场发射电子显微镜技术指标
1．产品配置要求
1.1 场发射扫描电镜主机1套
1.2 X射线能谱仪(电制冷) 1套
1.3标准附件及工具1套
1.4离子溅射仪 1套
1.5导电胶带 2卷
1.6 场发射灯丝 1根
1.7电脑 2台
1.8彩色激光打印机 1台2．技术规格
2.1 组成：该设备由主机(包括真空系统、电子光学系统、检测器)，自动变
压器，冷却循环水系统，X射线能谱仪(SDD)，计算机，标准工具
及附件组成。
*2.2 分辨率：1.0nm (15kV，WD=4mm);
2.0nm (1kV，WD=1.5mm)常规模式
1.4nm(1KV，WD=1.5mm)电子减速功能
2.3 加速电压：0.5 ~ 30kV，0.1kV/步
2.4 放大倍率：×20 ~ ×800,000
*2.5 物镜光栏：加热自清洁式、四孔、可移动物镜光栏
2.6 样品室：
2.6.1移动范围：X：0~50mm；Y：0~50mm；Z：1.5~30mm；T：-5~70°；R：360°
2.6.2最大样品尺寸：100mm
*2.7 全自动五轴马达台样品台
2.8 电子光学系统具有多种工作模式，可实现高分辨、大束流、大工作距离
及磁性样品观测
2.9探测器: 具有高位和低位二次电子探头
高位探头可选择接受二次电子像或背散射像，并混合
*2.10 扫描模式：TV扫描(扫描速度不低于25帧/秒)，慢扫描，用于观察和记录
2.11 操作/显示：PC/AT兼容，WindowsXP操作系统
2.12 图像储存：640×480，1280×960，2560×1920，5120×3480像素
图像文件格式：BMP，JPEG，TIFF
2.13数据记录：胶卷号，加速电压，微米标尺，放大倍率，日期，时间，工
作距离
*2.14电子图像移动：±12μm (WD=8mm)
2.15真空系统：
2.15.1全自动真空系统
2.15.2真空度：10-7Pa (电子枪)；10-4Pa (样品室)
*2.15.3真空泵：分子泵×1台；机械泵1台；离子泵×3台
2.15.4保护：断电、漏电、真空保护
2.16 X射线能谱仪
2.16.1探测器制冷方式：电制冷型。
2.16.2探测器探头为硅漂移探头。
2.16.3有效探测器面积：≥30mm2。
2.16.4能谱可分析元素范围：Be4～U92。
*2.16.5能量分辨率（Mn-Ka）：优于129eV（投标时需提供原生产工厂检验证明文件）。 *2.16.6探头信噪比：18000：1（投标时需提供原生产工厂检验证明文件）。
2.16.7能谱定性定量分析软件，带图像系统，能进行线、面扫描。
2.16.8 电子数字图像最大清晰度至少满足4096×3200。
2.16.9 X射线成分图最大清晰度至少满足1024×1024。
2.16.10软件功能包括：电镜镜筒控制软件、块状样品能谱ZAF定量分析软件、谱图处理工具包、能谱图象与面分布（成分图）采集处理软件、能谱定量面分布（成分图）软件、能谱快速面分布（成分图）软件、能谱线扫描采集处理软件、快速智能面分布（全谱面分布）、扫描电镜样品台控制配件、防电镜图像漂移配件、高级粒度/相分析配件、元素侦探器、相簇分析配件、离线版分析软件、纳米材料类定量分析软件
2.11离子溅射仪
2.11.1最大样品直径60mm
2.11.2最大样品高度20mm
2.11.3镀金速率：35nm/Min
2.11.4电压0.4KV,最大溅射电流40mA
2.11.5工作真空度7Pa
2.11.6配有触摸屏，便于操作
2.11.7真空泵抽率135L/Min
3．标准附件、标准工具及选配件
3.1 标准附件及工具
按标准配置由厂家提供，并提供1年份备品备件、专用工具和消耗品1套。
