图1 FT-CZ2008型单晶炉图2 操作柜
三、依据：
依据为直拉法生长硅单晶的工艺和FT-CZ2008型单晶炉的性能。
准审核编制
修改履历
码内容状态备
图3 【氩气】操作界面
?、拧开上炉体螺母，将操作手柄上的【HOIST】旋钮打向UP位置点动上升炉筒至适当位置，将操作手柄上的【SEED】旋钮打向UP位置上升晶棒到翻板阀室以上，顺时针转动翻板阀手柄，关闭翻板阀。
图4 隔离阀手柄
?、上升上炉体至上限位，上升晶体至上炉体内。转动晶棒托架，通过【
整晶棒的高度，使其与托架接触，但不承重。
图5 晶棒托架
?、打开上炉体定位开关，转动上炉体到一侧，放下上炉体定位开关，便于取晶棒。
图6 定位开关
SEED】按钮打向UP位置，上升晶棒，转动托架。再将【下降晶体，用晶棒专用车承接晶棒，每进入一格，用锁扣锁住。下降晶棒使其与晶棒车有充分接触，但不全部承重到晶棒车上。操作者一手拿住籽晶一手用钳子将籽晶从细颈处钳断，籽晶后，应稳定重锤，防止重锤快速转动，损坏钢丝绳。
、将籽晶从重锤上取下，观察籽晶积渣情况和有无机械损伤，取下的籽晶放在指定场所，再将
图7 晶棒中转专用车
①、打开上炉体定位开关，旋转到炉盖上方，合上上炉体定位开关，将操作手柄上的【
位置下降上炉体至炉盖，拧紧上炉体螺母，将【
图8 埚底料筒与埚底料推车
图9 主要石墨件
、真空过滤器清扫
?、准备好吸尘刷、吸尘管、酒精、纸巾、扳手，带好手套、防尘口罩。
?、打开波纹管和真空过滤器顶盖的连接法兰，拧开真空过滤器顶盖螺丝，取出过滤网。
图10 真空泵与真空泵房
、真空泵油检查与更换
?、确认关闭主泵手阀和真空泵，在放油单晶炉上挂检修牌，将废油桶置于真空泵放油口下方，打开上下腔放油开关，放完油后关闭上下腔放油阀，废油倒入指定油桶。
?、清扫真空泵（每3炉清扫一次），用扳手打开真空泵侧盖，置于适当位置，用毛巾彻底清理真空泵腔、侧盖和下腔滤油网的油污，清扫完毕后，安装好滤网，安装好侧盖。
图11 测温装置
盘和加热器电极脚的距离是否对称，若距离不一致要调整间距。
有石墨碎屑伸出；若有，要将碎屑吸除。
⑥、两段式的石墨托柄，要检查是否松动和机械损伤，若发现松动，要拧紧。检查石墨托柄和
坩埚轴护套四周间隙是否一致。
⑦、用吸尘刷吸净底保温板、排气孔和排气套筒内的附尘及残渣。
图13 热场组装
!注意：热场组装到位后，要检查操作屏幕上【原点】是否为红色显示，若没有红色显示，则需进行【初始化】操作。
9、石英坩埚安装
图15 手动阀图16 【压力】操作菜单
?、抽空后炉内压力达到<400Torr 时，充氩气15秒左右，抽真空1小时左右，使炉内压力<40mTorr。
?、待炉内压力<40mTorr后，关闭手动阀30秒后，按下【泄漏检测】按钮，打开检漏菜单，按下【开始】按钮，开始检漏，检漏时间5分钟，按下【停止】按钮，此时屏幕上的漏气量和时间就是检测结果。要求炉子漏气速率<0.8mTorr/min（即5分钟小于4mTorr），检漏合格进
，需重复1、2、3步骤；若炉子漏气速率>0.8mTorr/min，则需重
图17 【加热器】菜单
图18 操作手柄图19 【坩埚】菜单
14、温度稳定
?、观察炉内硅料是否完全熔化，是否有挂边。如有挂边，要及时处理，按下屏幕下方的【工序复位】按钮，在弹出的对话框中选择【接受】，然后将操作面板旁边的状态旋钮打向手动档，将操作手柄上的【CRUCIBLE】打向DOWN位置，降低坩埚至适当位置，按屏幕上的【加热器】按钮，在【功率】中输入适当的高功率值，点击【DC 功率控制】的【开】按钮；挂边消失后，
图20 引晶
晶过程中若籽晶熔断，则重新进行引晶温度的调整，籽晶插入液面，重新进行引晶。作
自动引晶不理想，可以随时考虑进入手动状态来手动引晶。点击【工序复位】
的对话框中选择【确认】，随后将状态控制旋钮打到【手动】档。
过操作手柄上的籽晶拉速键来调整拉速，使籽晶的直径达到理想值。
键调出籽晶控制菜单，在【低拉速值】中输入所要的拉速，然后点击【低拉速】
图21 放肩
?、点击【工序参数】调出工序控制菜单，在参数【转肩提升直径】中输入开始转肩时相机所要达到的数值，点击【执行】按钮。
！注意：输入的数值和相机读数的差值要与此时的实际直径和所需的目标直径的差值一致。
?、放肩坏时，则重新进行温度的调整，插入液面，熔去放肩和引晶部位，再引晶。
?、若料较脏时，将肩放至直径150~160mm提离液面上升到导流筒中部停留
单晶炉安全操作规范集团公司文件内部编码：（TTT-UUTT-MMYB-URTTY-ITTLTY-
单晶炉安全操作规范1、开机安全检查 单晶炉开机、装料前，应对电气、机械、液压等部分进行检查，使单晶炉电极处于无电压输出，各机械传动安全可靠； 1）检查主加热器处于关闭状态（是否切断主回路的空开？）； 2）欧陆表输出设定为0； 3）上炉膛、炉盖、付室的机械联接部位螺丝无松动现象； 4）检查上、炉膛、炉盖付室的液压升降应正常； 2、装炉时安全事项 在开机检查正常情况下，可以装炉，同时在控制柜现眼位置悬挂禁止合闸警示牌； 3、抽真空安全事项
1）开真空泵前，应检查真空泵房，确保对应本设备的真空泵及管道处于无其他人员操作状态； 2）按真空泵操作规程正确操作； 3）抽真空过程中，应检查各环节的密封圈处于正常，应无脱落、装反等现象； 4）在单晶炉真空状态过程中，严禁用手或其他物品碰触或堵漏气处，以免造成人身或设备损害，如发现漏气，应按停炉恢复常压规程操作；4、装炉、装料、拆炉、清炉、清理真空泵及真空管道过程的安全事项 1）按工艺操作规程进行正确操作； 2）必须在主加热器处于关闭状态、欧陆表输出设定为0的状态下操作； 3）在控制柜现眼位置悬挂禁止合闸警示牌； 4）禁止操作人员身体处于液压可升降部件如炉盖、炉膛下方，以免液压控制失灵造成人身伤害，如确需在上述部件下操作，必须设置足够强度和能保证足够安全空间的支撑部件来支撑因故障时升降部件的下坠而不致于伤及人身；
5）清理真空泵及真空管道时，必须在真空泵停止运行的状态下进行，在对应控制柜显眼位置处悬挂维修警示牌或禁止合闸警示牌，以防其他人员误开启真空泵，造成人身伤害； 6）炉体内清洁时，必须打开炉盖、上升上炉膛并偏移至合适位置，使操作人员操作空间处于敞开状态，避免操作人员处于缺氧环境状态下工作； 5、加热器加热过程安全事项 在上述检查准备工作就绪，且符合工艺操作规程的前提下，才能开启加热器。 1）开启加热器前，必须检查冷却水路开启、水压正常，否则严禁开启加热器； 2）开启加热器，必须缓慢增加输出电压或加热功率；严禁超功率或过电流运行； 3）在加热器工作过程中，如发现电极打火、过电流等现象或报警，应按直拉应急方案处置，
目录 第一章设备规范 (2) 一、锅炉机组特征 (2) 三、水质指标 (3) 四、风机规格 (3) 五、炉排特征 (3) 第二章锅炉机组的启动 (4) 第一节启动前的检查与准备 (4) 第二节锅炉上水 (4) 第三节点火与升压 (5) 第四节供汽 (9) 一、暖管 (9) 二、供汽 (9) 第三章锅炉的运行 (10) 第一节水位调节 (10) 第二节汽压调节 (10) 第三节燃烧调整 (11) 第四节清灰 (12) 第五节排污 (12) 第四章锅炉的停炉与保养 (13)
集输站蒸汽锅炉（4吨）安全操作规程 第一章设备规范 一、锅炉机组特征 1. 锅炉型号：DZL4—1.25—AⅡ 2. 排渣方式：螺旋除渣 型号：CHXJ-2 功率：1.1KW 输出转速：6.1r/min 3. 除尘方式：麻绳除尘 型号：CHJ—4 处理烟气量：30000m3 /h 脱硫效率：85% 除尘效率：95% 4. 给水设备：卧式多级泵 型号：500LR12-12.5*2 流量：1216 m3 /h 扬程：500m /转转速: 1480r/min 电机型号：Y160L—2 转速：2930r/min 5. 水处理：全自动时间控制式钠离子交换器 二. 相关参数
三、水质指标 蒸汽锅炉锅外化学水处理水质标准 给水悬浮物≤5mg/L 给水总硬度≤0.03mmol/L 给水PH（25℃）≥7 锅水总碱度6—24 mmol/L 锅水PH（25℃）10—12 四、风机规格 1. 鼓风机： 型号：XF45.25—12No4 风压 626-1000Pa 风量：4527—9588m3/h 电机型号：Y112M—2 、功率：4KW 主轴转速：2900r/min 2. 引风机： 型号：YGY4—18 风压3881—4057Pa 风量11000—17000m3/h 电机型号：Y200L—4 功率：30KW 主轴转速：1450 r/min 五、炉排特征 1、炉排面积：5.5m2 2、炉排调速器： 型号：GL—5PA 传动比：6000 输出转矩：5000N*M 转速：125-1250（无级）r/min
1、目的 为正确、规范地操作单晶炉,确保生产作业正常,特制订本规范。 2、适用范围 适用于 TDR-70A/B和 JRDL-800型单晶炉的操作。 3、单晶炉操作工艺流程 作业准备→ 热态检漏→ 取单晶和籽晶→ 石墨件取出冷却→ 真空过滤器清洗→ 真空泵油检查更换→ 石墨件清洗→ 单晶炉室清洗→ 石墨件安装→ 石英坩埚安装→ 硅料安装→ 籽晶安装→ 抽空、检漏→ 充氩气、升功率、熔料→ 引晶、缩颈、放肩、转肩→ 等径生长→ 收尾→ 降功率、停炉冷却 4、主要内容 A. 作业准备 a. 进入单晶车间须穿戴好洁净工作服、鞋。 b. 开炉前,按工艺要求检查水、电、气,确认无误后方能开炉。 c. 准备好一次性洁净手套、耐高温手套、毛巾、纸巾、研磨布、酒精、吸尘刷、吸尘管、防尘口罩。 d. 准备好钳子、扳手和各类装拆炉专用工具。 e. 取单晶的架子、装石墨件的不锈钢小车、装埚底料的不锈钢筒和装硅料的不锈钢小车,并处理干净。 f. 用毛巾将炉体从上到下一遍, 擦洗时注意不要将所有控制接线及开关碰断或碰坏,并把炉子周围清扫干净。 B. 热态检漏
a. 检查上一炉功率关闭时间,在单晶冷却 4.0小时(TDR-70A/B型单晶炉、 5.0 小时(JRDL-800型单晶炉后,关闭氩气(只关闭氩气阀门,主、付室流量计调节阀打开并分别调节到 30L/Min,开始抽高真空,并作时间记录。 b. 待炉内压力到达极限(要求达到 3Pa 以下后,先关闭主室球阀而后关闭真空泵电源进行检漏,并作相应时间记录,若 0.5小时内抽不到 3Pa 以下时,交有关维修人员处理,在此期间须配合有关维修人员进行装拆炉,并作相关记录。 c. 检漏要求 3分钟以上,漏气率 <0.34Pa/min为正常,同时作好漏气率记录, 若漏气率>0.34Pa/min时,交有关维修人员处理,在此期间须配合有关维修人员进行装拆炉,并作相关记录。 C. 取单晶和籽晶 a. 热态检漏后,旋松付室小门 4个螺丝,打开氩气阀门充氩气至常压,关闭氩气,旋开付室小门 4个螺丝,打开付室小门。 b. 提升单晶至付室,从付室小门内确认单晶升至所需高度,若无异常,盖住翻板阀,打开液压泵,升起付室。 c. 把安全接盘移到炉筒口处,缓慢转动付室至侧面。 d. 把取单晶的架子放在付室炉筒正下方,准备接单晶。 e. 稳定单晶,移开安全接盘,按下籽晶快降,将单晶降入架子内。 f. 确认单晶完全入架子内后, 按住籽晶, 用钳子将籽晶从细径处钳断, 钳断籽晶后,应稳定重锤,防止重锤快速转动,损坏钢丝绳。 g. 将籽晶从重锤上取下,放在指定场所,再将重锤升至付室内适当位置。 h. 将单晶移到中转区,及时、准确的将单晶编号写在单晶上,待自然冷却后对单晶进行各项参数检测并作好记录。 D. 石墨件取出冷却
操作规程编号：LX-FS-A75921 蒸汽锅炉安全操作规程标准范本 In The Daily Work Environment, The Operation Standards Are Restricted, And Relevant Personnel Are Required To Abide By The Corresponding Procedures And Codes Of Conduct, So That The Overall Behavior Can Reach The Specified Standards 编写：_________________________ 审批：_________________________ 时间：________年_____月_____日 A4打印/ 新修订/ 完整/ 内容可编辑
蒸汽锅炉安全操作规程标准范本 使用说明：本操作规程资料适用于日常工作环境中对既定操作标准、规范进行约束，并要求相关人员共同遵守对应的办事规程与行动准则，使整体行为或活动达到或超越规定的标准。资料内容可按真实状况进行条款调整，套用时请仔细阅读。 蒸汽锅炉是一种经常处于高温条件下工作的特种设备，操作不当它将有爆炸的危险。为了保障其安全、经济运行，特制定如下规程： 一、值班人员必须严格遵守劳动纪律，不得擅离职守，不得做与本单位无关的事情，在操作过程中，严格执行“操作规程”不得违章操作，并严格酒后和带病上班。 二、密切注视水位和压力变化，做到“燃烧稳定，水位稳定，汽压稳定”。严禁发生缺水、满水事故和超压运行。一旦发现锅炉严重缺水时，严禁向锅炉进水！
． 全自动软件界面操作手册 REV. HXSC_A1.HA03 （TDR-95A/100A/100B-ZJS适用） 2010年06月 杭州慧翔电液技术开发有限公司HangZhou HuiXiang Electro-Hydraulic Technology Development Co.Ltd
目录 介绍.............................. ........................... ...................... ........ ............................. .. (3) 炉体控制.............................. .......................................... ........ ............................. .. (4) 晶体、坩埚提升运动控制界面..................................... ........ ............................. .. (5) 晶体、坩埚旋转运动控制界面..................................... ........ ............................. .. (5) 坩埚自动定位界面............. .......................................... ........ ............................. .. (6) 加热功率控制界面............. .......................................... ........ ............................. .. (6) 磁场电流设置界面............. .......................................... ........ ............................. .. (7) 等径闭环界面..................... .......................................... ........ ............................. .. (7) 热场温度控制界面............. .......................................... ........ ............................. .. (7) 温度闭环参数设置界面..... .......................................... ........ ............................. .. (8) 热场温升控制界面............. .......................................... ........ ............................. .. (8) 液面温度控制界面............. .......................................... ........ ............................. .. (8) 生长控制界面..................... .......................................... ........ ............................. .. (9) 坩埚跟踪控制界面............. .......................................... ........ ............................. .. (9) 压力控制界面..................... .......................................... ........ ............................. .. (10) 自动工艺选择..................... .......................................... ........ ............................. .. (10) 氩气、真空控制............. .......................................... ....... ..... ............................. .. (11) 曲线数据.............................. .......................................... ........ ............................. .. (12) 曲线数据选择............. .......................................... . (13) 工艺参数.............................. .......................................... ........ ............................. .. (14) 下载SOP说明............. .......................................... ........ ............................. (18) 辅助功能.............................. .......................................... ........ ............................. .. (19) 硅晶体重量长度计算........ . .......................................... ........ ............................. .. (19) 大气压力设定.................... . .......................................... ........ ............................. .. (20) 液面温度校正.................... . .......................................... ........ ............................. .. (20) 热场温度校正.................... . .......................................... ........ ............................. .. (21) 晶体、坩埚行程设置........ . .......................................... ........ ............................. .. (21) 晶体、坩埚位置设置........ . .......................................... ........ ............................. .. (22) 磁场零位校正.................... . .......................................... ........ ............................. .. (23) 日期时间校正.................... . .......................................... ........ ............................. .. (23) 系统参数.............................. .......................................... ........ ............................. .. (24) 注册.............................. . .......................................... ........ ............... ................... .. (24)
燃气蒸汽锅炉日常操作规程及注意事项 为了确保锅炉安全经济运行，保障人身安全，锅炉操作人员必须严格执行《锅炉安全技术监察规程》的有关规定和本规程。燃气锅炉正常运行要做到：天然气正常稳定；保持锅炉的整洁，做好交接班的工作；加强对各机械设备和仪表的监察，防止事故发生；司炉工应定期总结操作经验，不断提高操作运行水平。 一、启动前的检查 1、检查所有电机是否干净、干燥可用。 2、检查锅炉压力表、三通旋阀、安全阀、水位计阀门是否打开、排污阀、放空阀、主蒸汽阀是否关闭、管道阀门仪表开启是否灵活可靠。 3、检查天然气管道压力是否满足使用，管道电磁阀启闭是否正常。 4、检查燃烧器点火程序和熄火保护装置，是否灵敏可靠。 5、检查补水箱液位是否正常。 6、检查软化水设备是否正常工作，树脂罐与盐罐（盐即工业用大粒盐）原料是否缺少。 7、检查防爆门的螺丝是否松动，防爆门是否处于关闭状态。 8、检查室内燃气报警器报警是否可靠。 9、其它检查：锅炉进水前，必须查明锅筒上的所有手孔盖均已完全严密关闭；各操作部位都要有良好的照明；操作平台、扶梯、设备应清洁，其上无杂物和垃圾堆放；给水设备、管路及其附件、支吊架等完好，所有水泵试运转10—20分钟正常；汽水管道、阀门都应连
接齐全，管道支吊架应完整牢固；主蒸汽管、给水管道及排污管等法兰连接处应无堵板（盲板）；所有阀门和旋塞都应开启灵活，关闭严密。 10、检查锅炉房内的强制通风设施启动并可靠运行。 11、检查锅炉房内的防爆照明设施投入运行，非防爆照明及电气设备全部不得送电或运行。 12、每隔1小时，对燃气管道上的接口处进行一次检查，确认其有无漏气，一旦发现漏气要立即关闭调压柜输出处的总阀。 二、点炉操作规程 1、点火前，先把主电源开关开启，确保控制系统稳定电压 2、锅炉上方的副汽阀打开，主汽阀关闭，水泵系统阀门打开，将锅炉内注水，观察水位计水位控制妥当。 3、燃烧器风机自动开启（此时燃气阀组上的所有阀门都是处于关闭状态）吹扫炉膛内的氧气及上次停炉前残留的天然气，吹扫30秒。吹扫30秒回燃烧器自动捡漏，捡漏通过后开始准备点火。（若连续捡漏3次未通过应及时联系专业技术人员排除故障） 4、吹扫30秒后，燃烧器自动点火，起步时火焰为小火，没有达到锅炉设定压力时自动转为大火燃烧工作指令，燃烧器自动进入正常的工作状态。例如锅炉停炉压力1.0MPa，启炉压力0.7MPa，目标压力0.9MPa，锅炉压力低于0.7MPa时燃烧器自动启动，燃烧器燃烧锅炉升压达到0.9MPa时，燃烧器转换为小火燃烧，锅炉继续升压达到1.0MPa时，燃烧器自动停止工作。
操作规程编号：LX-FS-A91794 工业蒸汽锅炉操作规程标准范本 In The Daily Work Environment, The Operation Standards Are Restricted, And Relevant Personnel Are Required To Abide By The Corresponding Procedures And Codes Of Conduct, So That The Overall Behavior Can Reach The Specified Standards 编写：_________________________ 审批：_________________________ 时间：________年_____月_____日 A4打印/ 新修订/ 完整/ 内容可编辑
工业蒸汽锅炉操作规程标准范本 使用说明：本操作规程资料适用于日常工作环境中对既定操作标准、规范进行约束，并要求相关人员共同遵守对应的办事规程与行动准则，使整体行为或活动达到或超越规定的标准。资料内容可按真实状况进行条款调整，套用时请仔细阅读。 1.升火前 1.1查验“交接班记录”及锅炉技术登记簿。 1.2检查设备各部位和安全附件（安全阀、水位表、压力表、排污阀及通风除尘设备），确认正常后方可操作。 1.3对于新装或大修以后的锅炉，应对以下几方面进行检查操作： 1.3.1检查锅炉本体、给水系统、烟风系统、各检测仪表等均应完好。 1.3.2检查锅筒或锅壳，集箱内应无杂物及贵遗留工具，管路无阻塞。
1.3.3拆除各管路上因检修而设置的盲板，人孔、手孔及连接法兰等处的螺栓应拧紧，各管路阀门均调整至点火要求位置。 1.3.4开给水泵、经省煤器向锅炉上水。上水温度为40-50摄氏度。 1.3.5上水至锅炉水位表的最低水位线时，停止上水，开启低位水位计、远传水位计及水位报警器。 1.3.6开启设备所有的冷却系统。 2.升火与升压 2.1对锅炉机组烟道进行彻底通风。风机通风的时间约为5分钟，自然通风应不少于15分钟。 2.2锅炉升水应按不同的燃烧设备所规定的操作方法进行。对于链条炉排可按下述步骤操作： 2.2.1在炉排的前部铺上一簿煤层，并在其上铺好木材及引燃物。
第一章单晶生长条件 设备要求 运行条件（以下以TDR-85A-ZJS 炉为例，其余炉型要求参照说明书） （1）冷却水要求 水压：炉子进出水压差要求介于2~3 公斤之间，真空泵进出水压差要求公斤以上； 炉子进水压力不可超过公斤，炉子上冷却水安全阀设置压力6 公斤；水流率：炉子和电源要求供水量不低于250 升每分钟，单独电源要求供水量不低于20 升每分钟；水温：推荐进水温度18~24oC，最大不超过25oC； 水质：弱碱性水，PH 值6~9；氯离子含量≤10ppm，碳酸钙含量≤50ppm；以纯净软水为好。 连接方式：进出水管与炉子之间采用软连接，防止震动传递到炉子。 （2）压缩空气要求 气压：≥7 公斤；推荐在压缩空气入口处使用压力调节器。 流率：≥升每秒； 汽缸容积：主真空球阀：2 升；辅助真空球阀：升。 （3）电力要求 相制：3 相AC380V(±10%)/50Hz； 功率：≥192KVA。 配电柜应装有500V、400V 的空气开关，和380V/400A的隔离开关。 （4）炉子真空要求空炉真空度：≤15mTorr；空炉泄漏 率：≤30mTorr/hr；带热场泄漏率：≤50mTo r r/hr。 （热场已经煅烧完全） 日常维护 （1）坩埚轴驱动部件的维护保养a、经常检查坩埚轴的冷却水是否通畅，避免冷却不充分而损坏坩埚轴； b、每个月对下轴丝杠至少清理一次，每次应先清理干净丝杠和导轨上的油污，加上适当（不可太多） 润滑油，然后上下快升降两次。 （2）提拉头的维护保养a、每次开炉后，检查钢丝绳是否损坏（包括变硬、缠松、有严重毛刺等），如有损坏，立即更换；b、钢丝绳在保管、使用、维修、安装过程中不能造成任何死弯角，否则在运行过程中会引起抖动。 （3）水冷系统的维护保养a、每次加热前检查水流量是否充足，确保所有水路没有堵塞，水温传感器运行正常；b、出现水温或水量报警要查找原因及时处理。 （4）翻板阀的维护保养每次装炉前检查阀口密封圈是否完好，翻板阀操作是否轻松、无卡滞，底部挥发物是否打扫干净，如发现问题应及时排除。 （5）真空系统的维护保养a、经常检查泵油，上下腔油均应浸过小观察窗一半。如上泵腔油不够，应及时补新油；下泵腔油不够，需关闭球阀，打开左侧阀门，使上泵腔油下到下泵腔，然后关闭阀门。注意右侧阀门保持常开；b、每次大清，先彻底放尽泵腔内的废油（用手慢慢拉动传动皮带，盘出下泵腔内的废油），然后打开上泵腔，清除干净沉淀油污。最后换上新油；c、每次拆炉时，拆开真空管道所有盲板和波纹管，彻底清扫管内的粉尘。
夏津县奥德新能源有限公司 直拉单晶炉操作规程 版本/修订0 文件编号：AD-ZY-DJ-07-2010 1 目的 为了使单晶制造厂直拉单晶炉操作工熟练掌握单晶炉，使生产正常运行。 2 适用范围 单晶制造厂所有单晶操作工。 3 内容 3.1 拆炉 3.1.1 准备 确认停炉冷却时间达5h，准备好钳子及取晶筐，向炉内充Ar气，确认炉内为常压时，副室门打开，关闭Ar 流量计启动液压，升起副室筒，稳住晶体轻推左旋副室，晶体筐对准副室筒口，按下晶快降速按钮。将晶体安全降入筐内，手扶籽晶夹头，用钳子将细颈处剪断，手扶夹头，待钢丝绳拧力全部消失后取籽晶，重锤升进副室内启动液压升起炉盖。左旋至副室筒下。 3.1.2 炉子清扫 3.1.2.1 戴好工作帽，口罩及专用手套，准备好酒精,吸尘器，无尘纸及放石墨件的不锈钢 车。 3.1.2.2 依次取出导流筒及上保温盖，先取掉热偶升起主炉室向右旋出，取出上保温筒石 英坩锅及埚底料，并放入到不锈钢桶内到指定的地方，锅底料应写清炉号及炉次。 注意：1：石墨件不能用手接触。 2：小心锋利的石英锅碎片和锅底料扎伤手指。 3：石英碎片和锅底料渣不要掉入轴波纹管及加热器缝隙内。 3.1.2.3 每炉必须在取下晶棒后及时清理过滤罐、过滤网， 3炉大清炉，每炉管道。 注意：清理过滤罐和管道，具有自燃的现象不能造成人生事故和将密封圈烧坏的 现象，所以拆除的地方必须用酒精擦净密封圈并装好。保证密封圈的完好。 3.1.2.4 戴好一次性手套，采取自上而下的原则，清扫副室筒及炉盖，用专用工具沾上酒 精，一圈一圈的仔细擦拭副炉筒。 注意：长棍不要和钢丝绳绕在一起，用纸巾沾上酒精擦炉盖顶上密封圈及翻板阀，密封圈并保证密封较进槽无误。 3.1.2.5 主炉清扫 戴好一次性手套用吸尘器与毛刷先刷净附着在主炉室的挥发物，吸净加热器托盘， 炉底。 注意：加热器电极螺丝是否松动，炉底排气孔是否畅通。用沾有酒精的纸巾把主 炉室及密封圈擦拭干净。 3.1.2.6 石墨件的清扫 吸净导流筒，保温罩，三瓣埚，用纸巾沾少量的酒精反复擦拭直至无污物。
文件编号：RHD-QB-K8302 （操作规程范本系列） 编辑：XXXXXX 查核：XXXXXX 时间：XXXXXX 工业蒸汽锅炉操作规程 标准版本
工业蒸汽锅炉操作规程标准版本操作指导：该操作规程文件为日常单位或公司为保证的工作、生产能够安全稳定地有效运转而制定的，并由相关人员在办理业务或操作时必须遵循的程序或步骤。，其中条款可根据自己现实基础上调整，请仔细浏览后进行编辑与保存。 1.升火前 1.1查验“交接班记录”及锅炉技术登记簿。 1.2检查设备各部位和安全附件（安全阀、水位表、压力表、排污阀及通风除尘设备），确认正常后方可操作。 1.3对于新装或大修以后的锅炉，应对以下几方面进行检查操作： 1.3.1检查锅炉本体、给水系统、烟风系统、各检测仪表等均应完好。 1.3.2检查锅筒或锅壳，集箱内应无杂物及贵遗留工具，管路无阻塞。
1.3.3拆除各管路上因检修而设置的盲板，人孔、手孔及连接法兰等处的螺栓应拧紧，各管路阀门均调整至点火要求位置。 1.3.4开给水泵、经省煤器向锅炉上水。上水温度为40-50摄氏度。 1.3.5上水至锅炉水位表的最低水位线时，停止上水，开启低位水位计、远传水位计及水位报警器。 1.3.6开启设备所有的冷却系统。 2.升火与升压 2.1对锅炉机组烟道进行彻底通风。风机通风的时间约为5分钟，自然通风应不少于15分钟。 2.2锅炉升水应按不同的燃烧设备所规定的操作方法进行。对于链条炉排可按下述步骤操作： 2.2.1在炉排的前部铺上一簿煤层，并在其上铺好木材及引燃物。
2.2.2启动风机，点燃引燃物并调节风门。待木材燃烧稳定后，缓慢转动炉排。 2.2.3待煤燃烧稳定后，逐渐增加给煤量，调节送风量，使之燃烧正常。 2.2.4按设备使用说明书规定，掌握锅炉升火到供气的时间性。当蒸汽从空气阀中冒出时，即可关闭空气阀，并密切注意锅炉压力表，适当开大烟道挡板，加强通风，准备升压。 2.2.5升火期间应控制省煤器内水温，在工作压力下应低于饱和温度400C。 2.2.6当汽压上升到0.05-0.10兆帕时，应冲洗水位表。 2.2.7当汽压上升到0.10-0.15兆帕时，应冲洗压力表的存水弯管。 2.2.8当汽压上升到0.20-0.29兆帕时，应检查
单晶炉常见应急事故处理方法及注意事项 常见事故： (一)停水 1)发生停水或水压报警时，先确认水压表是否偏低，水管和炉筒温度是否明 显升高。 1.快速提升晶体或籽晶，使晶体或籽晶脱离液面150mm。 2.关闭加热功率。 3.复位控制柜面板上单晶生长控制器，使其处于手动状态。 4.降低埚位到熔料埚位。 5.关闭埚转。 2)停水后水压恢复。 1.冷却水恢复供应时，监控水压，有异常立即报告管理人员。 2.水压恢复时，炉内无严重氧化现象，熔体未结晶或已结晶但液面结晶小 于10分钟且石英坩埚未破裂，按加热功率开，调节功率到熔料功率。 3.启动埚转，设定为2转/分。 4.熔化结晶面，在此期间应密切炉内有无严重氧化现象，注意硅料液面熔 化情况，一旦发生严重氧化现象、硅液面下降，立即停炉并上报管理人 员。 5.待结晶全熔后，手动调节功率为引晶功率，温度稳定后，开始引晶。 3)停水后水压无法恢复，或恢复时熔体已结晶大于10分钟。 1.在熔体结晶15分钟时，快速提升坩埚，使坩埚顶起导流筒100mm。 2.停炉，充分冷却后拆炉 (二)停电 1)若炉子工作时，加热部分停电。 1.复位控制柜面板上单晶生长控制器，使其处于手动状态。 2.降低埚位到熔料埚位。 3.关闭埚转。 4.加热部分恢复时，若时间较短（液面未结晶或液面已结晶但小于10分钟 且石英坩埚未破），按加热功率开，将功率升至熔料功率。 5.启动埚转，设定为2转/分。 6.熔化结晶面，在此期间应密切注意硅料液面熔化情况，一旦发生硅液面 下降，立即停炉并上报管理人员。 7.待结晶全熔后，手动调节功率为引晶功率，温度稳定后，开始引晶。 8.加热部分恢复时，若停电时间较长（液面结晶已经大于10分钟或石英坩 埚破裂），快速提升晶体或籽晶，使晶体或籽晶脱离液面150mm。 9.在熔体结晶15分钟时，快速提升坩埚，使坩埚顶起导流筒100mm。 10.停炉，充分冷却后拆炉。 2)若炉子工作时，加热电源、控制电源同时断电。 1.立即关闭抽空阀门。 2.手动摇手柄降低埚位使晶棒与硅液脱离。
10t/h 燃气锅炉操作规程 编制：王世锋 校对： 审核：
东营奥星石油化工有限公司 二零一七年十二月
目录 第一部分锅炉简介........................................................................................................ 一、WNS 型系列蒸汽锅炉的型号意义 (1) 二、锅炉结构和技术特点 (1) 三、锅炉及除氧器结构介绍 (2) 四、煮炉 (4) 第二部分锅炉使用说明................................................................................................. 一、燃气锅炉的运行 (5) 二、锅炉的升火及升温 (6) 三、锅炉的停炉 (7) 四、锅炉的排污 (8) 五、水位计的冲洗 (8) 六、锅炉水质分析方法 (9) 七、正常运行与管理 (10) 八、锅炉运行中常见事故处理 (11) 九、锅炉辅助设备表 (14) 十、附表：锅炉控制器使用说明 (15)
第一部分锅炉简介 一、WNS 型系列蒸汽锅炉的型号意义 以WNS10-1.25-Y （Q）为例：表示卧式内燃锅炉，额定蒸发量为10t/h ，额定蒸汽压力1.25MPa ，蒸汽温度为饱和温度，燃用油（气）的蒸汽锅炉。 二、锅炉结构和技术特点 1、WNS 系列全自动燃油（气）蒸汽锅炉，采用快装卧式内燃双回程湿背烟火管 锅炉型式。锅炉本体采用下置式波形炉胆，回燃室和波形炉胆、螺纹烟管相连接。高温 烟气火焰在炉胆内进行辐射放热后，经回燃室折向螺纹烟管进行对流传热后，进入前烟箱；高温烟气向后进入节能冷凝器，经充分换热后，最后通过烟囱排入大气。 2、WNS 系列全自动蒸汽锅炉，采用快装卧式内燃三回程湿背烟火管锅炉型式， 其中1t/h 的锅炉为中心回焰燃烧结构，其余的为顺流燃烧结构。锅炉本体采用下置式波形炉胆，烟气分三个回程，燃料在炉胆内正压燃烧，经过回烟室进入对流螺纹烟管，再 从前烟箱折回对流烟管，再进入节能器进行对流传热，最后通过烟囱排入大气。烟气三 回程在炉内的停留时间长，利于降低排烟温底，提高锅炉效率。 3、锅炉前烟箱装有活动烟箱盖，拆、装检修方便。锅炉配有整体式燃烧器，具有 启动快，效率高，高度自动化等特点，适用于各种需要提供生活、民用及工业用蒸汽的 地方。 4、锅炉具有超气压保护、水位自动调节、缺水保护、意外熄火停炉保护、程序启 动等完善功能。
CL系列单晶炉，属软轴提拉型，用直拉法生长无位错电路级、太阳能级单晶的设备。 此设备结构设计稳定，运行平稳，且有多项安全防护设施，质量流量及温度控制精确，整个晶体生长过程由高可靠的可编程计算机控制器（PCC）控制，并可实现全自动（CCD）控制，包括抽真空、熔化、引晶缩颈、放肩、等经生长和尾锥生长。 CL-90型设备提供一对电极，满足用户采用两温区加热的工艺要求。设备使用18寸或20寸的热系统，投料量60-90Kg，生长6″或8″的单晶体。 设备特点： 1、稳定的机架结构设计，增强了设备在晶体生长过程中的抗振动能力。 2、优化的液压提升机构确保副炉室提升和复位时的运动平稳性。 3、与主机分离的分水器设计，在减少冷却水振动对晶体生长的影响的同时优化了水路布局。 4、晶体和坩埚的提升采用双电机结构，保证稳定的低生长速度以及坩埚和籽晶的快速定位。 5、采用无振动的高性能马达和低噪声的减速器驱动晶体和坩埚上升，可提供稳定的低生长速度。 6、设备的真空条件和在真空下的可控惰性气体气流使得热区清洗最佳化。氧化硅可以在不污染晶体和晶体驱动装置的条件下排除。 7、带隔离阀的副室可以在热区保持工作温度的情况下，取出长成的晶体或者更换籽晶。 8、对惰性气体流量和炉室压力高精度的控制能力，为生长高品质单晶创造了条件。 9、炉盖和炉腔通过两个提升装置提升，很方便的转向一边快捷地清洗。 10、熔化温度通过对加热器温度的电控来维持和调节，加热电源采用直流供电提高了控制精度。高品质的加热器温度测量传感器实现了精确的温度控制。 12、整个晶体生长过程由一个高可靠的可编程计算机控制器（PCC）控制，包括抽真空、熔化、引晶缩颈、放肩、等经生长和尾锥生长，晶体生长全过程可实现全自动（CCD）控制：。 13、带有数据和报警过程控制的可视化软件，存储在计算机的硬盘中。可以显示过程变量随时 间变化的趋势图。
When the lives of employees or national property are endangered, production activities are stopped to rectify and eliminate dangerous factors. （安全管理） 单位：___________________ 姓名：___________________ 日期：___________________ 单晶炉安全操作规范(2021新版)
单晶炉安全操作规范(2021新版)导语：生产有了安全保障，才能持续、稳定发展。生产活动中事故层出不穷，生产势必陷于混乱、甚至瘫痪状态。当生产与安全发生矛盾、危及职工生命或国家财产时，生产活动停下来整治、消除危险因素以后，生产形势会变得更好。"安全第一" 的提法，决非把安全摆到生产之上;忽视安全自然是一种错误。 1、开机安全检查 单晶炉开机、装料前，应对电气、机械、液压等部分进行检查，使单晶炉电极处于无电压输出，各机械传动安全可靠； 1）检查主加热器处于关闭状态（是否切断主回路的空开？）； 2）欧陆表输出设定为0； 3）上炉膛、炉盖、付室的机械联接部位螺丝无松动现象； 4）检查上、炉膛、炉盖付室的液压升降应正常； 2、装炉时安全事项 在开机检查正常情况下，可以装炉，同时在控制柜现眼位置悬挂禁止合闸警示牌； 3、抽真空安全事项 1）开真空泵前，应检查真空泵房，确保对应本设备的真空泵及管道处于无其他人员操作状态； 2）按真空泵操作规程正确操作；
3）抽真空过程中，应检查各环节的密封圈处于正常，应无脱落、装反等现象； 4）在单晶炉真空状态过程中，严禁用手或其他物品碰触或堵漏气处，以免造成人身或设备损害，如发现漏气，应按停炉恢复常压规程操作； 4、装炉、装料、拆炉、清炉、清理真空泵及真空管道过程的安全事项 1）按工艺操作规程进行正确操作； 2）必须在主加热器处于关闭状态、欧陆表输出设定为0的状态下操作； 3）在控制柜现眼位置悬挂禁止合闸警示牌； 4）禁止操作人员身体处于液压可升降部件如炉盖、炉膛下方，以免液压控制失灵造成人身伤害，如确需在上述部件下操作，必须设置足够强度和能保证足够安全空间的支撑部件来支撑因故障时升降部件的下坠而不致于伤及人身； 5）清理真空泵及真空管道时，必须在真空泵停止运行的状态下进行，在对应控制柜显眼位置处悬挂维修警示牌或禁止合闸警示牌，以防其他人员误开启真空泵，造成人身伤害；
蒸汽锅炉岗位安全操作规程 1、岗位任务及职责： 1.1负责锅炉机组的开停车以及日常维护，完成生产和生活供汽任务。 1.2负责软化系统的正常运行，保证软水各项指标合格。 1.3负责各设备的正常运行和除氧水池的补水及液位控制。 1.4负责本岗位的卫生情况和所属设备维护保养润滑等。 1.5严格执行本厂的各项规章制度，按时进行巡检和填写运行记录表，不得超前滞后， 保证正常供汽。 1.6坚守岗位，随时监视锅炉水汽、蒸汽压力、流量、液位及锅炉的燃烧运行情况， 出现问题及时采取有效措施，自己无法处理时，尽快向上一级领导汇报。 2、工艺指标： 软水硬度≤0.03mmol/l 锅炉水碱度6—24 mmol/l 锅炉水PH值10—12（25℃）安全阀设定值（汽压）1.25 MPa 锅炉运行汽压0.8—1.1 MPa 额定蒸发量10t/h 3、系统运行方法及步骤： 3.1运行前的准备工作 ①检查各种仪器仪表是否正常。 ②检查整个供汽管道和各水汽法兰连接点，确认无泄漏。 ③检查煤气压力是否标准，确定供煤气管道内畅通，无冷凝液。 ④检查软化水系统能否正常运转。 ⑤检查软水是否合格，确认软水箱液位在1/3以上。 ⑥检查除氧水池是否有足够的水。 ⑦检查锅炉水是否合格及锅炉内有无其它异常现象。
⑧检查锅炉操作配电柜内部运行设备的电源开关是否在运行状态。 ⑨检查锅炉水位是否正常，保持在锅炉水位表1/3处。 3.2启动运行程序 ①启动引风机开启引风机挡板，待引风机运行正常平稳后，启动鼓风机并且开 启鼓风门挡板。 ②调节引风机和鼓风机风门开张角度比例2:1，吹扫炉膛内残留可燃气体10— 15分钟，观察引风机、鼓风机运行状况。 ③待吹扫适当的时间后，准备点火，先开启1#煤气球阀，按住点火按钮，观察 确认炉膛内有电火花后，开启2#点火煤气阀，将火点燃后，放开点火按钮。 ④待小火燃烧确认平稳正常后，开启煤气气动切断阀后，立即缓慢开启3#煤气 球阀，调节3#煤气球阀开张角度至正常、平稳燃烧状态后观察燃烧状况，以 火焰中心呈红、黄色，边缘呈蓝色，燃烧稳定，机组不振动、不脱火为宜， 至此点火完成，锅炉进入正常运行状态。 ⑤点火完成后，立即关闭1#、2#点火煤气阀，防止停炉后点火煤气进入炉膛而 发生爆炸导致事故。 4、燃烧的调节： ①锅炉的排烟温度控制在170℃左右。 ②增加煤气量时，应先增加通风量，反之减弱通风量也应先减少煤气供给。 ②保持炉膛完全燃烧时，必须保持一定的空气剩余系数。 ④配风增加风量时，先开大引风门，后开大鼓风门，减少风量时，先关子鼓 风门，再关子引风门。 ⑤燃烧配比的三种情况： a 火焰呈明蓝色，烟冒白烟，表明空气量过大（或煤气量过小）。 b 火焰中心呈红黄色，边缘呈浅蓝色，炉内充满平稳燃烧火焰，烟无色透明，
第一章概述 一、简介 单晶炉加热电源，是通力盛达能源设备（北京）有限公司集多年智能开关电源开发经验，参照信息产业部行业标准，结合国内外供电状况和使用要求，设计、生产的高新技术产品。可用于单晶硅，多晶硅加热场所。 单晶炉加热电源系统采用模块化设计、组合式结构，由整流器、交流配电、直流配电等部分组成。 单晶炉加热电源通过外部隔离的0-10V直流电压控制系统输出，与其对应系统输出电压为0-60V，或者对应系统输出功率为150KW（通过系统前面板上的开关SW1选择“电压调节”或“功率调节”方式）。 单晶炉加热电源智能开关电源系统采用DZY-48/50H(HE)开关整流器，系统最大容量为2800A。 开关整流器采用了数字化功率因数校正、智能控制检测、新型磁性材料等新技术，使用了良好的热设计、EMC设计和可靠性设计，使交流输入电压适应范围、功率因数、功率密度、电磁兼容性、可靠性、转换效率等主要技术指标达到了国际先进水平。 二、系统特点 1．全数字化交错PFC创新控制的有限双极性控制ZVS全桥拓扑、倍整流拓扑、双单片机实现全数字监控。 2．系统整流器采用功率因数校正技术，使输入的交流电流波形与输入的交流电压波形相同，相位一致，整机效率高，节省能源，降低运营成本。 3．系统整流器采用高频PWM控制变换技术，一方面减少了开关器什在高频开关过程中的功率损耗，提高了整机效率；另一方面减少了电磁干扰，可将电源系统安装在程控机房内。 4．系统采用民主均流技术，提高了系统工作的稳定与可靠性，因而减少了设备日常的工作维护。 5．系统整流器采用智能风冷和水冷技术，冷却效果好，故障率低，可靠性高。 6．整流器采用无工频变压器设计，体积小、重量轻。