第一章单晶生长条件
设备要求
运行条件（以下以TDR-85A-ZJS 炉为例，其余炉型要求参照说明书）
（1）冷却水要求
水压：炉子进出水压差要求介于2~3 公斤之间，真空泵进出水压差要求公斤以上；
炉子进水压力不可超过公斤，炉子上冷却水安全阀设置压力6 公斤；水流率：炉子和电源要求供水量不低于250 升每分钟，单独电源要求供水量不低于20 升每分钟；水温：推荐进水温度18~24oC，最大不超过25oC；
水质：弱碱性水，PH 值6~9；氯离子含量≤10ppm，碳酸钙含量≤50ppm；以纯净软水为好。
连接方式：进出水管与炉子之间采用软连接，防止震动传递到炉子。
（2）压缩空气要求
气压：≥7 公斤；推荐在压缩空气入口处使用压力调节器。
流率：≥升每秒；
汽缸容积：主真空球阀：2 升；辅助真空球阀：升。
（3）电力要求
相制：3 相AC380V(±10%)/50Hz；
功率：≥192KVA。
配电柜应装有500V、400V 的空气开关，和380V/400A的隔离开关。
（4）炉子真空要求空炉真空度：≤15mTorr；空炉泄漏
率：≤30mTorr/hr；带热场泄漏率：≤50mTo r r/hr。
（热场已经煅烧完全）
日常维护
（1）坩埚轴驱动部件的维护保养 a、经常检查坩埚轴的冷却水是否通畅，避免冷却不充分而损坏坩埚轴；
b、每个月对下轴丝杠至少清理一次，每次应先清理干净丝杠和导轨上的油污，加上适当（不可太多）
润滑油，然后上下快升降两次。
（2）提拉头的维护保养 a、每次开炉后，检查钢丝绳是否损坏（包括变硬、缠松、有严重毛刺等），如有损坏，立即更换； b、钢丝绳在保管、使用、维修、安装过程中不能造成任何死弯角，否则在运行过程中会引起抖动。
（3）水冷系统的维护保养 a、每次加热前检查水流量是否充足，确保所有水路没有堵塞，水温传感器运行正常； b、出现水温或水量报警要查找原因及时处理。
（4）翻板阀的维护保养每次装炉前检查阀口密封圈是否完好，翻板阀操作是否轻松、无卡滞，底部挥发物是否打扫干净，如发现问题应及时排除。
（5）真空系统的维护保养 a、经常检查泵油，上下腔油均应浸过小观察窗一半。如上泵腔油不够，应及时补新油；下泵腔油不够，需关闭球阀，打开左侧阀门，使上泵腔油下到下泵腔，然后关闭阀门。注意右侧阀门保持常开； b、每次大清，先彻底放尽泵腔内的废油（用手慢慢拉动传动皮带，盘出下泵腔
内的废油），然后打开上泵腔，清除干净沉淀油污。最后换上新油； c、每次拆炉时，拆开真空管道所有盲板和波纹管，彻底清扫管内的粉尘。
辅料要求
籽晶要求
（1）籽晶必须严格按要求每炉拆下进行检查,要求无伤痕、无裂纹；
（2）籽晶使用炉数必须记录清楚，不清楚的，更换，然后重开记录；
（3）吊渣使用废旧籽晶，吊渣后换上可使用的籽晶，吊料和拉晶，必须有细颈，拉晶细颈直径要求 3-5mm；
吊料细颈直径要求5-7mm；
（4）拉晶过程，要经常（频率不低于1 次/10 分钟）观察液面、晶体等炉内状况，确保坩埚边缘没有结晶，防止籽晶被结晶扭断；
（5）在籽晶吃重时，升降籽晶转数，要分多次、小幅度（2 转/分）进行；
（6）籽晶吃重时，快速升、降晶升，不得断断续续地进行，以免籽晶或细颈处被突然的加速重力或失重折断或损伤；
（7）剪断籽晶时要在细颈的最细处剪断，要注意用力适当，且不许用钳子扭断籽晶；否则该籽晶必须停用，交工段送抛光处理；
（8）每10 炉更换新籽晶；真空差的炉子的籽晶要提前2 炉更换。
石英坩埚要求
有下列特征之一者，为不合格，不能使用：
（1）磕碰损伤（位于坩埚上沿的微小碰损除外）
（2）裂纹
（3）严重划痕
（4）气泡处于内壁，并且已经开裂
（5）直径≥3mm的气泡，数量≥1 个
（6）直径<3mm 的气泡，数量≥5 个
（7）线度尺寸≥3mm的黑点，数量≥1 个
（8）线度尺寸<3mm 的黑点，数量≥5 个
（9）线度尺寸<3mm 的气泡、黑点，合计数量≥5 个
注黑点：处于坩埚内壁，液面淹没线以下的有色杂质点；
气泡：处于坩埚内壁，液面淹没线以下，夹在坩埚壁内的空洞。
高纯石墨要求
（1）外观检查
结构致密均匀，无裂纹，无空洞等外观缺陷。
（2）纯度要求
必须是高纯石墨，纯度>%；
（3）灰份含量
灰份含量≤300ppm。对于国产高纯石墨，如经试用合格，可以放宽到灰份含量≤500ppm。
氩气要求
（1）气压：炉子氩气入口压力要求介于~5 公斤之间；（2）气体流率：≥ 275slpm；
（3）纯度：≥%；
推荐在氩气入口处使用压力调节器。
安全要求
单晶车间的安全事项
（1）装、拆炉时，操作人员要提高安全意识，严禁酒后作业；
（2）已安装磁场的单晶炉，要注意不要带磁卡（银行卡、二代身份证等）靠近。一定不能拿铁器等导磁性工具，否则强大的磁场会造成人身伤害和设备损坏；
（3）严禁在车间内打闹，上班时要杜绝擅离职守、睡觉等现象。
泵房的安全事项
（1）确保泵房照明，如照明灯损坏，要及时更换；
（2）确保泵房地面干燥情清洁，定期清扫泵房；
（3）机械泵皮带必须安装防护罩；
（4）清洁机械泵和换油时，必须在泵的电源开关上悬挂警示牌，工作完毕后取走警示牌；
（5）洗泵时严禁将杂物掉入机械泵腔内，如将油洒到地面上要及时打扫干净。
拆装炉
（1）上班必须穿戴好劳保用品。拆装炉时，还需戴口罩、手套等防护用品；
（2）拆炉取晶体时，注意不要被烫伤，划伤、碰伤；
（3）晶体取出后按指定地点摆放，并将晶体上多余的籽晶部分剪掉。
乙醇、丙酮的使用
（1）工业乙醇有害，使用时，要注意防止乙醇溅入眼内，禁止饮用工业乙醇；
（2）严禁用丙酮擦拭密封圈！
（3）四氯化碳可用于清洗油污，但具有强挥发性和腐蚀性，使用时要戴好口罩，保持环境通风。
注意：乙醇和丙酮都是易燃物，应安全使用和妥善保管。
第二章单晶生长标准流程
拆炉
取晶体
（1）停炉小时后进行热检漏并作记录，泄漏率应<20mTorr/hr，泄漏不合格应报修；
操作步骤：自动停炉工艺下系统会自动热检漏；需手动热检漏时，先关闭氩气，抽极限真空后在操作界面上按【工艺选择】按钮，出现“工艺选择（返回）”界面，在此界面下按【检漏】即可。
（2）停炉5 小时后，才能充气拆炉。将晶转设定为，待晶转下降到后再停止晶转，禁止直接将晶转设为零！穿戴好劳保防护用品，认真阅读交接班记录，准备好拆炉工具。若炉子处于负压状态，打开V4 阀充氩气至炉膛正压。充气完成后，必须查看晶体完全提升到副室后方可提升副室；注意：在“氩气真空”
界面上正确设置“快充阀自动关闭压力”为大气压，炉内压力到正压后V4 阀将自动关闭。
（3）如果晶体不能完全进入副室内，无法用托晶盘防护，则需在隔离阀室垫厚木板加以防护，防止晶棒掉下砸坏石墨件，并连炉盖一起旋转出来；如果晶体可以进入副室内，则升起副室后用托晶盘防护；（4）按住控制柜上“拉伸腔提升”按钮，直到副室高出炉膛顶部碰到中途下限位开关时，可向左拨动“拉伸腔旋转”开关，自动旋开副炉室。禁止手动推副室旋开！
注意：取单晶时注意不要碰坏CCD 器件！
（4）在晶体下方摆好取晶框后，撤掉防护木板或托晶盘，然后下降晶体，严禁使晶体接触到取晶框。晶体离取晶框底部还有3-5mm 距离时，暂停下降，观察触摸屏上显示的晶体重量，小心的下降晶体，待晶体重量刚低于 5kg 时，停止下降晶体。剪断细晶前，一人扶住取晶框，另一人用手抓住重锤或连杆（禁止抓籽晶），用斜口钳剪断细晶，不能扭断！剪完细晶后逐步释放重锤，控制好重锤旋转和晃动，防止钢丝绳跳槽或籽晶磕碰损伤；
（5）检查钢丝绳是否完好可用。若有变硬、毛刺或其他损坏情况，应立即更换；
（6）在单晶生产随工单上填写相应数据后，将晶体交付给收晶体人员。将锅底料、提渣盖等标示好并妥善保存，交给原料管理员。
拆热场
（1）按住控制柜上“拉伸腔提升”按钮升起炉盖，直到拉伸腔上限位开关动作时松提升按钮,向左旋开炉
盖至压紧炉盖外旋限位开关。外旋限位开关没有压紧将无法提升炉筒；
（2）戴上高温隔热手套，将导流筒、保温盖取出冷却。将废石英、锅底料取出，然后将三瓣埚、石墨埚托取出冷却。最后按住控制柜上“炉筒提升”按钮，将炉筒升起至超出导向杆上端时松开提升按钮，向右旋开炉筒。按“炉筒下降”按钮将主炉室降至离地面约200mm。
注意：（1）在升炉筒时要保护好红外测温仪和炉筒冷却水管，防止碰坏拉伤；
（2）以上操作过程中，要注意人身安全和设备安全！只要存在压砸的可能，禁止人体进入该空间。
打扫炉内卫生
（1）拿石墨器件的时候必须戴上线手套，严禁赤手接触，使用吸尘管道时，要注意防止管道被烫化在石墨件上。石墨件较烫时，不能戴薄膜手套；
（2）清除取晶时可能飞溅在隔离阀装置上的脏物和碎片；
（3）所有石墨件必须彻底打扫干净。干净的标准是：容易取出的石墨部件：导流筒、上下保温盖、上保温筒、三瓣埚、石墨埚托，必须打扫到全部露出石墨的本色，特别是不能留有黄色的挥发物。不容易取出的石墨件：加热器、主保温筒、炉底护盘等等，在大清的时候打扫，仍然要求打扫出石墨的本色。打扫石墨件时，可用百洁布；
（4）所有炉子内壁打扫干净，对上排气热场尤其要加强炉壁清扫。不能留有任何挥发物。包括副室炉筒、
籽晶夹头及重锤、两个抽气口、CCD 窗口、测取光孔玻璃、主观察窗及其防护玻璃；镀金玻璃朝向
炉内一侧禁止擦拭，否则镀金层马上被损坏。不小心擦拭过的，应立即更换；
（5）在进行以上打扫时，必要时可以使用砂纸打磨。凡是砂纸打磨过的地方，要将砂纸上掉下的金刚砂颗粒用吸尘泵吸干净；
（6）打开防爆阀，让抽气管道中氧化物燃烧，清除残余氧化物；
注意：打开防爆阀时手和眼睛应该与防爆阀保持一定距离。
（7）清除主抽气管道内的氧化物；
（8）最后用纱布沾无水乙醇擦干净炉内壁。
装热场
按顺序装好炉内石墨件，上升或下降坩埚轴，使石墨坩埚顶部与加热器平齐，在控制柜操作屏上校正坩埚零位。使用万用表欧姆档检查加热器是否接地。装热场时，进行如下检查，并调整正常：
（1）加热器石墨螺钉先拧松再拧紧，防止高温烧结；
（2）托杆与下轴连接是否稳固、对中；
（3）确认石墨埚托及三瓣埚是否完好可用；
（4）托杆与石墨埚托、石墨埚托与三瓣埚托之间的止口连接必须吻合良好，做到旋转滑动自如；
（5）检查主炉室“O ”形圈的位置及清洁度，用纱布沾无水乙醇清洁“O ”形圈及主炉室下法兰密封面；（6）按“炉筒提升”按钮使主室上升到高出加热器上方，导向套转到对准导向杆位置，按“炉筒下降”
按钮，直到主室平稳着落于底座上；
（7）开埚转2r pm，检查保温罩、石墨坩埚与加热器同心度，小心转动保温罩位置到开口对准取光孔，确认保温罩与加热器绝缘良好，无短路现象；
（8）除上下保温盖及导流筒以外的所有石墨件确认安装完毕，并相互对中后，才能准备装料。
装炉
装炉前检查
（1）仔细察看上炉生产记录，确认运转正常，设备完好；
（2）检查设备传动润滑部件是否正常；
（3）检查导向定位部件是否安装牢固，炉室提升环是否紧固；
（4）确认车间供电正常；
（5）检查各冷却水路是否畅通，水温、水压、流量是否正常；
（6）若发现上一炉生产过程不正常，须认真分析原因，采取有效措施后方可继续开炉；
（7）准备好一次性手套、线手套、剪刀、口罩、装料车等辅助用品；
（8）检查所备多晶料及母合金与报告单是否相符；
（9）用擦炉纸沾酒精把装料车擦干净。
检查和安装石英坩埚
（1）打开石英坩埚包装，戴好薄膜手套把埚举起对准光源检查石英坩埚无问题；
（2）将石英坩埚放入石墨坩埚内，过程中不能有任何磕碰发生，尽量安装水平；
（3）装坩埚时要防止将坩埚外壁的石英渣子带入埚中；
（4）若发现石英坩埚异常应及时与工段长或单晶技术主管联系，经判断不能使用后，进行更换；（5）装完坩埚后，另换薄膜手套，进行装料。
装料
（1）用剪刀把多晶料包装袋沿塑料线剪开，注意外层包装袋不能接触到料；
（2）装料技巧：
a、首先选择小碎块（直径小于20mm）的料铺放到埚底，应尽量铺满坩埚底部；
b、选择较小块（直
径小于40mm）的料继续装入埚的中下部，中下部的料可以装的紧凑些并且贴近埚壁，但应自然堆砌，不能硬挤。与坩埚内壁接触的料块，应尽量选择具有表面光滑的球型面的料，避免尖锐端对着埚壁。
c、中度及较大块料（直径小于70mm）码放在坩埚中部及中上部，并注意使之对称放置，料块太大
时，需要拍开，选择两块同样大小的料块，双手握实后互相拍击，使之碎开。拍时避免崩出的料打到眼睛或石英埚，坩埚上部要码放成圆锥形，每块料必须垒实，保证不能滑落，上部料块应选择较大块和大块。埚中料块不宜装的太高，衡量的标准是：最上面一层的料块，其重心处于坩埚平口之下（装在导流筒平口内的几块料除外）；d、装上部的料块时，除最末一层外，仍可轻轻靠在埚壁上，但应注意几点：
i. 减少料块与埚边接触面积，以防止挂边；
ii. 在料块相互之间的相对位置上，要预估料块在垮料后，是否会架桥，然后进行相应调整；
iii. 装最上面一层时，料块不要靠在埚壁上。禁止为过多装料而在坩埚上沿“搭围墙”、
硬挤
硬塞，宁愿少装料，也不要冒溅料、挂边的风险；
iv. 装料时，要预留足够的坩埚旋转空间，确保坩埚旋转时料不会碰到导流筒。
（3）装料过程中应注意： a、必须保证料块是轻轻的与石英坩埚接触的，避免
任何的磕碰和打击； b、装料过程中严禁多晶原料与包装袋外表直接或
间接接触； c、拍料时一定要戴好线手套，必要时戴上护目镜； d、不
论是上、中、下哪个部位，料块尖锐部分不能直接对着坩埚壁； e、要
注意装料过程中防止把料洒进护底盘。
（4）装完料将坩埚下降到可以安装导流筒，并确保不超过下限，防止短路；
（5）装入上保温罩、上盖板以及导流筒；
（5）装导流筒时要戴上薄膜手套，以防止沾污多晶料及导流筒，并且要避免导流筒撞上多晶料块，装好后要检查料块与导流筒之间的距离，能否允许转动坩埚；
（6）合上炉盖。检查籽晶、重锤等是否安装妥当，并用酒精小心擦拭干净。合上副室，停稳籽晶，打开
翻板阀。
封炉
（1）目检炉内的热场石墨件位置安装无误，系统清扫干净无异物，钢丝绳无损伤，可以封炉；
（2）用酒精擦净主炉室、炉盖的密封面及翻板阀；
（3）手动旋转炉盖至主炉室定位块，按住“拉伸腔下降”按钮，将炉盖平稳下降与主室复位。注意检查炉盖合限位开关是否正确动作；
（4）向右拨动电控柜上拉伸腔旋转开关，将副炉室旋回至右旋限位开关动作，关闭旋转开关；
（5）按住“拉伸腔下降”按钮，使副炉室沿隔离阀座上端的定位块下降至与阀室复合。
安装籽晶
（1）查看隔离阀“O”形圈有无损伤，确认正常后关闭隔离阀，以防止杂质沾污原料和炉室；
（2）打开隔离阀座炉门，操作籽晶升降系统将籽晶降至阀室，拉紧钢丝绳拆下籽晶夹头，检查插销有无损伤，确保正常后装回籽晶夹头；
注意：为防止钢丝绳在缆索管上错位，在无重锤的情况下不允许操作籽晶升降系统。
（3）在籽晶夹头底部揿入籽晶直到籽晶尾部凹槽，栓上定位销，并用力往下拉一拉，确保籽晶不会松动；（4）使用纱布沾无水乙醇洁净籽晶夹头和籽晶；
（5）扶稳钢丝绳至无晃动，快速下降籽晶至引晶位置以下，再用洁净薄膜手套向下拉紧钢丝绳，快速提升籽晶至副室中部，打开隔离阀，关闭阀室炉门。
修改工艺参数
（1）更改工艺参数中初始装料量为本次实际装料量；
（2）更改坩埚跟踪控制环里投料重量为实际装料量；
操作步骤：炉体控制操作界面中按【坩埚跟踪】按钮，出现“坩埚跟踪控制环”界面，修改“投料重量”
为当前坩埚内的实际料重量。如果在“初始化”界面修改了初始装料量，然后采用自动抽真空步骤，此处的投料重量会自动修改为工艺参数中设置的重量。
注意：由于每次装料量有可能不同，因此装料完成后必须确认该参数是否正确。如果设定与实际不符，将导致等径时埚跟比与实际要求的埚跟比不同。值得注意的是，在拉晶时提出一段晶棒时，如果走自动隔离程序，则控制系统会自动计算剩料重量，不需要手动修改；如用手动隔离，则必须手动在“坩埚跟踪控制环”界面里修改“投料重量”为当前剩料重量。如果手动隔离又不修改重量，则拉第二段时程序会按拉第一段处理，设定拉速从长度为零时开始走。
（3）更改工艺参数中“熔料步骤”页面下的坩埚位置为当前位置，或在“压力化/熔料”页面下的“坩埚自动定位”设置为0；确保熔料过程中坩埚误提升引起事故；
（4）查看工艺参数中每一步骤设置是否正确，尤其是涉及埚位的步骤。
开始单晶的生长
完成以上步骤之后，就可以正式启动晶体生长程序了，对于控制系统界面操作还不熟悉的操作者，建议再熟悉一下操作界面。
（1）按【炉体控制】按钮或在自动工艺时按【切换手动控制】按钮，将出现下面的操作界面；
信息提示栏
自动工艺选择
中英文切换晶体/坩埚运动控制
炉 体 控 制
主 操作 选
择 工 艺 参 数 切 换 显 示 区 闭环控制 参数显示区
（2）点击画面左侧的【炉体控制】、【氩气/真空】、【曲线数据】、【工艺参数】、【生长记录】、【辅助功能】、
【切换显示】、【系统维护】八个炉体控制主操作选择按钮即可显示与之对应的八个主操作界面；（3）点击画面上方的【晶体提升】、【坩埚提升】、【晶体旋转】、【坩埚旋转】四个按钮可以进入相应界面操作籽晶/坩埚的运动方向和速度；
（4）顶部的【信息提示栏】内可显示当前工艺状态和报警提示信息以及操作提示信息。信息提示栏在手动工艺状态时底色为黄色，自动工艺状态时底色为绿色，报警提示时底色为红色。报警时点击信息提示栏声光报警器的蜂鸣器将自动关闭；
（5）点击【中英文切换】按钮可使操作界面在中文和英文界面之间切换；
（6）画面中间是【工艺参数切换显示区】和【选择参数显示区】，前者随工艺状态的更改自动切换显示相应工艺状态的工艺参数，后者显示在【切换显示】主界面内选择需要观察的相关参数；
（7）画面下方分别是【等径控制】、【热场控制】、【液面温控】、【生长控制】、【坩埚跟踪】、【压力控制】六个闭环控制按钮以及【升温控制】按钮。
抽真空
（1）确认主真空泵和副真空泵一切正常后，按“主真空泵开”按钮启动机械泵；
（2）对装有较多粉料的炉子，将节流阀手动调节至零；
（3）在主界面选择【工艺选择】按钮，系统显示自动工艺选择画面；
（4）在自动工艺界面选择【开始自动拉晶】按钮，系统将显示下面的界面；
（5）输入操作员工号及单晶编号后按确定按钮，系统显示检查1 画面；
（6）根据界面提示检查无误按确定按钮，系统显示检查2 画面；
（7）根据界面提示检查无误按确定按钮，系统跳转至抽真空工序界面并运行抽空工序；
（8）系统进入抽真空工序，程序将依次打开主真空球阀、智能蝶阀，整个抽空工序将依据SOP 工艺参数
自动执行；
（9）过程中根据工艺设定自动关闭或打开主真空球阀、氩气阀连续冲洗炉子若干分钟，然后将炉内压力抽至极限，这样可有效排除炉内空气、水气，获得较洁净的晶体生长环境。
检漏
(1) 当信息栏提示抽真空完成蜂鸣器报警时，在抽真空工序界面按【工艺选择】按钮进入工序选择界面；
注意：可以让控制系统在完成抽真空后自动跳转到检漏，而不用人为切换。设置方法如下：按【系统维护】按钮再按【工艺设置】按钮进入工艺设置界面，在“自动进入检漏工艺”前打√；如果没有打√，则在抽真空完成之后系统会报警提示抽真空完成，这时就需要手动在“自动工艺（返回）”界面下手动切入“检漏”步骤。其他的自动步骤都是如此。
（2）选择【检漏】按钮确定后系统跳转至检漏工序界面并运行检漏工序；
（3）程序自动关闭主真空球阀并延时30 秒后开始检测泄漏速率，两分钟后将泄漏率显示在工艺参数切换显示区内。
注意：若泄漏过大（大于50mTorr/hr），可手动充几次氩气后再检漏；因存在漏点造成漏率超标的，查补漏点后应重新执行抽真空/检漏工序。
压力化
（1）检漏漏率符合工艺要求后，在检漏工序界面按【工艺选择】按钮进入工序选择界面；
（2）选择【压力化】按钮确定后系统跳转至压力化工序界面并运行压力化工序；
（3）程序自动打开上氩气阀按工艺设定氩气流量往炉内充入氩气，当炉内压力达到 20Torr 自动打开主真空球阀，自动开“压力控制”闭环并在操作界面加色显示，通过对节流阀开度的自动调节将炉压控制在工艺设定值，压力化完成；
（1）硅料全熔后，在熔料工序界面按【工艺选择】按钮进入工序选择界面；
（2）选择【稳定化1】按钮确定后系统跳转至稳定化工序界面并运行稳定化工序；
（3）加热器功率自动下降至工艺表设定值并根据工艺表参数逐步调整功率大小，最后稳定至接近引晶功率；
（4）坩埚根据设定的工艺参数自动增加埚转速度至拉晶时转速并且自动开慢升至引晶埚位后停止。
注意：过程中严密注意观察，时刻关注埚位和液面变化情况，发现异常，即时切换至手动状态查明原因解决问题后再继续执行工序，绝对避免液面碰触导流筒等危险事故发生。
（1）收尾完毕，在收尾工序界面按【工艺选择】按钮进入工序选择界面；
（2）选择【停炉】按钮确定后系统跳转至停炉工序界面并运行停炉工序；
（3）程序将退出“热场温度”控制闭环并下降加热器给定功率至零，控制系统报警并提示关闭加热器。
按“加热器关”按钮关闭加热电源；
（4）根据工艺要求，程序按设定参数自动下降埚位 25~50 ㎜，关埚转、晶转并以给定的冷却时拉速缓慢
提升晶体；
（5）停功率冷却 3~4 小时后程序自动退出“压力控制”闭环，关氩气阀将炉内压力抽至极限真空进行热检漏；
（6）检漏合格,按“主真空泵关”按钮停机械泵，继续冷却2 小时后打开炉子取出晶体。
注意：过程中不允许切断冷却水，否则炉内余热可能损坏炉体部件。
． 全自动软件界面操作手册 REV. HXSC_A1.HA03 （TDR-95A/100A/100B-ZJS适用） 2010年06月 杭州慧翔电液技术开发有限公司HangZhou HuiXiang Electro-Hydraulic Technology Development Co.Ltd
目录 介绍.............................. ........................... ...................... ........ ............................. .. (3) 炉体控制.............................. .......................................... ........ ............................. .. (4) 晶体、坩埚提升运动控制界面..................................... ........ ............................. .. (5) 晶体、坩埚旋转运动控制界面..................................... ........ ............................. .. (5) 坩埚自动定位界面............. .......................................... ........ ............................. .. (6) 加热功率控制界面............. .......................................... ........ ............................. .. (6) 磁场电流设置界面............. .......................................... ........ ............................. .. (7) 等径闭环界面..................... .......................................... ........ ............................. .. (7) 热场温度控制界面............. .......................................... ........ ............................. .. (7) 温度闭环参数设置界面..... .......................................... ........ ............................. .. (8) 热场温升控制界面............. .......................................... ........ ............................. .. (8) 液面温度控制界面............. .......................................... ........ ............................. .. (8) 生长控制界面..................... .......................................... ........ ............................. .. (9) 坩埚跟踪控制界面............. .......................................... ........ ............................. .. (9) 压力控制界面..................... .......................................... ........ ............................. .. (10) 自动工艺选择..................... .......................................... ........ ............................. .. (10) 氩气、真空控制............. .......................................... ....... ..... ............................. .. (11) 曲线数据.............................. .......................................... ........ ............................. .. (12) 曲线数据选择............. .......................................... . (13) 工艺参数.............................. .......................................... ........ ............................. .. (14) 下载SOP说明............. .......................................... ........ ............................. (18) 辅助功能.............................. .......................................... ........ ............................. .. (19) 硅晶体重量长度计算........ . .......................................... ........ ............................. .. (19) 大气压力设定.................... . .......................................... ........ ............................. .. (20) 液面温度校正.................... . .......................................... ........ ............................. .. (20) 热场温度校正.................... . .......................................... ........ ............................. .. (21) 晶体、坩埚行程设置........ . .......................................... ........ ............................. .. (21) 晶体、坩埚位置设置........ . .......................................... ........ ............................. .. (22) 磁场零位校正.................... . .......................................... ........ ............................. .. (23) 日期时间校正.................... . .......................................... ........ ............................. .. (23) 系统参数.............................. .......................................... ........ ............................. .. (24) 注册.............................. . .......................................... ........ ............... ................... .. (24)
目录 第一章设备规范 (2) 一、锅炉机组特征 (2) 三、水质指标 (3) 四、风机规格 (3) 五、炉排特征 (3) 第二章锅炉机组的启动 (4) 第一节启动前的检查与准备 (4) 第二节锅炉上水 (4) 第三节点火与升压 (5) 第四节供汽 (9) 一、暖管 (9) 二、供汽 (9) 第三章锅炉的运行 (10) 第一节水位调节 (10) 第二节汽压调节 (10) 第三节燃烧调整 (11) 第四节清灰 (12) 第五节排污 (12) 第四章锅炉的停炉与保养 (13)
集输站蒸汽锅炉（4吨）安全操作规程 第一章设备规范 一、锅炉机组特征 1. 锅炉型号：DZL4—1.25—AⅡ 2. 排渣方式：螺旋除渣 型号：CHXJ-2 功率：1.1KW 输出转速：6.1r/min 3. 除尘方式：麻绳除尘 型号：CHJ—4 处理烟气量：30000m3 /h 脱硫效率：85% 除尘效率：95% 4. 给水设备：卧式多级泵 型号：500LR12-12.5*2 流量：1216 m3 /h 扬程：500m /转转速: 1480r/min 电机型号：Y160L—2 转速：2930r/min 5. 水处理：全自动时间控制式钠离子交换器 二. 相关参数
三、水质指标 蒸汽锅炉锅外化学水处理水质标准 给水悬浮物≤5mg/L 给水总硬度≤0.03mmol/L 给水PH（25℃）≥7 锅水总碱度6—24 mmol/L 锅水PH（25℃）10—12 四、风机规格 1. 鼓风机： 型号：XF45.25—12No4 风压 626-1000Pa 风量：4527—9588m3/h 电机型号：Y112M—2 、功率：4KW 主轴转速：2900r/min 2. 引风机： 型号：YGY4—18 风压3881—4057Pa 风量11000—17000m3/h 电机型号：Y200L—4 功率：30KW 主轴转速：1450 r/min 五、炉排特征 1、炉排面积：5.5m2 2、炉排调速器： 型号：GL—5PA 传动比：6000 输出转矩：5000N*M 转速：125-1250（无级）r/min
单晶炉安全操作规范集团公司文件内部编码：（TTT-UUTT-MMYB-URTTY-ITTLTY-
单晶炉安全操作规范1、开机安全检查 单晶炉开机、装料前，应对电气、机械、液压等部分进行检查，使单晶炉电极处于无电压输出，各机械传动安全可靠； 1）检查主加热器处于关闭状态（是否切断主回路的空开？）； 2）欧陆表输出设定为0； 3）上炉膛、炉盖、付室的机械联接部位螺丝无松动现象； 4）检查上、炉膛、炉盖付室的液压升降应正常； 2、装炉时安全事项 在开机检查正常情况下，可以装炉，同时在控制柜现眼位置悬挂禁止合闸警示牌； 3、抽真空安全事项
1）开真空泵前，应检查真空泵房，确保对应本设备的真空泵及管道处于无其他人员操作状态； 2）按真空泵操作规程正确操作； 3）抽真空过程中，应检查各环节的密封圈处于正常，应无脱落、装反等现象； 4）在单晶炉真空状态过程中，严禁用手或其他物品碰触或堵漏气处，以免造成人身或设备损害，如发现漏气，应按停炉恢复常压规程操作；4、装炉、装料、拆炉、清炉、清理真空泵及真空管道过程的安全事项 1）按工艺操作规程进行正确操作； 2）必须在主加热器处于关闭状态、欧陆表输出设定为0的状态下操作； 3）在控制柜现眼位置悬挂禁止合闸警示牌； 4）禁止操作人员身体处于液压可升降部件如炉盖、炉膛下方，以免液压控制失灵造成人身伤害，如确需在上述部件下操作，必须设置足够强度和能保证足够安全空间的支撑部件来支撑因故障时升降部件的下坠而不致于伤及人身；
5）清理真空泵及真空管道时，必须在真空泵停止运行的状态下进行，在对应控制柜显眼位置处悬挂维修警示牌或禁止合闸警示牌，以防其他人员误开启真空泵，造成人身伤害； 6）炉体内清洁时，必须打开炉盖、上升上炉膛并偏移至合适位置，使操作人员操作空间处于敞开状态，避免操作人员处于缺氧环境状态下工作； 5、加热器加热过程安全事项 在上述检查准备工作就绪，且符合工艺操作规程的前提下，才能开启加热器。 1）开启加热器前，必须检查冷却水路开启、水压正常，否则严禁开启加热器； 2）开启加热器，必须缓慢增加输出电压或加热功率；严禁超功率或过电流运行； 3）在加热器工作过程中，如发现电极打火、过电流等现象或报警，应按直拉应急方案处置，
操作规程编号：LX-FS-A75921 蒸汽锅炉安全操作规程标准范本 In The Daily Work Environment, The Operation Standards Are Restricted, And Relevant Personnel Are Required To Abide By The Corresponding Procedures And Codes Of Conduct, So That The Overall Behavior Can Reach The Specified Standards 编写：_________________________ 审批：_________________________ 时间：________年_____月_____日 A4打印/ 新修订/ 完整/ 内容可编辑
蒸汽锅炉安全操作规程标准范本 使用说明：本操作规程资料适用于日常工作环境中对既定操作标准、规范进行约束，并要求相关人员共同遵守对应的办事规程与行动准则，使整体行为或活动达到或超越规定的标准。资料内容可按真实状况进行条款调整，套用时请仔细阅读。 蒸汽锅炉是一种经常处于高温条件下工作的特种设备，操作不当它将有爆炸的危险。为了保障其安全、经济运行，特制定如下规程： 一、值班人员必须严格遵守劳动纪律，不得擅离职守，不得做与本单位无关的事情，在操作过程中，严格执行“操作规程”不得违章操作，并严格酒后和带病上班。 二、密切注视水位和压力变化，做到“燃烧稳定，水位稳定，汽压稳定”。严禁发生缺水、满水事故和超压运行。一旦发现锅炉严重缺水时，严禁向锅炉进水！
燃气蒸汽锅炉日常操作规程及注意事项 为了确保锅炉安全经济运行，保障人身安全，锅炉操作人员必须严格执行《锅炉安全技术监察规程》的有关规定和本规程。燃气锅炉正常运行要做到：天然气正常稳定；保持锅炉的整洁，做好交接班的工作；加强对各机械设备和仪表的监察，防止事故发生；司炉工应定期总结操作经验，不断提高操作运行水平。 一、启动前的检查 1、检查所有电机是否干净、干燥可用。 2、检查锅炉压力表、三通旋阀、安全阀、水位计阀门是否打开、排污阀、放空阀、主蒸汽阀是否关闭、管道阀门仪表开启是否灵活可靠。 3、检查天然气管道压力是否满足使用，管道电磁阀启闭是否正常。 4、检查燃烧器点火程序和熄火保护装置，是否灵敏可靠。 5、检查补水箱液位是否正常。 6、检查软化水设备是否正常工作，树脂罐与盐罐（盐即工业用大粒盐）原料是否缺少。 7、检查防爆门的螺丝是否松动，防爆门是否处于关闭状态。 8、检查室内燃气报警器报警是否可靠。 9、其它检查：锅炉进水前，必须查明锅筒上的所有手孔盖均已完全严密关闭；各操作部位都要有良好的照明；操作平台、扶梯、设备应清洁，其上无杂物和垃圾堆放；给水设备、管路及其附件、支吊架等完好，所有水泵试运转10—20分钟正常；汽水管道、阀门都应连
接齐全，管道支吊架应完整牢固；主蒸汽管、给水管道及排污管等法兰连接处应无堵板（盲板）；所有阀门和旋塞都应开启灵活，关闭严密。 10、检查锅炉房内的强制通风设施启动并可靠运行。 11、检查锅炉房内的防爆照明设施投入运行，非防爆照明及电气设备全部不得送电或运行。 12、每隔1小时，对燃气管道上的接口处进行一次检查，确认其有无漏气，一旦发现漏气要立即关闭调压柜输出处的总阀。 二、点炉操作规程 1、点火前，先把主电源开关开启，确保控制系统稳定电压 2、锅炉上方的副汽阀打开，主汽阀关闭，水泵系统阀门打开，将锅炉内注水，观察水位计水位控制妥当。 3、燃烧器风机自动开启（此时燃气阀组上的所有阀门都是处于关闭状态）吹扫炉膛内的氧气及上次停炉前残留的天然气，吹扫30秒。吹扫30秒回燃烧器自动捡漏，捡漏通过后开始准备点火。（若连续捡漏3次未通过应及时联系专业技术人员排除故障） 4、吹扫30秒后，燃烧器自动点火，起步时火焰为小火，没有达到锅炉设定压力时自动转为大火燃烧工作指令，燃烧器自动进入正常的工作状态。例如锅炉停炉压力1.0MPa，启炉压力0.7MPa，目标压力0.9MPa，锅炉压力低于0.7MPa时燃烧器自动启动，燃烧器燃烧锅炉升压达到0.9MPa时，燃烧器转换为小火燃烧，锅炉继续升压达到1.0MPa时，燃烧器自动停止工作。
1、目的 为正确、规范地操作单晶炉,确保生产作业正常,特制订本规范。 2、适用范围 适用于 TDR-70A/B和 JRDL-800型单晶炉的操作。 3、单晶炉操作工艺流程 作业准备→ 热态检漏→ 取单晶和籽晶→ 石墨件取出冷却→ 真空过滤器清洗→ 真空泵油检查更换→ 石墨件清洗→ 单晶炉室清洗→ 石墨件安装→ 石英坩埚安装→ 硅料安装→ 籽晶安装→ 抽空、检漏→ 充氩气、升功率、熔料→ 引晶、缩颈、放肩、转肩→ 等径生长→ 收尾→ 降功率、停炉冷却 4、主要内容 A. 作业准备 a. 进入单晶车间须穿戴好洁净工作服、鞋。 b. 开炉前,按工艺要求检查水、电、气,确认无误后方能开炉。 c. 准备好一次性洁净手套、耐高温手套、毛巾、纸巾、研磨布、酒精、吸尘刷、吸尘管、防尘口罩。 d. 准备好钳子、扳手和各类装拆炉专用工具。 e. 取单晶的架子、装石墨件的不锈钢小车、装埚底料的不锈钢筒和装硅料的不锈钢小车,并处理干净。 f. 用毛巾将炉体从上到下一遍, 擦洗时注意不要将所有控制接线及开关碰断或碰坏,并把炉子周围清扫干净。 B. 热态检漏
a. 检查上一炉功率关闭时间,在单晶冷却 4.0小时(TDR-70A/B型单晶炉、 5.0 小时(JRDL-800型单晶炉后,关闭氩气(只关闭氩气阀门,主、付室流量计调节阀打开并分别调节到 30L/Min,开始抽高真空,并作时间记录。 b. 待炉内压力到达极限(要求达到 3Pa 以下后,先关闭主室球阀而后关闭真空泵电源进行检漏,并作相应时间记录,若 0.5小时内抽不到 3Pa 以下时,交有关维修人员处理,在此期间须配合有关维修人员进行装拆炉,并作相关记录。 c. 检漏要求 3分钟以上,漏气率 <0.34Pa/min为正常,同时作好漏气率记录, 若漏气率>0.34Pa/min时,交有关维修人员处理,在此期间须配合有关维修人员进行装拆炉,并作相关记录。 C. 取单晶和籽晶 a. 热态检漏后,旋松付室小门 4个螺丝,打开氩气阀门充氩气至常压,关闭氩气,旋开付室小门 4个螺丝,打开付室小门。 b. 提升单晶至付室,从付室小门内确认单晶升至所需高度,若无异常,盖住翻板阀,打开液压泵,升起付室。 c. 把安全接盘移到炉筒口处,缓慢转动付室至侧面。 d. 把取单晶的架子放在付室炉筒正下方,准备接单晶。 e. 稳定单晶,移开安全接盘,按下籽晶快降,将单晶降入架子内。 f. 确认单晶完全入架子内后, 按住籽晶, 用钳子将籽晶从细径处钳断, 钳断籽晶后,应稳定重锤,防止重锤快速转动,损坏钢丝绳。 g. 将籽晶从重锤上取下,放在指定场所,再将重锤升至付室内适当位置。 h. 将单晶移到中转区,及时、准确的将单晶编号写在单晶上,待自然冷却后对单晶进行各项参数检测并作好记录。 D. 石墨件取出冷却
操作规程编号：LX-FS-A91794 工业蒸汽锅炉操作规程标准范本 In The Daily Work Environment, The Operation Standards Are Restricted, And Relevant Personnel Are Required To Abide By The Corresponding Procedures And Codes Of Conduct, So That The Overall Behavior Can Reach The Specified Standards 编写：_________________________ 审批：_________________________ 时间：________年_____月_____日 A4打印/ 新修订/ 完整/ 内容可编辑
工业蒸汽锅炉操作规程标准范本 使用说明：本操作规程资料适用于日常工作环境中对既定操作标准、规范进行约束，并要求相关人员共同遵守对应的办事规程与行动准则，使整体行为或活动达到或超越规定的标准。资料内容可按真实状况进行条款调整，套用时请仔细阅读。 1.升火前 1.1查验“交接班记录”及锅炉技术登记簿。 1.2检查设备各部位和安全附件（安全阀、水位表、压力表、排污阀及通风除尘设备），确认正常后方可操作。 1.3对于新装或大修以后的锅炉，应对以下几方面进行检查操作： 1.3.1检查锅炉本体、给水系统、烟风系统、各检测仪表等均应完好。 1.3.2检查锅筒或锅壳，集箱内应无杂物及贵遗留工具，管路无阻塞。
1.3.3拆除各管路上因检修而设置的盲板，人孔、手孔及连接法兰等处的螺栓应拧紧，各管路阀门均调整至点火要求位置。 1.3.4开给水泵、经省煤器向锅炉上水。上水温度为40-50摄氏度。 1.3.5上水至锅炉水位表的最低水位线时，停止上水，开启低位水位计、远传水位计及水位报警器。 1.3.6开启设备所有的冷却系统。 2.升火与升压 2.1对锅炉机组烟道进行彻底通风。风机通风的时间约为5分钟，自然通风应不少于15分钟。 2.2锅炉升水应按不同的燃烧设备所规定的操作方法进行。对于链条炉排可按下述步骤操作： 2.2.1在炉排的前部铺上一簿煤层，并在其上铺好木材及引燃物。
第一章单晶生长条件 设备要求 运行条件（以下以TDR-85A-ZJS 炉为例，其余炉型要求参照说明书） （1）冷却水要求 水压：炉子进出水压差要求介于2~3 公斤之间，真空泵进出水压差要求公斤以上； 炉子进水压力不可超过公斤，炉子上冷却水安全阀设置压力6 公斤；水流率：炉子和电源要求供水量不低于250 升每分钟，单独电源要求供水量不低于20 升每分钟；水温：推荐进水温度18~24oC，最大不超过25oC； 水质：弱碱性水，PH 值6~9；氯离子含量≤10ppm，碳酸钙含量≤50ppm；以纯净软水为好。 连接方式：进出水管与炉子之间采用软连接，防止震动传递到炉子。 （2）压缩空气要求 气压：≥7 公斤；推荐在压缩空气入口处使用压力调节器。 流率：≥升每秒； 汽缸容积：主真空球阀：2 升；辅助真空球阀：升。 （3）电力要求 相制：3 相AC380V(±10%)/50Hz； 功率：≥192KVA。 配电柜应装有500V、400V 的空气开关，和380V/400A的隔离开关。 （4）炉子真空要求空炉真空度：≤15mTorr；空炉泄漏 率：≤30mTorr/hr；带热场泄漏率：≤50mTo r r/hr。 （热场已经煅烧完全） 日常维护 （1）坩埚轴驱动部件的维护保养a、经常检查坩埚轴的冷却水是否通畅，避免冷却不充分而损坏坩埚轴； b、每个月对下轴丝杠至少清理一次，每次应先清理干净丝杠和导轨上的油污，加上适当（不可太多） 润滑油，然后上下快升降两次。 （2）提拉头的维护保养a、每次开炉后，检查钢丝绳是否损坏（包括变硬、缠松、有严重毛刺等），如有损坏，立即更换；b、钢丝绳在保管、使用、维修、安装过程中不能造成任何死弯角，否则在运行过程中会引起抖动。 （3）水冷系统的维护保养a、每次加热前检查水流量是否充足，确保所有水路没有堵塞，水温传感器运行正常；b、出现水温或水量报警要查找原因及时处理。 （4）翻板阀的维护保养每次装炉前检查阀口密封圈是否完好，翻板阀操作是否轻松、无卡滞，底部挥发物是否打扫干净，如发现问题应及时排除。 （5）真空系统的维护保养a、经常检查泵油，上下腔油均应浸过小观察窗一半。如上泵腔油不够，应及时补新油；下泵腔油不够，需关闭球阀，打开左侧阀门，使上泵腔油下到下泵腔，然后关闭阀门。注意右侧阀门保持常开；b、每次大清，先彻底放尽泵腔内的废油（用手慢慢拉动传动皮带，盘出下泵腔内的废油），然后打开上泵腔，清除干净沉淀油污。最后换上新油；c、每次拆炉时，拆开真空管道所有盲板和波纹管，彻底清扫管内的粉尘。
小编为您解读半导体生产过程中的主要设备概况。 1、单晶炉 设备名称：单晶炉。
设备功能：熔融半导体材料，拉单晶，为后续半导体器件制造，提供单晶体的半导体晶坯。 主要企业（品牌）： 国际：德国 PVA TePla AG 公司、日本 Ferrotec 公司、美国 QUANTUM DESIGN公司、德国 Gero 公司、美国KAYEX公司。 国内：北京京运通、七星华创、北京京仪世纪、河北晶龙阳光、西安理工晶科、常州华盛天龙、上海汉虹、 西安华德、中国电子科技集团第四十八所、上海申和热磁、上虞晶盛、晋江耐特克、宁夏晶阳、常州江南、 合肥科晶材料技术有限公司、沈阳科仪公司。 2、气相外延炉 设备名称：气相外延炉。 设备功能：为气相外延生长提供特定的工艺环境，实现在单晶上，生长与单晶晶相具有对应关系的薄层晶 体，为单晶沉底实现功能化做基础准备。气相外延即化学气相沉积的一种特殊工艺，其生长薄层的晶体结 构是单晶衬底的延续，而且与衬底的晶向保持对应的关系。 主要企业（品牌）： ProtoFlex公司、国际：美国 CVD Equipment 公司、美国GT公司、法国Soitec公司、法国AS公司、美 国 美国科特·莱思科（Kurt J.Lesker）公司、美国Applied Materials公司。 国内：中国电子科技集团第四十八所、青岛赛瑞达、合肥科晶材料技术有限公司、北京金盛微纳、济南 力冠电子科技有限公司。
3、分子束外延系统（MBE，Molecular Beam Epitaxy System） 设备名称：分子束外延系统。 设备功能：分子束外延系统，提供在沉底表面按特定生长薄膜的工艺设备；分子束外延工艺，是一种制备 单晶薄膜的技术，它是在适当的衬底与合适的条件下，沿衬底材料晶轴方向逐层生长薄膜。主要企业（品 牌）： 国际：法国 Riber 公司、美国Veeco 公司、芬兰DCA Instruments公司、美国SVTAssociates公司、美国NBM公司、德国 Omicron 公司、德国 MBE-Komponenten公司、英国 Oxford Applied Research（OAR）公司。 国内：沈阳中科仪器、北京汇德信科技有限公司、绍兴匡泰仪器设备有限公司、沈阳科友真空技术有限 公司。 4、氧化炉（ VDF）
文件编号：RHD-QB-K8302 （操作规程范本系列） 编辑：XXXXXX 查核：XXXXXX 时间：XXXXXX 工业蒸汽锅炉操作规程 标准版本
工业蒸汽锅炉操作规程标准版本操作指导：该操作规程文件为日常单位或公司为保证的工作、生产能够安全稳定地有效运转而制定的，并由相关人员在办理业务或操作时必须遵循的程序或步骤。，其中条款可根据自己现实基础上调整，请仔细浏览后进行编辑与保存。 1.升火前 1.1查验“交接班记录”及锅炉技术登记簿。 1.2检查设备各部位和安全附件（安全阀、水位表、压力表、排污阀及通风除尘设备），确认正常后方可操作。 1.3对于新装或大修以后的锅炉，应对以下几方面进行检查操作： 1.3.1检查锅炉本体、给水系统、烟风系统、各检测仪表等均应完好。 1.3.2检查锅筒或锅壳，集箱内应无杂物及贵遗留工具，管路无阻塞。
1.3.3拆除各管路上因检修而设置的盲板，人孔、手孔及连接法兰等处的螺栓应拧紧，各管路阀门均调整至点火要求位置。 1.3.4开给水泵、经省煤器向锅炉上水。上水温度为40-50摄氏度。 1.3.5上水至锅炉水位表的最低水位线时，停止上水，开启低位水位计、远传水位计及水位报警器。 1.3.6开启设备所有的冷却系统。 2.升火与升压 2.1对锅炉机组烟道进行彻底通风。风机通风的时间约为5分钟，自然通风应不少于15分钟。 2.2锅炉升水应按不同的燃烧设备所规定的操作方法进行。对于链条炉排可按下述步骤操作： 2.2.1在炉排的前部铺上一簿煤层，并在其上铺好木材及引燃物。
2.2.2启动风机，点燃引燃物并调节风门。待木材燃烧稳定后，缓慢转动炉排。 2.2.3待煤燃烧稳定后，逐渐增加给煤量，调节送风量，使之燃烧正常。 2.2.4按设备使用说明书规定，掌握锅炉升火到供气的时间性。当蒸汽从空气阀中冒出时，即可关闭空气阀，并密切注意锅炉压力表，适当开大烟道挡板，加强通风，准备升压。 2.2.5升火期间应控制省煤器内水温，在工作压力下应低于饱和温度400C。 2.2.6当汽压上升到0.05-0.10兆帕时，应冲洗水位表。 2.2.7当汽压上升到0.10-0.15兆帕时，应冲洗压力表的存水弯管。 2.2.8当汽压上升到0.20-0.29兆帕时，应检查
夏津县奥德新能源有限公司 直拉单晶炉操作规程 版本/修订0 文件编号：AD-ZY-DJ-07-2010 1 目的 为了使单晶制造厂直拉单晶炉操作工熟练掌握单晶炉，使生产正常运行。 2 适用范围 单晶制造厂所有单晶操作工。 3 内容 3.1 拆炉 3.1.1 准备 确认停炉冷却时间达5h，准备好钳子及取晶筐，向炉内充Ar气，确认炉内为常压时，副室门打开，关闭Ar 流量计启动液压，升起副室筒，稳住晶体轻推左旋副室，晶体筐对准副室筒口，按下晶快降速按钮。将晶体安全降入筐内，手扶籽晶夹头，用钳子将细颈处剪断，手扶夹头，待钢丝绳拧力全部消失后取籽晶，重锤升进副室内启动液压升起炉盖。左旋至副室筒下。 3.1.2 炉子清扫 3.1.2.1 戴好工作帽，口罩及专用手套，准备好酒精,吸尘器，无尘纸及放石墨件的不锈钢 车。 3.1.2.2 依次取出导流筒及上保温盖，先取掉热偶升起主炉室向右旋出，取出上保温筒石 英坩锅及埚底料，并放入到不锈钢桶内到指定的地方，锅底料应写清炉号及炉次。 注意：1：石墨件不能用手接触。 2：小心锋利的石英锅碎片和锅底料扎伤手指。 3：石英碎片和锅底料渣不要掉入轴波纹管及加热器缝隙内。 3.1.2.3 每炉必须在取下晶棒后及时清理过滤罐、过滤网， 3炉大清炉，每炉管道。 注意：清理过滤罐和管道，具有自燃的现象不能造成人生事故和将密封圈烧坏的 现象，所以拆除的地方必须用酒精擦净密封圈并装好。保证密封圈的完好。 3.1.2.4 戴好一次性手套，采取自上而下的原则，清扫副室筒及炉盖，用专用工具沾上酒 精，一圈一圈的仔细擦拭副炉筒。 注意：长棍不要和钢丝绳绕在一起，用纸巾沾上酒精擦炉盖顶上密封圈及翻板阀，密封圈并保证密封较进槽无误。 3.1.2.5 主炉清扫 戴好一次性手套用吸尘器与毛刷先刷净附着在主炉室的挥发物，吸净加热器托盘， 炉底。 注意：加热器电极螺丝是否松动，炉底排气孔是否畅通。用沾有酒精的纸巾把主 炉室及密封圈擦拭干净。 3.1.2.6 石墨件的清扫 吸净导流筒，保温罩，三瓣埚，用纸巾沾少量的酒精反复擦拭直至无污物。
10t/h 燃气锅炉操作规程 编制：王世锋 校对： 审核：
东营奥星石油化工有限公司 二零一七年十二月
目录 第一部分锅炉简介........................................................................................................ 一、WNS 型系列蒸汽锅炉的型号意义 (1) 二、锅炉结构和技术特点 (1) 三、锅炉及除氧器结构介绍 (2) 四、煮炉 (4) 第二部分锅炉使用说明................................................................................................. 一、燃气锅炉的运行 (5) 二、锅炉的升火及升温 (6) 三、锅炉的停炉 (7) 四、锅炉的排污 (8) 五、水位计的冲洗 (8) 六、锅炉水质分析方法 (9) 七、正常运行与管理 (10) 八、锅炉运行中常见事故处理 (11) 九、锅炉辅助设备表 (14) 十、附表：锅炉控制器使用说明 (15)
第一部分锅炉简介 一、WNS 型系列蒸汽锅炉的型号意义 以WNS10-1.25-Y （Q）为例：表示卧式内燃锅炉，额定蒸发量为10t/h ，额定蒸汽压力1.25MPa ，蒸汽温度为饱和温度，燃用油（气）的蒸汽锅炉。 二、锅炉结构和技术特点 1、WNS 系列全自动燃油（气）蒸汽锅炉，采用快装卧式内燃双回程湿背烟火管 锅炉型式。锅炉本体采用下置式波形炉胆，回燃室和波形炉胆、螺纹烟管相连接。高温 烟气火焰在炉胆内进行辐射放热后，经回燃室折向螺纹烟管进行对流传热后，进入前烟箱；高温烟气向后进入节能冷凝器，经充分换热后，最后通过烟囱排入大气。 2、WNS 系列全自动蒸汽锅炉，采用快装卧式内燃三回程湿背烟火管锅炉型式， 其中1t/h 的锅炉为中心回焰燃烧结构，其余的为顺流燃烧结构。锅炉本体采用下置式波形炉胆，烟气分三个回程，燃料在炉胆内正压燃烧，经过回烟室进入对流螺纹烟管，再 从前烟箱折回对流烟管，再进入节能器进行对流传热，最后通过烟囱排入大气。烟气三 回程在炉内的停留时间长，利于降低排烟温底，提高锅炉效率。 3、锅炉前烟箱装有活动烟箱盖，拆、装检修方便。锅炉配有整体式燃烧器，具有 启动快，效率高，高度自动化等特点，适用于各种需要提供生活、民用及工业用蒸汽的 地方。 4、锅炉具有超气压保护、水位自动调节、缺水保护、意外熄火停炉保护、程序启 动等完善功能。
CL系列单晶炉，属软轴提拉型，用直拉法生长无位错电路级、太阳能级单晶的设备。 此设备结构设计稳定，运行平稳，且有多项安全防护设施，质量流量及温度控制精确，整个晶体生长过程由高可靠的可编程计算机控制器（PCC）控制，并可实现全自动（CCD）控制，包括抽真空、熔化、引晶缩颈、放肩、等经生长和尾锥生长。 CL-90型设备提供一对电极，满足用户采用两温区加热的工艺要求。设备使用18寸或20寸的热系统，投料量60-90Kg，生长6″或8″的单晶体。 设备特点： 1、稳定的机架结构设计，增强了设备在晶体生长过程中的抗振动能力。 2、优化的液压提升机构确保副炉室提升和复位时的运动平稳性。 3、与主机分离的分水器设计，在减少冷却水振动对晶体生长的影响的同时优化了水路布局。 4、晶体和坩埚的提升采用双电机结构，保证稳定的低生长速度以及坩埚和籽晶的快速定位。 5、采用无振动的高性能马达和低噪声的减速器驱动晶体和坩埚上升，可提供稳定的低生长速度。 6、设备的真空条件和在真空下的可控惰性气体气流使得热区清洗最佳化。氧化硅可以在不污染晶体和晶体驱动装置的条件下排除。 7、带隔离阀的副室可以在热区保持工作温度的情况下，取出长成的晶体或者更换籽晶。 8、对惰性气体流量和炉室压力高精度的控制能力，为生长高品质单晶创造了条件。 9、炉盖和炉腔通过两个提升装置提升，很方便的转向一边快捷地清洗。 10、熔化温度通过对加热器温度的电控来维持和调节，加热电源采用直流供电提高了控制精度。高品质的加热器温度测量传感器实现了精确的温度控制。 12、整个晶体生长过程由一个高可靠的可编程计算机控制器（PCC）控制，包括抽真空、熔化、引晶缩颈、放肩、等经生长和尾锥生长，晶体生长全过程可实现全自动（CCD）控制：。 13、带有数据和报警过程控制的可视化软件，存储在计算机的硬盘中。可以显示过程变量随时 间变化的趋势图。
指导书版次 日期 页 6 页 → → 取导流筒 取热屏支撑环 取上保温罩 取三瓣埚 → → → 取坩埚底盘 取中保温罩 取石墨中轴 取加热器
指导书版次 日期 页 6 页 → → 取下保温罩和底盘 4.1.3.5 用吸尘设备清洁石墨器件： 打磨夹缝 打磨外表面 4.1.3. 5.3检查石墨器件上是否有硅蒸气沉积引起的凸出物 打磨机去除，并用吸尘设备清除干净。 4.1.3.6 检查石墨器件有无缺损、裂缝及使用的炉数， 如有缺损、裂缝或使用炉数已达到规定的数量，需根据 实际情况及时调换新的已锻烧过的石墨器件。（见右图） 4.1.3.7 清除真空管道内的氧化物：用毛刷和吸尘器清扫抽气管道内的挥发物，吸尘器管 型密封圈是否损坏，如有损坏必 须更换。注意在安装球阀与真空管道时，要保证螺丝受力均匀，防止螺丝不紧引起漏气。 4.1.3.8.1、用专用工具除尘筒螺栓，取出罐盖和过滤网。打开除尘筒前确认真空泵球 阀和真空泵电源在关闭状态，否则在清理过程中会向炉内倒吸气，造成炉内污染； 4.1.3.8.2、用毛刷和吸尘器仔细清扫过滤网及除尘筒内的氧化物；
指导书版次 日期 页 6 页 将热场底盘放在主室底座上，底盘安装须平稳。 （见下图） 4.2.2.3底盘上的电极孔、中心孔要与主室底座的孔对应、 （见右图） 装电极柱：装电极柱时不宜太紧，否则容易涨裂引起电极打火。
指导书版次 日期 页 6 页 → → → → → 4.2. 5.2 必须注意的是，每次清炉时电极螺丝先松掉后再拧紧。以防硅蒸汽进入电极螺丝和 加热器脚之间的缝隙使之粘住无法拆卸。 4.2.7 安装石墨埚托、三瓣埚： 4.2.7.1埚托安装须平稳，下降坩埚轴至最低位置时距离加热器脚应不少于2cm。
蒸汽锅炉岗位安全操作规程 1、岗位任务及职责： 1.1负责锅炉机组的开停车以及日常维护，完成生产和生活供汽任务。 1.2负责软化系统的正常运行，保证软水各项指标合格。 1.3负责各设备的正常运行和除氧水池的补水及液位控制。 1.4负责本岗位的卫生情况和所属设备维护保养润滑等。 1.5严格执行本厂的各项规章制度，按时进行巡检和填写运行记录表，不得超前滞后， 保证正常供汽。 1.6坚守岗位，随时监视锅炉水汽、蒸汽压力、流量、液位及锅炉的燃烧运行情况， 出现问题及时采取有效措施，自己无法处理时，尽快向上一级领导汇报。 2、工艺指标： 软水硬度≤0.03mmol/l 锅炉水碱度6—24 mmol/l 锅炉水PH值10—12（25℃）安全阀设定值（汽压）1.25 MPa 锅炉运行汽压0.8—1.1 MPa 额定蒸发量10t/h 3、系统运行方法及步骤： 3.1运行前的准备工作 ①检查各种仪器仪表是否正常。 ②检查整个供汽管道和各水汽法兰连接点，确认无泄漏。 ③检查煤气压力是否标准，确定供煤气管道内畅通，无冷凝液。 ④检查软化水系统能否正常运转。 ⑤检查软水是否合格，确认软水箱液位在1/3以上。 ⑥检查除氧水池是否有足够的水。 ⑦检查锅炉水是否合格及锅炉内有无其它异常现象。
⑧检查锅炉操作配电柜内部运行设备的电源开关是否在运行状态。 ⑨检查锅炉水位是否正常，保持在锅炉水位表1/3处。 3.2启动运行程序 ①启动引风机开启引风机挡板，待引风机运行正常平稳后，启动鼓风机并且开 启鼓风门挡板。 ②调节引风机和鼓风机风门开张角度比例2:1，吹扫炉膛内残留可燃气体10— 15分钟，观察引风机、鼓风机运行状况。 ③待吹扫适当的时间后，准备点火，先开启1#煤气球阀，按住点火按钮，观察 确认炉膛内有电火花后，开启2#点火煤气阀，将火点燃后，放开点火按钮。 ④待小火燃烧确认平稳正常后，开启煤气气动切断阀后，立即缓慢开启3#煤气 球阀，调节3#煤气球阀开张角度至正常、平稳燃烧状态后观察燃烧状况，以 火焰中心呈红、黄色，边缘呈蓝色，燃烧稳定，机组不振动、不脱火为宜， 至此点火完成，锅炉进入正常运行状态。 ⑤点火完成后，立即关闭1#、2#点火煤气阀，防止停炉后点火煤气进入炉膛而 发生爆炸导致事故。 4、燃烧的调节： ①锅炉的排烟温度控制在170℃左右。 ②增加煤气量时，应先增加通风量，反之减弱通风量也应先减少煤气供给。 ②保持炉膛完全燃烧时，必须保持一定的空气剩余系数。 ④配风增加风量时，先开大引风门，后开大鼓风门，减少风量时，先关子鼓 风门，再关子引风门。 ⑤燃烧配比的三种情况： a 火焰呈明蓝色，烟冒白烟，表明空气量过大（或煤气量过小）。 b 火焰中心呈红黄色，边缘呈浅蓝色，炉内充满平稳燃烧火焰，烟无色透明，
燃气蒸汽锅炉操作规程示 范文本 In The Actual Work Production Management, In Order To Ensure The Smooth Progress Of The Process, And Consider The Relationship Between Each Link, The Specific Requirements Of Each Link To Achieve Risk Control And Planning 某某管理中心 XX年XX月
燃气蒸汽锅炉操作规程示范文本 使用指引：此操作规程资料应用在实际工作生产管理中为了保障过程顺利推进，同时考虑各个环节之间的关系，每个环节实现的具体要求而进行的风险控制与规划，并将危害降低到最小，文档经过下载可进行自定义修改，请根据实际需求进行调整与使用。 1 范围 1.1 本标准规定了动力分场锅炉房4T燃气蒸汽锅炉设 备操作的技术条件和要求。 1.2 本标准适用于平安高精铝业有限公司动力分场锅炉 房4T燃气蒸汽锅炉设备的操作。 2 内容 2.1凡操作锅炉的人员必须熟知所操作锅炉的性能和有 关安全知识，持证上岗。非本岗人员严禁操作。值班人员 应严格按照规定认真做好运行记录和交接班记录，交接班 应将设备及运行的安全情况进行交底。交接班时要检查锅 炉是否完好。 2.2锅炉及安全附件应检验合格，并在有效期内。
2.3启炉前准备 2.3.1天然气阀门应保持在常开状态，燃气压力要保持在0.4MPa,不得≥0.5MPa，压力不正常时须立即通知调压站； 2.3.2观察压力表检查水泵是否上水，否则打开放气阀，直至上水为止。打开上水系统的各个节门（包括水泵前后及锅炉的上水节门）； 2.3.3检查水位计，水位应在正常位置，水位计器、水位色塞需处在打开位置，杜绝假水位，若缺水可手动上水； 2.3.4检查压力管道上的阀门，应在开启位置； 2.3.5检查控制柜上的各个旋钮均处于正常位置； 2.3.6检查蒸汽锅炉蒸汽母管阀门应处于开启状态； 2.3.7检查软化水设备保持正常运行； 2.4启炉运行