操作SEM的实验步骤

SEM拍摄操作过程：(1) 后面的插座按钮全部打开；(2) 打开电脑主机；(3) 打开扫描主机上右侧方按钮；(4) 打开FlexSEM 1000软件；(5) 听到机器滴的声音，点击软件中的AIR或者按机器上的EVAC/AIR按钮;(6) 进气完成后，打开样品仓；(7) 放入样品台；(8) 点击软件中Specimen exchange(9) 点击Stub size;(10) 点击选择80 mm, 之后点击OK;(11) 点击Next;(12) 点击Capture, 右边照相机左上部分的Run会变成Freeze;(13) 推入样品台；推紧之后，按机器上的EVAC/AIR，或者点击电脑上的EVAC;(14) 滴的一声之后，点击Start, 屏幕出现图像，开始测试。

(15) 测试完成之后，将电压调到5KV, 最小化倍数，点击STOP, 点击AIR 进空气，待完成之后，取出样品台；(16) 之后推样品架，抽真空；抽完真空后，关闭SEM右侧主机电源；关闭电脑，之后关上所有的插座。

SEM中EDS操作过程：(1) 将Z轴从5-0逆时针旋转到10-0；(2) 打开EDS detector Power 和右侧的Model 550i的开关；(3) 将Spot intensity 调到50到80最高；(4) 打开Iridium Ultra软件，通过调节VACC和Spot intensity，使得c/s的数值在1000-2000之间；(4) 回到SEM的拍摄界面，找到需要打EDS的位置，需要调节清晰；(5) 回到Iridium Ultra软件，点击new image, 会在软件中出现需要拍EDS的图片；(6) 点击红色+号，在你需要的位置上单击鼠标，等livetime到达30之后，进行元素分析，选择所需要的元素，然后点击Analyze下面的quantify;(7)右击鼠标，点击File-Export-Spectrum,将格式改成emsa格式，后保存相应位置，之后将后缀改成txt就可以作图；(8) 点击左上角的file-reports-create word report, 打开image的下拉菜单，然后点击place in report, 然后点击Spectrum下面的Image 1, 点击place in report，如果有其他点，可以同样操作，(9)之后在Create Microsoft Word document 下的File-Save as , 保存到相应位置。

扫描电子显微镜操作规程
一、开始运行系统：
1.打开总电源。

2.打开空气压缩机。

3.打开机械泵和变压器。

4.通入冷却水。

5.打开真空电源，系统开始抽低真空。

6.30分钟后，使系统抽高真空。

7.待前级真空、管道真空和高真空均指示到200的位置以后，即可开始工
作。

二、关机
1.关闭阀1，打开“STAND BY”开关。

2.将真空控制板上的自动、手动开关置于手动，此时只有阀2继续抽扩散
泵的前级真空。

3.30分钟后，关真空电源。

4.关闭机械泵、空气压缩机、总电源。

5.关冷却水。

三、注意事项：
1.在测量高真空时，不要将表头开关置于HI V AC位置上。

2.加高压时，不要一下子加到20-30KV，特别是房间较潮湿的地方，高压
容易打火，造成仪器元件损坏。

所以可以先加10KV，再以1KV的步距
逐步增加高压。

3.要慢慢增加束流，并且是灯丝在饱和点工作。

4.灯丝一定要安正，否则看不到图像。

5.在仪器不用时，要定期开机抽真空。

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1.。

Quanta200 操作规程
※系统的组成
220V电源
电镜主机
电脑主机
※开机顺序
1．插墙上的电源电缆。

2．打开主电源开关主机上绿色按钮
3．启动电脑，输入密码，开启SEM serve控制软件，打开样品室，放入样品，点击Pump 抽真空（3分钟左右），真空标记变绿，点击HV，设置高压、束斑，调整工作距离，操作软件观察图像。

※基本操作
装样
1．点击软件VENT，
2．待样品室处于场压时，打开样品室，带专用手套装样。

3．关好样品室，抽真空，当右下脚电镜图标显示绿色时，就可以进行图象操作。

※获取图像
装好样品后，仪器处于正常工作状态，按HV按钮，取消暂停键，就可得到图象。

※样品移动
双击图象上想观察的地方，样品就会自动移到屏幕中间。

样品可以进行XYZRT五个方向运动，但应注意移动范围。

手动移动机械轴时，不可随意转动，以免发生意外。

※放大倍数选择及聚焦
1．按键盘上+和—就可任意选择放大倍数
2．用鼠标右键进行聚焦调节。

3．调节Contrast和Brightness可调节对比度和亮度
※照相
1．调节图象到最佳状态
2．点击照相按钮，就可照相。

※更换样品
与“装样”相同
※取样
关闭 HV，点击软件VENT，待样品室处于场压时，打开样品室，带专用手套装样，取出样品
※关机顺序
4．关闭高压，放气，取出样品。

5．关闭SEM serve,退出控制软件。

6．关电镜主机电源（绿色按钮）
7．拔掉电源电缆。

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