Cu和Pd在TiN表面的置换析出行为及其热力学分析
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体金属 中的耐腐蚀性优异 ,故可用铌制作冷却器 。 铌仅在液态锌或铝 中,由于形成合金而受腐蚀 。
铌 的市 场 主要 在 钢 铁 工业 ,绝 大 部分 铌 以
素 ,或 以铌氧化物 的形 式用在催化和特殊 玻璃制
品行业 中。 铌具有常温延展性 , 不需中间热处理就可达到
FN 作为钢铁 的添加剂 ,铌 作为合 金元素来提高 eb
S N 等绝缘 层 ,因此必须要考 察这些绝缘层存 在 i ,
结果发现 ,c u的荧光强度都未检 出 ,表明 c 未置 u
换析 出。观察发现基板 的 TN i: i ,S 同样被 溶解 , O
时 ,c 或 P 置换析 出的行为 ,还需要考察在置换 但 S N 不被溶解 ,它阻止 了 S 的溶解 ,因而导致 u c 1 i i
次和第二次再结晶发生晶粒粗化。
除此之 外 ,铌还应用 在更普通 的领域 ,如 化
工领域 的热交换 器 ,作为高温 炉构件 的加热 和屏
蔽元件 ,加工 领域 的吸气剂 和照明领域 的钠蒸 气
灯元件 。
杨 刚摘译 自 1tIt nt nll s m nr 05 {6 e ao aP ne S ia20} h n r i a e e
成极难分解 的稳定化合物。少量间隙性元素可极大
地增加硬度 ,降低铌 的延展性。
除硬度外 ,其他力学性能也受到间隙性元素的
理 ,以优化表面结构并在坯料上着色。着色是经 阳
极氧化实现的,通过电化学处理 ,在可控条件下形
成一个很薄的铌氧化层。控制工艺参数 ,可以控制 氧化层厚度 ,使铌具有高贵的表面色彩。 金属的纯度和微观结构均匀性都影响材料的加
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线更细 ,深宽比更大。这样一来 ,P D在技术上难 V 以得到膜厚均匀的薄膜 ,C D虽可得到膜厚均匀 的 V
粒径最小而且均匀 。对这一试样进一步用高分辩率
扫描电镜观察发现 c u析出在 S 上 ,表明基板表面 i
薄膜 , 但成膜速度慢 ,原料价格高。为此要求开发 不但 TN和 SO 被溶解 ,而且 S 也被溶解。 i i: i
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一 一 …
铌 的加工性能和力学性能受 间隙性元素 ,特别 是氧、氮、碳含量 的影响很大。这些间隙元素高温 下在铌 中有很高的溶解度 ,并在高温 、高真空下形
下 的加工性能 、表面的均匀性 、颜色 、耐腐蚀性 、 冷焊接能力及材料价格等。A /b g 双金属 币中,生 N 产铌嵌入物和银环的原材料是其相应铸锭经冷轧成 的 2m m厚的板材 。嵌入前铌需要进行表面特殊处
工性能 。金属币的 “ 铸造”质量主要是受到坯料的
影响。氧含量的轻微增加会导致加工性能和焊接性 能下降,韧一 脆转变温度也会 因少量 的氮 、氧而升
高到室温以上。
铌 的抗 腐蚀性依赖 于非常致密 、坚 固的氧 化
层 的形 成 。除氢氟 酸 、浓缩 热硫 酸和热碱 液 外 , 铌表现出ቤተ መጻሕፍቲ ባይዱ良好 的耐蚀性。铌 的耐蚀性虽 比不上钽 ,
热加工钢的热强度和抗热氧化性 。 铌和铌合金以其独特的综合性能被用在航天工
大变形 ,其加工性能与不锈钢和铜相似 ,生产的管
材壁厚可在 0 m,批量条件下板材厚度可达 . 1 4 m
2 m。 5
业的极端热条件下 ,要求有很高 的延展性和高温强 度 ,以适应大的温度变化( 10℃到接近熔点) 从一0 。
反应中的氧化还原热力学。 置换 反应 用 电镀 液是用 C C:2 2 u 1 H0,P C - d 1 , c 未能在 B基板上析出。 u
量均要求严格控制。
变形量对 力学性能也有影 响。随变形量 的增
・
次 。铌还是制作超导 电缆和大功率磁体所用 N 3 bn S
的主要原料。
加 , 的拉伸强度和硬度提高。大变形时 ,铌会损 铌 失部分延展性 ,其延伸率可降低到 1%以下 ,但无 0 韧一 脆转变发生。铌可在 1 0~ 0 0 1 0℃下去应力退 1 3 火 ,消除加工硬化 ,依处理参数不同 ,铌可通过首
表面结构影响。
铌是高熔点金属 ,与钒 、钽 同属 V B族金属 。
地壳中铌的含量为 6 / 5g ,与铅相近。铌矿石 的年 t
但远好于不锈 钢 和镍基合金 。铌在无非金属 的液
产量 为 4 0 ,但 只有 5 00 0t %精炼 成铌 或铌合 金 ,
大部 分则 以 FN e b形式 在钢铁 行业 中用 做合金 元
新 的薄膜制备技术 ,其中置换镀法是提案之一。 又用 B基板进行了同样 的 c 置换镀处理实验 , u
作者报道过 TN层上铜 的置换析出行为 ,但未 p i H值分别为 2 , ., . 槽温分别为 2 : 5 ℃, . 4 5, 7 5 2 5I 0 c, 考察 c u的析 出不但在 TN间而且在 s 间发生 的可 7 i i 0℃,处理 时间为 5mn i。上述 9 种条件下的实验 能性。通常 TN层下不但有 s 单 晶,而且有 SO, i i i,
铌 的另一特殊性能是超导性 。这一特性要求铌
铌的物理和力学属性主要受其纯度的影响 ,特 别是残 留的少量间隙杂质影响对其性能和及加工过
程( 如形变阶段 ) 有负影响,因此对铌 中的杂质其含
要有极高 的纯度 ,以满足铌的 R R值( R 残余 电阻率
比值 ) 高于 30 0 。为实现这一标准 ,铌可能要重熔 8
O  ̄P 在T uld i l N表面的置换析出行为及其热力学分析
由于开发了防止 C 和 s 系材料相互扩散 的阻 u i 隔材料, 用铜做配线的大规模集成电路逐渐得到广 泛的应用 。电镀法形成微细铜配线 的工艺是在基板 上形成扩散阻隔层后 ,再用 C D或 P D法镀 以铜 V V 层( 称为种层 ) ,以此为阴极 ,其上电析铜配线。 近年来 ,随着集成化的进一步发展 ,要求铜配