ITO导电玻璃检验标准

电加温用透明导电膜_ITO_玻璃的评价指标及质量检验电加温用透明导电膜（ITO）玻璃是一种广泛应用于电子产品中的材料，具有透明导电性能，常用于触摸屏、电容式触摸屏、LCD显示屏等领域。

评价指标和质量检验对于保证产品的质量和性能至关重要。

下面将对电加温用ITO玻璃的评价指标及质量检验进行详细阐述。

一、评价指标1.电阻率：电阻率是评价ITO膜导电性能的重要指标之一、通常要求ITO膜的电阻率在10-100Ω/□范围内，以满足电流传输要求。

电阻率可以通过测试仪器测得。

2.透光率：ITO膜的透光率是指在可见光范围内，光线透过ITO膜的程度。

高透光率可保证显示屏的亮度和清晰度。

透光率要求通常在80%以上。

3.色散性：色散性是指ITO膜的导电性能随频率的变化。

在ITO膜上，电导率随着频率的增加而降低，色散性越低表示膜层在更宽的频率范围内具有稳定的导电性能。

4.膜层均匀性：膜层均匀性是指ITO膜在玻璃表面均匀覆盖的程度。

通过目测或显微镜观察，检查膜层是否存在划痕、气泡等缺陷。

5.耐久性：耐久性是指ITO膜在使用过程中的稳定性和耐用性。

通过模拟使用环境的实验，检测ITO膜的耐磨损性、耐腐蚀性等。

6.粘附性：粘附性是指ITO膜与玻璃基板之间的粘合情况。

通过剥离实验等方法测定粘结强度，判断粘附性能。

7.导电性能恢复性：导电性能恢复性是指ITO膜在受到压力或变形后，是否能够迅速恢复到原来的导电性能。

通过实验测试，模拟ITO膜在实际使用中的回弹性能。

二、质量检验1.外观检验：对ITO膜的外观进行检查，观察膜层是否完整、均匀，是否有划痕、气泡等缺陷。

2.电阻率测定：使用电阻仪器测量ITO膜的电阻率，确保符合要求的范围。

3.透光率测定：使用光谱仪或透光率测试仪器，测定ITO膜的透光率。

4.膜层附着力测试：使用剥离实验或粘结实验，测试ITO膜与玻璃基板之间的附着力。

5.导电性能恢复性测试：对ITO膜进行压力测试或弯曲测试，观察膜层的导电性能是否迅速恢复。

ITO导电玻璃入门知识ITO导电玻璃是在钠钙基或硅硼基基片玻璃的基础上，利用磁控溅射的方法镀上一层氧化铟锡（俗称ITO）膜加工制作成的。

液晶显示器专用ITO导电玻璃，还会在镀ITO层之前，镀上一层二氧化硅阻挡层，以阻止基片玻璃上的钠离子向盒内液晶里扩散。

高档液晶显示器专用ITO玻璃在溅镀ITO层之前基片玻璃还要进行抛光处理，以得到更均匀的显示控制。

液晶显示器专用ITO玻璃基板一般属超浮法玻璃，所有的镀膜面为玻璃的浮法锡面。

因此，最终的液晶显示器都会沿浮法方向，规律的出现波纹不平整情况。

在溅镀ITO层时，不同的靶材与玻璃间，在不同的温度和运动方式下，所得到的ITO层会有不同的特性。

一些厂家的玻璃ITO层常常表面光洁度要低一些，更容易出现“麻点”现象；有些厂家的玻璃ITO 层会出现高蚀间隔带，ITO层在蚀刻时，更容易出现直线放射型的缺划或电阻偏高带；另一些厂家的玻璃ITO层则会出现微晶沟缝。

ITO导电层的特性：ITO膜层的主要成份是氧化铟锡。

在厚度只有几千埃的情况下，氧化铟透过率高，氧化锡导电能力强，液晶显示器所用的ITO玻璃正是一种具有高透过率的导电玻璃。

由于ITO具有很强的吸水性，所以会吸收空气中的水份和二氧化碳并产生化学反应而变质，俗称“霉变”，因此在存放时要防潮。

ITO层在活性正价离子溶液中易产生离子置换反应，形成其它导电和透过率不佳的反应物质，所以在加工过程中，尽量避免长时间放在活性正价离子溶液中。

ITO层由很多细小的晶粒组成，晶粒在加温过程中会裂变变小，从而增加更多晶界，电子突破晶界时会损耗一定的能量，所以ITO导电玻璃的ITO层在600度以下会随着温度的升高，电阻也增大。

ITO导电玻璃的分类：ITO导电玻璃按电阻分，分为高电阻玻璃（电阻在150~500欧姆）、普通玻璃（电阻在60~150欧姆）、低电阻玻璃（电阻小于60欧姆）。

高电阻玻璃一般用于静电防护、触控屏幕制作用；普通玻璃一般用于TN类液晶显示器和电子抗干扰；低电阻玻璃一般用于STN液晶显示器和透明线路板。

本标准准适用于正星光电科技有限公司生产的ITO产品。

规范性引用文件JIS B0601 —1994表面微观波纹度测量过程和方法的标准。

GB2828 —2003计数抽样检验程序［第一部分按照接收质量限（AQL检索的逐批检验抽样计划］。

玻璃基片的规格长度及宽度的允许偏差、厚度允许偏差表垂直度玻璃基片的垂直度的公差等级a/L < % （见图1, a为公差带，L为被测玻璃基片的相应边长）图1玻璃基片的垂直度弯曲度（h/L）图2玻璃基片的弯曲度，不允许S形弯曲微观波纹度（玻璃的浮法锡面）表面质量包括内部气泡、夹杂物、表面凹坑、异色点等。

点状缺陷的直径d定义为：d= (L+W /2，见图5。

划伤缺陷的定义为：L 3mm,W见图6: 图5点状缺陷的尺寸图6划伤图形的尺寸质量保证区域以外，即四周边缘5mm以内区域除崩边角，裂纹、毛边较严重以外的其他种类缺陷（包括划伤、气泡、针眼、污渍、节疤）可以不考虑。

离玻璃30cm检验图6检验方法膜层质量电阻测试：距边缘20mm用四探针检测面电阻•镀ITO导电玻璃膜层参数指标咼温产品检验标准ITO 膜层可靠性实验SiO2阻挡性能水煮试验(用于LCD产品,只做半年频次检测)在96±2C进行48小时水浴锅，将试验溶液装好送外检测，测量基片中迁移出来的钠离子质量，若Na+质量Me 15ug/dm2,则SiO2阻挡层试验合格.光学性能在波长为550nm时，不同规格ITO玻璃成品的透过率满足。

SiO 2膜层厚度SiO 2膜层厚度为250土50。

(也可根据客户要求而订)电学性能（做日频次检验）不同规格ITO导电膜玻璃的方块电阻及I TO膜层膜厚应符合。

蚀刻性能测试（做日频次检验）a）酸刻液配制：酸刻液按如下比例配置：H20:HCL:HN03=50:50:3（体积比）,实际按纯水100ML:盐酸（36%）100ML:硝酸6ML配制；将此刻蚀液入刻蚀烧杯内，保持温度为55C±2C b）将玻璃片切成约40mmX120mfm条状，用D水清洗，冲洗、吹干后，放入刻蚀液中蚀刻；产品的蚀刻时间测定按执行，产品在规定的时间全部刻蚀掉ITO膜层，说明该产品ITO膜层酸刻指标合格•c）不同规格的ITO导电膜玻璃经上面酸刻试验，ITO导电膜层在刻蚀性能上满足要求；则刻蚀性能指标为合格。

TTO导电玻璃是在钠钙基或硅硼基基片玻璃的基础上，利用磁控溅射的方法镀上一层氧化锢锡（俗称ITO）膜加工制作成的。

液晶显示器专用ITO导电玻璃，还会在镀ITO层之前，镀上一层二氧化硅阻挡层，以阻止基片玻璃上的钠离了向盒内液晶里扩散。

高档液晶显示器专用ITO玻璃在溅镀ITO层之前基片玻璃还要进行抛光处理，以得到更均匀的显示控制。

液晶显不器专用ITO玻璃基板一般属超浮法玻璃，所有的镀膜面为玻璃的浮法锡面。

因此, 最终的液晶显示器都会沿浮法方向，规律的出现波纹不平整情况。

在溅镀ITO层时，不同的靶材与玻璃间，在不同的温度和运动方式下，所得到的ITO层会有不同的特性。

一些厂家的玻璃ITO层常常表面光洁度要低一些，更容易出现“麻点”现象; 右•些厂家的玻璃ITO层会出现高蚀间隔带，ITO层在蚀刻时，更容易出现直线放射型的缺划或电阻偏高带；另一些厂家的玻璃ITO层则会出现微晶沟缝。

ITO导电层的特性：ITO膜层的主要成份是氧化锢锡。

在厚度只有儿千埃的情况下，氧化锢透过率高，氧化锡导电能力强，液晶显示器所用的ITO玻璃正是一种具有高透过率的导电玻璃。

由于ITO具有很强的吸水性，所以会吸收空气中的水份和二氧化碳并产生化学反应而变质，俗称“霉变”, 因此在存放时要防潮。

ITO层在活性正价离了溶液中易产生离了置换反应，形成其它导电和透过率不佳的反应物质，所以在加工过程中，尽量避免长时间放在活性正价离了溶液中。

ITO层由很多细小的品粒组成，晶粒在加温过程中会裂变变小，从而增加更多晶界，电子突破晶界时会损耗一定的能量，所以ITO导电玻璃的ITO层在600度以下会随着温度的升高, 电阻也增大。

ITO导电玻璃的分类:ITO导电玻璃按电阻分，分为高电阻玻璃（电阻在150〜500奥姆）、普通玻璃（电阻在60〜150 奥姆）、低电阻玻璃（电阻小于60奥姆）。

高电阻玻璃一般用于静电防护、触控屏幕制作用; 普通玻璃一般用于TN类液晶显示器和电子抗干扰；低电阻玻璃•般用于STN液晶显示器和透明线路板。

ITO Glass进料检验规范1.目的确purpose此规范的目的为建立ITO Glass进料检验程序及允收标准，以确保供货商交货质量符合生产要求。

The purpose of this specification is to define the incoming inspection procedure and requirements for controlling ITO glass quality.2.范围Scope此份规范适用于供货商进料之ITO Glass产品。

The specification is applied to the incoming inspection of ITO glass.3.权责Responsibility品保处QA4．定义Definition4.1严重缺点：严重缺点是指根据判断及经验，显示对使用、维修或依赖该产品的人员有发生危险或不安全结果的缺点，或是由判断及经验指出主要的最终产品项目，如船舰、飞机、战车、飞弹或宇宙飞船等，有一个缺点可能无法达成战术任务之谓。

Critical defect :A critical defect is a defect that judgment and experience indicate would result in hazardous or unsafe conditions for individual using ,maintaining ,or depending upon the product ,or a defect that judgment and experience indicate is likely to prevent performance of the tactical function of a major end item such as a ship ,aircraft ,tank ,missile ,or space vehicle.4.2 主要缺点：主要缺点是指严重缺点以外的缺点，其结果可能导致故障，或实质上降低产品单位的使用性能，以致无法达成期望的目标。

玻璃基片质量标准外形尺寸：平面度：TN型、TP型玻璃基片要求（S型翘曲不允许）STN型基片要求（S型翘曲不允许）HTN型基片要求（S型翘曲不允许）TP型质量标准TP型LCD用ITO膜层标准品级面电阻（Ω/□）面电阻不均匀性透过率刻蚀时间膜层厚度TN/STN型质量标准TN 型,STN型LCD用ITO膜层标准品级标识面电阻标准控制面电阻透过率刻蚀时间膜层厚度TN100 ≤100Ω/□70-90Ω/□≥87％≤30S250ű50Å TN80 ≤80Ω/□60-80Ω/□≥87％≤35S300ű50Å TN60 ≤60Ω/□40-60Ω/□≥85％≤60S350ű50Å STN/TN80 ≤80Ω/□60-80Ω/□≥87％≤35S300ű50Å STN/TN60 ≤60Ω/□40-60Ω/□≥85％≤60S350ű50Å STN/TN50 ≤50Ω/□35-50Ω/□≥83％≤60S400ű50Å STN/TN40 ≤40Ω/□30-40Ω/□≥82％≤60S500ű100Å STN/TN30 ≤30Ω/□24-30Ω/□≥81％≤100S700ű100Å STN/TN25 ≤25Ω/□18-25Ω/□≥80.5％≤120S800ű100ÅSTN/TN20淡黄色≤20Ω/□17-20Ω/□≥80％≤120S900ű100ÅSTN/TN17金黄色≤17Ω/□15-17Ω/□≥82％≤130S1150ű150ÅSTN/TN15黄色≤15Ω/□13-15Ω/□≥85％≤200S1350ű200ÅSTN/TN13紫红色≤13Ω/□10-13Ω/□≥86％≤200S1550ű200ÅSiO2膜层标准SiO2膜层标准序号膜层指标标准范围测量方法1 膜层厚度≥250Å表面形貌仪2 透过率≥90％分光光度计3 阻挡层性能<10ug/dm2夹具夹持96度煮48小时用原子吸收光谱法测量ITO膜层的稳定性ITO膜层的稳定性序号膜层特性标准范围测量方法1 刻蚀时间见上表刻蚀液成分：HCI:H2O:HNO3=50:50:3 刻蚀温度：60℃2 热稳定性R t/R0≤250％TN型，STN型，HTN型300℃，60分钟R t/R0≤110％TP型150℃，60分钟（或按客户要求控制）R0为原始方电阻值，R t为最终方电阻值。

ITO标准指的是ITO导电膜的标准。

ITO导电膜是一种通过真空镀膜技术制备的薄膜，具有高透过率、高导电性、耐腐蚀、耐磨损等特性。

ITO导电膜的标准包括以下几个方面：
1.外观检验：检查ITO导电膜的表面平整度、无明显的气泡、瑕疵或划痕。

表面平整度应满足相关要求，无突起或凹陷。

2.光学性质检验：
•透光性测定：使用透光性测试仪，测量ITO导电膜的透过率。

透过率应符合相关要求，确保其适用于液晶显示器等光学应用。

•反射率测定：使用反射率测试仪，测量ITO导电膜的反射率。

反射率应满足相关要求，确保其应用于光学涂层、太阳能电池等领域。

1.导电性能测试：
•电阻率测定：使用电阻测试仪，测量ITO导电膜的电阻率。

电阻值应满足相关要求，以确保其正常的导电性能。

•均匀性测试：将ITO导电膜划分为若干个区域，分别测试各区域的电阻率。

各区域的电阻率应在一定的范围内，以确保导电性能的均匀性。

简介在溅镀ITO层时，不同的靶材与玻璃间，在不同的温度和运动方式下，所得到的ITO层会有不同的特性。

一些厂家的玻璃ITO层常常表面光洁度要低一些，更容易出现“麻点”现象；有些厂家的玻璃ITO层会出现高蚀间隔带，ITO层在蚀刻时，更容易出现直线放射型的缺划或电阻偏高带；另一些厂家的玻璃ITO层则会出现微晶沟缝。

ITO导电层的特性ITO膜层的主要成份是氧化铟锡。

在厚度只有几千埃的情况下，氧化铟透过率高，氧化锡导电能力强，液晶显示器所用的ITO玻璃正是一种具有高透过率的导电玻璃。

由于ITO具有很强的吸水性，所以会吸收空气中的水份和二氧化碳并产生化学反应而变质，俗称“霉变”，因此在存放时要防潮。

ITO层在活性正价离子溶液中易产生离子置换反应，形成其它导电和透过率不佳的反应物质，所以在加工过程中，尽量避免长时间放在活性正价离子溶液中。

ITO层由很多细小的晶粒组成，晶粒在加温过程中会裂变变小，从而增加更多晶界，电子突破晶界时会损耗一定的能量，所以ITO导电玻璃的ITO层在600度以下会随着温度的升高，电阻也增大。

ITO导电玻璃的分类ITO导电玻璃按电阻分，分为高电阻玻璃（电阻在150~500欧姆）、普通玻璃（电阻在60~150欧姆）、低电阻玻璃（电阻小于60欧姆）。

高电阻玻璃一般用于静电防护、触控屏幕制作用；普通玻璃一般用于TN类液晶显示器和电子抗干扰；低电阻玻璃一般用于STN液晶显示器和透明线路板。

ITO导电玻璃按尺寸分，有14”x14”、14”x16”、20”x24”等规格；按厚度分，有2.0mm、1.1mm、0.7mm、0.55mm、0.4mm、0.3mm等规格，厚度在0.5mm以下的主要用于STN液晶显示器产品。

ITO导电玻璃按平整度分，分为抛光玻璃和普通玻璃。

影响ITO玻璃性能的主要参数长度、宽度、厚度及允差（±0.20）垂直度（≤0.10%）翘曲度（厚度0.7mm以上≤0.10%，厚度0.55mm以下≤0.15%）微观波纹度倒边C倒边（0.05mm≤宽度≤0.40mm）R倒边（0.20mm≤宽度≤1.00mm，曲率半径≤50mm）倒角（浮法方向2.0mmX5.0mm；其余1.5mmx1.5mm）SIO2阻挡层厚度（350埃±50埃，550nm透过率≥90%）ITO层光学、电学、蚀刻性能（蚀刻液：600C 37%HCL:H2O:67%HNO3=50:50:3）化学稳定性耐碱为浸入600C、浓度为10%氢氧化钠溶液中5分钟后，ITO层方块电阻变化值不超过10%。