无尘室等级标准

洁净室等级标准【Federal Standard (FS)209E,1992】，可将无尘室分为六级。

分别是1级、10级、100级、1000级、10000级、级，如果无尘室的等级只用尘粒数目来叙述，则可假设尘粒的尺寸为0、5μm，例如，1级、10级、100级无尘室最大尘粒数目分别小于或等于1颗、10颗、100颗，如果尘粒尺寸不是0、5μm，无尘室等级应以在一特定尘粒尺寸的级数来表示。

例如：10级在0、2μm(尘粒尺寸在0、2μm或更大下，密度不大于75颗/立方英尺)，1级在0、1μm(尘粒尺寸在0、1μm或更大下，密度不大于35颗/立方英尺)。

洁净度：洁净度10000级cleanliness class10000（P2万级实验室即ISO7级）即大于等于0、5μm的尘粒数大于35000粒／m3 (35粒/L)到小于等于粒／m3(350粒／L)；大于等于5μm的尘粒数大于300粒／m3(0、3粒/L)到小于等于3000粒／m3(3粒/L)。

压差及温湿度控制：1）温度:干盘管系统控制。

2）湿度:空调箱调节通过感测的信号,控制三通阀开度来调节空调箱盘管进水量。

3）正压:空调箱调节,根据静压感测的信号,自动调节空调箱马达变频器的频率,从而调节进入室内的新风量。

检测标准：气流速度及其均匀度检测，是无尘室效果的其他各项检测的前提，这项检测的目的是为了明确单向流无尘室工作区的平均气流通度及其均匀性。

1）室内洁净度的检测：洁净度的检测是为了确定洁净环境可达到的空气洁净度级别，可采用粒子计数器检测。

2）自净时间的检测：通过确定自净时间，查明洁净室内部发生污染时恢复其原有洁净度的能力。

3）照度的检测：照度检测的目的是为了判明洁净室的照度水平和照度的均匀性。

4）振动的检测：振动检测的目的是为了判明无尘室各表明的振动幅度。

5）温、湿度的检测：温、湿度检测的目的是把温度、湿度调整到一定限度内的能力。

其内容包括检测无尘室的送风温度，检测有代表性测点的空气温度，检测无尘室中心点的空气温度，检测敏感元件处的空气度，检测室内空气相对温度，检测回风温度。

无尘室(Clean Room)，亦称为无尘室或清净室。

它是污染控制的基础。

控制空气悬浮微粒浓度，从而达到适当的微粒洁净度级别。

无尘室是指将一定空间范围内之空气中的微粒子、有害空气、细菌等之污染物排除，并将室内之温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内，而所给予特别设计之房间。

使用者在开无尘室的等级给供货商时，有以下几个小技巧。

首先是等级定义的模式如下：Class X (at Y μm )其中X是无尘室的等级，例如100或10000等等，Y是粒径如0.2μm , 0.5μm等，可复选。

意思就是使用者规定，该无尘室微粒含量，在这些粒径必须满足该等级的限度。

这样可以减少纷争，以下是几个例子：Class1 (0.1μm, 0.2μm , 0.5μm)Class 100(0.2μm , 0.5μm )Class 100(0.1μm, 0.2μm , 0.5μm )在Classes 100 (M3.5) and Greater (Class 100，1000，10000....)，一般看一个粒径即可。

在Classes Less than 100 (M3.5) (Class 10，1.... )，一般要看多几个粒径。

第二个技巧是规定无尘室的状态，例如：Class X (at Y μm )，At-rest供货商就很清楚知道无尘室要在At-rest状态下验收。

第三个技巧是自订微粒浓度上限，一般在As-built时无尘室都很干净，微粒控制能力测试不易，这时可以干脆把验收上限压低，例如：Class 10000 (0.3 μm <= 10000)，As-builtClass 10000 (0.5 μm <= 1000)，As-built这样做的目的是确保无尘室在Operational状态时，依然有足够的微粒控制能力。

实验室洁净级别的划分实验室洁净级别是指实验室内部空气中的微粒物质数量和尺寸分布的指标，它直接影响着实验室的实验质量和结果。

根据不同实验的需求，实验室的洁净级别可以分为不同等级，下面将介绍几种常见的实验室洁净级别划分。

一、ISO 14644洁净级别划分ISO 14644是国际标准化组织（ISO）制定的实验室洁净级别划分标准。

该标准将实验室洁净度分为ISO 1至ISO 9共九个等级，数字越小表示洁净度越高。

ISO 1级实验室被称为“无尘室”，通常应用于特殊领域的实验，如微尘颗粒的研究等。

ISO 1级实验室的洁净度要求非常高，空气中的微尘颗粒数量极少。

ISO 9级实验室则被称为“常规实验室”，是一般科研实验室的洁净度要求，空气中的微尘颗粒数量相对较高。

二、GMP洁净级别划分GMP（Good Manufacturing Practice）是药品行业的生产质量管理规范，也制定了实验室洁净级别划分标准。

根据GMP的要求，实验室洁净度分为A、B、C、D四个级别，其中A级洁净度要求最高。

A级实验室是指对生产产品质量要求非常高的实验室，如药品生产实验室、生物制品实验室等。

A级实验室的洁净度要求非常严格，空气中的微尘颗粒数量极少。

D级实验室则是指对生产产品质量要求相对较低的实验室，如药品包装实验室、药品仓库等。

D级实验室的洁净度要求较低，空气中的微尘颗粒数量相对较高。

三、实验室洁净级别的控制措施为了确保实验室能达到所需的洁净级别，需要采取一系列的控制措施。

实验室的空气处理系统是关键。

空气处理系统应具备过滤、通风和净化功能，能够过滤掉空气中的微尘颗粒。

实验室应采用合适的洁净室设计和建筑材料。

洁净室的设计应尽量减少尘埃产生和积聚的机会，建筑材料应具备防尘、易清洁等特性。

实验室的工作人员应穿戴洁净服。

洁净服能够将工作人员的微尘颗粒隔离，避免其进入实验室空气中。

实验室应定期进行洁净度检测和维护。

通过定期检测，可以及时发现洁净度不达标的问题，并采取相应的维护措施进行修复。

无尘室中不论外在之空气条件如何变化,其室内均能俱有维持原先所设定要求之洁净度、温湿度及压力等性能之特性。

无尘室最主要之作用在于控制产品(如硅芯片等)所接触之大气的洁净度日及温湿度,使产品能在一个良好之环境空间中生产、制造,此空间我们称之为无尘室。

按照国际惯例,无尘净化级别主要是根据每立方米空气中粒子直径大于划分标准的粒子数量来规定。

也就是说所谓无尘并非100%没有一点灰尘,而是控制在一个非常微量的单位上。

1、1级：级的无尘车间主要用于制造集成电路的微电子工业，对集成电路的精确要求为亚微米。

2、10级：十级的无尘车间主要用于带宽小于2微米的半导体工业。

3、100级：百级无尘车间并非无菌室，百级无尘车间对“无菌”的或“无尘”的环境要严格，100级无尘室可用于医药工业的无菌制造工艺等，这一无尘车间大量应用于植如体内物品的制造，外科手术，包括移植手术，集成器的制造，那些对细菌感染特别敏感的病人的隔离治疗，如像骨髓移植病人术后的隔离治疗。

4、1000级：千级的无尘车间主要用于高质量光学产品的生产，还用于测试，装配飞机蛇螺仪，装配高质微型轴承等。

5、10000级：万级无尘车间用于液压设备或气压设备的装配，某些情况下也用于食品饮料工业，此外，万级无尘车间在医工业中也很常用。

6、100000级：十万级无尘车间用于很多的工业部门，比如光学产品的制造，用于较小的元器件制造大型的电子系统，液压或气压系统
的制造，食品饮料的生产，医、药工业也常常使用这一级无尘车间。

7、300000级别：三十万级无尘车间级别较低，用于普通洁净区，如级别不高的走道。

半导体工业是极精密的工业，当我们把计算机拆开之后，在电路板上一颗颗小小的IC都有数百万颗甚至数千万颗的晶体管。

为了让这些极小的晶体管妥善的工作，制造的过程必须在无尘室内进行，集成电路制造的工厂动辄需要数十亿、数百亿的投资，多因为需要一个无尘室。

所谓的无尘室是一个人造的环境，里面含有的粒子远低于一般的环境，随着集成电路技术的快速成长，也增加了对制造环境(无尘室)洁静度的需求，在工业上即使粒子之尺寸小于1微米，也可能阻碍产品的运作或降低其寿命。

由于奈米技术的兴起，造成半导体关键尺寸持续缩小，集成电路积集度不断的增加，尘粒更容易使芯片失效或可靠度恶化。

例如当金属尘粒地落到金属导线时，就可能会使金属导线形成短路。

又如果有酸性的离子化合物尘粒掉在金属导线上，可能将其腐蚀，所以无尘室为集成电路制造不可或缺的要素。

依据美国联邦政府颁布的标准【Federal Standard (FS) 209E, 1992】，可将无尘室分为六级。

分别是1级、10级、100级、1000级、10000级、100000级，如果无尘室的等级只用尘粒数目来叙述，则可假设尘粒的尺寸为0.5µm，例如，1级、10级、100级无尘室最大尘粒数目分别小于或等于1颗、10颗、100颗，如果尘粒尺寸不是0.5µm，无尘室等级应以在一特定尘粒尺寸的级数来表示。

例如：10级在0.2µm(尘粒尺寸在0.2µm或更大下，密度不大于75颗/立方英?)，1级在0.1µm(尘粒尺寸在0.1µm或更大下，密度不大于35颗/立方英?)。

而集成电路制造所需的无尘室之洁净度必须优于1000级。

为保持无尘室的洁净度，进出的人员有一定的穿著规定；10000与100000级，必须穿著长袍无尘衣、无尘鞋、带帽子与面罩；1000级(含)以上，需穿著特殊的洁净连身衣、无尘鞋将全身裹住，并带上手套和面罩，下表为无尘室清洁度的定义：尘粒数／立方英级数0.1μm 0.2μm 0.3μm 0.4μm 0.5μm1 35 7.5 3 1 N/A10 350 75 30 10 N/A100 N/A 750 300 100 N/A1000 N/A N/A N/A 1000 710000 N/A N/A N/A 10000 70100000 N/A N/A N/A 100000 7004.1 環境介紹及溫溼度條件:4.1.1 無塵室是以美國聯邦標準做為分級的規範，外層無塵室,內層無塵室,防焊無塵室,CAM無塵室等級為10K級.壓合無塵室0.5um的微粒為10K級,5um 微粒為100K級。

class 100,000 无尘标准等级一、概述Class100,000无尘标准等级是一种用于电子制造行业的环境标准，旨在确保生产环境中的尘埃粒子浓度控制在极低的水平，从而保证电子产品的质量、性能和寿命。

二、无尘标准等级的定义Class100,000无尘标准等级是指环境中尘埃粒子浓度小于或等于一百万个每立方英尺的空间体积。

这种高标准的洁净级别适用于大规模集成电路（LSI）和微电子制造等对环境要求极为严格的行业。

三、无尘室的设施和要求1.清洁设备：Class100,000无尘标准等级的无尘室通常配备有高效微粒过滤器（HEPA）和活性过滤器等先进的清洁设备，以有效捕获和消除尘埃粒子。

2.空气过滤系统：无尘室通常采用封闭式空气处理系统，通过循环和过滤空气来保持环境清洁。

这种系统通常包括初效过滤器、中效过滤器、亚高效过滤器以及高效微粒过滤器（HEPA）。

3.空气分布系统：无尘室应具备合理的空气分布系统，以确保空气均匀分布，避免尘埃粒子在局部区域积聚。

4.湿度控制：无尘室应具备适宜的湿度控制，以防止尘埃粒子凝结或飞扬。

5.人员进出控制：无尘室应采取严格的措施，控制人员进出，以减少尘埃污染。

通常要求工作人员穿戴防尘服、防尘鞋和佩戴防尘眼镜等防护装备。

6.尘埃监测设备：无尘室应配备专业的尘埃监测设备，定期进行尘埃粒子计数，确保环境符合标准要求。

四、无尘标准等级的应用Class100,000无尘标准等级适用于高精密电子制造过程，如大规模集成电路（LSI）、微处理器、硬盘驱动器等产品的生产。

这些产品对尘埃粒子和其他污染物的敏感度非常高，因此需要严格的环境控制。

同时，该标准也适用于电子元器件制造、半导体设备制造等领域。

五、验证与评估为了保证无尘室的环境符合Class100,000标准等级，通常需要进行定期的验证和评估。

这些评估通常包括尘埃粒子计数、空气质量检测、温湿度测量等多个方面。

此外，无尘室还应该定期进行清洁和维护，以确保其持续符合标准要求。

车间无尘等级标准
车间无尘等级标准通常根据国家或行业规范制定。

以下是一些常见的车间无尘等级标准：
1. 美国联邦标准209E：该标准定义了无尘室的等级，从ISO Class 1到ISO Class 9。

ISO Class 1代表最高级别的无尘室，要求每立方英尺内的颗粒物数量不超过0.1粒。

ISO Class 9则代表最低级别的无尘室，要求每立方英尺内的颗粒物数量不超过35,200粒。

2. ISO14644标准：该标准是国际标准化组织（ISO）制定的无尘室等级标准。

其中包括ISO Class 1到ISO Class 9，与美国联邦标准209E相似。

3. GMP标准：GMP（Good Manufacturing Practice）是一种世界范围内用于药品生产的质量管理体系标准。

GMP标准中对车间无尘等级有详细的规定，包括空气中颗粒物的数量、尺寸和分布要求等。

4. SEMI标准：SEMI是半导体工业协会，该组织制定了针对半导体生产车间无尘等级的标准，包括SEMI S2、SEMI S6和SEMI F18等。

需要注意的是，不同行业和应用领域对无尘等级的要求可能会有所不同，具体的无尘等级标准应根据实际情况进行确定。

无尘室等级，无尘室标准，无尘室等级标准是什么？ (2009/08/10 13:56)依据美国联邦政府颁布的标准【Federal Atandard（FS）209E，1992】，可将无尘室分为六级。

分别是1级、10级、100级、1000级、10000级、100000级，如果无尘室的等级只用尘粒数目来叙述，则可假设尘粒的尺寸不是0.5um，无尘室等级应以在一特定尘粒尺寸的级数来表示。

例如：10级在0.2um（尘粒尺寸在0.2um或更大下，密度不大于75颗/立方英尺），1级在0.1um（尘粒尺寸在0.1um或更大下，密度不大于35颗/立方英尺）。

而集成电路制造所需的无尘室之洁净度必须优于1000级。

无尘室等级，无尘室标准，无尘室标准定义一、无尘室定义将空气中之尘埃、压力、温度、湿度、气流分布之情形及速度，控制于一定范围内之空间。

此处所指之尘埃为肉眼无法看见的灰尘及粒子，且指一般空气清净机无法完全清除之灰尘。

无尘室一般分为电子、精密工业用IndustraialCleanRoom（ICR）；及需控制微生物浓度等制药、食品产业用BiologicalCleanRoo（BCR）。

二、联邦规格无尘室等级现今一般多奉行与美国所制定的联邦规格（U.S.Federalstandard209b），BCR则多参考明定生物粒子限制值的NASA规格（美国航空署5340.2规格）。

其Fed.std清洁度的表示法为：1ft3空气中，含有多少个0.5μm（micro）以上的微粒子，及称为[等级○○]。

例如：空气中含有10个0.5以下时，表示为“等级10”。

二自然界大气中通常含有300000~30000000个微粒子。

三、在JIS标准下，无尘室清洁度，共分为8个等级一般清洁度是指空气的洁净等级，分为等级1、2···8，8阶段。

在1立方公尺的空气中，粒径0.1微米的灰尘若是在10个以下时为1；百个以下是100=102是等级2；千个以下时是1000=103等级3，一次类推。

GMP清洁度A，B，C，D的新版本“药品良好生产规范（2010年修订）”（GMP的新版本）于2011年3月1日生效。

新GMP 中的清洁度等级为A，B，C和D四个等级，新GMP中的清洁度等级为标准。

新GMP清洁度A，B，C和D级的主要参数要求：A类清洁区域清洁操作区域的空气温度应为20-24℃，清洁操作区域的相对湿度应为45％-60％。

作业区风速：水平风速≥0.54m/s；垂直风速≥0.36m/s;高效过滤器的泄漏检测应大于99.97％照度：>300lx-600lx噪声：≤75db（动态测试）BB级清洁操作区清洁操作区的空气温度应为20-24℃，相对湿度清洁操作区域的面积应为45％-60％，室内换气次数：≥25次/小时，压力差：相对于室外的B级区域≥10Pa，相同水平的不同区域应根据气流保持一定的压力差方向。

高效过滤器的泄漏检测大于99.97％照度：>300lx-600lx噪声：≤75db（动态测试）清洁操作区域的空气温度应为20-24℃，清洁操作区域的相对湿度应为45％-60％，室内换气频率：≥25次/小时，压力差：相对于室外的C级区域，≥10Pa，相同水平的不同区域应根据流动方向保持一定的压力差。

高效过滤器的泄漏检测应大于99.97％照度：>300lx-600lx噪声：≤75db（动态测试）清洁操作区域的空气温度应为18-26℃，清洁操作区域的相对湿度应为45％-60％，室内换气次数：≥15次/小时，压差：相对于室外空气为100000液面面积≥10Pa，高效过滤器的泄漏检测大于99.97％照度：>300lx-600lx 噪音：≤75db（动态测试）。

无尘室洁净度等级标准1000千级无尘车间的标准：微尘数量被严格控制在每立方米1000个以内，1000级的概念是：每立方英尺内,大于等于0.5的灰尘颗粒不能超过1000颗。

千级无尘室是指将一定空间范围内之空气中的微粒子、有害空气、细菌等之污染物排除，并将室内之温度、洁净度、室内压力、气流速
度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内，而所
给予特别设计之房间。

千级无尘室室内空气参数要求：
1、温湿度要求：温度一般为24+2℃，相对湿度为55+5%。

2、新风量大。

由于这类车间内，人员比较多，可以根据以下数值
应取下列的最大值：
非单向流洁净室总送风量的10-30%；补偿室内排风和保持室内正
压值所需的新鲜空气量；保证室内每人每小时的新鲜空气量≥40m3/h。

3、送风量大。

为了满足无尘车间内的洁净度及热湿平衡，需要较大的送风量，就300平方米的车间，吊顶高度为2.5米的，如果是万级，送风量就需要300×2.5×30=22500m3/h的送风量（换气次数，是≥25次/h）；如果是十万级，送风量就需要300×2.5×20=15000m3/h 的送风量（换气次数，是≥15次/h）。

无尘车间（即无尘室、洁净室）是指将一定空间范围内之空气中的微粒子、有害空气、细菌等之污染物排除，并将室内之温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内，而所给予特别设计之房间。

亦即是不论外在之空气条件如何变化，其室内均能俱有维持原先所设定要求之洁净度、温湿度及压力等性能之特性。