电子探针在找矿方面的应用一、电子探针-基本概念电子探针仪是 X射线光谱学与电子光学技术相结合而产生的。1948年法国的R.卡斯坦制造了第一台电子探针仪。1958年法国首先制造出商品仪器。电子探针仪与扫描电子显微镜在结构上有许多共同处。70年代以来生产的电子探针仪上一般都带有扫描电子显微镜功能，有的还附加另一些附件，使之除作微区成分分析外，还能观察和研究微观形

电子探针分析

第十五章_扫描电镜与电子探针分析。

电子探针分析原理(2)

直进式谱仪• 直进式谱仪的特点:分 光晶体从点光源S向外 沿着一直线运动，X射 线出射角不变，晶体通 过自转改变角。聚焦 圆的中心O在以S为中心， R为半径的圆周上运动。• 结构复

(From reference 3, page 7)Origin of X-ray Lines for K and L TransitionsQuantitative analys

分析测试中心电子探针（EPMA）简介一、仪器概述电子探针利用聚焦得非常细(微米-纳米级)的高能电子束轰击样品，激发出各种被测物质的有用信息（如特征X射线、二次电子、背散射电子等），通过分析这些有用信息达到对样品微区成分分析和形貌观察的目的。电子探针与扫描电镜的结构大致相似，不同的是电子探针有一套完整的X射线波长和能量探测装置（波谱仪WDS和能谱仪EDS），用

能谱仪对样品表面发射点的位置 没有严格限制，适宜作比较粗糙表的 分析工作。 能谱仪有许多优点，但不能代 替波谱仪，这是因为它的分辨能力 还远不如波谱仪的分辨能力，且对 轻元素的分析

实验六电子探针结构原理及分析方法一、实验内容及实验目的1．结合电子探针仪实物，介绍其结构特点和工作原理，加深对电子探针的了解。2．选用合适的样品，通过实际操作演示，以了解电子探针分析方法及其应用。二、电子探针的结构特点及原理电子探针X射线显微分析仪(简称电子探针)利用约1μm的细聚焦电子束，在样品表层微区内激发元素的特征X射线，根据特征X射线的波长和强度，进

结构与工作原理• 电子探针仪的结构示 意图见图. • 电子探针仪除X射线谱 仪外，其余部分与扫 描电子显微镜相似。一、波长分散谱仪（WDS）分光晶体工作原理图(a)约翰(Johan

• 聚焦圆的中心O固定，分光晶体和检测器在圆周上 以1：2的角速度运动来满足布拉格衍射条件。• 这种谱仪结构简单，但由于分光晶体转动而使X射 线出射方向变化很大，在样品表面不平度较

进行样品X射线的点、线、面分析等。自动进行数据处理 和数据分析。 • 4.应用范围广：可用于各种固态物质、材料等。电子探针EPMA4. 元素分析范围广：一般从铍(Be4)——铀(Ｕ

电子探针分析过程浅析电子探针（EPMA）是非常先进的元素定性和定量分析设备，是目前微区元素定量分析最准确的仪器。它使用细聚焦电子束入射样品表面，激发出样品元素的特征X射线，分析X射线的波长，即可知道样品中所含元素的种类；分析特征X射线的强度，可知样品中对应元素的相对含量，并配置能谱仪分析附件。电子探针可进行图像观察，并获得元素的定性定量分析数据。它的应用能为

电子探针X射线显微分析简称电子探针电子探针、扫描电镜及其应用陈家光宝钢研究院2006年11月10日JCXA-733 WDS EDS EBSD JXA-8800RL WDS EDS发展历史4200F SEM JSM-6460LV扫描图像观察电子探针、扫描电镜工作原理电子探针结构的方框图材料的特性由其显微特性决定低含量超轻元素定量分析价态分析EPMA主要应用应用

二、EPMA分析原理z EPMA分析特点z1、微区（微米范围）显微结构分析z2、元素分析范围广：硼(B)~铀(Ｕ)z3、定量准确度高z4、检测限低（日常工作）: WDS:0.01%左右;（EDS:0.1%左右）z5、不损坏试样、分析速度快z EPMA是利用束径0.5~1μm的高能电子束，激发出试样微米范围的各种信息，进行成份、结构、形貌和化学结合状态等分析。

UW- Madison Geology 777Electrons - 4• Cathode rays confirmed by J.J. Thomson in 1897 to be

Si(Li)前置放大器接放大器 多道分析器激发一定数目N的电子空穴 对。光子能量越高，N越大。 利用加在晶体两端的偏压收 集电子空穴队，经前置放大液氮冷却器转换成电流脉冲进入多道脉

Байду номын сангаас

电子探针分析技术在地学中的应用进展摘要电子探针分析技术（EPMA）是一种应用较早、且至今仍具有独特魅力的多元素分析技术。二战以后，世界经济和社会的迅猛发展极大地促进了科学技术的进步，电子探针分析技术（EPMA）也进入了一个快速发展时期。在地学领域的应用中,取得了令人瞩目的成就。文章就该技术的发展历史、发展趋势及在地学中的应用进展等方面做出了具体阐述。关键词：

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