能谱仪的结构原理 及使用
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伽马能谱仪工作原理
伽马能谱仪是一种用于测量伽马射线的能量和强度的科学仪器。
其工作原理主要包括以下几个步骤:
1. 伽马射线进入能谱仪:伽马射线首先通过探测器外层的防护物质,通常是铅或铝等,以减少外部环境对探测器的干扰。
然后它们通过进入探测器的探测窗口。
2. 探测器的能量转换:伽马射线进入探测器后,与其内部材料相互作用,通过电离、激发或其他过程转换为电子或光子能量。
3. 探测器测量电子或光子能量:转换后的电子或光子能量被探测器内的能量敏感材料吸收,并产生测量信号。
能量敏感材料的选择取决于要测量的伽马能量范围。
4. 信号放大和处理:探测器产生的微弱测量信号经过放大和处理,以便能够准确地测量能谱仪中伽马射线的能量和强度。
5. 数据分析和能量谱绘制:经过信号放大和处理后,测量信号被传送到数据采集系统。
数据采集系统将信号转换为数字信号,并进行数据分析和能谱图的绘制。
通过对伽马射线能量和强度的测量,伽马能谱仪可以用于核物理、天文学、地球科学等领域的研究和应用。
它可以帮助科学家了解伽马辐射的来源、能量分布等重要信息,从而推动科学研究的进展。
X射线能谱仪的原理介绍
首先,我们需要了解X射线的产生原理。
X射线是通过高速电子与金
属靶相互作用时所产生的电磁辐射。
X射线管是X射线能谱仪的核心部件,由阴极和阳极组成。
当电子从阴极射出并加速经过管内空气,它们将与靶
材中的原子相互作用。
这些相互作用过程会导致电子的能量减少,从而产
生X射线。
在散射现象中,X射线与原子发生弹性碰撞后改变方向,同时能量也
会发生变化。
散射角度和散射的能量损失可以用来确定原子的位置和类型。
在吸收现象中,X射线通过物质时,它的能量会被物质吸收。
不同元
素对X射线的吸收能力不同,因此通过测量X射线的吸收强度可以确定被
测物质中元素的种类和含量。
在荧光发射现象中,X射线通过物质时,一部分能量被物质吸收后再
以荧光的形式发射出来。
这些荧光发射的能量和强度与原子的能级结构有关,可以用来确定元素的种类和含量。
X射线能谱仪的工作原理如下:X射线源产生X射线,并通过样品台
照射到被测物质上。
被测物质散射、吸收或发射的X射线进入能谱仪。
能
谱仪通常采用能量分辨率较高的探测器来测量不同能量的X射线。
测得的
能谱数据会被传输到数据处理系统中,经过分析处理后得到元素的种类和
含量等信息。
总之,X射线能谱仪通过测量X射线与物质的相互作用来确定被测物
质中元素的信息。
它的工作原理是基于X射线与原子的散射、吸收和发射
等现象。
通过测量X射线的能谱数据并进行分析处理,可以得到被测物质
中元素的种类和含量等重要信息。
扫描电子显微镜及能谱仪SEM扫描电子显微镜及能谱仪SEM扫描电子显微镜及能谱仪SEM是一种强大的实验仪器,它能够帮助我们开启微观世界的大门,从而深入了解物质在最基本层面的性质和结构。
本文将在以下几个方面对SEM及其应用进行介绍。
一、扫描电子显微镜SEM的原理扫描电子显微镜SEM是一种采用电子束的显微镜,通过高能电子束与样品相互作用,透过扫描线圈产生扫描信号,实现对样品表面形貌的观察和获取高清晰度的图像。
SEM和光学显微镜有很大的不同,光学显微镜是使用光来观察物质的显微镜,而SEM则是使用电子来观察物质。
扫描电子显微镜SEM的工作原理主要分为以下三个步骤:1、获得高能电子束:扫描电子显微镜SEM内部有个电子枪,电子枪发射出的电子经过加速器的加速器和聚焦极的聚焦,成为高能电子束。
2、扫描样品表面:高能电子束射向样品表面,样品表面反弹回来的电子信号被SEM仪器捕获。
3、产生扫描信号:把从样品表面反弹回来的电子信号进行放大,形成显微图像。
二、能谱仪的原理能谱仪是SEM中的重要组成部分,它可以检测电子在样品中的反应和监测样品中所含的化学元素,以及相应元素的含量。
能谱仪的工作原理是通过检测样品产生的X射线来分析样品组成,电子束与样品相互作用,产生一系列的X射线能量峰值。
每个元素都有不同能级的电子,其X射线产生的能量也分别对应不同的峰值。
因此,通过表征能谱仪所发现的不同X射线能量峰的位置和强度,可以确定样品中所含元素。
三、SEM的应用1、矿物学SEM被广泛应用于矿物学研究中,因为它能够提供很高的图像分辨率。
将样品与高能电子束相互作用可使样品表面反射的电子被收集,从而形成高分辨率的矿物学图像。
2、材料科学在材料科学中,SEM被用于表面形貌研究以及微观结构解析。
通过SEM可以获取材料的内部结构和力学特性,为材料研发和工业应用提供了有力支持。
3、医学SEM在医学领域也有极为重要的应用,例如用于人体组织医学研究。
SEM可以提供高质量且精细的人体组织图像,进一步促进了医学领域的研究和治疗。
EDX能谱仪工作原理EDX能谱仪是一种用于分析材料表面元素的仪器,它通过电子激发样品,产生X射线,然后使用X射线探测器探测这些射线,并将信号放大与处理后传输给计算机控制系统进行分析。
电子激发样品EDX能谱仪利用电子束激发样品,使样品中的原子或分子被电离并释放出内层电子。
这些被释放的电子在样品中产生一系列的能量损失,这些能量损失以X射线的形式释放出来。
X射线发射当电子束撞击样品时,会从样品中释放出两种类型的X 射线:特征X射线和连续X射线。
特征X射线是由样品中特定元素的原子被电离时释放出的,每种元素的特征X射线都有其独特的波长和能量。
连续X射线则是由于电子束与样品相互作用时产生的,它们具有连续的能量分布。
X射线探测器EDX能谱仪使用X射线探测器来收集这些特征X射线和连续X射线。
探测器将收集到的X射线转换为电信号,并将其传输给后续的放大与处理系统。
信号放大与处理接收到的电信号往往非常微弱,需要进行放大和处理才能进行后续分析。
放大器将电信号放大,然后将其转换为数字信号,以便计算机控制系统进行分析。
能量分析计算机控制系统对收集到的数字信号进行能量分析,确定每个X射线的能量。
根据每种元素的特征X射线的能量,计算机控制系统可以确定样品中存在哪些元素。
计算机控制计算机控制系统是EDX能谱仪的核心部分,它控制整个实验过程,并对数据进行实时分析和处理。
通过计算机控制系统,用户可以设置实验参数、控制仪器操作、获取和处理实验结果等。
综上所述,EDX能谱仪通过电子激发样品产生X射线,使用探测器收集并转换这些射线为电信号,然后将电信号放大、处理并传输给计算机控制系统进行分析。
最终,计算机控制系统对数据进行分析和处理,得到样品中元素的种类和含量信息。
X射线能谱仪工作原理及谱图分析1、X 射线能谱仪剖析原理X 射线能谱仪作为扫描电镜的一个重要附件,可被当作是扫描电镜X 射线信号检测器。
其主要对扫描电镜的微区成分进行定性、定量剖析,能够剖析元素周期表中从B-U 的全部元素信息。
其原理为:扫描电镜电子枪发出的高能电子进入样品后,遇到样品原子的非弹性散射,将能量传达给该原子。
该原子内壳层的电子被电离并离开,内壳层上出现一个空位,原子处于不稳固的高能激发态。
在激发后的 10-12s 内原子便恢复到最低能量的基态。
在这个过程中,一系列外层电子向内壳层的空位跃迁,同时产生X 射线,开释出剩余的能量。
对任一原子而言,各个能级之间的能量差都是确立的,所以各样原子受激发而产生的X 射线的能量也都是确立的(图1)。
X 射线能谱仪采集X 射线,并依据其能量对其记数、分类,进而对元素进行定性、定量剖析。
图 1. 粒子间互相作用产生特点X 射线本所能谱仪型号为: BRUKER X-Flash 5010,有四种检测模式:点扫描,地区扫描,线扫描,面扫描。
2、能谱仪检测模式介绍及参数解读2.1 点扫描及地区扫描模式图 2 X 射线能谱仪点扫描( A )、选区扫描( B )报告点扫描与选区扫描主要用于对元素进行定性和定量剖析,确立选定的点或区域范围内存在的全部元素种类,并对各样元素的相对含量进行计算。
能谱检测对倍数要求不高,不一样倍数条件下检测结果差异不大,重点在于选用检测的部位。
一般选择较大的块体在 5000倍以下检测,因为 X射线出射深度较深,除金属或陶瓷等特别致密的资料外,一般的块体在20kV 加快电压下, X 射线出射深度 2μm左右,且点扫描的范围也在直径2μm左右。
所以块体太小或倍数过大,都会造成背景严重,丈量正确度降落。
别的,最好选择比较平坦的地区检测,因为电子打在坑坑洼洼的样品表面,X射线出射深度差异较大,定量信息不够正确。
特别低洼的地区,几乎检测不到信号,或信号很弱,获得的结果也便不正确。
扫描电镜能谱仪工作原理
扫描电镜能谱仪是一种常用的表征材料表面化学组成的仪器。
其工作原理主要包括以下步骤:
1. 准备样品:将需要分析的样品制备成某种形式(如薄片、粉末等)并进行处理,以便观察其表面。
2. 电子束扫描:扫描电镜能谱仪通过发射高能电子束照射样品表面。
电子束是通过一种称为热阴极的装置产生的。
这些高能电子束可以穿透样品的表面,与样品相互作用并激发样品中的原子和分子。
3. X射线产生:当电子束与样品相互作用时,会产生一些能量较低的次级电子。
这些次级电子在与样品中原子相互作用后掉电,并释放出特定能量的X射线。
这些X射线的能量与样品中不同元素的能级结构有关。
4. 能谱分析:扫描电镜能谱仪会将这些释放的X射线传递到能谱仪器中。
能谱仪会将X射线的能量进行分析,以确定样品中存在的不同元素及其相对含量。
5. 结果展示:通过与数据库中的标准能谱进行比较,可以确定样品中不同元素的存在和相对含量,并将结果以图形或数值形式展示出来。
总之,扫描电镜能谱仪通过扫描电子束照射样品表面,并分析
所释放的X射线的能谱,从而确定样品表面的化学组成。
这一技术广泛应用于材料科学、生物科学等领域的研究和分析。
能谱仪成分分析报告1. 简介能谱仪是一种常用于物质成分分析的仪器。
通过测量物质中的放射性元素的能谱,能谱仪能够确定物质中的成分及其含量。
本报告将介绍能谱仪的工作原理、应用范围以及分析结果的解读。
2. 工作原理能谱仪利用放射性元素的衰变过程产生的射线进行测量。
当放射性核素衰变时,会释放出α、β、γ等不同类型的射线。
能谱仪通过探测器对这些射线进行测量,并将测量结果转化为谱图。
常用的能谱仪探测器有闪烁体探测器、半导体探测器和气体探测器等。
其中,闪烁体探测器是在射线入射时发光,半导体探测器则是通过测量射线对半导体的电离产生的电流信号来得到能谱图。
3. 应用范围能谱仪广泛应用于环境监测、地质勘探、核工业等领域。
以下是能谱仪的主要应用范围:3.1 环境监测能谱仪可以用于检测环境中的放射性物质含量。
例如,在核能发电站附近的环境监测中,能谱仪被广泛应用于测量空气、水和土壤中的放射性物质,以了解其含量是否超过安全标准。
3.2 地质勘探地质勘探中的能谱分析常用于确定地下矿床中的放射性元素,如铀、钍等,从而帮助找到贵重的矿物资源。
能谱仪通过对地下岩石中的放射性元素进行分析,可以提供有关矿床性质和分布的重要信息。
3.3 核工业在核工业中,能谱仪被广泛应用于放射性同位素的测量和分析。
能谱仪可用于监测核燃料元素的含量和纯度。
此外,能谱仪还可以用于核反应堆中的辐射测量和辐射工作环境的监控。
4. 分析结果解读能谱仪的分析结果通常以谱图的形式给出。
谱图上的峰表示不同能量的射线的强度。
通过测量不同峰的位置和强度,可以确定物质中的放射性元素的种类和含量。
同时,能谱仪还可以通过对峰的形状和背景的分析,对物质进行进一步的分析。
例如,通过分析背景峰的强度,可以得到环境中的背景放射性物质的含量。
此外,在峰的宽度和形状方面,也可以对样品的结构和纯度进行评估。
5. 总结能谱仪是一种常用于物质成分分析的仪器,通过测量物质中的放射性元素的能谱,能够准确地确定物质中的成分及其含量。
结合场发射扫描电镜Sirion 200附件GENESIS60E 型X-射线能谱仪,了解能谱仪的结构及工作原理。
结合实例分析,熟悉能谱分析方法及应用。
学会正确选用微区成分分析方法及其分析参数的选择。
X射线能量色散谱分析方法是电子显微技术最基本和一直使用的、具有成分分析功能的方法,通常称为X射线能谱分析法,简称EDS或EDX方法。
特征X射线的产生
产生:内壳层电子被轰击后跳到比费米能高的能级上,电子轨道内出现的空位被外壳层轨道的电子填入时,作为多余的能量放出的就是特征X射线。
特点:特征X射线具有元素固有的能量,所以,将它们展开成能谱后,根据它的能量值就可以确定元素的种类,而且根据谱的强度分析就可以确定其含量。
X射线探测器的种类和原理
展成谱的方法:
X射线能量色散谱方法(EDS:energy dispersive X-ray spectroscopy)
X射线波长色散谱方法(WDS:wavelength dispersive X-ray spectroscopy)
在分析电子显微镜中均采用探测率高的EDS。
从试样产生的X射线通过测角台进入到探测器中。
图1 EDS系统框图
为了使硅中的锂稳定和降低FET的热噪声,平时和测量时都必须用液氮冷却EDS探测器。
保护探测器的探测窗口有两类:
铍窗口型(beryllium window type)
这种探测器使用起来比较容易,但是,由于铍薄膜对低能X射线的吸收,所以,不能分析比Na(Z=11)轻的元素。
超薄窗口型(UTW type : ultra thin window type)它吸收X射线少,可以测量C(Z=6)以上的比较轻的元素。
EDS的分析技术
(1)X射线的测量
当用强电子束照射试样,产生大量的X射线时,系统的漏计数的百分比就称为死时间Tdead,它可以用输入侧的计数率RIN和输出侧的计数率ROUT来表示:
Tdead=(1-ROUT/RIN)×100%
(2)空间分辨率
图2示出入射电子束的直径和电子束在试样内的扩展,即X射线产生区域的示意图。
在分析电子显微镜的分析中,电子束在试样中的扩展对空间分辨率是有影响的,加速电压、入射电子束直径、试样厚度、试样的密度等都是决定空间分辨率的因素。
图2 入射电子束在试样内的扩散
(3)峰/背比(P/B)
按照札卢泽克(Zaluzec)理论,探测到的薄膜试样中元素的X射线强度N的表示式如下:
N=(IσωpN0ρCtΩ)/4επM
式中:
I——入射电子束强度;σ——离化截面;ω——荧光产额;ρ——密度;
p——关注的特征X射线产生的比值;
N0——阿弗加德罗常数;
C——化学组成(浓度)(质量分数,%);t——试样厚度;Ω——探测立体角;ε——探测器效率;M——相对原子质量。
(4)定性分析
为保证定性分析的可靠性,采谱时必须注意两条:
第一,采谱前要对能谱仪的能量刻度进行校正,使仪器的零点和增益值落在正确值范围内;
第二,选择合适的工作条件,以获得一个能量分辨率好,被分析元素的谱峰有足够计数、无杂峰和杂散辐射干扰或干扰最小的EDS谱。
①自动定性分析
自动定性分析是根据能量位置来确定峰位,直接单击“操作/定性分析”按钮,即可实现自动定性分析,在谱的每个峰的位置显示出相应的元素符号。
②手动定性分定性分析
自动定性分析优点是识别速度快,但由于能谱
谱峰重叠干扰严重,自动识别极易出错为此分析者在仪器自动定性分析过程结束后,还必须对识别错了的元素用手动定性分析进行修正。
(5)定量分析
定量分析是通过X射线强度来获取组成样品材料的各种元素的浓度。
根据实际情况,人们寻求并提出了测量未知样品和标样的强度比方法,再把强度比经过定量修正换算呈浓度比。
最广泛使用的一种定量修正技术是ZAF修正。
本软件中提供了两种定量分析方法:无标样定量分析法和有标样定量分析析法。
(6)元素的面分布分析方法
用扫描像观察装置,使电子束在试样上做二维扫描,测量特征X射线的强度,使与这个强度对应的亮度变化与扫描信号同步在阴极射线管CRT上显示出来,就得到特征X射线强度的二维分布的像。
样品和电子扫描显微镜
(1)为了得到较精确的定性、定量分析结果,应该对样品进行适当的处理,尽量使样品表面平整、光洁和导电。
(2)调整电子扫描显微镜的状态,使X射线EDS探测器以最佳的立体角接收样品表面激发出了特征X光子。
调理电镜加速电压。
调整工作距离、样品台倾斜角度以及探测器臂长。
调整电子束对中和束斑尺寸,使输入计算率达到最佳。
(3)定性、定量分析结果是放在电镜样品室里样品表面区域的元素原子和重量百分比。
放大倍数越大,作用样品区域越小。
要正确选择作用区域,才可能得到正确的结果。
快捷启动GENESIS60E(见图3)
①根据计数率选择时间常数(Amp time),使死时间在20%-40%之间。
②根据需要可以予置收集时间,这将自动停止谱线收集。
③使用收集键(“Collect”)开始和停止谱线收集。
④要调节对谱线的观察。
⑤点击峰识别(“Peak Id”)键,进行自动峰识别。
图3 快捷启动GENESIS60E 操作界面示意图
⑥“HPD”键用于峰的识别和确定。
⑦送入谱线标识,最多216个字母。
⑧点击定量分析“Quantify”键,得到无标样定量分析结果。
⑨在结果对话框中选择打印键,可以将谱线和定量分析结果打印在一页纸上。
⑩点击存储键并选择文件名(后缀为.spc)和路径。
仪器的安全注意事项
①不要用手或用其他东西去触碰窗口,不论是铍窗还是Norvar超薄窗口,都是很易破碎的,因此用户使用时,不要触碰窗口。
②不要企图自己清洗窗口,如果要清洗,一定要征询专业技术人员的支持。
③不要摇动探头。
④在使用中要避免样品或样品台碰到探头上。
⑤不要用任何热冲击、压缩空气或者腐蚀性的东西接触窗口。
⑥铍是一种剧毒物,而且很脆,因此千万不要用手或者皮肤去碰被窗。
⑦如果探头使用液氮,不要使液氮罐中的液氮干了。
己经干了,再灌入液氮后不能马上开机,一定要等4小时以后才能开启能谱仪电源,为了避免液氮罐中结冰,不要等液氮快用完了才灌新的液氮,一般一星期最好灌二次较好。
化学成分分析 元素的线分析 元素的面分布
化学成分分析
优点:
①快速,全谱一次收集,分析一个样品只需几分钟至几十分钟
②不破坏样品
③可以把样品的成分和形貌乃至结构结合在一起进行综合分析
图4 EDS 应用实例一——成分分析
EDS 谱线收集完毕后定量计算的结果,给出了重量和原子百分比。
EDS 谱线实时收集的结果,纵坐标是X 射线光子的计数率CPS ,横坐标是元素
的能量值
(KeV )。
在
电镜中
看到的
形貌及
需要分
析的区
域(点或
面)。
元素的线分析
图5 是EDS应用实例之二——元素的线分析。
图中的白线是电子束扫过的分析区域,它通过了晶内及块状相(线的正中间白色)、晶界(线的右边白色)。
从元素的分析结果可以看出:正中间白色块状相主要含Cu、Ni、Er元素,右边白色晶界上的相主要含Cu、Ni、Er、Mg和Zr元素。
图4 EDS应用实例之二——元素的线分析
元素的面分布
图6 是EDS应用实例之三——元素的面分布。
图中区域1是我们在电镜中看到的形貌。
图中区域2、3、4是EDS信号收集完毕后给出的不同元素的定性结果。
说明图中区域1中间的白点和右下边白色三角区域都有元素的偏聚。
图6 EDS应用实例之三——元素的面分布
简要说明能谱仪的工作原理(X射线的接收、转换及显示过程)。
结合自己的课题(或实验),简述能谱仪在材料科学中的应用。
针对实际分析用的样品,说明选择能谱分析参数的依据。
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