单晶热场结构试卷一、填空题1.热场的优劣对单晶硅的质量有很大影响。
合适的热场，能够生长出高质量的单晶。
不好的热场容易使单晶变成多晶，或者根本无法引晶。
2.直拉单晶炉的热系统，也就是所谓的热场，是指为了熔化硅料，并使单晶生长保持在一定温度下进行的整个系统。
3.加热器是热场中很重要的部件，是直接的发热体，温度最高的时候可以达到1600℃以上。
4.加热器、电极的材质是高纯石墨5.硅单晶分厂CZ1#厂房所用加热器的形状是直筒式。
6.三瓣埚也称石墨坩埚，是用来盛放石英坩埚。
7.加热器上的连接孔，是利用石墨螺栓来连接石墨电极的。
8.石墨电极的作用，一是平稳地支撑加热器，二是通过它对加热器加热。
9.CZ1#厂房的保温罩有3种，分为上保温罩、中保温罩和下保温罩。
10.坩埚托杆、坩埚托盘共同构成了石墨坩埚的支撑体，11.保温盖由保温上盖、保温碳毡和保温下盖组成。
12.热场的安装顺序是由下到上、由内到外。
13.温度梯度是指单位距离内温度的变化率。
14. S dTdy⎛⎫ ⎪⎝⎭为晶体的纵向温度梯度，S dT dr ⎛⎫ ⎪⎝⎭为晶体的径向温度梯度。
15. LdT dy ⎛⎫ ⎪⎝⎭为熔体的纵向温度梯度，L dT dr ⎛⎫ ⎪⎝⎭为熔体的径向温度梯度。
16. S LdT dy -⎛⎫ ⎪⎝⎭为生长界面处的纵向温度梯度， S L dT dr -⎛⎫ ⎪⎝⎭为生长界面处的径向温度梯度。
二、单项选择题1.加热器是的材质是 （A ）A 高纯石墨B 高纯石英C 陶瓷D 石棉2.三瓣埚也称 （B ）A 石英坩埚B 石墨坩埚C 坩埚托杆D 坩埚托盘 3.SdT dr ⎛⎫ ⎪⎝⎭是指 （D ） A 晶体的纵向温度梯度 B 熔体的径向温度梯度 C 熔体的纵向温度梯度 D 晶体的径向温度梯度4.SdT dy ⎛⎫ ⎪⎝⎭是指 （A ）A 晶体的纵向温度梯度B 熔体的径向温度梯度C 熔体的纵向温度梯度D 晶体的径向温度梯度 5.LdT dy ⎛⎫ ⎪⎝⎭ 是指 （C ） A 晶体的纵向温度梯度 B 熔体的径向温度梯度 C 熔体的纵向温度梯度 D 晶体的径向温度梯度 6.LdT dr ⎛⎫ ⎪⎝⎭ 是指 （B ） A 晶体的纵向温度梯度 B 熔体的径向温度梯度 C 熔体的纵向温度梯度 D 晶体的径向温度梯度 7.S LdT dy -⎛⎫ ⎪⎝⎭ 是指 （A ） A 生长界面的纵向温度梯度 B 熔体的径向温度梯度 C 熔体的纵向温度梯度 D 生长界面的径向温度梯度 8.S LdT dr -⎛⎫ ⎪⎝⎭ 是指 （D ） A 生长界面的纵向温度梯度 B 熔体的径向温度梯度 C 熔体的纵向温度梯度 D 生长界面的径向温度梯度9.热场也称（A ）A 温度场B 磁场C 电场D 电磁场10.静态热场中，沿着加热器中心轴线测量，也就是纵向方向，（A ）A 中心温度最高B 中心温度最低C 没有最高温度D 没有中心温度11. 静态热场中，沿着加热器径向方向，（B ）A 中心温度最高B 中心温度最低C 没有最高温度D 没有中心温度12.石墨托杆和石墨托盘是用来支撑 （B ）A 石英坩埚B 石墨坩埚C 中保温罩D 加热器13.石墨坩埚是用来盛放 （A ）A 石英坩埚B 原料C 加热器D 石墨托盘14.晶体生长过程中，结晶界面处的径向温度梯度S LdT dr -⎛⎫ ⎪⎝⎭是变化的，在头部，结晶界面呈现（A ）A 凸型B 平坦C 凹形D 直角型15.晶体生长过程中，结晶界面处的径向温度梯度S L dT dr -⎛⎫⎪⎝⎭是变化的，在中部，结晶界面 呈现（B ）A 凸型B 平坦C 凹形D 直角型16.晶体生长过程中，结晶界面处的径向温度梯度S LdT dr -⎛⎫⎪⎝⎭是变化的，在中部，结晶界面 呈现（C ）A 凸型B 平坦C 凹形D 直角型17.压环是放在什么部件的上面 （A ）A 保温盖B 上保温罩C 导流筒D 加热器18.晶体生长过程中，单晶硅的纵向温度梯度，离生长界面越远 （A ）A 温度越低B 温度越高C 温度呈抛物线D 温度时高时低19.CZ1#厂房中，加热器的形状是 （B ）A 球形B 直筒式C 杯状D 螺旋状20 用来连接加热器和石墨电极的是 （A ）A 石墨螺栓B 石英环C 石墨托杆D 电极护套三、多项选择题1.热场的安装顺序是 （AC ）A 由下到上B 由上到下C 由内到外D 由外到内2.保温盖是否下列哪些组成 （ABC ）A 保温上盖B 保温下盖C 保温碳毡D 压环3.石墨螺栓是用来连接 （AB ）A 加热器B 石墨电极C 石英环D 托杆护套4.热场的纵向温度梯度有（ABC ） A S dT dy ⎛⎫ ⎪⎝⎭ B L dT dy ⎛⎫ ⎪⎝⎭ C S L dT dy -⎛⎫ ⎪⎝⎭D LdT dr ⎛⎫ ⎪⎝⎭ 5. 热场的径向温度梯度有（ABD ） A S dT dr ⎛⎫ ⎪⎝⎭ B L dT dr ⎛⎫ ⎪⎝⎭ C S L dT dy -⎛⎫ ⎪⎝⎭D S L dT dr -⎛⎫ ⎪⎝⎭ 6.热场有 （AB ）A 静态热场B 动态热场C 电场D 磁场7安装石墨电极时， （ABC ）A 必须左右对齐B 处在同一水平面上C 不可倾斜D 可以倾斜8.石墨电极的作用，（AB ）A 用来平稳加热器B 通过他对加热器加热C 用来连接加热器D 用来防止漏硅9.CZ1#厂房的保温罩分为 （ABC ）A 上保温罩B 中保温罩C 下保温罩D 保温盖10.石墨坩埚是由什么支持的?（AB ）A 石墨托杆B 石墨托盘C 加热器D 下保温罩四、判断题1.石墨坩埚即三瓣埚，一定是三瓣合体的。
