 5.待结晶全熔后，手动调节功率为引晶功率，温度稳定后，开始引晶。 3)停水后水压无法恢复，或恢复时熔体已结晶大于10分钟。 1.在熔体结晶15分钟时，快速提升坩埚，使坩埚顶起导流筒100mm。 2.停炉，充分冷却后拆炉 (二)停电 1)若炉子工作时，加热部分停电。 1.复位控制柜面板上单晶生长控制器，使其处于手动状态。 2.降低埚位到熔料埚位。 3.关闭埚转。 4.加热部分恢复时，若时间较短（液面未结晶或液面已结晶但小于10分钟 且石英坩埚未破），按加热功率开，将功率升至熔料功率。 5.启动埚转，设定为2转/分。 6.熔化结晶面，在此期间应密切注意硅料液面熔化情况，一旦发生硅液面 下降，立即停炉并上报管理人员。 7.待结晶全熔后，手动调节功率为引晶功率，温度稳定后，开始引晶。 8.加热部分恢复时，若停电时间较长（液面结晶已经大于10分钟或石英坩 埚破裂），快速提升晶体或籽晶，使晶体或籽晶脱离液面150mm。 9.在熔体结晶15分钟时，快速提升坩埚，使坩埚顶起导流筒100mm。 10.停炉，充分冷却后拆炉。 2)若炉子工作时，加热电源、控制电源同时断电。 1.立即关闭抽空阀门。 2.手动摇手柄降低埚位使晶棒与硅液脱离。
CL系列单晶炉，属软轴提拉型，用直拉法生长无位错电路级、太阳能级单晶的设备。 此设备结构设计稳定，运行平稳，且有多项安全防护设施，质量流量及温度控制精确，整个晶体生长过程由高可靠的可编程计算机控制器（PCC）控制，并可实现全自动（CCD）控制，包括抽真空、熔化、引晶缩颈、放肩、等经生长和尾锥生长。 CL-90型设备提供一对电极，满足用户采用两温区加热的工艺要求。设备使用18寸或20寸的热系统，投料量60-90Kg，生长6″或8″的单晶体。 设备特点： 1、稳定的机架结构设计，增强了设备在晶体生长过程中的抗振动能力。 2、优化的液压提升机构确保副炉室提升和复位时的运动平稳性。 3、与主机分离的分水器设计，在减少冷却水振动对晶体生长的影响的同时优化了水路布局。 4、晶体和坩埚的提升采用双电机结构，保证稳定的低生长速度以及坩埚和籽晶的快速定位。 5、采用无振动的高性能马达和低噪声的减速器驱动晶体和坩埚上升，可提供稳定的低生长速度。 6、设备的真空条件和在真空下的可控惰性气体气流使得热区清洗最佳化。氧化硅可以在不污染晶体和晶体驱动装置的条件下排除。 7、带隔离阀的副室可以在热区保持工作温度的情况下，取出长成的晶体或者更换籽晶。 8、对惰性气体流量和炉室压力高精度的控制能力，为生长高品质单晶创造了条件。 9、炉盖和炉腔通过两个提升装置提升，很方便的转向一边快捷地清洗。 10、熔化温度通过对加热器温度的电控来维持和调节，加热电源采用直流供电提高了控制精度。高品质的加热器温度测量传感器实现了精确的温度控制。 12、整个晶体生长过程由一个高可靠的可编程计算机控制器（PCC）控制，包括抽真空、熔化、引晶缩颈、放肩、等经生长和尾锥生长，晶体生长全过程可实现全自动（CCD）控制：。 13、带有数据和报警过程控制的可视化软件，存储在计算机的硬盘中。可以显示过程变量随时 间变化的趋势图。
晶体解析的步骤 Steps to Crystallographic Solution (基于SHELXL97结构解析程序和DOS版SHELXTL画图软件。在DOS下操作) 注意： 1. 每一个晶体数据必须在D:/STRUCT下建立一子目录(如D:\STRUCT\AAA)，并将最初的数据备份一份于AAA目录下的子目录ORG; 2. 此处用了STRUCT.BAT批文件，它存在于C:\根目录下，内有path= c:\nix; c:\exe; d:\ struct; c:\windows\system32 (struct为工作目录，exe为SHELXL97程序，nix为SHELXTL 画图) 3. 在了解DOS下操作之后，可在WIN的WINGX界面下进行结构解析工作，画图可用XP 或DIAMOND软件进行。 一. 准备 1. 检查是否有inf、dat和f2(设为sss.f2)文件 2. 用EDIT或记事本打开dat或inf文件, 并于记录本上记录下相关数据(下面所说的记录均指记录于记录本上)： ⊕从% crystal data项中，记下晶胞参数及标准偏差(cell)；晶体大小(crystal size)；颜色(crystal color)；形状(crystal habit)；测量温度(experiment temperature)； ⊕从R merge项中，记下Rint＝?.???? %； ⊕从total reflections项中，记下总点数； ⊕从unique reflections项中，记下独立点数 3. 双击桌面的DOS图标(或Win2000与WinNT的“命令提示符”) 4. 键入STRUCT(属于命令，大小写均可。下同) 5. 进入欲处理的数据所在的文件夹(上面的1~2工作也可在这之后进行) 6. 键入XPREP sss.f2 (屏幕显示DOS的选择菜单) 7. 选择[4]，回车(下记为
When the lives of employees or national property are endangered, production activities are stopped to rectify and eliminate dangerous factors. （安全管理） 单位：___________________ 姓名：___________________ 日期：___________________ 单晶炉安全操作规范(2021新版)
单晶炉安全操作规范(2021新版)导语：生产有了安全保障，才能持续、稳定发展。生产活动中事故层出不穷，生产势必陷于混乱、甚至瘫痪状态。当生产与安全发生矛盾、危及职工生命或国家财产时，生产活动停下来整治、消除危险因素以后，生产形势会变得更好。"安全第一" 的提法，决非把安全摆到生产之上;忽视安全自然是一种错误。 1、开机安全检查 单晶炉开机、装料前，应对电气、机械、液压等部分进行检查，使单晶炉电极处于无电压输出，各机械传动安全可靠； 1）检查主加热器处于关闭状态（是否切断主回路的空开？）； 2）欧陆表输出设定为0； 3）上炉膛、炉盖、付室的机械联接部位螺丝无松动现象； 4）检查上、炉膛、炉盖付室的液压升降应正常； 2、装炉时安全事项 在开机检查正常情况下，可以装炉，同时在控制柜现眼位置悬挂禁止合闸警示牌； 3、抽真空安全事项 1）开真空泵前，应检查真空泵房，确保对应本设备的真空泵及管道处于无其他人员操作状态； 2）按真空泵操作规程正确操作；
3）抽真空过程中，应检查各环节的密封圈处于正常，应无脱落、装反等现象； 4）在单晶炉真空状态过程中，严禁用手或其他物品碰触或堵漏气处，以免造成人身或设备损害，如发现漏气，应按停炉恢复常压规程操作； 4、装炉、装料、拆炉、清炉、清理真空泵及真空管道过程的安全事项 1）按工艺操作规程进行正确操作； 2）必须在主加热器处于关闭状态、欧陆表输出设定为0的状态下操作； 3）在控制柜现眼位置悬挂禁止合闸警示牌； 4）禁止操作人员身体处于液压可升降部件如炉盖、炉膛下方，以免液压控制失灵造成人身伤害，如确需在上述部件下操作，必须设置足够强度和能保证足够安全空间的支撑部件来支撑因故障时升降部件的下坠而不致于伤及人身； 5）清理真空泵及真空管道时，必须在真空泵停止运行的状态下进行，在对应控制柜显眼位置处悬挂维修警示牌或禁止合闸警示牌，以防其他人员误开启真空泵，造成人身伤害；
第一章概述 一、简介 单晶炉加热电源，是通力盛达能源设备（北京）有限公司集多年智能开关电源开发经验，参照信息产业部行业标准，结合国内外供电状况和使用要求，设计、生产的高新技术产品。可用于单晶硅，多晶硅加热场所。 单晶炉加热电源系统采用模块化设计、组合式结构，由整流器、交流配电、直流配电等部分组成。 单晶炉加热电源通过外部隔离的0-10V直流电压控制系统输出，与其对应系统输出电压为0-60V，或者对应系统输出功率为150KW（通过系统前面板上的开关SW1选择“电压调节”或“功率调节”方式）。 单晶炉加热电源智能开关电源系统采用DZY-48/50H(HE)开关整流器，系统最大容量为2800A。 开关整流器采用了数字化功率因数校正、智能控制检测、新型磁性材料等新技术，使用了良好的热设计、EMC设计和可靠性设计，使交流输入电压适应范围、功率因数、功率密度、电磁兼容性、可靠性、转换效率等主要技术指标达到了国际先进水平。 二、系统特点 1．全数字化交错PFC创新控制的有限双极性控制ZVS全桥拓扑、倍整流拓扑、双单片机实现全数字监控。 2．系统整流器采用功率因数校正技术，使输入的交流电流波形与输入的交流电压波形相同，相位一致，整机效率高，节省能源，降低运营成本。 3．系统整流器采用高频PWM控制变换技术，一方面减少了开关器什在高频开关过程中的功率损耗，提高了整机效率；另一方面减少了电磁干扰，可将电源系统安装在程控机房内。 4．系统采用民主均流技术，提高了系统工作的稳定与可靠性，因而减少了设备日常的工作维护。 5．系统整流器采用智能风冷和水冷技术，冷却效果好，故障率低，可靠性高。 6．整流器采用无工频变压器设计，体积小、重量轻。
单晶结构解析技巧 1. 通常，H原子的处理方法作者要给出: (1)一般通过理论加H，其温度因子为固定值，可通过INS等文件查看 (2) 水分子上H原子可通过Fourier syntheses得到 (3)检查理论加上的H原子是否正确，主要看H原子的方向。若不正确则删去再通过Fourier syntheses合成得到 (4) 检查H原子的键长、键角、温度因子等参数是否正常。通过检查分子间或分子内的H键是否合理最易看出H键 的合理性 (5) 技巧：有时通过Fourier syntheses得到的H原子是正确的，可一计算其温度因子等参就变得不正常，则可以固定 其参数后再精修（如在INS中的该H原子前用afix 1,其后加afix 0） (6) 各位来说说方法与心得？ 2. 胡老师，下面的问题怎么解决啊？谢谢您。 220_ALERT_2_B Large Non-Solvent C Ueq(max)/Ueq(min) ... 3.70 Ratio 222_ALERT_3_B Large Non-Solvent H Ueq(max)/Ueq(min) ... 4.97 Ratio 342_ALERT_3_B Low Bond Precision on C-C bonds (x 1000) Ang (49) B 级提示当然得重视了。建议你先把H撤消，精修到C的热椭球不太变形和键长趋正常。 如做不到就要看空间群？衍射点变量比太小？以至追查到原始数据的录取参数和处理等。 这些粗略意见仅供参考，如何？ 3. 在XP中画图时，只有一部分，想长出另外的对称部分。我是envi完了，然后sgen长出来的，可是和symm显示的对称信息不一样。比如：我根据envi的结果用sgen O1 4555得到的是O1A而不是O1D，这跟文献中标注的不一样啊，怎么统一呢？很困扰，忘达人指教。 xp里是按顺序编号的，第一个sgen出的的统一为A,依次标号。你如果想一开始就统一D的话，重新name一下 4. 高氯酸根怎么精修呀？我用的SHETXL6.1版的，最好告诉我怎么用其中的XSHELL来做，我觉得他好用！Method 1DFIX Dfix 1.42 0.02 Cl1 O1 Cl1 O2 Cl1 O3 Cl1 O4 Dfix 1.42 0.02 O1 O2 O1 O3 O1 O4 O2 O3O2 O4O3 O4 Method 2SADI Sadi 0.01 Cl1 O1 Cl1 O2 Cl1 O3 Cl1 O4 Sadi 0.01 O1 O2 O1 O3 O1 O4 O2 O3 O2 O4 O3 O4 5. 晶体的无序是怎么造成的呀，是晶体培养的问题吗？ 如果无序太多，在解单晶的时候怎么办？我指的是很多的点，没有结构，他们的峰值都大于了0.5 大于0.5没什么的，解完后都在1以下就可以了。特殊的比较大的在重原子附近也没有关系 5. 比较确切的定义是单胞中你测定的或你设想的“化学式”的数目。 在分子晶体中，Z 是分子数，在其它各类晶体中则为化学式个数。 例如有机物一般是分子数目，离子晶体像NaCL只好说化学式为4。
YF-ED-J8161 可按资料类型定义编号 单晶炉安全操作规范实用 版 In Order To Ensure The Effective And Safe Operation Of The Department Work Or Production, Relevant Personnel Shall Follow The Procedures In Handling Business Or Operating Equipment. （示范文稿） 二零XX年XX月XX日
单晶炉安全操作规范实用版 提示：该管理制度文档适合使用于工作中为保证本部门的工作或生产能够有效、安全、稳定地运转而制定的，相关人员在办理业务或操作设备时必须遵循的程序或步骤。下载后可以对文件进行定制修改，请根据实际需要调整使用。 1、开机安全检查 单晶炉开机、装料前，应对电气、机械、 液压等部分进行检查，使单晶炉电极处于无电 压输出，各机械传动安全可靠； 1）检查主加热器处于关闭状态（是否切 断主回路的空开？）； 2）欧陆表输出设定为0； 3）上炉膛、炉盖、付室的机械联接部位 螺丝无松动现象； 4）检查上、炉膛、炉盖付室的液压升降 应正常；
2、装炉时安全事项 在开机检查正常情况下，可以装炉，同时在控制柜现眼位置悬挂禁止合闸警示牌； 3、抽真空安全事项 1）开真空泵前，应检查真空泵房，确保对应本设备的真空泵及管道处于无其他人员操作状态； 2）按真空泵操作规程正确操作； 3）抽真空过程中，应检查各环节的密封圈处于正常，应无脱落、装反等现象； 4）在单晶炉真空状态过程中，严禁用手或其他物品碰触或堵漏气处，以免造成人身或设备损害，如发现漏气，应按停炉恢复常压规程操作； 4、装炉、装料、拆炉、清炉、清理真空泵
单晶炉安全操作规范 1、开机安全检查 单晶炉开机、装料前，应对电气、机械、液压等部分进行检查，使单晶炉电极处于无电压输出，各机械传动安全可靠； 1）检查主加热器处于关闭状态（是否切断主回路的空开？）； 2）欧陆表输出设定为0； 3）上炉膛、炉盖、付室的机械联接部位螺丝无松动现象； 4）检查上、炉膛、炉盖付室的液压升降应正常； 2、装炉时安全事项 在开机检查正常情况下，可以装炉，同时在控制柜现眼位置悬挂禁止合闸警示牌； 3、抽真空安全事项 1）开真空泵前，应检查真空泵房，确保对应本设备的真空泵及管道处于无其他人员操作状态； 2）按真空泵操作规程正确操作； 3）抽真空过程中，应检查各环节的密封圈处于正常，应无脱落、装反等现象；4）在单晶炉真空状态过程中，严禁用手或其他物品碰触或堵漏气处，以免造成人身或设备损害，如发现漏气，应按停炉恢复常压规程操作； 4、装炉、装料、拆炉、清炉、清理真空泵及真空管道过程的安全事项 1）按工艺操作规程进行正确操作；
2）必须在主加热器处于关闭状态、欧陆表输出设定为0的状态下操作； 3）在控制柜现眼位置悬挂禁止合闸警示牌； 4）禁止操作人员身体处于液压可升降部件如炉盖、炉膛下方，以免液压控制失灵造成人身伤害，如确需在上述部件下操作，必须设置足够强度和能保证足够安全空间的支撑部件来支撑因故障时升降部件的下坠而不致于伤及人身；5）清理真空泵及真空管道时，必须在真空泵停止运行的状态下进行，在对应控制柜显眼位置处悬挂维修警示牌或禁止合闸警示牌，以防其他人员误开启真空泵，造成人身伤害； 6）炉体内清洁时，必须打开炉盖、上升上炉膛并偏移至合适位置，使操作人员操作空间处于敞开状态，避免操作人员处于缺氧环境状态下工作； 5、加热器加热过程安全事项 在上述检查准备工作就绪，且符合工艺操作规程的前提下，才能开启加热器。1）开启加热器前，必须检查冷却水路开启、水压正常，否则严禁开启加热器；2）开启加热器，必须缓慢增加输出电压或加热功率；严禁超功率或过电流运行； 3）在加热器工作过程中，如发现电极打火、过电流等现象或报警，应按直拉应急方案处置， 严禁强行升温； 4）如遇上述故障，应及时报修，由专职维修人员进行维修，严禁拉晶操作人员擅自修理； 6、单晶炉的维修维护安全事项 1）单晶炉在维修过程中，必须在显眼位置处悬挂维修警示牌；