HBM靜電放電測試系統之二次電性過應力事件的形成與抑制
作者
Tom Meuse (1), Larry Ting (2), Joe Schichl (2), Robert Barrett (1), David Bennett (1),
Roger Cline (2), Charvaka Duvvury (2), Michael Hopkins (1), Hans Kunz (2), John
Leiserson (1), Robert Steinhoff (2)
(1) Thermo Electron Corporation (2) Texas Instruments Inc.
譯者
何正江
訊程實業股份有限公司
目 錄
1. 背景介紹
2. 元件失效的描述和測試系統間的相互作用
3. 異常尾波(trailing pulse)的發現
4. 異常尾波(trailing pulse)形成的機制
5. 測試系統的修改以抑制異常尾波(trailing pulse)
6. 對於HBM測試標準改進之建議以及將來之挑戰
7. 結論
HBM靜電放電測試系統之二次電性過應力事件的形成與抑制
前言 以往在人體帶電模型(Human Body Model，HBM)靜電放電測試系統中，未被
偵測到的異常尾波(trailing pulse)，最近已被證實對於較先進技術下所製造出來的半
導體產品，會在其閘極氧化層(gate oxide)部位產生預期之外的破壞。此第二脈衝是
由於放電繼電器以及充電電路寄生特性所共同引起的電性過應力(Electrical
Over-Stress，EOS)自然現象。本文件主要在探討此一重要現象以及建立測試系統如
何來抑制異常尾波的機制。
1. 背景介紹
自從1979年美國軍方首度制定人體帶電模型(Human Body Model，HBM)耐靜電測
試標準MIL-STD-883 Method 3015以來許多商品化的HBM測試系統相繼在半導體
10kV及以下电力变压器预防性试验 01-YF10
212 一、试验细则
1目的
用于电力变压器预防性试验(定期、大修、必要时)。
2范围
电压等级为10kV及以下的电力变压器。
3责任和权限
3.1负责试验技术的主管施工员应在试验工作前负责编写试验技术方案；并依据经批准的试验方案进行试验；负责对试验报告中数据的正确性进行审核；对试验数据中的疑点进行复核；必要时，通知该项试验人员重新复试。对试验报告中的试验项目、数据是否符合规范要求负责。
3.2参加试验的人员应该熟知试验工作内容、标准规范；依据试验方案中确定的方法进行试验；认真填写试验记录；维护试验仪器设备。对试验结果的真实性、正确性和有效性负责。
4依据标准
4.1《电力设备预防性试验规程》 DL/T 596-1996
4.2《电力设备交接和预防性试验规程》华北电力集团公司2000年
5工作程序
5.1使用的仪器设备
序号 仪器设备名称 型号规格 准确度
等级 生 产 厂
1 高压兆欧表 3121 5.0 日本共立株式会社
2 变压比电桥 QJ35 0.2 上海电工仪器厂
3 感性负载速测欧姆计 TG3960A 0.2 北京三鑫测控公司
4 高压直流绝缘测试仪 KHHV60 天津新科华电力设备公司
5 全自动介质损耗测量仪 GWS-ⅢA 福建凯特发展总公司
6 绝缘油测试仪 ETP-505 日本Keihin .CO.Ltd
7 高压试验变压器 YD10/50 武汉电气测试设备厂
5.2试验环境条件
5.2.1试验环境温度不低于5℃；相对湿度：≯80%；
5.2.2试验区域内无交叉施工、无振动、无强电、磁场干扰等妨碍试验的工作。
5.2.3高压试验时，在试验区域内不得有造成其他人危险的因素。
5.2.4电源电压波动幅度不超过±5%；电源电压的畸变率不超过5%，试验电源频率与额定频率之差应在额定频率的1%以内。 10kV及以下电力变压器预防性试验 01-YF10
实验一 流体流动阻力的测定
一、 实验目的和任务
1.了解流体流过管路系统的阻力损失的测定方法；
2.测定流体流过圆形直管的阻力，确定摩擦系数λ与流体Re的关系；
3.测定流体流过管件的阻力，局部阻力系数ξ；
4.学会压差计和流量计的使用方法；
5.识别管路中各个管件、阀门，并了解其作用；
二、实验原理
流体的流动性，即流体内部质点之间产生相对位移。真实流体质点的相对运动表现出剪切力，又称内摩擦力，流体的粘性是流动产生阻力的内在原因。流体与管壁面的摩擦亦产生摩擦阻力，统称为沿程阻力。此外，流体在管内流动时，还要受到管件、阀门等局部阻碍而增加的流动阻力，称为局部阻力。因此，研究流体流动阻力的大小是十分重要的。
1．直管摩擦系数λ测定
流体在管道内流动时，由于流体粘性作用和涡流的影响产生阻力。阻力表现为流体的能量损失，其大小与管长、管径、流体流速等有关。流体流过直管的阻力计算公式，常用以下各种形式表示：
(1) 2L h2fud＝
)2( 2gudLH2f＝
或 )3( 2LPPP221fud＝－＝－
式中hf ——以能量损失表示的阻力，J／kg；
Hf ——以压头损失表示的阻力，m液柱；
△Pf——以压降表示的阻力，N／m2
L——管道长，m
d——管道内径，m；
u——流体平均流速，m/s；
P——流体密度，kg／m3；
λ——摩擦系数，无因次； g——重力加速度，g一9.81m/s2。．
λ为直管摩擦系数，由于流体流动类型不同，产生阻力的原因也不同。层流时流体流动主要克服流体粘性作用的内摩擦力。湍流时除流体的粘性作用外，还包括涡流及管壁粗糙度的影响，因此λ的计算式形式各不相同。层流时，利用计算直管压降的哈根－泊谡叶公式：
一、TG3数显路面材料强度试验仪操作规程
1、仪器型号：STLQ-3
2、技术指标：稳定度：±0.5％ 准确度：1％
显示速度：20r/S
3、仪器使用环境要求：温度0℃-40℃ 湿度≤85％ 气压86-106kpa
4、操作程序：
1、将试件安装在升降盘上。
2、按复位键复位（前面板），按清零键清零，此时显示窗内P、Y均为00.00。
注意：清零键应按住，使窗内显示数字回零才能放开。
3、调节Y1与Y2电子位移计的调节螺杆，使Y1与Y2各显示0.5mm，共计1mm以上即可。
4、选择采样步距键，也可不选择，开机时处于20.00KN量程，1KN步距。
5、试验前按清零键，使显示窗显示数00.00，否则再按清零键。
6、按上升键，显示窗内P值不再增大时即停机，此时执行自动打印测试数据程序，完成了整个试验过程。
7、按重打键，可重复打印一次试验数据。
8、本仪器基本配置P为100KN，Y1为10mm，Y2为10mm，机内有24针打印机。
9、在后面板上由打印机电源开关，打印面板红灯亮，打印机会自动进纸一格，此时可进入试验。如开机发现打印机空打，应将打印机电源关后重开。
10、测试步骤流程图：试件卧放在夹具中→清零→上升→P减小→停机→打印→下降→取出试件。
11、自动打印：电源开关→复位→按“自动”键选择“AAA” →按“A”键选择（11）→放试样→清零→上升→P减小→停机→自动打印。
12、CBR试验（P选择步距1mm或0.5mm）：电源开关→复位→按自动键选择dLA→按“A”键选择“11” →放试样→清零→上升→Y位移6mm→停机→自动打印。
5、维护与保养： 作 业 指 导 书
仪器设备操作规程
6、注意事项：
实验结束后，P、Y传感器应处于脱离荷载状态，以保护传感器
如在试验中，执行打印时，发生打印纸用完，此时把打印机抽出，加载打印纸，按开关SEL键，红灯暗，再按LF键打印机会自动进纸
