【流程管理】第7章TCAD工具仿真流程及在ESD防护器件性能评估方面的
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tcad课程设计流程一、教学目标本章节的教学目标包括以下三个方面:1.知识目标:使学生掌握TCAD(晶体管计算机辅助设计)的基本原理和流程,理解相关的物理和数学模型,以及熟悉TCAD在半导体器件设计和制造中的应用。
2.技能目标:培养学生运用TCAD工具进行基本模拟和分析的能力,能够独立完成简单的TCAD流程设计和操作。
3.情感态度价值观目标:培养学生对科学探究的兴趣和热情,增强其对半导体行业和科技进步的认识和责任感。
二、教学内容本章节的教学内容主要包括以下几个部分:1.TCAD的基本概念和原理:介绍TCAD的定义、发展和应用,理解其基本的工作原理和流程。
2.物理和数学模型:学习半导体器件的物理和数学模型,包括半导体方程、载流子动力学方程等。
3.TCAD工具的使用:学习并实践主流TCAD工具的基本操作和功能,如Silvaco、LTspice等。
4.TCAD流程设计:掌握TCAD的基本流程设计,包括器件建模、参数提取、模拟分析和结果可视化等步骤。
三、教学方法本章节的教学方法包括以下几种:1.讲授法:通过讲解和演示,使学生掌握TCAD的基本原理和流程。
2.讨论法:鼓励学生积极参与讨论,提出问题和观点,培养其思考和解决问题的能力。
3.案例分析法:分析实际案例,使学生更好地理解TCAD的应用和价值。
4.实验法:通过实践操作,使学生熟练掌握TCAD工具的使用和流程设计。
四、教学资源本章节的教学资源包括以下几种:1.教材:选用合适的教材,如《TCAD技术与应用》等,为学生提供系统的学习材料。
2.参考书:提供相关的参考书籍,如《半导体器件物理》等,为学生提供深入学习的资源。
3.多媒体资料:制作PPT、视频等多媒体资料,生动形象地展示TCAD的相关概念和原理。
4.实验设备:准备相关的实验设备,如计算机、TCAD软件等,为学生提供实践操作的机会。
五、教学评估本章节的教学评估主要包括以下几个方面:1.平时表现:通过观察和记录学生在课堂上的参与度、提问和回答问题的情况,评估其对TCAD知识的理解和应用能力。
使用Sentaurus TCAD软件设计和仿真0.18μmH栅P—Well SOIMOSFET器件【摘要】绝缘体上硅(Silicon On Insulator,简称SOI)以其独特的材料结构有效克服了体硅材料的不足,使其在能够成功应用于辐照恶劣环境中。
本文使用Sentaurus TCAD软件中的SDE(Sentaurus Structure Editor)工具设计一个0.18μmH 栅P-Well SOI MOSFET器件结构,并且运用Sentaurus TCAD软件中的Sentaurus Device工具进行器件特性仿真,使用INSPECT和TECPLOT_SV工具查看仿真结果并得到设计的器件的阈值电压(Vth=1.104V)和饱和电流(Idsat=3.121E-4A)。
【关键词】SOI;P-Well MOSFET;H栅;Sentaurus TCAD1.引言近年来全球范围内出现了新一轮的太空探索热潮,世界各主要航天大国相继出台了一系列雄心勃勃的航天发展规划。
空间技术的迅猛发展,使各种电子设备已经广泛应用于人造卫星、宇宙飞船等设备中,在天然空间辐射环境中往往因经受空间辐射而导致性能降低或失灵,甚至最终导致卫星或空间飞行器灾难性后果。
因此,必须在辐照恶劣环境中的电子设备使用抗辐射的电子元器件。
绝缘体上硅与体硅器件相比较,其独特的绝缘层把器件和衬底隔开,减轻了衬底对器件的影响,降低了源漏极电容、消除了闩锁效应、改善了短沟道效应以及热载流子效应、提高了抗辐照性能等等[1],因此,SOI技术能够成功地应用于抗辐射领域,其被国际上公认为“二十一世纪的硅集成电路技术”。
SOI与体硅MOS器件结构的比较如图1所示。
图1 体硅器件和SOI器件基本结构的比较通常根据在绝缘体上的硅膜厚度将SOI分成薄膜全耗尽FD(Fully Depleted)结构和厚膜部分耗尽PD(Partially Depleted)结构。
本论文中设计的SOI MOS 器件是薄膜全耗尽结构的,这是因为薄膜SOI结构的器件由于硅膜的全部耗尽完全消除“翘曲效应”[2],且这类器件具有低电场、高跨导、良好的短沟道特性和接近理想的亚阈值斜率等优点。
Silvac o TCA D 半导体仿真工具培训教程_资料手册S ilvac o TCA D 2014.00Win32 1DVD半导体仿真工具Sy nopsy s.Tca d.Sen tauru s.vH-2013.03.Li nux64 3CDSilva co的TC AD 建模服务提供解决方案给那些有特别半导体器件建模需求而内部又没有时间和资源运行TCAD软件的客户。
使用TC AD建模服务,可运用Silva co在半导体物理和T CAD软件操作方面的专长,提供完全、快速和精确的即可使用的解决方案。
Silva co AM S v2010.00 Win32 1CDSil vacoAMS 2008.09 Lin ux3264S ilvac o AMS 2008.09 S olari s 1CDSil vacoAMS 2008.09 Man ual 1CDS ilvac o Icc ad 2008.09 1CDSilv aco I ccad2008.09 Li nux32 64Silva co Ic cad 2008.09 Sol aris1CDSilva co Ic cad 2008.09 Man ual 1CDS ilvac o Log ic 2008.09 1CDSilv aco L ogic2008.09 Li nux32 64Silva co Lo gic 2008.09 Sol aris1CDSilva co Lo gic 2008.09 Man ual 1CDS ilvac o TCA D 2012.00Win32_64 1DVDSilva co TC AD 2010.00 Linu x 1CDSil vacoTCAD2012Linux64 1D VDS ilvac o TCA D 2008.09Solar is 1C DSi lvaco TCAD 2008.09 M anual 1CDSilv aco C ataly st 2008.09 Linu x32 64Si lvaco Cata lyst2008.09 So laris 1CDSilv aco C har 2008.09 Lin ux3264S ilvac o Cha r 2008.09Solar is 1C DSi lvaco Fire bird2008.09 Li nux32 64Silva co Fi rebir d 2008.09Solar is 1C DSi lvaco Mode 2008.09 L inux32 64Silv aco M ode 2008.09 Sol aris1CDSilva co Pa rasit ic 2008.09 Linu x32 64Si lvaco Para sitic 2008.09 S olari s 1CDSil vacoUT 2007.04 Linu x32 64S ilvac o UT2007.04 So laris 1CDSilv aco V WF 2007.04 Linu x32 64S ilvac o VWF 2007.04 S olari s 1CDPar allel Smar tSpic e 1.9.3.E1CD■□■□■□■□■□■□■□■□■□■□■□■□■□■□■□■□■□■□+ 诚信合作,保证质量!!!长期有效: +电话TE L:18980583122 客服 QQ:1140988741■□■□■□■□■□■□■□■□■□■□■□■□■□■□■□■□■□■□Pin nacle产品:Fracp roPT.2007.v10.4.52 1CD(石油工业界的先进压裂软件工具,它提供支撑剂和酸液压裂处理的设计、模拟、分析、执行和优化功能。