STEC及BROOKS 流量计资料

日本Horiba公司的质量流量控制器(MFC)需求量预测作者：陈诚来源：《管理观察》2012年第04期摘要：回顾了国内外半导体产业的发展历程，分析了国内半导体市场制程中所需质量流量控制器的需求现状，提出了借鉴日本市场的需求预测方法对我国半导体、泛半导体及太阳能、LED市场上常用质量流量控制器（MFC）进行需求预测，预测Horiba公司2012年在我国MFC需求量为2500多台。

关键词：半导体太阳能产业质量流量控制器销售预测1.背景半导体产业是现代信息和电子工业的基础，从1947年在美国的贝尔实验室里科技史上第一支晶体管产品被开发，半导体产业已经经过了60多年的高速发展。

当今的半导体产业发展正愈来愈体现出自身的鲜明特色，这对我国带来了巨大挑战，但同时也为实现产业升级提供了极好的历史机遇。

气体质量流量控制器，即Mass Flow Controller（MFC），可以对气体质量流量做精密控制。

其作用是非常精确的控制进入腔体的载气和反应气体的单位时间内的流量，达成反应需要的混成比例，从而保证在晶圆表面生成需要的分布均衡和品质稳定的成分膜。

目前，我国蓬勃发展的半导体产业、太阳能电池片制造行业以及LED制造领域都对质量流量控制器有着巨大的使用需求。

而日本作为一个有几十年半导体产业发展史的国家，对市场定量的预测有其独到之处。

本文主要目的在于借鉴日本市场的销售预测方法对半导体产业中常用的MFC进行市场需求量预测。

2.日本Horiba公司简介株式会社堀场制作所（Horiba）是世界第六大测量测试设备的制造供应商，总部位于日本京都。

Horiba的气体质量流量控制器产品来自旗下Horiba/STEC子公司。

Horiba公司从最初进入中国市场时只有小于20%市场份额年销售量仅几百台质量流量控制器、销售量完全不及同类型欧美厂商（主要有美国的Unit和Tylan，艾默生集团旗下的Brooks，荷兰的Bronkhorst等）的MFC供应商，到2010年时已经年销售量占到国内半导体及太阳能设备装机MFC市场60%份额的举足轻重的制造商。

简单系统集成的添加燃料应用场合中使用的流量计应用•科氏力测量原理不受流体物理特性的影响(例如：粘度和密度)•加料应用中cryogenic气体的精确测量仪表特性•流量：max. 18 000 kg/h (660 lb/min)•介质温度：max. –196 °C (–321 °F)•标称口径：DN 8...25 (³⁄₈...1")•坚固耐用的一体式变送器外壳•Modbus RS485•设计满足应用需求优势•优越的操作安全性：在极端环境条件下可进行可靠测量•过程测量点数量少：多变量测量(流量、密度、温度)•所需安装空间小：无前/后直管段长度要求•变送器所需安装空间小：最小空间内完全实现所有功能•快速调试：预设置设备•自动恢复数据，便于服务Products Solutions Services技术资料LNGmass科氏力质量流量计TI01124D/06/ZH/01.1371244303LNGmass2Endress+Hauser目录文档信息 (3)图标 (3)功能与系统设计 (4)测量原理...................................4测量系统...................................5设备结构.. (6)输入 (6)测量变量...................................6测量范围...................................6量程比 (6)输出.....................................7输出信号...................................7报警信号...................................7防爆(Ex)连接参数.............................7小流量切除.................................8电气隔离...................................8通信规范参数................................8电源.....................................9接线端子分配................................9供电电压..................................11功率消耗..................................11电流消耗..................................11电源故障..................................12电气连接..................................12电势平衡..................................12接线端子..................................12电缆入口..................................13电缆规格..................................13性能参数 (14)参考操作条件...............................14最大测量误差...............................14重复性...................................14响应时间..................................15介质温度的影响.............................15介质压力的影响.............................15设计准则..................................15安装条件 (16)安装位置..................................16安装方向..................................17前后直管段................................17特殊安装指南...............................18安装Promass 100安全栅......................18环境条件 (18)环境温度范围...............................18储存温度..................................19气候等级..................................19防护等级..................................19抗冲击性..................................19抗振性...................................19电磁兼容性(EMC)............................19过程条件 (20)介质温度范围...............................20介质密度..................................20压力-温度曲线..............................20第二腔室的压力范围..........................21限流值...................................21压损 .....................................21系统压力..................................21振动.....................................21机械结构 (22)设计及外形尺寸.............................22重量.....................................26材料.....................................26过程连接..................................27可操作性 (28)操作方法..................................28远程操作. (28)证书和认证 (28)CE 认证...................................28C-Tick 认证................................28防爆认证(Ex)...............................28Modbus RS485认证..........................29订购信息.................................29附件....................................29通信类附件................................29服务类附件................................29补充文档资料 (30)标准文档资料...............................30补充文档资料. (30)注册商标 (30)LNGmass文档信息图标电气图标特定信息图标图中的图标符号Endress+Hauser3LNGmass4Endress+Hauser功能与系统设计测量原理测量系统基于科氏力测量原理工作。

紧凑型传感器，超紧凑型一体式变送器应用•科氏力测量原理不受流体物理特性的影响(例如：粘度或密度)•在连续过程控制和批量应用中进行液体测量仪表特性•标称口径：DN 8...25 (³⁄₈...1")•多种卫生型过程连接，3A认证•传感器耐CIP、SIP清洗•坚固耐用的超紧凑型一体式变送器外壳•脉冲/频率/开关量输出，Modbus RS485•出色的易清洗变送器优势•高过程安全：在最短加料时间内对不同介质进行高精度测量•过程测量点数量少：多变量测量(流量、密度、温度)•所需安装空间小：无前/后直管段长度要求•多样化的省时接线方式：插接头•快速调试：预设置设备•自动恢复数据，便于服务Products Solutions Services技术资料Dosimass科氏力质量流量计TI00065D/06/ZH/15.1471255182Dosimass2Endress+Hauser目录文档信息 (3)图标 (3)功能与系统设计 (4)测量原理...................................4测量系统.. (4)输入.....................................5测量变量...................................5测量范围...................................5量程比....................................5状态输入...................................6输出.....................................6输出信号...................................6报警信号...................................8小流量切除.................................9电气隔离...................................9开关量输出.................................9通信规范参数................................9电源....................................10针脚和插槽分配.............................10供电电压..................................12功率消耗..................................12电气连接..................................12电势平衡..................................16电缆规格..................................16性能参数 (16)参考操作条件...............................16最大测量误差...............................16重复性...................................17响应时间..................................17介质温度的影响.............................17介质压力的影响.............................17安装条件 (17)安装位置..................................18安装方向..................................19前后直管段................................19特殊安装指南...............................20环境条件 (20)环境温度范围...............................20储存温度..................................21防护等级..................................21抗冲击性..................................21抗振性...................................21内部清洗..................................21电磁兼容性(EMC)............................21过程条件 (21)介质温度范围...............................21介质压力范围(标称压力).......................21密度. (21)压力-温度曲线..............................21第二腔室的压力范围..........................22限流值...................................23压损 .....................................23伴热.....................................23振动.....................................23机械结构 (24)设计及外形尺寸.............................24重量.....................................33材料.....................................33过程连接..................................33可操作性 (34)现场显示..................................34远程操作. (34)证书和认证 (34)CE 认证...................................34C-Tick 认证................................34防爆认证(Ex)...............................34卫生型认证................................34压力设备指令...............................34其他标准和准则.............................35订购信息.................................35附件....................................35仪表类附件................................35通信类附件................................35服务类附件................................36补充文档资料 (36)标准文档资料...............................36设备补充文档资料 (36)注册商标 (37)Dosimass文档信息图标电气图标特定信息图标图中的图标符号Endress+Hauser3Dosimass4Endress+Hauser功能与系统设计测量原理测量系统基于科氏力测量原理工作。

技术规格TSFLUXUS_F736V6-0ZH_Leu2024-11-01 Flexim FLUXUS F736超声波流量测量仪FLUXUS F736技术规格2024-11-01, TSFLUXUS_F736V6-0ZH_Leu2测量变送器技术参数在校准传感器孔径时2用于时间差法和基准条件3在爆炸危险区域以外 (壳盖打开)技术规格FLUXUS F7363TSFLUXUS_F736V6-0ZH_Leu, 2024-11-01测量值存储器可记录的参数所有测量变量、合计的测量变量和诊断值容量最大 800 000 个测量值输出输出端与测量变送器电隔离。

数量有源电流输入和输出: 最多 4·可切换的电流输出可根据NAMUR NE 43配置将所有可切换的电流输出共同切换为有源或无源。

数量最多 4范围mA 4…20 (警报电流: 3.2…3.99, 20.01…24, 硬件故障电流: 3.2)不确定度0.04 % 输出值的 ±3 μA有源输出R ext = 250…530 Ω, U opencircuit = 28 V DC无源输出U ext = 9…30 V DC, 取决于 R ext (R ext <458Ω 下 20V)电流输出 在 HART 模式下选项·范围mA 4…20 (警报电流: 3.5…3.99, 20.01…22, 硬件故障电流: 3.2)·有源输出R ext = 250…530 Ω, U opencircuit = 28 V DC·无源输出U ext = 9…30 V DC, 取决于 R ext (R ext = 250…458Ω 下 20V)·数字输出数量最多 4功能·频率输出·二进制输出·脉冲输出类型集电极开路 (无源) (IEC 60947-5-6)运行参数5…30 V, I max = 20 mA, R int = 1020 ΩLow: U < 2 V 下 I loop = 2 mA (R ext = 11 kΩ 下 U ext = 24 V)High: U > 15 V (R ext = 11 kΩ 下 U ext = 24 V)频率输出·范围kHz 0.002…10·阻尼时间s 0…999.9 (可调)·脉冲断续比1:1二进制输出·二进制输出作为警报输出极限值, 流体换向 或 故障脉冲输出·脉冲值unit s0.01 (1000)·脉冲宽度ms 0.05…1000·脉冲率最大 10000 脉冲输入输入与主设备电隔离数量有源电流输入和输出: 最多 4·温度输入数量最多 4类型Pt100/Pt1000接口4线范围°C -150…+560分辨率K 0.01精度±0.01 % 的测量值 ±0.03 K 下 18…28 °C±0.01 % 的测量值 ±0.03 K ±0.0005 %/K 下 <18 °C/>28 °C电缆电阻Ω最大 1000·可切换的电流输入端将所有可切换的电流输入端共同切换为有源或无源。

□可测量蒸汽,气体,液体的体积流量和质量流量□无机械运动部件,测量精度高,结构紧凑维护方便□压力损失小,量程范围宽□采用消扰电路和抗振传感头□具有抗环境振动性能□可测介质温度达+250℃概述——————————————LUCB(Sure1022)型插入式涡街流量传感器可广泛的适用于各种行业大口径气体、液体、蒸汽流量计量，也可测量含有微小颗粒、杂质的混浊液体，并可作为流量变送器用于自动控制系统中。

LUCB 型插入式涡街流量传感器防爆型，符合GB3836-83《爆炸性环境用防爆电气设备》的有关规定，防爆标志为ExdIIBT6。

工作原理——————————————按国际标准化组织IS07145(在环形截面封闭管道中的流体流量测定—在截面一点的速度测量法)，采用埋入压电晶体的涡街测速探头，插入大口径工业管道内，将卡门旋涡频率转换为与流量成正比的电流或电压脉冲信号或4～20mADC电流信号。

仪表特点——————————————·□可实现不断流拆装传感器，可实现放大器与传感器分离（分离距离15m）；·□采用消扰电路和抗振传感头，使仪表具有一定抗环境振动性能；·□压力损失小，量程范围宽，范围度达1:25；·□无可动部件，长期稳定，结构简单便于安装和维护；·□可测介质温度达+250℃。

技术参数——————————————LUCB型插入式涡街流量计LUCB insertion vortex flow meter仪表选型——————————————A、一般液体和气体使用流量范围见表2**液体使用流量范围的测试条件是常温水（t=20°C，ρ=1000Kg/m3）。

气体使用测量范围的测试条件是常温常压的空气（t=20°C，P=101.325Kpa，ρ=1.205 Kg/m3）B．已知标准状态下的体积流量换算成工况下的体积流量一般气体的计量单位常用标准状态体积计量单位，即标准立方米/小时（Nm3/h），简称“标方”。