附件：场发射扫描电子显微镜技术要求
1. 场发射扫描电镜技术规格
1.1.分辨率：≤1.0nm(15kV)；
≤1.4nm(1kV)
1.2 加速电压：0.1kV ～30kV
1.3 放大倍数：25×～800,000×以上
1.4 电子枪：场发射型
1.5在样品室上提供不少于六个附件接口，可同时接X射线能谱、背散射电子探测器等。
1.6探测器：
普通二次电子检测器
高分辨二次电子/背散射电子探测器
BSE探测器*
1.7样品台：全对中型
X方向位移：≥50mm；Y方向位移：≥50mm
马达控制：5轴(X, Y, Z, R, T)
1.8真空系统前级机械泵配油雾过滤器
1.9动态视频保存*
2. 配置要求
2.1场发射扫描电子显微镜基本单元1台2.2 电镜正常工作所需的稳压电源、循环冷却水、变压器、不间断电源等完整1套2.3备用电子枪1个
2.4场发射扫描电镜长期使用所需要的备品备件、专用工具(列详细清单) 完整1套
3.售后服务
3.1 卖方应在合同生效后的一个月内，对可能的设置室进行地面振动、杂散磁场的测量，并向买方提出详细的安装要求和提供技术咨询。
3.2 仪器到达用户所在地后，在接到用户通知后两周内进行安装调试，直至通过验收。3.3 设备安装后，在用户现场对用户进行免费培训，培训内容包括仪器的操作和仪器基本维护等，使用户达到独立操作水平。
3.4卖方提供三年的免费保修，保修期自仪器验收签字之日起计算；卖方免费提供软件升级（在不涉及硬件升级的前提下）。
3.5在保修期外软硬件出现问题，应在接到用户通知后两个工作日内给与解决方案或在三个工作日内到达用户现场解决问题。
4.交货期：6个月
