无尘室等级标准

无尘室的等级分类及应用标准无尘室的适用范围很广，只要洁净要求比较高的都会用到。

同时在上一次的文章中我们简单地介绍了《无尘车间对模切生产有哪些影响？》，今天我们更进一步地为大家讲述一下无尘室等级分类及应用标准。

01无尘室的等级说明依据美国联邦政府颁布的标准【Federal Atandard（FS）209E，1992】，可将无尘室分为六级。

分别是1级、10级、100级、1000级、10000级、100000级，如果无尘室的等级只用尘粒数目来叙述，则可假设尘粒的尺寸是0.5um，无尘室等级应以特定尘粒尺寸的级数来表示。

例如：10级在0.2um（尘粒尺寸在0.2um或更大下，密度不大于75颗/立方英尺），1级在0.1um（尘粒尺寸在0.1um或更大下，密度不大于35颗/立方英尺）。

02无尘室等级标准据查询无尘室等级标准的版本较多，于是小编就整理两个较常用的划分标准，分别是国际标准 IOS14644-1、中国标准 GB/T16292-03无尘室标准分类>>>>乱流式(Turbulent Flow)：空气由空调箱经风管与无尘车间内的空气过滤器(HEPA)进入无尘室，并由无尘车间两侧隔间墙板或高架地板回风。

气流非直线型运动呈不规则之乱流或涡流状态。

此型式适用于无尘室等级为1,000-100,000级的。

优点：构造简单、系统建造成本低，无尘室扩充比较容易，在某些特殊用途场所可并用无尘工作台，提高无尘车间等级。

缺点：乱流造成的微尘粒子于室内空间飘浮不易排出，易污染产品。

另外若系统停止运转再激活，欲达要求的洁净度，需耗时相当长一段时间。

>>>>层流式(Laminar)：层流式空气气流运动成均匀的直线形，空气由覆盖率100%的过滤器进入室内，并由高架地板或两侧隔墙板回风，此型式适用于无尘室等级需求较高的环境使用，一般其无尘室等级为Class 1~100。

其型式可分为二种：▶无尘车间水平层流式：水平式空气自过滤器单方向吹出，由对边墙壁的回风系统回风，尘埃随风向排出室外，一般下流侧污染较严重。

无尘室等级
一、无尘室(Clean Room)，亦称为无尘室或清净室。

它是污染控制的基础。

控制空气悬浮微粒浓度，从而达到适当的微粒洁净度级别。

无尘室是指将一定空间范围内之空气中的微粒子、有害空气、细菌等之污染物排除，并将室内之温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内，而所给予特别设计之房间。

分类
1.乱流式（Turbulent Flow)
2.层流式（Laminar)
3.复合式（Mixed Type)
二、等级说明
依据美国联邦政府颁布的标准【Federal Atandard（FS）209E，1992】，可将无尘室分为六级。

分别是1级、10级、100级、1000级、10000级、100000级，如果无尘室的等级只用尘粒数目来叙述，则可假设尘粒的尺寸是0.5um，无尘室等级应以特定尘粒尺寸的级数来表示。

例如：10级在0.2um（尘粒尺寸在0.2um或更大下，密度不大于75颗/立方英尺），1级在0.1um（尘粒尺寸在0.1um或更大下，密度不大于35颗/立方英尺）。

等级标准
据查询无尘室等级标准的版本较多，于是小编就整理两个较常用的划分标准，分别是国际标准IOS14644-1、中国标准
GB/T16292-1996，具体详情请看下表：。

无尘室洁净等级
洁净无尘室,洁净手术室工程,GMP洁净厂房,无尘无菌手术室,无尘室净化车间,万级无尘室净化车间,无尘实验室,专业施工队伍,工程设计,安装施工。

洁净车间级别五个等级分别是：
1、100级
也称为“无菌室”、“无尘室”。

微生物最大允许数：5浮游菌/m；微粒控制在100以内/m。

适用场合：医药工业的无菌制造工艺。

2、1000级
微生物最大允许数：1000浮游菌/m；主要用于高质量光学产品的生产，还用于测试，装配飞机陀螺仪，装配高质微型轴承等。

3、1W级
微生物最大允许数：100浮游菌/m；车间里的微粒控制在1W/m 以内。

适用场合：小容量注射剂灌装车间，直接接触药品的包装材料最终处理车间。

4、10W级
微生物最大允许数：500浮游菌/m；车间里每微粒控制在10W/m 以内，适用场合：注射剂浓配车间。

5、30W级
微生物最大允许数：1000浮游菌/m；车间里的微粒控制在30W/m 以内，适用场合：丸剂、颗粒包装车间。

无尘室中不论外在之空气条件如何变化,其室内均能俱有维持原先所设定要求之洁净度、温湿度及压力等性能之特性。

无尘室最主要之作用在于控制产品(如硅芯片等)所接触之大气的洁净度日及温湿度,使产品能在一个良好之环境空间中生产、制造,此空间我们称之为无尘室。

按照国际惯例,无尘净化级别主要是根据每立方米空气中粒子直径大于划分标准的粒子数量来规定。

也就是说所谓无尘并非100%没有一点灰尘,而是控制在一个非常微量的单位上。

1、1级：级的无尘车间主要用于制造集成电路的微电子工业，对集成电路的精确要求为亚微米。

2、10级：十级的无尘车间主要用于带宽小于2微米的半导体工业。

3、100级：百级无尘车间并非无菌室，百级无尘车间对“无菌”的或“无尘”的环境要严格，100级无尘室可用于医药工业的无菌制造工艺等，这一无尘车间大量应用于植如体内物品的制造，外科手术，包括移植手术，集成器的制造，那些对细菌感染特别敏感的病人的隔离治疗，如像骨髓移植病人术后的隔离治疗。

4、1000级：千级的无尘车间主要用于高质量光学产品的生产，还用于测试，装配飞机蛇螺仪，装配高质微型轴承等。

5、10000级：万级无尘车间用于液压设备或气压设备的装配，某些情况下也用于食品饮料工业，此外，万级无尘车间在医工业中也很常用。

6、100000级：十万级无尘车间用于很多的工业部门，比如光学产品的制造，用于较小的元器件制造大型的电子系统，液压或气压系统
的制造，食品饮料的生产，医、药工业也常常使用这一级无尘车间。

7、300000级别：三十万级无尘车间级别较低，用于普通洁净区，如级别不高的走道。

一般清洁度是指空气的洁净等级，分为等级1、2···8，8阶段。

在1立方公尺的空气中，粒径0.1微米的灰尘若是在10个以下时为
1；百个以下是100=102是等级2；千个以下时是1000=103等级3，一次类推。

21世界，最尖端产业的发展，加速了产业结构的变革，无尘室设立之必要性也相对地提高。

商品日渐的小型化和精密化，尘埃和温湿
的变化对商品的完成度亦造成极大的危害，导致品质低下。

伴随商品的高品质要求，环境无尘化的需求也日益提高。

因此在无尘室中
用防尘材料及商品都显得格外重要。

所谓的无尘室是一个人造的环境，里面含有的粒子远低于一般的环境，随着集成电路的级数的快速成长，也增加了对制造环境(无尘室)洁净度要求，在工业上即使使粒子之尺寸想小于0.1微米.也可能阻碍产品的运作或降低其寿命。

优于纳米技术的兴起，造成半导体关键尺寸持续缩小，集成电路积集度不断地增加，尘粒更容易使芯片失效或可靠度恶化。

例如当金属尘粒落到金属导线时，就可能会使金属导线形成短路。

又如果有酸性的离子化合物尘粒掉在金属导线上，可能将其腐蚀，所以无尘室为集成电路制造不可或缺的要素。

无尘室是一种能够控制空气中微粒子和污染物浓度的特殊环境。

根据微粒子和污染物的浓度等级不同，无尘室可以分为不同的等级。

以下是常见的无尘室等级区分标准：
1. ISO 14644等级：这是国际标准化组织（ISO）制定的无尘室等级标准。

分为六个等级，从最高级别的Class 10到最低级别的Class 100，依次降低微粒子和污染物的浓度。

2. 美国联邦标准等级：这是美国联邦政府制定的无尘室等级标准。

分为四个等级，从最高级别的Class 100到最低级别的Class 1000，依次降低微粒子和污染物的浓度。

3. 日本工业标准等级：这是日本工业标准组织（JIS）制定的无尘室等级标准。

分为三个等级，从最高级别的JIS Class 100到最低级别的JIS Class 1000，依次降低微粒子和污染物的浓度。

4. 欧洲标准等级：这是欧洲标准化组织（CEN）制定的无尘室等级标准。

分为四个等级，从最高级别的ISO Class 5到最低级别的ISO Class 8，依次降低微粒子和污染物的浓度。

以上是常见的无尘室等级区分标准，每个标准都有其独特的等级划分和要求，具体应用时需要根据实际情况选择合适的标准。

无尘室要求与等级标准
无尘室的要求与等级标准主要包括以下几个方面：
1.空气洁净度等级：无尘室的洁净度等级主要根据空气中悬浮粒
子浓度来划分，一般分为一级到十级。

一级无尘室主要适用于制作集成电路的微电子工业，十级无尘室主要用于带宽小于二微米的半导体工业，百级无尘室一般用于医药工业的无菌制作工艺等，千级无尘室主要用于高质量光学产品的生产，万级和十万级无尘室则多用于工业部门，如液压或气压体系的制作、食品饮料的出产等。

2.温湿度要求：无尘室的温度一般控制在20±2°C，相对湿度保
持在50±5%范围内。

3.照明与通风：无尘室内应有足够数量的局部照明装置及良好的
通风换气设备，同时，其风速和气流组织形式也有一定要求。

4.人员进出要求：人员进入洁净区必须穿防尘工作服或防静电工
作服，带好帽子口罩等个人防护用品，严禁非工作人员入内。

5.其他要求：如压差控制，相同洁净度等级的净化车间压差应保
持一致，对于不同洁净等级的相邻净化车间之间压差要
≥5Pa，净化车间与非净化车间之间要≥10Pa。

以上是无尘室的主要要求与等级标准，实际运用中可能根据具体情况有所调整。

如需更多信息，建议咨询无尘室设计或管理领域的专业人士。

无尘车间的发展与现代工业、尖端技术紧密的联系在一起。

目前在生物制药、医疗卫生、食品日化、电子光学、能源、精密器械等行业运用已经相当的普遍且成熟。

无尘车间分为几个等级，分别为1级≥百级级≥千级级≥万级≥十万级≥百万级，越排在前面，级别越高，1级是级别最高的。

最常见的是百级到十万级，不同等级还有着不同的等级标准。

一、空气洁净度等级洁净空间单位体积空气中，以大于或等于被考虑粒径的粒子最大浓度限值进行划分的等级标准。

国内按空态、静态、动态对无尘车间进行测试、验收，符合《GB50073-2013 洁净厂房设计规范》、《GB50591-2010 洁净室施工及验收规范》。

洁净度和控制污染的持续稳定性，是检验无尘车间质量的核心标准，该标准根据区域环境、洁净程度等因素，分为若干等级，常用的有国际标准和国内区域行业标准。

中国GMP（2010年修订）新版GMP附录1 无菌药品.第三章.第九条……洁净区各级别空气悬浮粒子的标二、无尘车间（洁净室）等级说明等级定义的模式如下：Class X (at Y μm )其中X是无尘室的等级，例如100或10000等等，Y是粒径如0.2μm , 0.5μm 等，可复选。

意思就是使用者规定，该无尘室微粒含量，在这些粒径必须满足该等级的限度。

这样可以减少纷争，以下是几个例子：Class1 (0.1μm, 0.2μm , 0.5μm)Class 100(0.2μm , 0.5μm )Class 100(0.1μm, 0.2μm , 0.5μm )在Classes 100 (M3.5) and Greater (Class 100，1000，10000....)，一般看一个粒径即可。

在Classes Less than 100 (M3.5) (Class 10，1.... )，一般要看多几个粒径。

第二个技巧是规定无尘室的状态，例如：Class X (at Y μm )，At-rest供货商就很清楚知道无尘室要在At-rest状态下验收。

无尘室等级标准的划分无尘室，顾名思义就是指内部空气中无尘粒，或者粉尘浓度极低的一种特殊环境。

无尘室主要用于对空气洁净度要求非常高的场合，比如在微电子、半导体、生物制药、医疗卫生等领域都有广泛的应用。

为了对无尘室进行科学的管理和评估，国际上制定了一系列的无尘室等级标准，以便对其进行划分和评定。

无尘室等级标准的划分主要是根据无尘室内空气中的颗粒物浓度来进行的。

国际上通用的划分标准是根据每立方米空气中的颗粒物数量来进行分类，常见的标准有ISO 14644-1和美国联邦标准209E等。

这些标准对无尘室的洁净度等级进行了详细的划分和描述，以便对无尘室的设计、建设和运行提供了科学的依据。

根据ISO 14644-1标准，无尘室的等级主要分为ISO 1至ISO 9共10个等级。

其中ISO 1级别是洁净度最高的，适用于对空气洁净度要求极高的场合，比如在微电子生产中。

而ISO 9级别则是洁净度最低的，适用于对空气洁净度要求不是很高的场合，比如在一般的工业生产中。

而美国联邦标准209E则将无尘室的等级分为了类别1至类别100000，同样也是根据空气中颗粒物的数量来进行划分的。

在实际的应用中，无尘室的等级选择要根据具体的生产工艺和产品要求来确定。

一般来说，对于对空气洁净度要求非常高的场合，比如在生物制药和医疗卫生领域，通常会选择ISO 5级别以上的无尘室。

而对于一般的工业生产，ISO 7级别或ISO 8级别的无尘室就可以满足要求了。

在无尘室的设计和建设中，除了根据等级标准来确定无尘室的洁净度要求外，还需要考虑到无尘室的空气流动、过滤、净化等方面的设计。

只有在这些方面都考虑到位，才能保证无尘室的洁净度等级能够得到有效的控制和保证。

总的来说，无尘室等级标准的划分是无尘室管理和评估的重要依据，它对无尘室的设计、建设和运行都有着重要的指导作用。

在实际的应用中，需要根据具体的生产工艺和产品要求来选择适合的无尘室等级，同时还需要在无尘室的设计和建设中考虑到空气流动、过滤、净化等方面的设计，以保证无尘室的洁净度等级能够得到有效的控制和保证。

半导体工业是极精密的工业，当我们把计算机拆开之后，在电路板上一颗颗小小的IC都有数百万颗甚至数千万颗的晶体管。

为了让这些极小的晶体管妥善的工作，制造的过程必须在无尘室内进行，集成电路制造的工厂动辄需要数十亿、数百亿的投资，多因为需要一个无尘室。

所谓的无尘室是一个人造的环境，里面含有的粒子远低于一般的环境，随着集成电路技术的快速成长，也增加了对制造环境(无尘室)洁静度的需求，在工业上即使粒子之尺寸小于1微米，也可能阻碍产品的运作或降低其寿命。

由于奈米技术的兴起，造成半导体关键尺寸持续缩小，集成电路积集度不断的增加，尘粒更容易使芯片失效或可靠度恶化。

例如当金属尘粒地落到金属导线时，就可能会使金属导线形成短路。

又如果有酸性的离子化合物尘粒掉在金属导线上，可能将其腐蚀，所以无尘室为集成电路制造不可或缺的要素。

依据美国联邦政府颁布的标准【Federal Standard (FS) 209E, 1992】，可将无尘室分为六级。

分别是1级、10级、100级、1000级、10000级、100000级，如果无尘室的等级只用尘粒数目来叙述，则可假设尘粒的尺寸为0.5µm，例如，1级、10级、100级无尘室最大尘粒数目分别小于或等于1颗、10颗、100颗，如果尘粒尺寸不是0.5µm，无尘室等级应以在一特定尘粒尺寸的级数来表示。

例如：10级在0.2µm(尘粒尺寸在0.2µm或更大下，密度不大于75颗/立方英?)，1级在0.1µm(尘粒尺寸在0.1µm或更大下，密度不大于35颗/立方英?)。

而集成电路制造所需的无尘室之洁净度必须优于1000级。

为保持无尘室的洁净度，进出的人员有一定的穿著规定；10000与100000级，必须穿著长袍无尘衣、无尘鞋、带帽子与面罩；1000级(含)以上，需穿著特殊的洁净连身衣、无尘鞋将全身裹住，并带上手套和面罩，下表为无尘室清洁度的定义：尘粒数／立方英级数0.1μm 0.2μm 0.3μm 0.4μm 0.5μm1 35 7.5 3 1 N/A10 350 75 30 10 N/A100 N/A 750 300 100 N/A1000 N/A N/A N/A 1000 710000 N/A N/A N/A 10000 70100000 N/A N/A N/A 100000 7004.1 環境介紹及溫溼度條件:4.1.1 無塵室是以美國聯邦標準做為分級的規範，外層無塵室,內層無塵室,防焊無塵室,CAM無塵室等級為10K級.壓合無塵室0.5um的微粒為10K級,5um 微粒為100K級。