单晶炉维护与修理

单晶炉维修和保养规程

1 单晶炉维修和保养规程

一、坩埚轴驱动部件的维修：

坩埚轴驱动部件是设备的核心部件，要求各种精度都比较高，要加强维护，坩埚轴是多晶硅料的支撑轴，其精度高，工艺复杂，应重点维护。

1、要经常检查其冷却水的情况，以免因冷却水不充分而被烧坏，拆下后需垂吊放置；

2、坩埚轴驱动装置的导柱及直线运动轴承是关键的导向元件，应妥善维护，导柱须保持清洁，严禁灰尘、杂物附着，定期涂抹油脂，以防绣蚀。直线轴承出厂时已作充分润滑，必要时每隔一年加注锂基润滑脂一次，加油时，松开油盖，提起油封，推出轴承，认真清洗后方可注入新油（见附图9），发现导柱与轴承间有研损时，应将轴承微转一角度，使滚珠避开研损痕迹，以确保平衡运行。导柱与轴承是配套装配的，请勿装错；

3、滚珠丝杆精密杆付、涡轮、齿轮等传动部件，应经常保持清洁、润滑，严禁灰尘等脏物污染，以免零件损坏和失灵；

4、坩埚轴快速升降传动涡轮，每两个月打开润滑孔在涡轮齿面上润锂基润滑脂一次，请定时清除波纹管中的杂物；

二、谐波减速器的维修（见附图M11）

谐波减速器是由波发生器所产生的机械波，通过柔性齿轮变形，从而产生齿间相对位移而达到传动目的的一种大减速比减速机构，使用中一般不加油，不必拆卸，在必要时，拆后装配务必将个零件清洗干净，其轴承内应涂201润滑脂，齿面应加7011特钟脂；

三、籽晶提拉部件的维修（见附图M17，M18） 单晶炉维修和保养规程

2 1、籽晶提拉部件是单晶炉的关键部件，卷轮箱是核心部分，上面设有观察孔，用来观察内部卷轮及软轴钢丝绳的工作情况，卷轮箱左端联有超限位箱，用来保护卷轮箱不会因其超程而被损坏，卷轮箱的右端由双级减速器传递转知距，减速箱内的涡轮涡杆传动件，每三个月加注适量润滑油；

2、不锈钢丝软轴定额承载150Kg，每次开炉后，应检查承重头部钢丝绳是否烧损，如有烧损应将烧损部分及时去掉，外层编织层拉紧并打个节扣（有条件的可用氩弧焊封头），一根钢丝绳可供几次修整使用，但每次修整后，都应核实所剩钢丝绳长度是否能满足使用要求，否则应更换新的软轴钢丝绳；

3、卷轮箱内的调整螺母（铜螺母）不得随意拆动，以免影响软轴的对中，如果必须要拆卸时，装时一定要认真调整，最终保证软轴读中，软轴钢丝绳在保管、使用、维修安装中不准造成任何死弯现象，否则在运行中会引起抖动；

四、水冷系统的维修

每次装炉前要检查各水路是否畅通，关键部位的水温巡检传感器安装是否正常，拉单晶时，当水压报警时要及时处理，如有漏水时要及时采取措施，当发现结垢时，应先用醋酸进行除垢，然后用清水冲洗，最后用压缩空气吹尽余物；

五、隔离阀的维修

每次装炉前都要检查阀口密封圈是否完好，检查隔离阀操作是否轻松、无卡滞，如发现问题应及时排除；

六、管道的维修 单晶炉维修和保养规程

3 真空管道是联接主机与真空泵的通道，真空管道能否完好工作直接影响着设备的正常工作，因此，也应重视这方面的维护，除尘器中的过滤网每2-3炉清理一次，抽气管道每1炉清理一次，管道的温升直接影响着泵的寿命、抽气速率及密封圈的寿命，应经常检查管道的冷却水，保证畅通；

单晶炉维修和保养规程

4 单晶炉常见故障现象、原因及排除方法

故障现象 产生原因 排除方法

1 真空抽不到指标 1、真空密封室密封不良

2、球阀处密封松动或损坏

3、真空泵有故障 1、对真空室进行分段检验确定漏点，进行排除；（磁流体密封处加注磁液）

2、调整球阀或更换密封圈；

3、参阅真空泵说明书；

2 埚升不稳 1、丝杆、螺母有污物，润滑不良；

2、电磁阀离合器工作不良；

3、齿轮带松动或齿合不良；

4、给定电位器接触不良；

5、测速电机有问题；

6、电机抖动，放大倍数过大； 1、清洗丝杆丝母，加润滑油；

2、调整电磁离合器，控制间隙至0.4-0.6;

3、调整齿行带，使其合理齿合；

4、更换电位器；

5、检查测速机刷头或更换电机；

3 埚转不稳 1、坩埚轴有卡滞现象；

2、楔形带有松动；

3、测速机有问题；

4、坩埚轴定位轴承工作不良；

5、同第二项中的第4、6条 1、清理波稳管中的杂物；

2、调整楔形带张力；

3、检查测速机刷头或更换电机；

4、清洗润滑轴承或更换轴承；

5、同第二项中的第4、6条；

4 籽晶轴升降不稳，有抖动现象 1、卷丝轮与牵引套联接松动；

2、钢丝绳有毛刺或拆痕；

3、减速机润滑不良

4、电刷环接触不良

5、同第二项中的第二步、6条

6、计算机控速输出不稳 1、紧固

2、更换软轴钢丝绳

3、清洗润滑

4、清理、调整电刷环组件

5、同第二项中的第二步、6条

6、更换计算机

5 籽晶轴转动不稳 1、测速电机有问题

2、楔形带松动

3、支轴承工作不良

4、同第二项中的第二步、6 1、检查测速机电刷头，或更换电机

2、调整楔形带张力

3、清洗润滑轴承或更换轴承

4、同第二项中的第二步、6

6 飞车 1、测速机电压开路 1、查电刷环及线路

7 偷转 1、12A8控制器零点偏正；

2、计算机控速有输出； 1、调控制器零点

2、将计算机控速输出OP回零

8 不转 1、给定无输出；

2、计算机有负信号输出（晶升）

3、滑环开路； 1、检查给定电源（印刷板）

2、将计算机OP回零

3、维修滑环组件

9 重锤左右摆动 1、软轴对中性差；

2、籽晶提拉部件动平衡差；

3、阻尼套松动或损坏；

4、外界振动影响；

5、与限位杆干涉； 1、调整对中；

2、调整配重使之达到平衡；

3、调整更换阻尼套；

4、排除外界振动影响；

5、调整限位杆；

10 液面抖动 1、按第9项各条检查调整；

2、按第2、3、4项中各条调整1、按相关方法处理；

2、按相关方法处理； 单晶炉维修和保养规程

5 3热系统（托杆、埚托等）与坩埚杆联接松动；

4、两抽气口抽气不匀；

5、外界震动影响； 3、调整各联接使之紧固；

4、检查清理抽气管道；

5、排除外界振动的影响；

11 等径过程中出现晶体扭曲现象 1、按第9项各条检查调整

2、主机水平偏差过大；

3、液面温度偏低，拉速过快； 1、按相关方法处理；

2、调整主机水平；

3、加大温校量；

12 计长显示不准 1、电刷环组件接触不良；

2、计算机有问题； 1、清理、调整电刷环组件；

2、换计算机；

13 拉晶过程中速度记录曲线出现尖刺 1、测速电机接触不良产生暂时飞车现象（尖刺向上）；

2、力矩机电刷接触不良，产生暂时停车现象； 检修调整刷头使之接触良好

14 欧陆显示断欧 1、计算机控温输出（OP）较大；

2、側取光断路；

3、温度记录仪接口板故障； 1、将计算机OP输出降至800字；

2、检查接通侧取光；

3、查接口板；

15 非故障报警 传感器有问题 检查传感器

16 加热过程中电流突然下降 同步少一相

1、交流接触器头接触不良；

2、同步变压器断头； 1、换交流接触器；

2、换同步变压器；

17 加热电压加至30V突然回零 1、可控硅断路；

2、脉宽电容特性差； 1、换可控硅；

2、换电容；

18 过流 1、加热器打火；

2、氩气不纯拉弧；

3、加热电极与炉体间绝缘性差；

4、高温加热后，杂质挥发过多，拉晶过程中打火 1、清理炉內个处；

2、换相应绝缘件

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6 单晶炉部件拆装

一、坩埚轴的拆装（参阅附图M10）

拆卸坩埚轴时，应先松开水套与水套固定座的联接螺钉，去掉轴挡圈，卸下水套固定座，然后松开圆螺母，卸下带轮，将磁流体密封部件整体取下，最后将坩埚轴上面整体抽出，装入时逆操作，只要注意轴承的润滑采用真空脂润滑，水套座内的润滑可用一般润滑即可；

二、电极的拆装（见附图M12）

由于电极材料为无氧铜，因此装时应特别小心，切勿重击，拆装电极时，首先卸掉水冷电缆及铜夹子，然后拆下水嘴座，松开压紧螺母，移去上部石英护套，将电极从上部抽出即可，装配时，可进行逆操作即可；

三、卷丝轮的拆装

卷丝轮轴的旋转密封采用的是磁流体密封，拆装卷丝轮时应尽可能不要拆开磁流密封组件，

1、拆去电机及减速箱（拆时做上相对位置记号，复位时按记号找正）；

2、拆下软轴网丝绳压轮；

3、卸下重锤及软轴钢丝绳；

4、拆下卷轮箱左端限位箱；

5、拆下左端盖及限位杆；

6、拆下拖动限位杆的拖动圆盘；

7、松开右端盖与卷轮箱的联接螺钉；

8、将右端盖与卷丝轮一起从右端旋出；

装配时逆操作； 单晶炉维修和保养规程

7 四、隔离阀的拆装

拆卸隔离阀及转轴（勿伤阀盖密封面）

1、拆开联接阀盖与转轴间的水管；

2、拆下连接杆与转轴间的连接板；

（拆换转轴间的密封圈时，可不必进行以上两步）

3、松开左边轴端螺钉，并拆下支撑弯板；

4、松开左边压紧螺母；

5、拆去右端水嘴座及转臂；

6、松开右端盖压紧螺钉；

7、将转轴从右端抽出即可；

装配时逆操作；