COMSOL在压阻式柔性压力传感器中的应用
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《基于微凸起通道的柔性压力传感器设计及应用》篇一一、引言随着科技的不断发展,柔性压力传感器因其独特的柔韧性和高灵敏度,在众多领域中得到了广泛的应用。
本文将介绍一种基于微凸起通道的柔性压力传感器设计及其应用。
首先,我们将对柔性压力传感器的基本原理进行阐述,并分析微凸起通道在提高传感器性能中的作用。
接着,我们将详细介绍传感器的设计原理和实现方法,并对其在医疗、工业、生活等领域的实际应用进行探讨。
二、柔性压力传感器的基本原理柔性压力传感器是一种能够将外部压力转化为电信号的装置。
其基本原理是利用敏感材料在受到压力时产生的电阻、电容或电感等变化,将压力信号转换为电信号。
柔性压力传感器具有高灵敏度、快速响应、良好的柔韧性和可弯曲性等特点,在许多领域具有广泛的应用前景。
三、微凸起通道在传感器设计中的作用微凸起通道的设计能够显著提高柔性压力传感器的性能。
通过在传感器表面设计微小的凸起结构,形成一种特殊的通道网络。
当传感器受到压力时,这些微凸起结构能够有效地改变传感器的敏感区域,提高传感器的灵敏度和响应速度。
此外,微凸起结构还能够增加传感器与被测物体之间的接触面积,从而提高传感器的测量精度和稳定性。
四、基于微凸起通道的柔性压力传感器设计基于微凸起通道的柔性压力传感器设计主要包括敏感材料的选择、微凸起结构的制备以及电路的连接等步骤。
首先,选择具有良好导电性和柔韧性的敏感材料,如导电聚合物、碳纳米管等。
其次,利用微纳加工技术制备出微小的凸起结构,形成一种特殊的通道网络。
最后,将敏感材料与电路连接,实现将压力信号转换为电信号的功能。
五、传感器的实现方法及应用基于微凸起通道的柔性压力传感器可以实现高灵敏度、快速响应和良好的柔韧性。
在实际应用中,该传感器可以广泛应用于医疗、工业、生活等领域。
在医疗领域,该传感器可以用于监测患者的生理参数,如血压、心率等;在工业领域,该传感器可以用于检测机械设备的运行状态和工作环境参数;在生活中,该传感器可以用于智能穿戴设备、智能家居等领域。
柔性传感器的研究及其应用随着人们对健康、医疗、机器人等领域需求的不断增加,传感器也越来越广泛地应用于各种场合。
传统的硬性传感器由于刚性和精度问题,往往难以满足柔性物体的需求。
为解决这一问题,柔性传感器应运而生。
柔性传感器是指可弯曲、拉伸和扭转的柔性材料制成的传感器。
这种传感器的结构灵活,具有较高的韧性和耐磨性,能够适应一定范围内的形变和变形。
而且,柔性传感器可以在测量过程中贴合物体表面,避免空气隙间的测量错误,这使其具有广泛的应用前景。
目前,柔性传感器的研究和应用正在不断扩展。
其中,广泛应用于人体的生物监测领域,如测量血压、心电图、脑电波等指标。
同时,它还被用于机器人的柔软接触和手势识别以及安全领域的对物品的接触和变形的检测。
以下介绍柔性传感器在各个领域的应用。
在医疗领域,柔性传感器可用于生态电学测量以及医疗设备的设计。
通过采用柔性材料制成的传感器,可以有效减少磨损和刺激,提高用户的舒适和安全性。
此外,柔性传感器还可以实现高清晰度的身体成像,从而更好地发现疾病和炎症。
在机器人领域,柔性传感器可以改善机器人的柔软接触能力,实现更适应性的操作。
采用柔性传感器的机器人能够准确地感测到柔软载荷并适应重载荷的变化。
这使得机器人在完成复杂任务时表现更出色。
在安全领域,柔性传感器可用于监测变形和起伏的微型结构。
例如,可基于柔性传感器制造变形检测器,用于检测多个行星着陆器的安全。
此外,在建筑结构和桥梁方面也可以使用柔性传感器,以检测因水管、峡谷和地震等原因引起的微小变形。
随着技术的日益成熟和发展,未来柔性传感器的应用前景会变得更加广泛。
想象一下智能服装、卫生巾、智能鞋等各种应用中的柔性传感器的应用。
传感器的适应性和灵活性,已成为开发更多个性化和高性能应用的必备工具。
总之,柔性传感器的研究和应用已经成为科技领域发展的一个重要趋势。
未来,柔性传感器的研究还将向更加先进的方向发展。
预计未来将使用更智能的传感器来实现更高的性能水平。
《柔性压力传感器设计及其人体运动监测研究》篇一一、引言随着科技的飞速发展,人体运动监测技术在医疗、体育、康复等领域得到了广泛应用。
其中,柔性压力传感器作为关键部件,因其能够适应人体曲面的特性而备受关注。
本文旨在探讨柔性压力传感器的设计原理、制作方法及其在人体运动监测中的应用。
二、柔性压力传感器设计原理1. 材料选择:柔性压力传感器主要采用柔性基底材料和敏感材料。
柔性基底材料如聚酰亚胺(PI)薄膜、聚对苯二甲酸乙二酯(PET)等,具有优异的柔韧性和耐折性。
敏感材料如导电聚合物、碳纳米管等,具有高灵敏度和快速响应的特点。
2. 结构设计:传感器采用多层结构设计,包括导电层、绝缘层和基层。
导电层负责传感和导电,绝缘层提供必要的隔离保护,基层则支撑整个传感器并确保其柔性。
3. 工作原理:当传感器受到压力作用时,敏感材料发生形变,导致电阻或电容等电学性质发生变化,从而实现对压力的感知和测量。
三、制作方法1. 制备柔性基底:采用PI或PET等薄膜材料,通过热压、喷涂等方法制备出具有柔性的基底。
2. 制备敏感材料:将导电聚合物、碳纳米管等敏感材料与粘合剂混合,形成均匀的墨水状混合物。
3. 制作电极和导线:在基底上制作导电电极和导线,连接敏感材料与外部电路。
4. 组装与封装:将制备好的传感器组件进行组装与封装,形成完整的柔性压力传感器。
四、人体运动监测应用1. 应用场景:柔性压力传感器可广泛应用于人体运动监测领域,如智能手环、智能鞋垫等。
通过将传感器贴附在人体表面或嵌入衣物中,实现对人体运动状态的实时监测。
2. 监测指标:通过柔性压力传感器可以监测人体的步数、步频、步态等运动指标,以及肌肉活动、关节角度等生理参数。
3. 数据处理与分析:通过蓝牙、Wi-Fi等无线传输技术将传感器数据传输至手机或电脑等终端设备,进行数据处理与分析。
结合人工智能算法,实现对人体运动状态的智能识别与评估。
五、实验与结果分析1. 实验设计:设计不同形状和尺寸的柔性压力传感器,并进行静态和动态压力测试,以评估其性能。
《柔性压力传感器设计及其人体运动监测研究》篇一一、引言随着科技的飞速发展,人体运动监测技术在医疗、体育、康复等领域得到了广泛应用。
柔性压力传感器作为一种关键的技术手段,其在人体运动监测中的重要作用日益凸显。
本文旨在设计并研究柔性压力传感器,以实现对人体运动的精确监测。
二、柔性压力传感器设计1. 设计原理柔性压力传感器主要利用压阻效应和电容效应等物理原理进行设计。
通过感知外界压力的变化,将压力信号转换为电信号,进而实现对压力的测量。
2. 材料选择在材料选择上,我们采用具有柔性和导电性的材料,如聚酰亚胺(PI)薄膜、导电聚合物等。
这些材料具有良好的柔韧性、导电性和稳定性,适用于制作柔性压力传感器。
3. 结构设计结构设计方面,我们采用多层叠加的方式,将导电材料与基底材料相结合,形成具有敏感特性的柔性压力传感器。
通过优化结构设计,提高传感器的灵敏度和稳定性。
三、人体运动监测应用1. 监测原理通过将柔性压力传感器贴在人体表面或嵌入衣物中,实时感知人体运动时产生的压力变化。
根据压力信号的频率、幅度和波形等信息,判断人体运动的类型、幅度和方向等。
2. 实际应用场景柔性压力传感器在人体运动监测方面具有广泛的应用前景。
例如,在体育训练中,可以实时监测运动员的动作和姿势,为其提供科学的训练指导。
在医疗康复领域,可以用于监测患者的康复进度和运动功能恢复情况。
此外,还可以应用于智能穿戴设备、人机交互等领域。
四、实验与结果分析1. 实验方法我们设计了一系列实验来验证柔性压力传感器的性能。
通过在不同环境下进行实验,包括室内、室外、静态和动态等场景,以测试传感器的稳定性和准确性。
同时,我们还对不同年龄、性别和体型的人群进行了实验,以验证传感器的通用性。
2. 结果分析实验结果表明,我们所设计的柔性压力传感器具有良好的灵敏度、稳定性和准确性。
在人体运动监测方面,该传感器能够实时、准确地感知人体运动的压力变化,为人体运动监测提供了有效的技术支持。
柔性触觉传感器简介柔性触觉传感器是一种能够模拟人类手指触摸感知能力的传感器技术。
通过模拟人类的触觉感知系统,柔性触觉传感器可以精确地测量物体的压力、形状和温度等参数,并将这些信息转化为电信号输出。
它的柔性设计使其能够适应各种曲面和形状的物体,具有很大的灵活性和适用性。
工作原理柔性触觉传感器通常由多个传感单元组成。
每个传感单元由敏感电阻、导电聚合物或压电材料等构成。
当传感器受到外部力或压力作用时,传感单元的电阻或电容等物理特性发生变化,进而改变电信号的大小或频率。
通过测量这些变化,可以获得物体施加的压力或形状信息。
应用领域柔性触觉传感器具有广泛的应用前景,特别是在人机交互、机器人、医疗等领域。
以下是柔性触觉传感器的一些常见应用:1. 人机交互柔性触觉传感器可以被应用于智能手机、平板电脑等设备中,用于实现更加智能和人性化的触摸操作。
通过测量触摸力的变化,可以实现更精准的手势识别和触摸反馈。
2. 机器人柔性触觉传感器可以为机器人提供更加精确和细腻的触觉反馈,帮助机器人更好地感知和操作环境。
例如,在医疗机器人中,柔性触觉传感器可以帮助机器人更准确地操作人体器官,提高手术的精确性和安全性。
3. 医疗柔性触觉传感器在医疗领域中有着广泛的应用。
它可以用于制作智能假肢、康复辅助器具等,帮助残疾人恢复运动能力。
柔性触觉传感器还可以用于监测心率、体温等生理参数,帮助医生进行诊断和治疗。
4. 智能车辆柔性触觉传感器可以被应用于智能汽车、自动驾驶等领域,用于检测车辆周围环境的形状、压力等信息。
通过获取这些信息,智能车辆可以更好地感知道路和障碍物,提高行驶的安全性和舒适性。
挑战与未来展望尽管柔性触觉传感器在各个应用领域都具有巨大潜力,但目前仍面临着一些挑战。
首先,技术成本较高,限制了其大规模应用的普及。
其次,传感器的稳定性和耐久性仍需要进一步提高,以满足长期使用的需求。
此外,与传统传感器相比,柔性触觉传感器的精度和灵敏度还有待提高。
mems压阻式压力传感器的应用实例压阻式压力传感器是一种常用的压力测量设备,它利用受压导电材料的电阻值随受压程度的变化而发生变化的原理进行压力传感。
下面将介绍几个压阻式压力传感器的应用实例。
1.汽车行业压阻式压力传感器在汽车行业得到广泛应用。
例如,在汽车的发动机控制系统中,压阻式压力传感器可以用于测量燃料压力、废气压力等参数,以便发动机控制单元能够准确控制燃料喷射和排放系统。
此外,压阻式压力传感器还可用于测量轮胎压力,实现胎压监测功能,并提醒驾驶员及时进行充气。
2.工业自动化压阻式压力传感器在工业自动化领域也有广泛应用。
例如,在液压系统中,压阻式压力传感器可以测量液体的压力,为系统提供实时的压力信息,以确保系统的稳定运行。
此外,在气压系统中,压阻式压力传感器可以实现对气体流量、压力的精确测量,并为系统的控制提供必要的数据支持。
3.医疗设备压阻式压力传感器在医疗设备中的应用也非常广泛。
例如,在呼吸机和血压监测设备中,压阻式压力传感器可以测量呼吸气流和血压的变化,以帮助医生对患者的呼吸和心血管状况进行监测和诊断。
此外,压阻式压力传感器还可用于测量人体接触物体的力度,如人体姿势检测、床垫压力监测等。
4.石油与天然气工业压阻式压力传感器在石油与天然气工业中的应用非常重要。
例如,在油井探测设备中,压阻式压力传感器可测量井口的压力,为石油开发提供必要的数据支持。
此外,在管道运输系统中,压阻式压力传感器可用于测量管道的压力和流量,以确保管道的安全运行。
5.空调与制冷设备压阻式压力传感器在空调与制冷设备中也有广泛应用。
例如,在冷冻空调系统中,压阻式压力传感器可以测量制冷剂的压力和温度,以保证系统的高效运行。
此外,在家用空调中,压阻式压力传感器还可用于测量空气流量和空气质量,提供舒适的室内环境。
综上所述,压阻式压力传感器在各个领域的应用非常广泛。
通过测量压力变化,它可以帮助实现对各种参数的准确测量和控制,为相关行业的设备和系统提供数据支持,提高生产效率和产品质量。
基于三维多孔结构的柔性电阻式压力传感器研究基于三维多孔结构的柔性电阻式压力传感器研究摘要:柔性电阻式压力传感器作为一种重要的机电传感器,在各个领域都有广泛的应用。
本文针对传统的柔性电阻式压力传感器存在的灵敏度低、稳定性差等问题,提出了一种新的设计方案——基于三维多孔结构的柔性电阻式压力传感器。
通过在传感器结构中引入三维多孔材料,增强了其受力情况和敏感度,并通过实验对其性能进行了验证。
结果表明,该传感器具有较高的灵敏度和稳定性,可以广泛应用于各种压力检测领域。
关键词:柔性电阻式压力传感器、三维多孔结构、灵敏度、稳定性1. 引言柔性电阻式压力传感器是一种常用的机电传感器,广泛应用于医疗、汽车、航空航天等领域。
然而,传统的柔性电阻式压力传感器存在一些问题,如灵敏度低、稳定性差等。
为了解决这些问题,我们提出了一种基于三维多孔结构的柔性电阻式压力传感器设计方案,并对其性能进行了实验验证。
2. 基于三维多孔结构的柔性电阻式压力传感器设计方案传统的柔性电阻式压力传感器通常由导电材料和柔性基底组成,当受到外界压力时,导电材料的电阻值发生变化。
而基于三维多孔结构的柔性电阻式压力传感器在传感器结构中引入了三维多孔材料,以增强其受力情况和敏感度。
首先,选择合适的三维多孔材料作为传感器的结构材料。
三维多孔材料具有较大的比表面积和较好的弹性,能够增加传感器受力面积,提高传感器的灵敏度。
其次,将导电材料与三维多孔材料进行结合。
在传感器结构上均匀涂覆导电材料,并与三维多孔材料紧密结合,形成导电路径。
当传感器受到外界压力时,导电材料的电阻值发生变化,从而实现对压力的测量。
最后,将传感器与信号采集电路相连,通过信号采集电路对传感器的电阻变化进行读取和处理,得到相应的压力值。
3. 实验验证为了验证基于三维多孔结构的柔性电阻式压力传感器的性能,我们进行了一系列实验。
首先,对传感器施加不同的压力,并测量传感器的电阻值变化。
实验结果显示,基于三维多孔结构的柔性电阻式压力传感器在测量压力时具有较高的灵敏度,能够准确捕捉到不同压力下的电阻变化。
柔性传感器在健康监测中的应用研究近年来,随着健康意识的提升和科技的不断进步,人们对于健康监测的需求日益增长。
传统的健康监测设备通常笨重、不便携,限制了监测的时间和空间。
然而,随着柔性传感器技术的发展,一种轻便、灵活且高效的健康监测解决方案出现了。
本文将以柔性传感器在健康监测中的应用研究为主题,介绍柔性传感器的原理、功能及其在健康监测中的应用。
柔性传感器是一种可弯曲、可拉伸的传感器,它能够感知物体的变形和运动,并将这些变化转化为电信号输出。
这种传感器采用了灵活的材料和结构设计,使其能够适应不同形状的物体,并能够实时监测和记录其变化。
柔性传感器具有以下几个主要功能:1. 弯曲感应:柔性传感器的核心功能是测量物体的弯曲程度。
通过使用薄膜电阻栅、压电材料或弯曲敏感材料等技术,柔性传感器可以准确地测量物体的弯曲角度和曲率。
这一功能在健康监测中可用于测量关节的运动范围、脊柱的弯曲程度等。
2. 压力感应:柔性传感器可以感知物体施加在其表面上的压力大小。
通过利用触觉材料或阻变材料,柔性传感器能够将物体对其施加的压力转化为电信号。
这一功能在健康监测中可用于测量血压、睡眠质量等。
3. 伸缩感应:柔性传感器可以感知物体的拉伸和收缩变化。
借助拉伸敏感材料或电致动材料等技术,柔性传感器能够实时监测和记录物体的伸缩程度。
这一功能在健康监测中可用于测量肌肉的张力、呼吸的深度等。
柔性传感器在健康监测领域的应用正在不断拓展。
以下是一些具体的应用案例:1. 非侵入式生命体征监测:柔性传感器可以与人体皮肤接触,透过皮肤测量心率、体温、血液氧含量等生命体征指标,从而实现无需穿戴额外设备和免疫刺激的健康监测。
2. 运动监测:柔性传感器可以制成柔性贴片状,贴于人体关节或肌肉表面,实时监测关节角度、肌肉张力等运动指标。
通过与智能手机或智能手环等设备结合,可以为用户提供运动姿势的实时分析和改进建议。
3. 压力分布监测:柔性传感器可以用于测量身体与座椅、床垫等表面的接触压力分布。
摘要随着社会的日益进步,医疗水平不断提高,互联网技术快速发展,健康和信息安全成为人们最为关注的焦点。
目前医疗资源的短缺和屡见不鲜的个人信息泄露事件,越来越成为人们的心头之患。
在健康方面,社会老龄化进一步加剧,各类慢性疾病的数量逐年增长,人们越来越意识到医院治疗已不能满足自身健康的需求,日常生活中更需要仪器设备实现自身健康状态长期持续的监测。
在信息安全方面,虽然人们采用密码、U盾及密保等方式保护个人信息,但个人信息依旧被窃取,泄漏在互联网等媒介之上。
如果日常生活中对人们的健康状态进行持续监测,并使用一种独一无二的身份识别方式,将大大减少各类慢性疾病的数量及个人信息泄露的问题。
目前部分可穿戴设备可用于人体生理信号的测量,实现对人体健康状态的检测。
每个人的生物特征是独一无二的,将生物特征用于身份识别,信息将很难被窃取。
但是目前存在的可穿戴设备无法实现健康状态监测和身份识别双重功能。
为此,本文做了以下研究:①本文研究了基于摩擦纳米发电机的柔性可穿戴多功能压力传感器。
该传感器以人耳鼓膜结构进行仿生,结合单电极式摩擦纳米发电机工作模式,采用PTFE 薄膜、Nylon薄膜、ITO薄膜以及PET衬底制作而成。
结合薄膜的振动特性从理论上分析了传感器的振动模态,采用单电极摩擦纳米发电机的工作原理分析传感器的电学输出特性,采用COMSOL Multiphysics对传感器的振动特性和开路电压进行了仿真,验证了设计的传感器具有较宽的工作频带范围,高低频特性较好。
②对传感器测得信号中的噪声进行了分析及处理。
对传感器输出信号中的工频干扰、肌电漂移、运动伪迹和基线漂移噪声进行处理。
采用模拟滤波和数字滤波相结合的方式,对传感器输出信号进行处理。
结合传感器输出信号频谱中信号频率分布,采用10Hz Butterworth低通滤波器和45Hz~1500Hz Butterworth带通滤波器对测量的信号进行了分解,分别得到脉搏波信号和喉咙声信号。
基于柔性压力传感器的应用与发展专利综述关键词:柔性;压力;传感器;电容;压阻;压电;摩擦;起电一、柔性压力传感器概述近年来,柔性电子设备慢慢进入人们的生活之中,各种形式的柔性传感器作为感知外界环境的方式,其研制及应用受到了国内外学者的广泛关注。
研究人员对柔性压力传感器的研究趋于追求更快的响应速度、更高的灵敏度、更宽的检测范围、更高的分辨率、更好的耐用性等。
虽然柔性压力传感器的类型主要分为电容式、压阻式、压电式和摩擦发电式四个方向,工作原理较为简单,但设计一个新颖的改善结构尤为困难。
随着计算机技术、智能控制技术、传感技术及人工智能的不断发展,柔性压力传感器作为人机交互的重要桥梁,目前对于其压力检测范围、灵敏度的要求越来越高。
二、柔性压力传感器的测力原理及特点2.1电阻式柔性压力传感器电阻式柔性压力传感器应用非常广泛,主要分为三类:人机交互、人体健康监测和电子皮肤,电阻式柔性压力传感器基于压阻原理实现传感,利用材料本身受压形变导致电阻变化的原理从而感知压力信号,适用于可穿戴设备,可用于压力、应变等物理量测量,可安装在人体关节、柔性触摸屏、柔性键盘等应用上。
以应用需求为导向,通过微结构设计提高灵敏度、测量范围、分辨率,这需要开发更为精密的制备技术,实现多重刺激响应、良好的生物兼容性、透气性,同时实现低成本、大面积阵列制备和更小分辨率。
华东师范大学的专利CN106595916A公开了一种碳基电阻式柔性压力传感器,传感器呈四层薄膜结构,包括柔性聚酰亚胺薄膜层、银电极层、柔性石墨烯和氧化石墨烯的复合薄膜层以及氧化石墨烯薄膜绝缘保护层。
当该压力传感器受到压力作用或者发生弯曲应变时,通过测量银电极两端的电阻变化值即可得到压力传感器的受力情况。
整体呈薄膜状结构,柔性性质好,可在弯曲任意角度的状态下正常工作;灵敏度高,应变系数在2.1‑3之间;压力测量范围广,为10Pa至900kPa;具有很高的分辨率和超快速动态响应,能测出高达10kHz的动态高频压力信号;稳定性质好,通过了8000次以上的稳定性重复测试。
COMSOL在压阻式柔性压力传感器中的应用
王宗荣1, 王珊1
1浙江大学
Abstract
引言:柔性压力传感器在电子皮肤、智能假肢以及医疗监测诊断等领域发挥着十分重要的作用。
因此压力传感器需要很高的灵敏度、宽的敏感区间及稳定的性能。
利用典型的有机硅 PDMS 作为支撑层,聚合物 PEDOT: PSS 作为导电感应层制得的高度不均一的微突结构的双压敏机制压阻传感器灵敏度达到了 851kPa-1,探测范围广,表现出了优异的性能,为解决目前压阻传感器中灵敏度低、敏感压力区间窄的难题提供了新思路。
COMSOL MULTIPHYSICS® 软件的使用:本文利用COMSOL软件建立了不均匀微突结构的压阻式传感器模型,采用了结构力学与电流场两个物理场,通过电子接触对进行多物理场的耦合。
研究在指定位移情况下,压阻式传感器电阻与电流的变化,从而得到灵敏度,验证不均匀微突结构压阻式压力传感器的双作用机制。
同时,建立了均一微金字塔结构的压力传感器进行比较,对比得出性能更好的压阻式传感器结构。
结果:通过COMSOL模拟的结果,在相同位移的情况下,不均匀微突结构压力传感器的灵敏度比均一金字塔结构高的多。
模拟结果如图1,2,3 。
结论:模拟均一微金字塔结构和不均匀微突结构的压阻式传感器,通过指定位移,得出电阻电流随位移的变化情况,从而得出灵敏度,验证不均匀微突结构压阻式压力传感器的双作用机制。
结果表明不均匀微突结构的压力传感器灵敏度要大大高于均一微金字塔结构。
Reference
1.Wang, ZR et.al, High Sensitivity, Wearable, Piezoresistive Pressure Sensors Based on Irregular Microhump Structures and Its Applications in Body Motion Sensing. Small , 12 (28), 3827-36(2016).
2.Choong, C. L et.al, Highly stretchable resistive pressure sensors using a conductive elastomeric composite on a micropyramid array. Advanced materials , 26 (21), 3451-
8(2014).
Figures used in the abstract
Figure 1: 10*10微突结构压力传感器COMSOL Multiphysics模拟结果
Figure 1
Figure 2: 均一微金字塔结构压力传感器COMSOL Multiphysics模拟结果
Figure 2
Figure 3: (a)含4种高度微突不均匀结构压阻式传感器表面应力;(b) (IP-I0)/I0与压力的关系(0-Figure 3
26kPa);(C) (IP-I0)/I0与压力的关系(0-1.4kPa)。