6寸单晶参数
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____厂部门姓名工号成绩阅卷人
一、填空（每空2分，共50分）
1.单晶一（三）厂现使用的单晶炉型号有一厂为JRDL-800和TDR-70A/B 型；三厂为FTCZ2008 和FTCZ2208
型。
2.热态检漏应从功率关闭开始冷却 4 （TDR700炉子）；5（JRDL800炉子），2.5（2008，2208）小时，关闭氩气
球阀，要求炉内压力在0.5 小时达到极限真空 3 Pa以下。
3.拆装炉过程中，戴好耐高温（石棉）手套取放石墨件，石墨件安放在清洁好的不锈钢车上。
4.拆炉时，确认单晶棒完全降入框架后，按住籽晶，用钳子将籽晶从细颈处钳断，钳断后应稳定重锤，
防止重锤快速旋转损坏钢丝绳。
5.装炉时要检查热场是否对称，校正侧温孔，否则测光信号偏小，炉内温度无法控制。
6.熔料通过欧陆表分步增加功率，每0.5个小时升一次功率，低温50KW，中温70 （80）K W，高温小于90 （96）
KW。
若投料60KG，熔料总时间不少于4 （2208.6.5）；2008（5.5）小时。
（2008：30-60-90-100-120），（2208全自动，温度要低于135KW）
7.引晶时拉速应控制在 1.5-6 mm/min之间，引晶直径 3 mm左右，长度不低于150 mm。
8.转肩后计长清零，生长稳定后，调整伊尔根使其压单晶光圈 1/3-1/2 之间位置。
9.停炉时降功率分两步，先将温控退自动，电压降至20V， 0.5 小时后，电压电流降至零，关闭加热电源。
10.公司现拉制的单晶产品型号有6寸和8寸。
二、判断（每题1分，共10分）
1、（×）单晶的冷却时间是3.5小时。
2、（×）装多晶料时可以不佩戴无尘手套。
3、（×）拉晶时氩气流量是越大越好。
4、（√）引晶前烤晶是为了减少位错。
5、（×）目前单晶目标电阻率0.5—6欧姆·厘米。
6、（√）硅晶体有单晶硅和多晶硅两种形态。
7、（×）工艺卫生与产品的碳氧含量无关。
8、（×）等经生长时锅转和晶转是可以任意调整的。
9、（√）炉台出现重大异常可能危及生命时要及时拉响报警并撤离现场。
10、（×）拆炉时发现石英坩埚被腐蚀一定是坩埚质量问题。
三、问答（共40分）
1、根据操作工艺，怎样煅烧整套热场？（10分）
黄东
１．煅烧整个热场，一般需要空烧８个小时，可以多空烧几次．功率可以逐步的提高，比如２２０８型单晶炉，第一次可用９０kw煅烧一次，再升高到１３０kw煅烧．
冯焱
一、煅烧热场
安装好整套热场后，不投硅料，按正常的抽空、加热工序执行后停炉。
具体的加热步骤如下（一般情况）：
注：如整套热场第一次煅烧，一般需要煅烧2～3次，第一次煅烧的最高加热功率放在90kw为宜，以防热场打火。
整个热场煅烧一般适用于新炉子，不超过8小时；一般更换石墨件时，只煅烧4个小时。
姜翰钦的答复
更换新加热器与石墨件都需经煅烧
1.加热器一般低温0.5h，中温4h，高温4-5h
2.石墨件一般低温0.5h，中温0.5h，高温8-9h。
（以电压30，40，50V分低，中，高三种。
）
2、根据操作规范，什么样的坩埚才是合格的？（10分）
检查石英坩埚包装上的标识与配料单是否一致，目检要求厚薄一致，有无变形，内壁光滑无气泡、无黑点、无出料点、无色斑、污染、无析晶、无可剥落颗粒、坩埚口部不得有缺口、裂纹。
3、根据操作工艺，描述装料的注意事项。
（10分）
A.核对配料单的内容是否与单晶炉号、配料实物一致，如有异常，报告班长或主任
B．更换装料用的手套，如有母合金先放入石英坩埚，然后将碎料、小料平铺在炉底
C．将大块料放置中央，中块料放于大料四周上方左右予以固定，间隙中放入小硅料。
装料时要慎重作业，轻拿轻放，防止碰撞石英坩埚，不要使料掉在保温罩的缝隙，以免引起打火。
D．装料时注意不要使料探出石英坩埚，否则会引起硅液外溢，损坏石墨件，甚至闷炉。
E．装料完成后将坩埚旋转，确认四周间隙一致，最后用吸尘器洗净浮尘和硅渣。
4、根据操作工艺，简述单晶作业流程。
（10分）
作业准备→热态检漏→取单晶和籽晶→石墨件取出冷却→真空过滤器清洗→真空泵油检查更换→石墨件清洗→单晶炉室清洗→石墨件安装→石英坩埚安装→硅料安装→籽晶安装→抽空、检漏→充氩气、升功率、熔料→引晶、缩颈、放肩、转肩→等径生长→收尾→降功率、停炉冷却。
