清洗作业指导书

一、目的：为正确、规范原料的腐蚀清洗工艺操作，确保生产作业正常，特制订本规范。

二、范围：适用于原料的腐蚀清洗作业。

三、依据：使用说明书

四、权责单位：原料腐蚀清洗生产车间

五、作业流程：作业准备---原料浸泡---清水清洗---原料腐蚀---超声清洗---烘干---净化送检---包装。

六、主要内容

1、作业准备

⑴、进入腐蚀车间须穿戴好洁净工作服、鞋。戴防腐蚀手套、口罩，穿防护服、鞋。

[2]、检查化学试剂规格、纯水质量。原料浸泡：氢氧化钠、硝酸、盐酸、氢氟酸、氟化铵、硫酸一律用工业级或分析纯原料腐蚀：硝酸(含量65%―68%)、氢氟酸(含量≥40%)、盐酸应为电子级；纯水电阻率大于15兆欧厘米以上。检查腐蚀手套安全不漏设置好烘箱的温度，并送电。

2、作业

[1]、原料的浸泡A、1、将片料称重后装入周转箱中，以大概上半箱为准。2、向原材料中分别倒入盐酸和硝酸，盐酸与硝酸的比例为2：1。3、在浸泡大概3-4天以后，用清水将酸冲洗干净。B、1、将埚底料称重后装入周转箱中，以大概上半箱为准。2、称取1-2公斤左右的氟化铵，加到埚底料中。3、向周转箱中加入工业级的

纯氢氟酸，以浸过原材料为准，其中氟化铵需溶解到氢氟酸中。4、埚底料浸泡的时间大概为4天左右。5、浸泡完毕，用清水清洗，尽量将酸给冲洗干净。

注意事项：

1、浸泡片料、埚底料的时间的长短要视实际效果，可适当的延长浸泡的时间。

2、对于表面含有金属的片料，可适当的加大盐酸的量。

3、因为浸泡埚底料所用到的工业级的氢氟酸为二次利用的回收酸，因此在浸泡埚底料前要视埚底料表面的石英及其它杂质，可适当的加入1-2桶的新的氢氟酸。

4、操作人员一定要做好防护，戴防腐蚀手套、口罩，穿防护服、鞋。

[2]、腐蚀清洗

A、抛光片、彩片等硅片的腐蚀清洗1、清水冲洗硅片料。2、碱液腐蚀。根据清洗硅料的多少配制氢氧化钠溶液。一般为氢氧化钠：水=1：1（质量比），腐蚀时间一般为2-4分钟，腐蚀过程中要不断的搅拌，使碱液与硅料表面充分反应。硅料表面光亮、干净即可。3、纯水多次超声清洗。纯水多次超声清洗，使表面残留的碱尽量洗净。防止有碱液残留。4、酸漂洗在氢氟酸中浸泡5分钟左右。（氢氟酸：水=1：1（体积比），5、水洗，超声。超声时间大概10分钟左右。甩干。

注意事项：

1、碱液腐蚀硅料时要视实际效果，根据实际情况可适当的改变清洗

的时间。

2、硅料腐蚀后要及时用纯水清洗，且一定要清洗干净，防止造成表面氧化。

3、操作人员一定要做好防护，戴防腐蚀手套、口罩，穿防护服、鞋。

B、多晶料、头尾料、边皮料、提杂料、埚底料的腐蚀清洗1、分筐

①、对于头尾料、提杂料须先进行打磨处理。然后按型号、电阻率破碎分筐。②、边皮料表面的杂污先用肥皂水浸泡，擦洗干净。表面如果有大量的杂质的话，可进行超声加热、擦洗干净后，然后按型号、电阻率破碎分筐③、对于埚底料须先进行浸泡处理。然后按型号、电阻率分筐。清水清洗硅材料2、混酸腐蚀。在HNO3：HF=3：1-7：1的混酸中浸泡1-2分钟左右，浸泡过程中要适当的搅拌，使混酸与硅料表面充分反应。硅料表面光亮、干净即可。3、纯水多次超声清洗。纯水多次超声清洗，使表面残留的酸尽量洗净。应测试PH值为7-8，防止有酸残留。4、每腐蚀500㎏硅料需更换腐蚀液一次，具体更换时间需视硅料清洗效果。注意事项：1、混酸腐蚀硅料时要视实际效果，可适当的改变混酸的比例以及清洗的时间。2、硅料腐蚀后要及时用纯水清洗，且一定要清洗干净，防止造成表面氧化。3、操作人员一定要做好防护，戴防腐蚀手套、口罩，穿防护服、鞋。4、籽晶、母合金腐蚀方法与头尾料同. [3]、烘干。硅料送入设置好温度的烘箱高温干燥。注意硅料不能直接接触不锈钢的烘盘。

[4]、净化送检，包装。分选包装一定要高纯条件下进行，用高纯塑料袋封装。每袋5公斤操作者要穿戴高纯工作服、口罩、手套。[5]、