第七章单晶生长
- 格式:ppt
- 大小:6.70 MB
- 文档页数:51
单晶生长的方法嘿,咱今儿就来聊聊单晶生长的那些事儿!你知道不,这单晶生长啊,就好比是在培育一颗独一无二的宝贝。
先说提拉法吧,就像是小心翼翼地从一锅美味汤里捞出最精华的那块肉。
通过一个细细的“绳子”,慢慢地把晶体从熔体里提拉出来,一点一点地让它长大。
这过程得特别精细,温度啦、提拉速度啦,都得把握得恰到好处,不然这宝贝可就长不好喽!还有区熔法,你可以把它想象成是在一条长长的道路上,一段一段地让晶体变得纯净又完美。
就好像是在给道路做修复,把不好的地方去掉,留下最好的部分。
这种方法能让晶体的品质特别高呢!再说说水热法,这就有点像在一个温暖的温泉里培养晶体。
在特定的温度和压力下,让晶体在溶液里慢慢生长。
是不是感觉很神奇呀?就好像在温泉里能泡出健康的身体一样,这里能长出漂亮的单晶呢!还有气相沉积法,就如同在空气中撒下神奇的种子,让它们慢慢飘落到合适的地方,生根发芽,长成美丽的晶体。
这个过程充满了神秘和惊喜,你永远不知道下一刻会结出怎样的果实。
你看啊,这些单晶生长的方法,各有各的奇妙之处。
提拉法的精细,区熔法的纯净,水热法的温暖,气相沉积法的神秘,每一种都像是一位独特的艺术家,在创造着属于自己的杰作。
咱平时生活中那些高科技的产品,好多都离不开这些单晶呢!没有它们,那些厉害的电子设备、精密仪器可怎么制造出来呀?所以说,这单晶生长的方法可太重要啦!它们就像是隐藏在科技背后的魔法,默默地为我们的生活带来便利和进步。
那我们是不是应该好好了解一下这些方法呢?多去探索它们的奥秘,说不定哪天我们自己也能成为单晶生长的大师呢!你说是不是呀?反正我觉得挺有意思的,就像在探索一个未知的奇妙世界,充满了惊喜和期待呢!。
07-第七章单晶材料的制备7-1第七章单晶材料的制备§7.1 固相-固相平衡的晶体生长§7.1.1 结晶理论§7.1.2 应变退火生长单晶§7.1.3 烧结体生长晶体§7.2 液相-固相平衡的晶体生长§7.2.1 液相晶体生长理论§7.2.2 定向凝固法§7.2.3 提拉法§7.2.4 区域熔化技术7-2随着电子技术、激光技术和一些新型陶瓷材料的迅速发展,在很多场合下需要单晶材料(材料整体只有一个晶粒)。
如单晶硅、锗、砷化镓、红宝石、钇铁石榴石、石英单晶等。
单晶体以其在电、磁、光、声、热等方面的优异性能被广泛地应用于现代高科技产业,如熟悉的单晶硅材料在半导体工业上的应用。
单晶材料的制备关键是避免多余晶核的形成,保证唯一晶核的长大,因此,要求材料纯度高,以避免非均匀形核,过冷度低以防止形成其它晶核。
单晶体的生产方法有许多种,它们的理论基础是有关的相图及相变,以及形核长大理论,目前单晶制备已发展成为一种重要的专门技术。
按照单晶材料原子的来源,可以分为液相法、气相法和固相法,其中液相法应用较多,如单晶硅的制备。
7-3对天然矿物晶体生长的研究有助于了解矿物、岩石、地质体的形成及发展历史,并为矿物资源的开发和利用提供一些有益的启发性资料。
人工合成晶体则不仅可以模拟和解释天然矿物的形成条件,更重要的是能够提供现代科学技术所急需的晶体材料。
近年来人工合成晶体实验技术迅速发展,成功地合成了大量重要的晶体材料,如激光材料、半导体材料、磁性材料、人造宝石以及其它多种现代科技所要求的具有特种功能的晶体材料。
当前人工合成晶体已成为工业主要文柱的材料科学的一个重要组成部分。
人工合成晶体的主要途径是从溶液中培养和在高温高压下通过同质多相的转变来制备(如用石墨制备金刚石)等。
具体方法很多,下面简要介绍几种最常用的方法。
7-4§7.1 固相-固相平衡的晶体生长是在固态条件下,使异常晶粒不断长大吞并其它小晶粒而得到单晶的方法。
单晶生长原理
单晶生长是一种将物质从非晶态或多晶态转变为单晶态的过程。
在单晶生长过程中,通过控制温度、压力和溶液成分等条件,使得原子或分子按照一定的排列规律逐渐从无序状态转变为有序的单晶结构。
单晶生长的基本原理是利用种子晶体或者某种特定方法形成结晶核,并通过在其上加热或者降低温度、减小溶液浓度等方式提供足够驱动力,使原子或分子从溶液中逐渐沉积在结晶核上,并按照晶格结构进行有序排列。
通过不断增长结晶核的大小和形状,最终得到完整的单晶体。
单晶生长的过程中,温度的控制非常重要。
通常情况下,通过控制温度梯度来驱动晶体生长。
例如,可以在熔融状态下,通过在上部降低温度,使热解的物质逐渐沉积在下部的结晶核上,实现晶体生长。
另外,还可以通过改变溶液中物质的浓度梯度,实现晶体的生长。
此外,除了温度的控制外,还需要控制其他条件,如压力和溶液成分。
在很多情况下,增加压力可以提高晶体生长的速度,并减小生长中的缺陷。
此外,控制溶液中的成分浓度,可以调节晶体生长过程中的化学反应速率,使得晶体生长更加均匀。
总的来说,单晶生长的原理是通过控制温度、压力和溶液成分等条件,使得原子或分子在有序排列的晶格中逐渐沉积,最终形成完整的单晶体结构。
这种生长过程的控制对于获得高质量的单晶体具有至关重要的作用。
单晶生长方法单晶生长是指通过合适的方法在晶体生长过程中得到只有一个晶体结构的单晶体。
单晶体在材料科学、电子器件制造、光学等领域具有重要的应用价值。
而单晶生长方法是实现单晶体生长的关键。
一、凝固法生长单晶凝固法是一种常用的单晶生长方法,它通过控制溶液的冷却速度和晶体生长界面的温度梯度来实现单晶体的生长。
凝固法主要包括自由凝固法、拉扩法、Bridgman法、Czochralski法等。
1.自由凝固法自由凝固法是将溶液置于恒温器中,通过自由凝固来实现单晶体的生长。
溶液在恒温器中逐渐冷却,当溶液达到饱和度时,晶体开始在液面上生长。
自由凝固法适用于生长较小尺寸的单晶体。
2.拉扩法拉扩法是将溶液置于拉扩炉中,通过拉动晶体生长棒来实现单晶体的生长。
在拉扩炉中,晶体生长棒在一端浸入溶液中,通过控制晶体生长棒的升降速度和温度梯度,使晶体在生长棒上逐渐生长。
拉扩法适用于生长较长的单晶体。
3.Bridgman法Bridgman法是将溶液置于Bridgman炉中,通过控制温度梯度和晶体生长方向来实现单晶体的生长。
在Bridgman炉中,溶液逐渐冷却,晶体在溶液中逐渐生长。
Bridgman法适用于生长质量较高的单晶体。
4.Czochralski法Czochralski法是将溶液置于Czochralski炉中,通过旋转晶体生长棒和控制溶液温度来实现单晶体的生长。
在Czochralski炉中,晶体生长棒在溶液中旋转,溶液逐渐冷却,晶体在生长棒上逐渐生长。
Czochralski法适用于生长直径较大的单晶体。
二、气相法生长单晶气相法是另一种常用的单晶生长方法,它通过气相中的化学反应或物理过程来实现单晶体的生长。
气相法主要包括气相输运法、气相扩散法、气相沉积法等。
1.气相输运法气相输运法是一种通过气相中的化学反应来实现单晶体的生长。
在气相输运法中,气体中的原子或分子通过扩散和反应在基底上生长单晶体。
气相输运法适用于生长高纯度和大尺寸的单晶体。
单晶生长原理及工艺流程CZ法的基本原理,多晶体硅料经加热熔化,待温度合适后,经过将籽晶浸入、熔接、引晶、放肩、转肩、等径、收尾等步骤,完成一根单晶锭的拉制。
炉内的传热、传质、流体力学、化学反应等过程都直接影响到单晶的生长与生长成的单晶的质量,拉晶过程中可直接控制的参数有温度场、籽晶的晶向、坩埚和生长成的单晶的旋转与升降速率,炉内保护气体的种类、流向、流速、压力等。
CZ法生长的具体工艺过程包括装料与熔料、熔接、细颈、放肩、转肩、等径生长和收尾这样几个阶段。
1.装料、熔料阶段是CZ生长过程的第一个阶段,这一阶段看起来似乎很简单,但是这一阶段操作正确与否往往关系到生长过程的成败。
大多数造成重大损失的事故(如坩埚破裂)都发生在或起源于这一·阶段。
2.籽晶与熔硅的熔接当硅料全部熔化后,调整加热功率以控制熔体的温度。
一般情况下,有两个传感器分别监测熔体表面和加热器保温罩石墨圆筒的温度,在热场和拉晶工艺改变不大的情况下,上一炉的温度读数可作为参考来设定引晶温度。
按工艺要求调整气体的流量、压力、坩埚位置、晶转、埚转。
硅料全部熔化后熔体必须有一定的稳定时间达到熔体温度和熔体的流动的稳定。
装料量越大,则所需时间越长。
待熔体稳定后,降下籽晶至离液面3~5mm距离,使粒晶预热,以减少籽经与熔硅的温度差,从而减少籽晶与熔硅接触时在籽晶中产生的热应力。
预热后,下降籽晶至熔体的表面,让它们充分接触,这一过程称为熔接。
在熔接过程中要注意观察所发生的现象来判断熔硅表面的温度是否合适,在合适的温度下,熔接后在界面处会逐渐产生由固液气三相交接处的弯月面所导致的光环(通常称为“光圈”),并逐渐由光环的一部分变成完整的圆形光环,温度过高会使籽晶熔断,温度过低,将不会出现弯月面光环,甚至长出多晶。
熟练的操作人员,能根据弯月面光环的宽度及明亮程度来判断熔体的温度是否合适。
3.引细颈虽然籽晶都是采用无位错硅单晶制备的[16~19],但是当籽晶插入熔体时,由于受到籽晶与熔硅的温度差所造成的热应力和表面张力的作用会产生位错。