文件名。 在屏幕上还显示进气阀的设定值和实测值，出气阀 的设定值和实测值，炉内压力的设定值和实测值，8 路水流量的实测值，隔热笼的目标位置和实际位置，
瞬时电流、电压、功率、通断百分比，控制方式以 及各自的设定值和实测值等。
自动控制窗口
自动控制窗口主要包含自动运行的一些功能。操作 者可以选择正常启动或定时启动来开始一次自动加 工。 只要按下自动运行按钮，系统就会开始自动运行； 自动运行开始运行时，旁边会出现一个绿色圆图标，
度设定等。此窗口还包含隔热笼操作、下炉体运行 控制、慢速抽真空、维护操作等子窗口。
趋势图窗口
趋势图界面显示5个小时内8个变量的实时变化趋势 ，可以查看功率、3个热电偶的温度、炉腔压力、隔
热笼位置、高温计和报警。该趋势图分为实时趋势 和历史趋势2个部分。
硅锭生产流程
生产流程图：
坩埚喷涂
坩埚烘烤
检验
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3、2021/8/20Aug-2120-Aug-21
昨天是张退票的支票20-Aug-212:36:20 AM02:36
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4、
2021 /8/202 021/8/2 02021/ 8/20Fri day, August 20, 2021
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积极人格的完善是本，财富的确立是末21.8.20 5、
。20 21/8/20 2021/8 /20202 1/8/202 021/8/ 208/20/ 2021
原料进炉
进炉
步骤：
1 小心用专用叉车将装 好硅料的坩埚从小推 车上升起。
2 使用专用叉车将坩埚 放到石墨交换台上。
3 放入交换台时应缓慢下 降。
4 坩埚盒与交换台四周距 离41±2 cm.
监控
步骤： 1 合上炉体，关上夹具。 2 点慢速抽真空按钮，慢
