测量光束 厂 ］
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图 １ 激光干涉仪误差测量系统 学 组件沿线 性轴移动 。通过 监测测量 光束 和参考光束 之 间的
光 路差异 的变化 ， 产生定位 精度测量值 。 它是两个 光学组件 之
个两个补偿参 量设 置了专 门的参数 ， 供坐标轴的误差补偿之用 。
件在工作时不能达 到预定 的位置而产生误差 。通常称此误差为 螺距误差。螺距误差 的补偿分为实时动态补偿 与静态补偿两种 方式。
通 常， 将反射镜设定为移动光学部件 ， 将干涉镜设定为静止
部件 。 二者可以反过来 ， 但是最大测量距离将缩短 。 因此 ， 在长轴 测量 时 ， 通常线性 干涉镜静止不动 ， 而另一个反射镜移动。在短 轴测量 时， 为了方便 可以反置 。
相应 增加 。
８ １ ８ Ｂ 数控 系统立式加工 中心 Ｘ轴为例 ， 介绍螺距误差的测量与
补偿 。
静态均化补偿控制方法 ，是事先将螺距误差 的补偿值存 储
在数控 系统参数表 中， 待补偿值生效后 ， 数控系统 自 动将 目 标 位 置的补偿值叠加到插补指令上 ， 实现螺距误差的补偿 。
、
螺 距 误 差 与 补 偿
一
方面 ，由于滚珠丝杠螺母副受加工设备精度及加工条件
间的差异测 量值 ， 与Ｘ Ｌ激光头 的位 置无关 。此测 量值 可以与 被 测机床坐 标轴定位 系统上 的读数 比较 ，获得坐标 轴 的精 度
误差。
变化的影响 ， 滚 珠丝杠都存在螺距误差 ； 另一 方面 ， 由于数控机 床安装时 ， 丝杠和螺母未能预紧到理想状态 ， 也会使机床运动部
