［< ］ 响整机的精度 。当今社会， 效率问题成为衡量设
［ " ? !］ 理想的微定位器件 。本文设计了一种一维压电
式微定位机构， 并对其微定位原理及定位特性进行 了研究。
"9 定位机构设计
"# ! 9 微定位机构设计 为提高精密机床的定位精度， 在精密移动工作 台 （粗工作台） 上增加一层微动工作台 （ 精工作台） ， 来对精密工作台的定位精度进行补偿， 图 < 为定位 精度补偿原理。粗工作台实现高速运动， 其定位精 度为微米级， 精工作台在粗工作台定位的基础上， 通 过控制系统检测粗定位误差， 对粗工作台定位精度 进行补偿。微定位机构设计如图 "F 所示， 采用柔性 铰链与压电陶瓷组合式结构， 其间为螺钉联结， 二者 的装配间隙用垫块来调整。柔性铰链是依靠材料的
9 9 收稿日期： "##:;<#;!#； 修订日期： "##$;#<;<# 9 9 基金项目： 吉林省科委基金资助项目 （ "##:#:!= ） 9 9 作者简介： 孙宝玉 （<>=< ? ） ， 女， 吉林磐石人， 副教授， 博士后， 研究
运动副间隙、 无机械摩擦等优点， 依据定位方向的需 要设计结构， 可实现一维、 二维微位移运动。柔性铰 链的结构等效图如图 "G 所示， 此机构属一维 ! 向微 位移机构， 由于柔性铰链在导向过程中输出的不仅
图 $" 微定位精度补偿原 理图 "
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