激光对金属铜微孔加工的热力学过程研究
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3 . 河南工程学院电气信息工程系, 河南 郑州
摘
要
采用纳秒激光脉 冲对铜金 属进 行了打孔 实验 , 对 微孔形貌进 行 了观 察并对其 热力学 过程进 行 了相
应的分析 。 研究 表明 , 微孑 L 的形貌是 由凹坑和周 围隆起组成 , 坑深随着脉 冲能量 的增加而增 加 。 热 力学分析 表明, 激光辐照金属打孔需要 两个基本 条件 : 一是激光脉 冲能量 的沉积 , 使金属材料发生熔化 、汽化 以及 电
2 . 4 热 效 应 和 力 学 效 应 与 脉 冲 能量 的关 系
9 0 1
∞ 咖 ∞ 湖 ∞ 咖 ∞ 湖 ∞ 咖 ∞ 湖 ∞ 咖 ∞ 铷 0 。
金 属 坑 的 形 成 与 脉 冲 的 热 效 应 和 力 学 效 应 紧 密 相 关 ,随
着脉 冲能量的增加 不断增加 。 根据 以上条件 可以分析最 高温
1 . 2 方 法
我们采用不 同能量的激光脉冲辐照铜金 属表 面,其典型 的三维微孔 形貌 如图 2 所示 。 由图 2可见 , 激光作用下可 以有效形成 微孔 , 其 中心部 分 比较深 , 逐渐沿径 向变 浅 , 呈 现坑 状 , 且 坑的周 围是 明显 的隆起 。 从烧 蚀特性分析 , 烧蚀 区域 出现 明显 的材 料熔化 和 冷却的流动痕迹 ,说 明材料 经 历 了熔化 、气 化等 相变 过程 。
( 镭 宝公司) ,激光光束光 强为 高斯 分布 ,光束 质量 ^ 小 于
1 . 5 , 输 出能量 稳定度 小于 3 。微 孔形 貌采用 浩视 k h 3 0 0 0
三 维 立 体 显 微 镜 进 行 观 测 ,激 光 等 离 子 体 发 射 光 谱 由 E P P 2 0 0 0 / E P P 2 0 0 c 型光谱仪 ( S p e c t r a l Ne t 公 司) 进行测量 。
激 光对 金 属 铜微 孑 LFra bibliotek加 工 的热 力 学 过程 研 究
李世文 ,张秋 慧。 ,牛瑞华
1 .攀枝 花学院数学与计算机学院 , 四川 攀枝花 2 .四川大学电子信息学院 , 四川 成都
4 .西南技术物理研究所 ,四川 成都
6 1 7 0 0 0 4 5 1 1 9 1
6 1 0 0 6 4
升和 冲击 波峰值 随脉冲能量的变化规 律 , 如图 6 所示 。
2 o o
3 0 0
4 0 0
5 0 0
6 0 0
7 0 0
8 0 0 0 1 2 3 4 5 × 1 0 。
Wa v e l n g t h / n m
Fi g . 4 The r a di a t i o n s p e c t r u m of l a s e r pl a s ma
台
加工微孔过程 中 ,微孔 形 貌特 征 与入 射脉 冲 能量 的变 化 规 律, 分析 了激光烧蚀金属产生微孔 的热力 学过程 以及 能量效 应, 为实际应用提供参考 。
实验 中的激 光器 为 S G R - I O固体脉 冲 Nd: Y AG激光 器
1 实验部分
本文将激光聚焦到金属表 面 , 进行微孔加工研究 。 1 . 1 装置 实验装置示意图如图 1 所示 , 将 激光聚焦后 辐照到金 属 铜 表面 , 激光波长为 1 0 6 4 n m,脉宽为 1 8 n s , 聚焦透镜 的聚 焦为 i 0 a m,聚焦 后的焦点 光斑半 径约 为 8 0 m。实验 中用
中图分类号 :T N2 4 4
引 言
激光 在微加 工和制造 领域的应用 , 具 有非接 触 、高效率 等独特优势 [ 1 ] 。随着制作技 术 的不要进 步 ,对激 光加工 的
精度也不断扩展 和提 高[ 3 ] , 因此 ,针对不 同 的材 料和加工 要
求进行相应 的技术开发是极为必要 , 这都离不开 激光与材 料 相互作用过程 的研究[ 4 ] 。本文 着重 研究 了 n s 激 光在对 金 属
He - Ne 激光来准直整个光路 ,在激光输出路径上将 激光分成 两束 ,一束进行光束质量检测 ,一束用 于监测激 光脉 冲能量
的稳定性 。 对微孔 形貌采用 C C D进行在 线检测 , 再用高倍显 微镜进行 观察 。
收稿 日期 : 2 0 1 2 - 0 7 — 0 9 。修订 日期 :2 0 1 2 — 0 9 — 2 1 基 金项目 :国家 ( 8 6 3 ) 高技术计划项 目( 2 0 0 9 AA8 0 4 3 0 1 4 ) 资助 作者简介 : 李世文 ,1 9 6 7年生,攀枝花学院数学与计算 机学院副教授
从孔的深度分析 ,由 1 m J时的 2 O m迅速扩展 到 4 n 的 6 7
e - ma i l : l s w d mm@1 2 6 . c o n r
第 4期
. t I . B , 扫I s 蜀 I I 一
4 3 3 2 2 】 1
光谱 学与光谱分析
离 等相变 , 使得材料更容 易去除 ; 激光等离子体作为二次热源会更有效把 激光 脉冲能量耦合 到金属表面 ; 二 是 激光 等离子体的冲击波效应 , 这种效应 会把发生 相变的材 料有效及时排出 , 从 而有效形成微孔 。
关键词 激光 打孔 ; 激光等离子体 ;热力 学过程 ;冲击波
文 献标识码 : A D O I :1 0 . 3 9 6 4  ̄. i s s n . 1 0 0 0 — 0 5 9 3 { 2 0 1 3 ) 0 4 — 0 8 9 9 — 0 4
第 3 3 卷 , 第4月 4 期 2 0 1 3年
光
谱
学
与
光
谱
分
析
S p e c t r o s c o p y a n d S p e c t r a l An a l y s i s
Vo 1 . 3 3 , No . 4, p p8 9 9 — 9 0 2 Ap r i l ,2 0 1 3