CLEANROOM PERFORMANCE TESTS
CONTENT
1. CLEANROOM LAYOUT AND REQUIREMENT
2. CLEANROOM PERFORMANCE TEST ITEM
3. CERTIFICATION OF CLEANROOM PERFORMANCE
A. AIR FLOW VELOCITY&VOLUME TEST
B. FILTER LEAKAGE TEST
C. AIR BORNE PARTICLE COUNT TEST
D. ILLUMINATION TEST
E. NOISE LEVEL TEST
F. ROOM PRESSURIZATION TEST
G. TEMPERATURE AND HUMIDITY TEST
4. REFERENCE
2.Certification of Cleanroom Performance Test Item
3.CERTIFICATION OF CLEANROOM PERFORMANCE
(A).AIR FLOW VELOCITY TEST
A.测试仪器：
1.测量风速及压力组
MAKER: SHORTRIDGE INSTRUMENT INC.
MODEL: ADM-870C
ACCURACY：±3﹪
2.测量风量组
MAKER: SHORTRIDGE INSTRUMENT INC.
MODEL: FLOWHOOD
B.测试步骤：
(1)每块Filter测试9点风速。
(2)测试点置于Filter下方不约6吋(15cm)处量测。
(3)计算每片Filter量测值之平均风速。
C.测试点：
每一Filter之出风表面均需测试。
D.记录：
记录于表格。
E.验收标准：
每一FILTER之风速需符合下列条件：
每只Filter平均风速：0.35m/s ± 20% (0.28-0.42m/s)
90%单点量测值：0.35m/s ± 20% (0.28-0.42m/s)
1.1200mm×1200mm风量为0.432CMM。
2.1200mm×900mm风量为0.324CMM。
3.1200mm×600mm风量为0.216CMM。
(B).FILTER LEAKAGE TEST
A.测试仪器:
1.PARTICLE COUNTER
MAKER：PMS
MODEL NO：LASAIR-110
SPECIFICATION：SAMPLING FLOW RATE：1 CFM
PARTICLE SIZE：0.1, 0.15, 0.2, 0.25, 0.3, 0.5, 0.7, 1.0μm
2.PARTICLE COUNTER
MAKER：PMS
MODEL NO：LASAIRⅡ-310A
SPECIFICATION：SAMPLING FLOW RATE：1 CFM
PARTICLE SIZE：0.3, 0.5, 1.0, 5.0, 10, 25μm
3.AEROSOL GENERATOR
MAKER：PALAS
MODEL NO：AGF 2.0IP
4.AEROSOL DILUTER
MAKER：PALAS
MODEL NO：VKL-100S
B.测试步骤：
(1)启动被测漏之FFU，利用Particle Counter之采样器置于Filter下
约2.5-3.0公分左右，以不超过10FPM(0.05M/S)之速率沿着ULPA
之表面做有规律扫描。
(2)采样器扫描进行中，需同时观察Particle Counter之仪表显示值，
当侦测到瞬间有4个以上之Particle时，则改以1 FPM 之速率重
新探测，以确定是否有泄漏及泄漏之正确位置。
(3)ULPA是否有泄漏是以Particle Count所侦测到之数据，经三次重
新扫描均超过规范时为研判之依据，停在一定点测时不可有连续
泄漏之发生。
(4)如Filter上方之环境条件低于要求浓度时，则以Aerosol Generator
增加其浓度，DEHS与纯IPA以1:9混合产生之Particle使用于
Filter。
C.测试点：
每一Filter之出风表面均需测试。
1.尺寸为1200mm×1200mm测试时间为4分50秒。
2.尺寸为1200mm×900mm测试时间为3分45秒。
3.尺寸为1200mm×600mm测试时间为2分30秒。
4.尺寸为600mm×600mm测试时间为1分15秒。
D.记录：
记录于表格，需记录泄漏之正确位置。
E.验收标准：
(1)每一片Filter均不得有泄漏，有泄漏应更新或修补后重新量测。
(2)每一片Filter之单点修补尺寸不得大于Filter表面积之3%。
(3)每一片Filter之修补面积不得大于Filter表面积之5%。
(4)每一片Filter之修补不得超过2点。
(5)每一片Filter之量测数据，
1.尺寸为1200mm×1200mm总和不得大于45颗。
2.尺寸为1200mm×900mm总和不得大于45颗。
3.尺寸为1200mm×600mm总和不得大于30颗。
