键合拉力测试点对键合拉力的影响分析

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Absr c : iht e l p e to c g e h o o , ti o ea d m o esrc o c e k p c g n ta t W t hed veo m n ft pa ka et c n l gy i sm r n r ti t h c a ka i g he t p od c s W iebo u ln e ti e y i po t n n pa ka n od c e t H o e r i s ts w n r u t . r nd p li g ts sv r m ra ti c gi g pr u tt s . w ve tin’ ho

9.
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第8 卷第5 期





合 拉力测试点 的位置进行研究 和讨论 。在实验 中我们 所 采用的方法是多点双 键合 拉线测试 。 该方法是 以拉 钩 的移动速度为定量 , 变测量点 的位置进行测量 比 改

t tm e s i e ul i f e t d byw ie b nd p ln e tp i tp ii n a d w ier d a He ce h s ha a urng r s t sa f c e r o uli g t s o n osto n r a i n n ,t i
An lss f h n u n eo e t it oW ieBo d B l n et ay i o eI f e c f s n r n u l gT s t l T Po t i
L U Ch n z iHE Lig L1 D i I u -h , n, U
键合过程 中 ,引线在热量 、压力或超声能量 的共
同作用下 , 与焊盘金属发生原子间扩散 以达到键合 的目
键合 、 封盖等几个重要组成 部分 , 而键合是将 内部的芯 片与外引线连接起来 的重要步骤 。 键合是将半导体芯片
焊 区与微电子封装的I) / 引线 或基板上 的金属布线焊区 (
的。 根据焊接原理的不 同 , 我们可以将键合工艺分为热

r c fwi ebo d p li e t w e p o w a d a a tve m e ho h tt ssw ie b d sr n h by t a y o r n u lng t s , utf r r d p i t d t a e t r on te gt he
压焊 ( h r o rs i n Bo d n 、超声焊 T e mo c mp e so n i g) ( tao i o dn Ul sn cB n ig)和热超声焊 ( h r o i r T emo s nc
Bo d n n i g)三种 。
用金属细丝连接起来的工艺技术。 键合的质量直接影响 到元器件 的性能以及封装的成 品率。 键合强度是判定键
随着现代封装技术的高速发展对于封装产品质量的检测要求越来越严格而键合拉力测试是封装产品质量检测中的重要一项而在相关标准上并未对键合拉力测试点及键合线弧度对测量结果所产生的影响给出明确的规定
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第 8卷 , 5期 第
V01 N 0 5 8

拉 力测试 准确性 的影响 。 然后通过客观 的分析提 出了科 学合理的键合 强度测试 的方法 , 为客观 准确 的测
量 键合 拉 力 奠定了基础 。 关 键 词 :键 合 拉 力 ;测 试 ;键 合
中图分类号 :T 0 . N3 59 4
文献标识码 : A
文章编 号 :1 8 —0 0( 0 8 50 0 .3 6 117 2 0 )0 —0 90
合质量的重要指标之一 , 所以对键合 强度进行客观准确
的测 量是十分 重要 的。
通 常使用键合拉力测试 、 合剪切力测试这两种 键
破坏性 的测试对键合质量进行检测 , 而其 中键合拉力
测试又称键合力度拉扯测试 或拉线 测试 。 本文针对键
收稿 日期 : 0 80 — 3 2 0 —4 0

要 :随着现代封装技术的 高速发展 ,对于封装 产品质 量的检测要 求越来越严格 ,而键合拉 力测试
是封装产品质量检测中的重要 一项 , 而在相 关标准上并未对键合拉 力测试点及键合线弧度对测量结果所
产 生的影响给 出明确 的规定 。 于此 , 基 文章介 绍 了测量点位置 、引线弧度 、 测量速度等 因素对 引线键合

A ri l n r du e ha o e f c o s,s c swie r din t s i tp ii n , e ts e , fe ta c . tc e i to c st ts m a t r u h a r a a e tpo n osto t s pe d a c c u
( h 7 R sac s tt o hn l t nc eh ooyG opC roain, h n a g1 0 3 , hn T e eerhI tue f i E e r is c n l ru op r t 4 n i C a co T g o S ey n 1 0 2 C i a)




EL TRONI EC CS & P ACKAGI NG
总 第 6 期 1 20 0 8年 5月




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键合拉 力测试点 对键 合拉 力的影响分析
刘春 芝 ,贺 玲 ,刘 笛
( 中国电子科技集 团公 司第 4 7研究所 ,沈 阳 1 0 3 1 0 2)
a a y i. n lss Ke r s ywo d :wiebo dp lig;e t wiebo d r n u ln t s; r n
1 概 述
随着现代 封装技术 的高速发展 ,对于封装产品质
量 的检测要求越来越严格 。 微电子封装包括划片 、 粘片 、
2 键合强度及其测试 的相关介绍