ITO导电膜玻璃透光率的提高

ITO导电玻璃及相关透明导电薄膜的原理及应用当今世界正处于信息时代，平板显示器（flat panel display，FPD）是我们接受信息的一个重要视觉窗口，其在生产制造中都离不开ITO 导电玻璃，ITO导电玻璃可用于多种平板显示器，主要的有液晶显示器（LCD）、有机电致发光（OLED）显示器、触摸屏等。

由于平板显示器，尤其是液晶显示器在整个显示行业应用领域最为广泛，制造技术最为成熟。

液晶显示组件的发展，也就是由被动式矩阵驱动向列型（TN）/超扭向型（STN）液晶显示器，推向主动式矩阵驱动薄膜晶体管液晶显示器，并更加发展至所谓的新世代的显示器，-有机电发光显示器或有机发光二极管（OLED），无论如何发展而铟锡氧化物薄膜的重要性并无任何地变化。

使用于液晶显示器的ITO膜，不仅作为透明的画素电极之功能而且也作为简单矩阵型STN-LCD的扫描电极和信号电极，以及主动型TFT-LCD的共通电极和阵列电路中配线之重要角色，随着彩色化、高解析化和人机界面化（触控面板），促使相关液晶显示器和其它平面显示器的成长快速，因此本文我们重点介绍ITO导电玻璃在液晶显示器中的应用。

一、什么是ITOITO （indium tin oxide，氧化铟锡）透明导电薄膜的主要功能是在于其极佳的电极材料而应用于平面面板显示器，具有发热、热反射、电磁波防止和静电防止等不同的用途。

ITO导电玻璃是一种既透明又导电的玻璃，它采用磁控溅射沉积成膜技术，以ITO 材料作为溅射靶材，在玻璃基板上生成一层很薄的ITO 膜。

这层ITO 膜同时具有良好的导电性和透光性，适于制作透明显示电极，是平板显示器生产的重要原材料之一，玻璃基板的厚度通常只有0.3～1.1mm，它具有重量轻、透明度高、平整度高、有一定的机械硬度、容易切割加工等特点，因此被广泛应用于平板显示器上。

ITO 导电玻璃随着20世纪70年代初LCD显示器的兴起至今已经历了30 多年的历程，并从过去只能生产高电阻、小尺寸、普通表面、黑白显示的产品，发展到了现在能够生产低电阻、大尺寸、抛光表面、彩色显示的产品。

《ITO透明导电薄膜的湿法刻蚀及光电特性研究》篇一摘要：本文着重探讨了ITO（氧化铟锡）透明导电薄膜的湿法刻蚀技术及其对光电特性的影响。

通过实验研究，我们详细分析了刻蚀条件对薄膜形貌、电导率和光学性能的影响，为ITO薄膜在光电器件中的应用提供了理论依据和实验支持。

一、引言ITO（氧化铟锡）透明导电薄膜因其良好的导电性和光学透过性，在液晶显示、触摸屏、光电器件等领域有着广泛的应用。

其中，薄膜的形貌和光电特性对其应用性能至关重要。

湿法刻蚀作为一种有效的薄膜加工技术，能够精确控制薄膜的形态和尺寸，对于提升ITO薄膜的性能具有重要意义。

因此，研究ITO透明导电薄膜的湿法刻蚀及其光电特性具有重要的学术价值和应用前景。

二、ITO透明导电薄膜的湿法刻蚀1. 湿法刻蚀原理：ITO透明导电薄膜的湿法刻蚀主要利用化学反应来去除不需要的部分。

通过选择合适的刻蚀液，可以控制刻蚀速度和精度，实现对薄膜的精确加工。

2. 刻蚀条件：刻蚀条件包括刻蚀液种类、浓度、温度、时间等。

不同的刻蚀条件对ITO薄膜的形貌、电导率和光学性能具有显著影响。

因此，需要选择合适的刻蚀条件，以获得理想的薄膜性能。

三、光电特性研究1. 实验方法：采用不同的刻蚀条件，制备不同形貌的ITO薄膜样品，利用光学仪器和电学测量设备对样品进行测试和分析。

2. 实验结果：（1）形貌分析：通过扫描电子显微镜（SEM）观察发现，不同的刻蚀条件对ITO薄膜的表面形貌具有显著影响。

适当的刻蚀条件可以获得平整、致密的薄膜表面。

（2）电导率分析：通过四探针法测量发现，ITO薄膜的电导率随着刻蚀条件的改变而发生变化。

适当的刻蚀条件可以显著提高薄膜的电导率。

（3）光学性能分析：通过紫外-可见光谱分析发现，ITO薄膜的光学透过性随着刻蚀条件的改变而发生变化。

适当的刻蚀条件可以提高薄膜的光学透过性。

四、讨论与结论通过对ITO透明导电薄膜的湿法刻蚀及光电特性研究，我们得出以下结论：1. 湿法刻蚀能够精确控制ITO薄膜的形貌和尺寸，对提高薄膜性能具有重要意义。

透明导电ITO薄膜的制备及光电特性的研究曹延军【摘要】采用溶胶-凝胶方法以In(NO3)3.4.5H2O和SnCl4.5H2O为前驱物,用提拉法在石英玻璃基体上制备了ITO透明导电薄膜.详细研究了不同掺Sn比例、不同金属离子浓度、不同提拉速度、不同烘烤温度对ITO薄膜光电特性的影响.结果表明,提拉法制备的薄膜在热处理过程中由凝胶状态向结晶态逐渐转变,方电阻随热处理温度的升高而降低;导电率随薄膜厚度的增加呈非线性增加.%Optical and electrical praperties of ITO transparent conductive film were studied. ITO transparent conductive Films were prepared on substrate of quartz glass by withdraw technique using sol-gel method. The effects of every factor on the optical and electrical properties of the files had been investigated during the process. The withdrawn ITO films crystallized during heat treatment and the crystallization process, ITO films decreased with the increase of temperature and the resistivity of the Films came. down with that, the conductivity increased with the withdrawing times.【期刊名称】《新技术新工艺》【年(卷),期】2011(000)004【总页数】3页(P74-76)【关键词】ITO薄膜;溶胶-凝胶法;光电特性【作者】曹延军【作者单位】延安职业技术学院,陕西,延安,716000【正文语种】中文【中图分类】TQ134.32氧化铟锡(ITO)薄膜是一种n型半导体晶体薄膜,由于能将其导电性与晶体性有机地结合在一起成为一种透明导电膜,还具有高硬度、耐磨性、耐化学腐蚀特性以及良好的加工性能[1],ITO作为纳米铟锡金属氧化物,具有很好的导电性和透明性,可以切断对人体有害的电子辐射、紫外线及远红外线[2]。

ITO导电玻璃ITO导电玻璃是在钠钙基或硅硼基基片玻璃的基础上，利用磁控溅射的方法镀上一层氧化铟锡（俗称ITO）膜加工制作成的。

液晶显示器专用ITO导电玻璃，还会在镀ITO层之前，镀上一层二氧化硅阻挡层，以阻止基片玻璃上的钠离子向盒内液晶里扩散。

高档液晶显示器专用ITO玻璃在溅镀ITO层之前基片玻璃还要进行抛光处理，以得到更均匀的显示控制。

液晶显示器专用ITO玻璃基板一般属超浮法玻璃，所有的镀膜面为玻璃的浮法锡面。

因此，最终的液晶显示器都会沿浮法方向，规律的出现波纹不平整情况。

在溅镀ITO层时，不同的靶材与玻璃间，在不同的温度和运动方式下，所得到的ITO层会有不同的特性。

一些厂家的玻璃ITO层常常表面光洁度要低一些，更容易出现“麻点”现象；有些厂家的玻璃ITO层会出现高蚀间隔带，ITO层在蚀刻时，更容易出现直线放射型的缺划或电阻偏高带；另一些厂家的玻璃ITO层则会出现微晶沟缝。

一、ITO导电玻璃的分类：ITO导电玻璃按电阻分，分为高电阻玻璃（电阻在150~500欧姆）、普通玻璃（电阻在60~150欧姆）、低电阻玻璃（电阻小于60欧姆）。

高电阻玻璃一般用于静电防护、触控屏幕制作用；普通玻璃一般用于TN类液晶显示器和电子抗干扰；低电阻玻璃一般用于STN液晶显示器和透明线路板。

ITO导电玻璃按尺寸分，有14”x14”、14”x16”、20”x24”等规格；按厚度分，有2.0mm、1.1mm、0.7mm、0.55mm、0.4mm、0.3mm等规格，厚度在0.5mm 以下的主要用于STN液晶显示器产品。

ITO导电玻璃按平整度分，分为抛光玻璃和普通玻璃。

根据基板玻璃表面状态的不同，通常分为以下三种类型：二、ITO玻璃的基本结构:ITO膜sio2 膜玻璃基板Si02层：（1）Si02层的作用:主要是防止钠钙型基板中的金属离子扩散渗透到ITO层中,影响ITO层的导电能力.（2）SiO2层的膜厚:标准膜厚一般为250±50埃（3）SiO2层中的其它成份:通常为了提高ITO玻璃的透过率,在SiO2中会掺入一定比例的Si3N4ITO(Indium Tin Oxid)层:为氧化铟锡的透明导电层,其中I表示In2O3，T表示SnO2,一般Sn（即Tin)的含量约为10%。

ito导电pi膜ITO导电PI膜是一种应用广泛的导电材料，具有优异的导电性能和机械性能。

本文将从ITO导电PI膜的制备、特性以及应用领域等方面进行介绍。

我们来了解一下ITO导电PI膜的制备方法。

ITO导电PI膜的制备通常采用溶液法或磁控溅射法。

溶液法是将ITO导电粉末溶解在有机溶剂中，通过旋涂、喷涂等方式在基底上制备薄膜，然后经过烘烤、退火等处理得到ITO导电PI膜。

磁控溅射法则是将ITO靶材置于真空室内，通过氩气等惰性气体的离子轰击，使靶材表面的ITO 离子解离并沉积在基底上形成薄膜。

ITO导电PI膜具有良好的导电性能。

ITO薄膜的导电性能主要取决于其电阻率，一般情况下，ITO导电PI膜的电阻率在10-4～10-3Ω·cm范围内。

此外，ITO薄膜还具有较高的透明性，可见光透过率通常在80%以上。

这使得ITO导电PI膜在光电显示、光伏等领域有着广泛的应用。

除了导电性能外，ITO导电PI膜还具有良好的机械性能。

ITO导电PI膜具有较高的硬度和抗刮擦性能，能够很好地抵抗外界物理和化学损害。

此外，ITO导电PI膜还具有较高的柔韧性和可塑性，适用于各种形状的基底。

ITO导电PI膜在各个领域有着广泛的应用。

首先，在光电显示领域，ITO导电PI膜常用于制备触摸屏、液晶显示器等设备。

其高透明性和导电性能使得ITO导电PI膜成为制备高清晰度和高灵敏度触摸屏的理想材料。

在光伏领域，ITO导电PI膜可以作为太阳能电池的电极。

其较低的电阻率和较高的透明性可以提高太阳能电池的光电转换效率。

ITO导电PI膜还可以应用于导电涂层、导电胶带、导电薄膜开关等领域。

导电涂层可以在玻璃、塑料等基底上形成导电膜，用于防静电、抗紫外线等用途。

导电胶带可以用于连接电路、屏蔽电磁辐射等。

导电薄膜开关则可以应用于触控面板、键盘等设备。

ITO导电PI膜具有优异的导电性能和机械性能，在光电显示、光伏等领域有着广泛的应用前景。

随着科技的不断发展，ITO导电PI膜的性能和制备工艺也将不断进步，为各个领域带来更多的应用和创新。

Ξ№.1 陕西科技大学学报 Feb.2003・106・ JOU RNAL O F SHAAN X IUN I V ER S IT Y O F SC IEN CE &T ECHNOLO GY V o l.21　文章编号:1000-5811(2003)01-0106-04ITO 膜透明导电玻璃的特性、制备和应用马颖,张方辉,牟强(陕西科技大学电气与电子工程学院,陕西咸阳　712081)摘　要:主要介绍了ITO 膜透明导电玻璃的主要特性、结构、导电机理、半导化机理、制备方法,综述了其在液晶显示器行业以及其它领域中的应用。

关键词:ITO 膜透明导电玻璃;溶胶—凝胶法;磁控溅时;液晶显示器中图分类号:O 484.4+2 文献标识码:A0　前言ITO (Indium 2T in 2O x ide ,铟锡氧化物的简称)膜透明导电玻璃,以下简称ITO 膜玻璃,属信息产业领域广泛使用的电气、电子玻璃家族中的一员,在信息产业中有着重要的地位。

透明导电玻璃作为平面显示器行业的上游产品,其应用面极广,不但是L CD (液晶显示器)中的关键组件,还可在其它高阶平面显示器中作为透明玻璃电极,并与民用消费产品(诸如建材、汽车、电视等)息息相关,其工艺更可进一步延伸为市场所需的任何导电玻璃的生产。

1　ITO 膜的性能铟锡氧化物薄膜是综合性能最优异的透明导电薄膜〔1〕,具有一系列独特性能:较低的电阻率(约为10-48・c m );可见光透过率可达85%以上;紫外线吸收率大于85%;红外线反射率大于80%;微波衰减率大于85%;加工性能良好,便于刻蚀;膜层硬度高,既耐磨又耐化学腐蚀等。

将ITO 膜玻璃用作平板显示器件的透明电极时,其最重要的特性指标为方阻和可见光透射率,通常希望ITO 膜玻璃具有较小的方阻(10～1008 □)和较高的透光率(83%以上)〔1〕。

图1　In 2O 3体心立方结构1.1　ITO 膜的结构In 2O 3薄膜属于氧化物半导体透明导电薄膜〔2〕,为体心立方铁锰矿结构(a =1.0118nm )的晶体,其晶体结构如图1所示。

摘要：本文对电加温用透明导电膜（ITO）玻璃的常用性能的质量指标给予了评价，在此基础上，以简单、实用为原则，介绍了各项指标的检验测试方法。

一、引言透明导电膜（ITO）玻璃具有透光率高、工作电压带宽、膜层硬度大、性能稳定等优点，被广泛应用于以下方面：各种电加温玻璃、液晶显示、场致发光、热线反射、电碰屏蔽及太阳能电池制造等领域。

ITO 膜玻璃在电加温领域中的应用是其最大应用领域之一，已经使用在飞机、机车、船舰、建筑及轻工制品上，且用量呈增长趋势。

透明导电膜玻璃与电热丝玻璃相比，完全消除了视觉障碍，更加美观，特别是在车船飞机等交通工具的观察窗上，彻底解决了眩光问题，提高了行车的安全性。

与原有的喷膜相比，光学均匀性、电阻均匀性有较大的提高，并能制做大尺寸的电加温玻璃。

且生产过程中，节约能源，改善了操作条件，没有环境污染。

我厂生产TTO 膜玻璃己经十多年了，在ITO膜玻璃的生产、检验等方面积累了一定的经验。

本文的目的在于经验交流，相互学习，共同提高。

二、质量检验及评价指标透明导电膜（ITO）玻璃的质量，其关键是透明导电膜的质量。

在以下讨论中主要是对膜层而言，较少涉及做为基片的玻璃板自身的质量。

电加温用ITO膜玻璃质量检测一股包括透光度及色差、总电阻、电阻均匀性、膜层牢固度、膜层稳定性和外观等六项指标。

下面分别说明。

1、透光度和色差透明导指ITO膜玻璃在可见光波段的总透过率。

镀有ITO膜的玻璃透光率主要取决于膜层对光的反射率。

因其自身厚度很小，吸收率可忽略。

一般情况下，5mm厚的ITO膜玻璃的透光度为85%左右。

当用做电加温玻璃时，其透光度不应小于75%透光度低则膜层阴暗发黑。

此时，一方面表示膜层成分不正常，另一方面也会影响其它性能。

色差指同一块玻璃上，ITO膜层颜色的差别过大，色差直观地表明了膜层的均一性，色差较大时，同一块玻璃的各局部颜色有明显的视觉差异，也会影响产品的内在质量和外观质量。

正常生产中，ITO膜玻璃没有明显的色差。