单晶炉安全操作规范集团公司文件内部编码：（TTT-UUTT-MMYB-URTTY-ITTLTY-
单晶炉安全操作规范1、开机安全检查 单晶炉开机、装料前，应对电气、机械、液压等部分进行检查，使单晶炉电极处于无电压输出，各机械传动安全可靠； 1）检查主加热器处于关闭状态（是否切断主回路的空开？）； 2）欧陆表输出设定为0； 3）上炉膛、炉盖、付室的机械联接部位螺丝无松动现象； 4）检查上、炉膛、炉盖付室的液压升降应正常； 2、装炉时安全事项 在开机检查正常情况下，可以装炉，同时在控制柜现眼位置悬挂禁止合闸警示牌； 3、抽真空安全事项
1）开真空泵前，应检查真空泵房，确保对应本设备的真空泵及管道处于无其他人员操作状态； 2）按真空泵操作规程正确操作； 3）抽真空过程中，应检查各环节的密封圈处于正常，应无脱落、装反等现象； 4）在单晶炉真空状态过程中，严禁用手或其他物品碰触或堵漏气处，以免造成人身或设备损害，如发现漏气，应按停炉恢复常压规程操作；4、装炉、装料、拆炉、清炉、清理真空泵及真空管道过程的安全事项 1）按工艺操作规程进行正确操作； 2）必须在主加热器处于关闭状态、欧陆表输出设定为0的状态下操作； 3）在控制柜现眼位置悬挂禁止合闸警示牌； 4）禁止操作人员身体处于液压可升降部件如炉盖、炉膛下方，以免液压控制失灵造成人身伤害，如确需在上述部件下操作，必须设置足够强度和能保证足够安全空间的支撑部件来支撑因故障时升降部件的下坠而不致于伤及人身；
5）清理真空泵及真空管道时，必须在真空泵停止运行的状态下进行，在对应控制柜显眼位置处悬挂维修警示牌或禁止合闸警示牌，以防其他人员误开启真空泵，造成人身伤害； 6）炉体内清洁时，必须打开炉盖、上升上炉膛并偏移至合适位置，使操作人员操作空间处于敞开状态，避免操作人员处于缺氧环境状态下工作； 5、加热器加热过程安全事项 在上述检查准备工作就绪，且符合工艺操作规程的前提下，才能开启加热器。 1）开启加热器前，必须检查冷却水路开启、水压正常，否则严禁开启加热器； 2）开启加热器，必须缓慢增加输出电压或加热功率；严禁超功率或过电流运行； 3）在加热器工作过程中，如发现电极打火、过电流等现象或报警，应按直拉应急方案处置，
编号：SY-AQ-01305 ( 安全管理) 单位：_____________________ 审批：_____________________ 日期：_____________________ WORD文档/ A4打印/ 可编辑 电锅炉炉膛尺寸及出口烟温说 明 Description of furnace size and outlet flue gas temperature of electric boiler
电锅炉炉膛尺寸及出口烟温说明 导语：进行安全管理的目的是预防、消灭事故，防止或消除事故伤害，保护劳动者的安全与健康。在安全管理的四项主要内容中，虽然都是为了达到安全管理的目的，但是对生产因素状态的控制，与安全管理目的关系更直接，显得更为突出。 一.电锅炉炉膛主要尺寸 1.这个标题的内容是确定炉膛的宽和深。 2.炉膛深度应当保证火焰在炉膛的断面内自由发展，高温火焰不冲刷 炉墙。 3.有的作者试图建立炉膛宽和锅炉容量D的关系。 4.燃料完全燃烧的时间约为2～2.5s。 二.炉膛出口烟气温度 1.什么地方叫炉膛出口?这个问题始终没有一定的说法，同样苏联 1973年标准上也没有。问题的实质是：炉膛里面全是辐射传热，炉 膛外面全是对流传热，把炉膛出口放在什么地方能更准确地表示两 种传热的分界的问题。 2.现在锅炉厂设计锅炉的时候，热力计算上显示：炉膛出口截面对于 200MW以下的国产机组在后屏第一排管子中心线，对于国产的
300MW以上的机组在大屏下面(只是从热力汇总表上看出来的)，进口机组也在大屏下面(只是从热力汇总表上看出来的)。 3.炉膛出口烟气温度的选择：考虑两个方面的问题，一个是从设计、建造锅炉来说，辐射受热面和对流受热面的费用不同，因此有一个最佳原文出处：炉膛出口烟气温度，对于燃烧煤粉的锅炉一般是1250℃。另一方面，要受到炉膛出口受热面结渣、腐蚀的限制，不能达到1250℃。一般来说，炉膛出口烟气温度为1050～1150℃，计算值超出这个范围就要问一问是否计算错了。如果是炉膛出口在大屏下面的国产机组，炉膛出口烟气温度应当在1300℃，甚至更高一些。 这里填写您的公司名字 Fill In Your Business Name Here
． 全自动软件界面操作手册 REV. HXSC_A1.HA03 （TDR-95A/100A/100B-ZJS适用） 2010年06月 杭州慧翔电液技术开发有限公司HangZhou HuiXiang Electro-Hydraulic Technology Development Co.Ltd
目录 介绍.............................. ........................... ...................... ........ ............................. .. (3) 炉体控制.............................. .......................................... ........ ............................. .. (4) 晶体、坩埚提升运动控制界面..................................... ........ ............................. .. (5) 晶体、坩埚旋转运动控制界面..................................... ........ ............................. .. (5) 坩埚自动定位界面............. .......................................... ........ ............................. .. (6) 加热功率控制界面............. .......................................... ........ ............................. .. (6) 磁场电流设置界面............. .......................................... ........ ............................. .. (7) 等径闭环界面..................... .......................................... ........ ............................. .. (7) 热场温度控制界面............. .......................................... ........ ............................. .. (7) 温度闭环参数设置界面..... .......................................... ........ ............................. .. (8) 热场温升控制界面............. .......................................... ........ ............................. .. (8) 液面温度控制界面............. .......................................... ........ ............................. .. (8) 生长控制界面..................... .......................................... ........ ............................. .. (9) 坩埚跟踪控制界面............. .......................................... ........ ............................. .. (9) 压力控制界面..................... .......................................... ........ ............................. .. (10) 自动工艺选择..................... .......................................... ........ ............................. .. (10) 氩气、真空控制............. .......................................... ....... ..... ............................. .. (11) 曲线数据.............................. .......................................... ........ ............................. .. (12) 曲线数据选择............. .......................................... . (13) 工艺参数.............................. .......................................... ........ ............................. .. (14) 下载SOP说明............. .......................................... ........ ............................. (18) 辅助功能.............................. .......................................... ........ ............................. .. (19) 硅晶体重量长度计算........ . .......................................... ........ ............................. .. (19) 大气压力设定.................... . .......................................... ........ ............................. .. (20) 液面温度校正.................... . .......................................... ........ ............................. .. (20) 热场温度校正.................... . .......................................... ........ ............................. .. (21) 晶体、坩埚行程设置........ . .......................................... ........ ............................. .. (21) 晶体、坩埚位置设置........ . .......................................... ........ ............................. .. (22) 磁场零位校正.................... . .......................................... ........ ............................. .. (23) 日期时间校正.................... . .......................................... ........ ............................. .. (23) 系统参数.............................. .......................................... ........ ............................. .. (24) 注册.............................. . .......................................... ........ ............... ................... .. (24)
六盘山检修部南华山风电场 电锅炉热水供暖应急预案 编制目的： 为规范和加强我风电场锅炉安全生产事故应急工作，使应急安全有序、高效实施及时控制和消除事故危害，最大限度减少事故造成的人员伤亡和经济损失，特制定本预案。 编制依据： 本预案依据《中华人民共和国安全生产法》、《中华人民共和国消防法》、《特种设备安全监察条例》、《锅炉压力容器、压力管道特种设备事故处理规定》制定本预案。 适用范围： 此预案适用于南华山风电场锅炉事故、电气元件烧毁造成的火灾事故、(或者有可能发生)锅炉爆炸的事故。 应急工作原则 快速反应，统一指挥，专业救援抢险与单位自救相结合。 2、危险源及风险性分析 锅炉概况 南华山风电场现有DSE-50-90型热水锅炉两台，主要
负责南华山生活及办公区域冬季供热，主要运行参数压力为，额定容量为190L，锅炉房建于南华山风电场西北侧。 危险性分析 南华山风电场危险源为两台DSE-50-90型电加热热水锅炉。 一旦断电，电锅炉就会停止工作，电流和电压都降到零，工作照明指示灯熄灭，仪表指示也熄灭，锅炉内压力下降。为了保证系统内部压力，这个时候需要关闭一些排出阀门，比如：排污阀、排水阀等，保存压力的目的是为了下次启动时候，节约能耗。遇到停水的状况，不仅能够影响供暖效果，同时，引风机联轴器因没有冷却水降温，而温度超高，会降低使用寿命，因此，发现停水时，要及时对电锅炉进行停电处理，一般锅炉都存在备用水，这个时候可以打开备用水罐，补充所需的水量，另外，及时联系相关部门，解决断水问题。 仪器表显示不正常 为了保证系统正常工作，需要对整个系统进行增压处理，系统压力指示通过压力表，在使用时，我们经常会遇到压力表指示不稳定，这个可能的原因一方面来自由管道内的空气没有排除干净或者水里夹杂着空气;另一方面系统内部分阀门未及时关闭。当管道内有空气时，只需要开启排气阀，即可排除管道内气
1、目的 为正确、规范地操作单晶炉,确保生产作业正常,特制订本规范。 2、适用范围 适用于 TDR-70A/B和 JRDL-800型单晶炉的操作。 3、单晶炉操作工艺流程 作业准备→ 热态检漏→ 取单晶和籽晶→ 石墨件取出冷却→ 真空过滤器清洗→ 真空泵油检查更换→ 石墨件清洗→ 单晶炉室清洗→ 石墨件安装→ 石英坩埚安装→ 硅料安装→ 籽晶安装→ 抽空、检漏→ 充氩气、升功率、熔料→ 引晶、缩颈、放肩、转肩→ 等径生长→ 收尾→ 降功率、停炉冷却 4、主要内容 A. 作业准备 a. 进入单晶车间须穿戴好洁净工作服、鞋。 b. 开炉前,按工艺要求检查水、电、气,确认无误后方能开炉。 c. 准备好一次性洁净手套、耐高温手套、毛巾、纸巾、研磨布、酒精、吸尘刷、吸尘管、防尘口罩。 d. 准备好钳子、扳手和各类装拆炉专用工具。 e. 取单晶的架子、装石墨件的不锈钢小车、装埚底料的不锈钢筒和装硅料的不锈钢小车,并处理干净。 f. 用毛巾将炉体从上到下一遍, 擦洗时注意不要将所有控制接线及开关碰断或碰坏,并把炉子周围清扫干净。 B. 热态检漏
a. 检查上一炉功率关闭时间,在单晶冷却 4.0小时(TDR-70A/B型单晶炉、 5.0 小时(JRDL-800型单晶炉后,关闭氩气(只关闭氩气阀门,主、付室流量计调节阀打开并分别调节到 30L/Min,开始抽高真空,并作时间记录。 b. 待炉内压力到达极限(要求达到 3Pa 以下后,先关闭主室球阀而后关闭真空泵电源进行检漏,并作相应时间记录,若 0.5小时内抽不到 3Pa 以下时,交有关维修人员处理,在此期间须配合有关维修人员进行装拆炉,并作相关记录。 c. 检漏要求 3分钟以上,漏气率 <0.34Pa/min为正常,同时作好漏气率记录, 若漏气率>0.34Pa/min时,交有关维修人员处理,在此期间须配合有关维修人员进行装拆炉,并作相关记录。 C. 取单晶和籽晶 a. 热态检漏后,旋松付室小门 4个螺丝,打开氩气阀门充氩气至常压,关闭氩气,旋开付室小门 4个螺丝,打开付室小门。 b. 提升单晶至付室,从付室小门内确认单晶升至所需高度,若无异常,盖住翻板阀,打开液压泵,升起付室。 c. 把安全接盘移到炉筒口处,缓慢转动付室至侧面。 d. 把取单晶的架子放在付室炉筒正下方,准备接单晶。 e. 稳定单晶,移开安全接盘,按下籽晶快降,将单晶降入架子内。 f. 确认单晶完全入架子内后, 按住籽晶, 用钳子将籽晶从细径处钳断, 钳断籽晶后,应稳定重锤,防止重锤快速转动,损坏钢丝绳。 g. 将籽晶从重锤上取下,放在指定场所,再将重锤升至付室内适当位置。 h. 将单晶移到中转区,及时、准确的将单晶编号写在单晶上,待自然冷却后对单晶进行各项参数检测并作好记录。 D. 石墨件取出冷却
单晶硅生长炉 目录 单晶硅生长炉 原理简介 目前国内外晶体生长设备的现状 单晶硅生长炉的特点 单晶硅生长炉 原理简介 目前国内外晶体生长设备的现状 单晶硅生长炉的特点 展开 编辑本段单晶硅生长炉 单晶硅生长炉是通过直拉法生产单晶硅的制造设备。主要由主机、加热电源和计算机控制系统三大部分组成。 1、主机部分： ●机架，双立柱 ●双层水冷式结构炉体 ●水冷式阀座 ●晶体提升及旋转机构 ●坩埚提升及旋转机构 ●氩气系统 ●真空系统及自动炉压检测控制 ●水冷系统及多种安全保障装置 ●留有二次加料口 2、加热器电源： 全水冷电源装置采用专利电源或原装进口IGBT及超快恢复二极管等功率器件。配以特效高频变压器，构成新一代高频开关电源。采用移相全桥软开关（ZVS）及CPU独立控制技术，提高了电能转换效率，不需要功率因数补偿装置。 3、计算机控制系统： 采用PLC和上位工业平板电脑PC机，配备大屏幕触摸式HMI人机界面、高像素CCD测径ADC系统和具有独立知识产权的“全自动CZ法晶体生长SCADA监控系统”，可实现从抽真空—检漏—炉压控制—熔料—稳定—溶接—引晶—放肩—转肩—等径—收尾—停炉全过程自动控制。
中国西安理工大学研究所 。 美国KAYEX公司 德国CGS GmbH公司 编辑本段单晶硅生长炉的特点 HD系列硅单晶炉的炉室采用3节设计。上筒和上盖可以上升并向两边转动，便于装料和维护等。炉筒升降支撑采用双立柱设计，提高稳定性。支撑柱安装在炉体支撑平台的上面，便于平台下面设备的维护。炉筒升降采用丝杠提升技术，简便干净。 全自动控制系统采用模块化设计，维护方便，可靠性高，抗干扰性好。双摄像头实时采集晶体直径信息。液面测温确保下籽晶温度和可重复性。炉内温度或加热功率控制方式可选，保证控温精度。质量流量计精确控制氩气流量。高精度真空计结合电动蝶阀实时控制炉内真空度。上称重传感器用于晶棒直径的辅助控制。伺服电机和步进电机的混合使用，即可满足转动所需的扭矩，又可实现转速的精确控制。质量流量计精确控制氩气流量。 自主产权的控制软件采用视窗平台，操作方便简洁直观。多种曲线和数据交叉分析工具提供了工艺实时监控的平台。完整的工艺设定界面使计算机可以自动完成几乎所有的工艺过程。 加热电源采用绿色纵向12脉冲直流电源。比传统直流电源节能近15%。 特殊的温场设计使晶体提拉速度提高20-30%。
常压电锅炉安装使用说明书
电热锅炉 安装使用说明书 长沙潺林水暖空调有限公司
目录 1、锅炉简介 2、锅炉出厂情况 3、锅炉安装 4、操作使用 5、故障处理
一、锅炉简介： CLDR（CWDR）系列全自动电热锅炉是用二次能源——电，作为热源的锅炉，可替代燃煤、燃油、燃气等以生化物作燃料的锅炉，可用于供给采暖和生活热水，亦可生产蒸汽作工业、生活用。它具有环保效果好（是真正的环保产品）、自动化程度高、热效率高（可达98%）、安全可靠、占地小、投资少、安装操作方便等优点。适用于对环保条件要求高，地面拥挤的大城市、风景区、宾馆、科研机构、医院、学校、机关等使用，也适用于水电、火电资源丰富的中小城镇、供电所、变电站等使用。 潺林CLDR（CWDR）系列电热锅炉是机电一体化设备，采用进口PLC可编程控制器，系统的全自动运行通过编程来实现。主要有以下功能：1、梯式加载：系统自动运行，分时启动每级电 热管（时间间隔可以任意设定），从而避免 了对电网的冲击； 2、电热元件循环投切：电热元件可循环投切， 即先投先切，后投后切，使各接触器及电加 热元件使用时间及动作频率相同，从而提高 各电器元件使用寿命； 3、缺水保护：当锅炉本体中水位不够时，系统 将报警，并停止运行，补水后自动投入运行； 4、温度设定、自动调温、超温保护：可在电控 柜上设定温度上、下限（100℃以内的热水）； 当系统温度低于下限设定值时，每隔一定时 间（可以任意修改）自动增加一组电热管投 入运行。当温度高于温度上限设定值时，每 隔一定时间自动减少一组电热管加热，当温 度介于上、下限之间时，保持加热功率不变。 当温度达到电接点温度表上的温度极限时，
第一章单晶生长条件 设备要求 运行条件（以下以TDR-85A-ZJS 炉为例，其余炉型要求参照说明书） （1）冷却水要求 水压：炉子进出水压差要求介于2~3 公斤之间，真空泵进出水压差要求公斤以上； 炉子进水压力不可超过公斤，炉子上冷却水安全阀设置压力6 公斤；水流率：炉子和电源要求供水量不低于250 升每分钟，单独电源要求供水量不低于20 升每分钟；水温：推荐进水温度18~24oC，最大不超过25oC； 水质：弱碱性水，PH 值6~9；氯离子含量≤10ppm，碳酸钙含量≤50ppm；以纯净软水为好。 连接方式：进出水管与炉子之间采用软连接，防止震动传递到炉子。 （2）压缩空气要求 气压：≥7 公斤；推荐在压缩空气入口处使用压力调节器。 流率：≥升每秒； 汽缸容积：主真空球阀：2 升；辅助真空球阀：升。 （3）电力要求 相制：3 相AC380V(±10%)/50Hz； 功率：≥192KVA。 配电柜应装有500V、400V 的空气开关，和380V/400A的隔离开关。 （4）炉子真空要求空炉真空度：≤15mTorr；空炉泄漏 率：≤30mTorr/hr；带热场泄漏率：≤50mTo r r/hr。 （热场已经煅烧完全） 日常维护 （1）坩埚轴驱动部件的维护保养a、经常检查坩埚轴的冷却水是否通畅，避免冷却不充分而损坏坩埚轴； b、每个月对下轴丝杠至少清理一次，每次应先清理干净丝杠和导轨上的油污，加上适当（不可太多） 润滑油，然后上下快升降两次。 （2）提拉头的维护保养a、每次开炉后，检查钢丝绳是否损坏（包括变硬、缠松、有严重毛刺等），如有损坏，立即更换；b、钢丝绳在保管、使用、维修、安装过程中不能造成任何死弯角，否则在运行过程中会引起抖动。 （3）水冷系统的维护保养a、每次加热前检查水流量是否充足，确保所有水路没有堵塞，水温传感器运行正常；b、出现水温或水量报警要查找原因及时处理。 （4）翻板阀的维护保养每次装炉前检查阀口密封圈是否完好，翻板阀操作是否轻松、无卡滞，底部挥发物是否打扫干净，如发现问题应及时排除。 （5）真空系统的维护保养a、经常检查泵油，上下腔油均应浸过小观察窗一半。如上泵腔油不够，应及时补新油；下泵腔油不够，需关闭球阀，打开左侧阀门，使上泵腔油下到下泵腔，然后关闭阀门。注意右侧阀门保持常开；b、每次大清，先彻底放尽泵腔内的废油（用手慢慢拉动传动皮带，盘出下泵腔内的废油），然后打开上泵腔，清除干净沉淀油污。最后换上新油；c、每次拆炉时，拆开真空管道所有盲板和波纹管，彻底清扫管内的粉尘。
电锅炉控制办法集团档案编码：[YTTR-YTPT28-YTNTL98-UYTYNN08]
锅 炉 控 制 方 案 一、企业概况 1.企业简介 2.企业的主要工程业绩 二、技术部分 1.锅炉自动控制方案 2.锅炉自动控制设备及报价 3.项目调试原则 4.项目培训计划 5.项目服务承诺书 第一部分：企业概况 企业简介
公司先后开发了各类锅炉节能控制系统、城市热网节能监控系统等产品，广泛应用于电力、热力、锅炉、供水、中央空调等行业，承揽了大量自动化系统工程，为广大用户创造了非常巨大的经济效益。极其卓越的节能效果和良好的投入产出比始终领先于市场。公司通过了“ISO9001：2000质量管理体系”认证，并获得市科学技术局颁发的“高新技术企业”证书。“以科技创造未来”是企业不断追求的目标，“开拓、进取、创新、服务”的理念不断促使企业的技术与服务推陈出新。 我公司将不遗余力地提高员工素质，以确保在技术上的先进地位，推陈出新，以我们优质的产品，合理的价格，完善的售后体系，为用户更好的服务。 企业典型业绩 第二部分：技术部分 一、锅炉自动控制方案 本方案采用集散型（DCS）结构，实现集中管理，分散控制的技术目标。子系统在脱离中央控制系统后能够维持目标的基本运行。 系统网络拓扑图如下： 中心控制室操作台示意图如下： 上位机欢迎界面如下： 上位机锅炉A部分控制界面如下： 上位机报表界面如下： 上位机报警界面如下： 上位机温度、压力曲线界面如下： 循环泵起停界面如下： 自动控制原理。
1、供暖温度18℃～22℃。根据室外温度检测元件测量到的温度，参考供 回水温度之差，通过PID控制算法，起停电加热器，来达到小区室内温度控制。 2、电加热器寿命延长20%。通过控制算法对锅炉各组电加热器进行顺序 控制（加减加热管的数量），平均优化使用各组电加热器的使用时 间。 3、定压补水。根据循环水压力检测元件测量到的压力，通过变频器的 PID程序，控制循环泵的转速。 4、低水位停炉。通过低水位开关，在超低水位时停止锅炉加热。 上位机（PC机）人机界面。友好的人机交互。监控人员在上位机设定控制目标温度后，整个自控系统自动实现室内供暖系统的目标温度。自动显示锅炉各个目标运行状况和参数，例如锅炉出水温度，出水压力，回水温度，回水压力，泵状态、水箱水位、温度、循环泵速度，电流电压等。监控人员通过点击菜单实现工况切换和系统启停，实现各相关设备之间的联动与应急操作。自动记录历史运行参数、打印报表、故障报警等功能。 下位机（PLC）控制。接收上位机下达的各种控制参数，例如温度控制目标值、泵启停等；采集现场的各种热工参数，例如温度、压力、泵状态。通过预先编制好的程序自动运行计算，通过执行机构（如调节法，变频泵电磁阀等）实现锅炉的目标温度值控制。现场触摸屏为操作人员在现场观察各种参数，以及进行就地手动操作提供方便。水泵的变频器可节省能源，并对系统提供进一步优化控制。自动定压补水，保证供回水管道压力恒定。
单晶硅生长炉原理 单晶硅生长炉原理 首先，把高纯度的多晶硅原料放入高纯石英坩埚，通过石墨加热器产生的高温将其熔化；然后，对熔化的硅液稍做降温，使之产生一定的过冷度，再用一根固定在籽晶轴上的硅单晶体（称作籽晶）插入熔体表面，待籽晶与熔体熔和后，慢慢向上拉籽晶，晶体便会在籽晶下端生长；接着，控制籽晶生长出一段长为100m 单晶硅生长炉 m左右、直径为3～5mm的细颈，用于消除高温溶液对籽晶的强烈热冲击而产生的原子排列的位错，这个过程就是引晶；随后，放大晶体直径到工艺要求的大小，一般为75～300mm，这个过程称为放肩；接着，突然提高拉速进行转肩操作，使肩部近似直角；然后，进入等径工艺，通过控制热场温度和晶体提升速度，生长出一定直径规格大小的单晶柱体；最后，待大部分硅溶液都已经完成结晶时，再将晶体逐渐缩小而形成一个尾形锥体，称为收尾工艺；这样一个单晶拉制过程就基本完成，进行一定的保温冷却后就可以取出。 直拉法，也叫切克劳斯基（J.Czochralski）方法。此法早在1917年由切克劳斯基建立的一种晶体生长方法，用直拉法生长单晶的设备和工艺比较简单，容易实现自动控制，生产效率高，易于制备大直径单晶，容易控制单晶中杂质浓度，可以制备低电阻率单晶。据统计，世界上硅单晶的产量中70％～80％是用直拉法生产的。 单晶硅生长炉现状 目前国内外晶体生长设备的现状如下： 美国KAYEX公司 国外以美国KAYEX公司为代表，生产全自动硅单晶体生长炉。KAYEX公司是目前世界上最大，最先进的硅单晶体生长炉制造商之一。KAYEX的产品早在80年代初就进入中国市场，已成为中国半导体行业使用最多的品牌。该公司生长的硅晶体生长炉从抽真空－检漏－熔料－引晶－放肩－等径－收尾到关机的全过程由计算机实行全自动控制。晶体产品的完整性与均匀性好，直径偏差在单晶全长内仅±1mm。主要产品有CG3000、CG6000、KAYEX100PV、KAYEX120PV、KEYEX150，Vision300型，投料量分别为30kg、60kg、100kg、120kg、150kg、300kg。
夏津县奥德新能源有限公司 直拉单晶炉操作规程 版本/修订0 文件编号：AD-ZY-DJ-07-2010 1 目的 为了使单晶制造厂直拉单晶炉操作工熟练掌握单晶炉，使生产正常运行。 2 适用范围 单晶制造厂所有单晶操作工。 3 内容 3.1 拆炉 3.1.1 准备 确认停炉冷却时间达5h，准备好钳子及取晶筐，向炉内充Ar气，确认炉内为常压时，副室门打开，关闭Ar 流量计启动液压，升起副室筒，稳住晶体轻推左旋副室，晶体筐对准副室筒口，按下晶快降速按钮。将晶体安全降入筐内，手扶籽晶夹头，用钳子将细颈处剪断，手扶夹头，待钢丝绳拧力全部消失后取籽晶，重锤升进副室内启动液压升起炉盖。左旋至副室筒下。 3.1.2 炉子清扫 3.1.2.1 戴好工作帽，口罩及专用手套，准备好酒精,吸尘器，无尘纸及放石墨件的不锈钢 车。 3.1.2.2 依次取出导流筒及上保温盖，先取掉热偶升起主炉室向右旋出，取出上保温筒石 英坩锅及埚底料，并放入到不锈钢桶内到指定的地方，锅底料应写清炉号及炉次。 注意：1：石墨件不能用手接触。 2：小心锋利的石英锅碎片和锅底料扎伤手指。 3：石英碎片和锅底料渣不要掉入轴波纹管及加热器缝隙内。 3.1.2.3 每炉必须在取下晶棒后及时清理过滤罐、过滤网， 3炉大清炉，每炉管道。 注意：清理过滤罐和管道，具有自燃的现象不能造成人生事故和将密封圈烧坏的 现象，所以拆除的地方必须用酒精擦净密封圈并装好。保证密封圈的完好。 3.1.2.4 戴好一次性手套，采取自上而下的原则，清扫副室筒及炉盖，用专用工具沾上酒 精，一圈一圈的仔细擦拭副炉筒。 注意：长棍不要和钢丝绳绕在一起，用纸巾沾上酒精擦炉盖顶上密封圈及翻板阀，密封圈并保证密封较进槽无误。 3.1.2.5 主炉清扫 戴好一次性手套用吸尘器与毛刷先刷净附着在主炉室的挥发物，吸净加热器托盘， 炉底。 注意：加热器电极螺丝是否松动，炉底排气孔是否畅通。用沾有酒精的纸巾把主 炉室及密封圈擦拭干净。 3.1.2.6 石墨件的清扫 吸净导流筒，保温罩，三瓣埚，用纸巾沾少量的酒精反复擦拭直至无污物。
CL系列单晶炉，属软轴提拉型，用直拉法生长无位错电路级、太阳能级单晶的设备。 此设备结构设计稳定，运行平稳，且有多项安全防护设施，质量流量及温度控制精确，整个晶体生长过程由高可靠的可编程计算机控制器（PCC）控制，并可实现全自动（CCD）控制，包括抽真空、熔化、引晶缩颈、放肩、等经生长和尾锥生长。 CL-90型设备提供一对电极，满足用户采用两温区加热的工艺要求。设备使用18寸或20寸的热系统，投料量60-90Kg，生长6″或8″的单晶体。 设备特点： 1、稳定的机架结构设计，增强了设备在晶体生长过程中的抗振动能力。 2、优化的液压提升机构确保副炉室提升和复位时的运动平稳性。 3、与主机分离的分水器设计，在减少冷却水振动对晶体生长的影响的同时优化了水路布局。 4、晶体和坩埚的提升采用双电机结构，保证稳定的低生长速度以及坩埚和籽晶的快速定位。 5、采用无振动的高性能马达和低噪声的减速器驱动晶体和坩埚上升，可提供稳定的低生长速度。 6、设备的真空条件和在真空下的可控惰性气体气流使得热区清洗最佳化。氧化硅可以在不污染晶体和晶体驱动装置的条件下排除。 7、带隔离阀的副室可以在热区保持工作温度的情况下，取出长成的晶体或者更换籽晶。 8、对惰性气体流量和炉室压力高精度的控制能力，为生长高品质单晶创造了条件。 9、炉盖和炉腔通过两个提升装置提升，很方便的转向一边快捷地清洗。 10、熔化温度通过对加热器温度的电控来维持和调节，加热电源采用直流供电提高了控制精度。高品质的加热器温度测量传感器实现了精确的温度控制。 12、整个晶体生长过程由一个高可靠的可编程计算机控制器（PCC）控制，包括抽真空、熔化、引晶缩颈、放肩、等经生长和尾锥生长，晶体生长全过程可实现全自动（CCD）控制：。 13、带有数据和报警过程控制的可视化软件，存储在计算机的硬盘中。可以显示过程变量随时 间变化的趋势图。
电锅炉采暖方案 Prepared on 22 November 2020
电锅炉供暖方案 一、工程概况 供暖采用电热水锅炉采暖系统 二、参照标准、依据 1、蓄热式电锅炉房设计施工图集。 2、常压蓄热水箱。 三、系统工作原理 1、蓄热系统直接向采暖系统供热，简称直接供热。直接供热在蓄热系统和采暖系统中不设热交换器，采暖系统中的循环水也回到蓄热水箱中。由于直接供热系统中不设热交换器、补水泵、定压装置，减少了设备，锅炉房管道也较为简单。 2、谷电、平电、峰电时间段（以北京地区为例） 谷电时间： 23：00~7：00 共计8小时； 平电时间： 7：00~8：00 11：00~18：00 共计8小时； 峰电时间： 8：00~11：00 18：00~23：00 共计8小时。 电锅炉蓄热式供暖系统的运行，全部使用谷电： 23：00~7：00开启电锅炉加热水箱中的水，加热至95℃，向系统供热；
7：00~23：00关闭电锅炉，由蓄热水箱向系统供热。 3、电网电价： 谷电元/度 平电元/度 峰电元/度 4、自控： 蓄热状态和供热状态，蓄热水箱中的热水温度不断的在变化。但是锅炉房采暖供水温度却不能随蓄热水箱温度的变化而变化。为使锅炉房采暖供水温度保持在设定范围内，采取有效的温度调控装置是必须的。对直接供热的系统，采用合流三通阀来调控锅炉房采暖供水温度。淋浴系统出水管设温度自动控制阀。 5、蓄热式电锅炉房系统单独设置系统控制柜，系统控制柜一般应具备以下功能： ①控制蓄热箱是否达到蓄热温度。 ②控制锅炉在23：00自动启动，7：00达到蓄热温度后自动停炉。 ③控制电动三通阀，调控锅炉房采暖供水温度。 ④控制蓄热泵的启停，保证先启泵，后启炉，先停炉，后停泵。 6、电气部分： ①电锅炉的电源应由配电室直接供给，可用电缆或金属排输送。 ②锅炉控制柜及系统控制柜宜单独设置在控制室内。
电锅炉采暖方案 Document number：WTWYT-WYWY-BTGTT-YTTYU-2018GT
电锅炉供暖方案 一、工程概况 供暖采用电热水锅炉采暖系统 二、参照标准、依据 1、蓄热式电锅炉房设计施工图集。 2、常压蓄热水箱。 三、系统工作原理 1、蓄热系统直接向采暖系统供热，简称直接供热。直接供热在蓄热系统和采暖系统中不设热交换器，采暖系统中的循环水也回到蓄热水箱中。由于直接供热系统中不设热交换器、补水泵、定压装置，减少了设备，锅炉房管道也较为简单。 2、谷电、平电、峰电时间段（以北京地区为例） 谷电时间： 23：00~7：00 共计8小时； 平电时间： 7：00~8：00 11：00~18：00 共计8小时； 峰电时间： 8：00~11：00 18：00~23：00 共计8小时。 电锅炉蓄热式供暖系统的运行，全部使用谷电： 23：00~7：00开启电锅炉加热水箱中的水，加热至95℃，向系统供热；
7：00~23：00关闭电锅炉，由蓄热水箱向系统供热。 3、电网电价： 谷电元/度 平电元/度 峰电元/度 4、自控： 蓄热状态和供热状态，蓄热水箱中的热水温度不断的在变化。但是锅炉房采暖供水温度却不能随蓄热水箱温度的变化而变化。为使锅炉房采暖供水温度保持在设定范围内，采取有效的温度调控装置是必须的。对直接供热的系统，采用合流三通阀来调控锅炉房采暖供水温度。淋浴系统出水管设温度自动控制阀。 5、蓄热式电锅炉房系统单独设置系统控制柜，系统控制柜一般应具备以下功能： ①控制蓄热箱是否达到蓄热温度。 ②控制锅炉在23：00自动启动，7：00达到蓄热温度后自动停炉。 ③控制电动三通阀，调控锅炉房采暖供水温度。 ④控制蓄热泵的启停，保证先启泵，后启炉，先停炉，后停泵。 6、电气部分： ①电锅炉的电源应由配电室直接供给，可用电缆或金属排输送。 ②锅炉控制柜及系统控制柜宜单独设置在控制室内。
When the lives of employees or national property are endangered, production activities are stopped to rectify and eliminate dangerous factors. （安全管理） 单位：___________________ 姓名：___________________ 日期：___________________ 单晶炉安全操作规范(2021新版)
单晶炉安全操作规范(2021新版)导语：生产有了安全保障，才能持续、稳定发展。生产活动中事故层出不穷，生产势必陷于混乱、甚至瘫痪状态。当生产与安全发生矛盾、危及职工生命或国家财产时，生产活动停下来整治、消除危险因素以后，生产形势会变得更好。"安全第一" 的提法，决非把安全摆到生产之上;忽视安全自然是一种错误。 1、开机安全检查 单晶炉开机、装料前，应对电气、机械、液压等部分进行检查，使单晶炉电极处于无电压输出，各机械传动安全可靠； 1）检查主加热器处于关闭状态（是否切断主回路的空开？）； 2）欧陆表输出设定为0； 3）上炉膛、炉盖、付室的机械联接部位螺丝无松动现象； 4）检查上、炉膛、炉盖付室的液压升降应正常； 2、装炉时安全事项 在开机检查正常情况下，可以装炉，同时在控制柜现眼位置悬挂禁止合闸警示牌； 3、抽真空安全事项 1）开真空泵前，应检查真空泵房，确保对应本设备的真空泵及管道处于无其他人员操作状态； 2）按真空泵操作规程正确操作；
3）抽真空过程中，应检查各环节的密封圈处于正常，应无脱落、装反等现象； 4）在单晶炉真空状态过程中，严禁用手或其他物品碰触或堵漏气处，以免造成人身或设备损害，如发现漏气，应按停炉恢复常压规程操作； 4、装炉、装料、拆炉、清炉、清理真空泵及真空管道过程的安全事项 1）按工艺操作规程进行正确操作； 2）必须在主加热器处于关闭状态、欧陆表输出设定为0的状态下操作； 3）在控制柜现眼位置悬挂禁止合闸警示牌； 4）禁止操作人员身体处于液压可升降部件如炉盖、炉膛下方，以免液压控制失灵造成人身伤害，如确需在上述部件下操作，必须设置足够强度和能保证足够安全空间的支撑部件来支撑因故障时升降部件的下坠而不致于伤及人身； 5）清理真空泵及真空管道时，必须在真空泵停止运行的状态下进行，在对应控制柜显眼位置处悬挂维修警示牌或禁止合闸警示牌，以防其他人员误开启真空泵，造成人身伤害；
单晶炉安全操作规范 1、开机安全检查 单晶炉开机、装料前，应对电气、机械、液压等部分进行检查，使单晶炉电极处于无电压输出，各机械传动安全可靠； 1）检查主加热器处于关闭状态（是否切断主回路的空开？）； 2）欧陆表输出设定为0； 3）上炉膛、炉盖、付室的机械联接部位螺丝无松动现象； 4）检查上、炉膛、炉盖付室的液压升降应正常； 2、装炉时安全事项 在开机检查正常情况下，可以装炉，同时在控制柜现眼位置悬挂禁止合闸警示牌； 3、抽真空安全事项 1）开真空泵前，应检查真空泵房，确保对应本设备的真空泵及管道处于无其他人员操作状态； 2）按真空泵操作规程正确操作； 3）抽真空过程中，应检查各环节的密封圈处于正常，应无脱落、装反等现象；4）在单晶炉真空状态过程中，严禁用手或其他物品碰触或堵漏气处，以免造成人身或设备损害，如发现漏气，应按停炉恢复常压规程操作； 4、装炉、装料、拆炉、清炉、清理真空泵及真空管道过程的安全事项 1）按工艺操作规程进行正确操作；
2）必须在主加热器处于关闭状态、欧陆表输出设定为0的状态下操作； 3）在控制柜现眼位置悬挂禁止合闸警示牌； 4）禁止操作人员身体处于液压可升降部件如炉盖、炉膛下方，以免液压控制失灵造成人身伤害，如确需在上述部件下操作，必须设置足够强度和能保证足够安全空间的支撑部件来支撑因故障时升降部件的下坠而不致于伤及人身；5）清理真空泵及真空管道时，必须在真空泵停止运行的状态下进行，在对应控制柜显眼位置处悬挂维修警示牌或禁止合闸警示牌，以防其他人员误开启真空泵，造成人身伤害； 6）炉体内清洁时，必须打开炉盖、上升上炉膛并偏移至合适位置，使操作人员操作空间处于敞开状态，避免操作人员处于缺氧环境状态下工作； 5、加热器加热过程安全事项 在上述检查准备工作就绪，且符合工艺操作规程的前提下，才能开启加热器。1）开启加热器前，必须检查冷却水路开启、水压正常，否则严禁开启加热器；2）开启加热器，必须缓慢增加输出电压或加热功率；严禁超功率或过电流运行； 3）在加热器工作过程中，如发现电极打火、过电流等现象或报警，应按直拉应急方案处置， 严禁强行升温； 4）如遇上述故障，应及时报修，由专职维修人员进行维修，严禁拉晶操作人员擅自修理； 6、单晶炉的维修维护安全事项 1）单晶炉在维修过程中，必须在显眼位置处悬挂维修警示牌；
电热水锅炉 使用说明书 北京奥林匹亚锅炉有限公司
———目录—— 一、产品规格 (3) 二、锅炉的结构示意图 (3) 三．锅炉的安装（标准） (4) 四．控制器使用说明 (5) 五．电路图 (14) 一、产品规格
1.立式电锅炉 2.卧式电锅炉 ※本产品规格随技术改进等原因不经预告可变更二、锅炉的结构示意图
1.立式电锅炉结构图 4 5 2 供暖水入口 供暖水出口控 制 器供热水出口供热水入口54321 5 4 3 1 2 21OLYMPIA 2.卧式电锅炉结构图 三、锅炉的安装
1.锅炉安装系统图 热水管 旁通泵 循环泵 放气阀 暖气片 洗澡间 自来水 屋顶水箱 出热水管 膨胀水箱 补充水管 压力回水管 供水管 排污口 2.锅炉的安装 1) 锅炉安装必须由技术监督部门认可的专业人员安装。 2) 浴室及潮湿的地方绝对不能安装。有可能造成绝缘不良而引起事故。 3) 锅炉的接地电阻应小于4Ω。勿用电源零线做接地线。 4) 安装锅炉时，必须设置膨胀水箱，膨胀水箱应设在离锅炉顶部高1-2米之间。 5) 请用补水箱给锅炉补水，绝对不能直接连接自来水管。 6) 在锅炉的补充水管上不能安装任何阀门。 7) 为了定期检查和维修，请充分保障锅炉两侧的作业空间。 8) 安装电锅炉时，必须根据您使用的锅炉功率选择漏电保护器容量大小和导线的截面积。 以下参数供用户参考 四、控制器使用说明
*熟知调节器的所有功能您可以正确随意的调节锅炉运转。 1.主机控制器 电源：启停锅炉。 运行：锅炉正常运行时点亮，锅炉发生异常现象停止运行并报警，排除故障后，按重复运行键重新启动锅炉。 水泵：显示循环泵的运行状态。 低水位：水量不足时点量；炉水不足自动切断运行，补满水后自动启动锅炉，补满水后，排出管道内的空气。 加热：加热管工作时点亮。 过热：显示炉体过热，炉体水温过高时点亮，循环水不畅通时点亮，过热保护器损坏时等点亮，排除故障后，按重复运行键，重新启动锅炉。 炉水温度调节：供暖水温调节。 重复运行：锅炉重新启动的装置。