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复合真空计的原理和使用方法真空计操作规程真空计是测量真空系统中气体压强的仪器，种类很多，这里介绍的复合真空计是常见的一种，复合真空计是由温差电偶真空计与热阴极电离真空计组合而成。
温差电偶真空计的原理温差电偶真空规管由玻璃制成，通过小管8和真空系统相接，在规管内的两根引线上装有热丝3，另外两根引线上焊着一对温差电偶4，温差电偶的另一端与热丝在A点焊接。
由于在低压下，气体的热传导系数与压强成正比，所以在通过热丝的电流（90～150mA）确定的条件下，热丝的温度随着规管内真空度的提高而上升，温差电偶电动势也随之而增大。
因此，通过测量温差电偶电动势，可以确定出被测系统的真空度，温差电偶真空计则是依据这个原理制成的。
温差电偶真空计的电离真空计的测量范围1～510—2Pa。
热阴极电离真空计的原理电离真空规管是一只三极管，通过B管与真空系统相接，使用时，在灯丝电路中通以电流5mA，灯丝受热后便发射电子，由于栅极为正电压，使电子加速，中途与气体分子相碰，气体的密度越大，碰撞机会越大，产生的正离子也越多。
另外，由于板极电压为负，便吸引正离子在板极电路中形成板极电流Ip，气体分子密度越大（即压强越大），板极电流也越大，反之越小。
麦氏真空计维护和保养麦氏真空计是依据理想等温压缩的波义耳——马略特定律设计而成。
由于它可以通过本身的参数，直接算得压强值，所以它除了进行压强测量外，还可以作为确定真空计用来校验一些相对真空计（如：座式压缩真空计就是其中的一种），故被广泛用于工业、国防、科研、医药、制冷等真空度测量工作之中。
麦氏真空计维护和保养：1、运输及使用时必需严防倒置平卧，以防水银倒回真空像皮管内或水银珠进入中心闭管毛细管内堵塞毛细管，影响测量精度。
因此在每次使用前必需先将真空橡皮管竖直，以使水银能流回真空计玻璃管内。
2、在测量时即真空表为挺立状态，严禁将任何气体猛烈地冲入真空系统，以免冲击玻璃管致使击碎玻璃管。
3 、真空计内工作汞已经经过化学物理方法处理，有确定的清洁性。
操作手册宜准电子，让真空测量更简单!INSTRUE , Makes Vacuum Measurement Easier.宽量程皮拉尼潘宁复合真空计WPC400 集成数显皮拉尼冷阴极真空计 PVC410 集成皮拉尼冷阴极变送规● 宽量程，覆盖大气到1.0E-5Pa 高真空检测 ● 支持本地显示，实时读取真空度数值● 特殊电极材料与结构，维护频率低，使用寿命久● 内嵌温度自动补充，消除环境温度波动对测量的干扰 ● 双传感互锁，真空计在任意真空度均可安全启动 ● 可选Pa 、Torr 、mBar 三种单位显示● 双通讯模式，同时输出模拟量与RS485-Modbus 数据通讯 ● 支持双路可编程设置开关量输出●适配GaugeReader 数据采集、配置、存储上位机软件1.型号选择集成数显皮拉尼冷阴极真空计WPC 400 X (X为真空接口，A:KF25，B:KF40，C:CF25，D：CF35) 集成皮拉尼冷阴极变送规PVC 410 X (X为真空接口，A:KF25，B:KF40，C:CF25，D：CF35) 2.参数表参数数值WPC400 PVC410测量范围 (空气， N2) 1.0×10-5 ~1.0×10+5 Pa精度1.0×10-5 ~1.0×10- 4 Pa : ±35% 1.0×10-4 ~1.0×10+4 Pa : ±25% 1.0×10+4 ~1.0×10+5 Pa : ±50%重复性1.0×10-5 ~1.0×10+3 Pa : ±5% 1.0×10+3 ~1.0×10+5 Pa : ±25%耐压(绝对压力) 1.5×10+5 Pa反应时间< 100 ms < 50 ms 工作环境0º C ~ +45º C； 5 ~ 85 %, 不结露存储环境-40º C ~ +75º C；5 ~ 90 %, 不结露信号输出5位LED显示，单位可选NA 双控制开关输出 60VDC 0.5A NARS485， 9600 bps，Modbus RTU模拟量输出+0.0V~+10.0VDC电接口DSub9公插座RJ45插座供电电源+16~+32 VDC /0.5A ；最大功耗 2.5W 防护等级IP40，IEC529真空系统连接标配 DN 25 ISO-KF；其他需定制重量与尺寸420g (KF25)， 130H X 60W X50D 310g (KF25)，90H X 41Dia.接触真空的材料SS304不锈钢, Kovar 4J50, 钨丝, 馈通玻璃注. 由于研发及新品推出，宜准电子保留修改该文档的权利，请与原厂保持联系!注意D-Sub 9针连接器的区别：公头，母头，焊接侧，插入侧。
复合真空计说明书复合真空计是一种用于测量真空度的仪器，它由多个部件组成，包括压力传感器、控制器、显示器等。
本文将详细介绍复合真空计的原理、使用方法以及注意事项。
一、原理复合真空计的原理是基于热电效应和热导率的测量原理。
当真空度发生变化时，热电偶的电势差也会发生变化，通过测量电势差的变化，可以得出真空度的变化。
同时，复合真空计还可以通过测量热导率的变化来确定真空度。
二、使用方法1.准备工作在使用复合真空计之前，需要进行一些准备工作。
首先，需要将仪器放置在干燥、通风的地方，避免受潮或受到其他污染物的影响。
其次，需要将仪器的各个部件连接好，并将控制器和显示器连接到电源上。
2.校准仪器在使用复合真空计之前，需要对仪器进行校准。
校准的目的是确保仪器的测量结果准确可靠。
校准的方法是将仪器放置在已知真空度的环境中，然后根据测量结果进行调整。
3.测量真空度在进行测量时，需要将复合真空计放置在待测物体的附近，然后打开仪器的电源，等待一段时间，直到仪器的显示屏上显示出当前的真空度。
如果需要连续测量，可以将仪器连接到计算机上，通过软件进行数据记录和分析。
三、注意事项1.避免受潮复合真空计是一种精密仪器，需要避免受潮或受到其他污染物的影响。
在使用过程中，应该将仪器放置在干燥、通风的地方，避免受潮。
2.避免碰撞复合真空计的各个部件都非常精密，需要避免碰撞或受到其他机械性的影响。
在使用过程中，应该轻拿轻放，避免碰撞。
3.避免过度使用复合真空计是一种精密仪器，需要避免过度使用。
在使用过程中，应该遵循使用说明书上的使用时间和使用频率，避免过度使用。
4.定期维护复合真空计需要定期进行维护，包括清洁、校准等。
在使用过程中，应该遵循使用说明书上的维护周期和维护方法，保证仪器的正常运行。
复合真空计是一种精密仪器，需要遵循使用说明书上的使用方法和注意事项，才能保证测量结果的准确可靠。
在使用过程中，应该避免受潮、避免碰撞、避免过度使用，并定期进行维护。
HJ-P-059-2009复合真空计校准规范2009-11-20发布 2009-12-01实施陕西华燕航空仪表有限公司质量保证部HJ-P-059-2009 本规范签署人员编制：校对：审核：审定：标审：批准：发放单位及份数HJ-P-059-2009代替 HJ-P-059-96复合真空计校准规范1.范围本规范适用于使用中和修理后的指针式复合真空计的校准。
2.概述复合真空计由热偶计和电离计复合而成，是测量低真空和高真空压强用的通用仪器，适用于实验室及生产车间中使用。
在测量低真空时，是根据热电势与气体压强关系的原理，通过测量热电势的大小，间接的测量出气体压强的高低；在测量高真空时，是根据离子电流与气体压强的关系原理，通过测量离子电流的大小，间接的测量出气体压强的大小。
3.引用文件WZK-1A型 WZK-1AP型热偶电离真空计使用说明书FZh－1A型复合真空计使用说明书FZh－1型复合真空计使用说明书陕西华燕航空仪表有限公司质保部4.技术要求4.1外观质量仪器外观应良好，各开关、旋钮安装应牢固，转动灵活；指针式表头应无卡针、迟滞现象。
4.2测量范围低真空：13.3Pa～0.133 Pa高真空：0.133 Pa～6.65×10－6 Pa5.校准环境5.1环境温度：10℃～35℃，相对湿度：≤80％RH。
5.2供电电源：220 V±10％; 50H Z±1％。
5.3仪器附近无强的电磁场干扰，无剧烈震动，无腐蚀性气体。
6.校准项目及设备陕西华燕航空仪表有限公司质保部7.校准方法7.1用目力检查仪器的外观应无明显的缺陷；开关、按钮应安装牢固；仪器的接插件及连线应可靠连接。
7.2测量范围检查7.2.1热偶部分检查将未开封的热偶规管通过相应缆线与仪器连接，并使管座垂直向上，接通电源预热15分钟，调整加热电流至热偶管原始工作电流值，把加热电流开关或按钮打至测量位置，此时指示表头内读数即为热偶管内的真空度。
真空计使用方法带参数要求说明真空计是一种用于测量气体压力的仪器，广泛应用于科学研究、工业生产和实验室实践中。
本文将详细介绍真空计的使用方法，并说明其相关参数要求。
一、真空计的基本原理和种类真空计的基本原理是利用气体分子与传感器间的碰撞来测量气体压力。
根据不同的原理和测量范围，真空计可以分为多种类型，如电离真空计、热导真空计、毛细管真空计、扩散真空计等。
二、真空计的使用方法1.准备工作在使用真空计之前，需要进行一些准备工作：-清洁传感器：使用温和的洗涤剂和干净的布或棉签轻轻擦拭传感器表面，确保其光洁无尘。
-检查连接管路：确保所有连接管路的接口密封良好，避免气体泄漏。
-检查真空计仪器：确认仪器的电源、指示器和控制面板正常工作。
2.接通电源将真空计连接到电源，并打开电源开关，等待仪器进行自检和初始化。
根据具体型号，可能需要设置相关参数，如量程、单位等。
3.设置测量范围根据实际需求，设置真空计的测量范围。
对于不同的真空计类型，其测量范围可能有所不同，一般可调节量程旋钮或通过仪器控制面板进行设定。
4.进行标定（可选）如果需要更高的测量精度和准确性，可以进行标定过程。
标定过程可参考真空计的用户手册，常见的标定方法包括手动标定和自动标定，根据仪器的指示进行相应操作。
5.进行测量将真空计的传感器插入待测气体环境中，确保传感器完全暴露在气体中。
一般情况下，真空计会自动读取并显示气体压力值。
如需连续测量，可设定仪器的采样频率和测量间隔。
6.结束测量和关闭真空计当测量完成后，可在仪器上停止测量或选择保存测量数据。
然后，关闭真空计的电源开关，断开与气体环境的连接。
三、真空计使用时的参数要求1.真空计的精度和准确度要求根据实际应用而定，一般会标明在特定范围内的测量误差。
2.真空计的量程需根据实际测量范围来设定，并需保证测量数据在该范围内具有足够的准确性和可靠性。
3.真空计的响应时间要求取决于具体应用场景，一般要能够满足实时或近实时的测量需求，避免延迟和漏测。
复合真空计说明书一、概述复合真空计是一种用于测量真空度的仪器，广泛应用于科研、工业制造和实验室等领域。
本说明书将详细介绍复合真空计的原理、使用方法以及注意事项。
二、原理复合真空计基于电离和热电子发射原理，采用了复合式结构，结合了宽范围测量和高精度测量的优势。
2.1 电离原理复合真空计中的电离器通过加热阴极，使原子或分子电离，产生电子流。
电离器中的阳极测量到的电离电流与真空度成正比，通过测量电离电流可以推算出真空度。
2.2 热电子发射原理复合真空计中的热阴极通过加热产生电子，电子经过加速电场达到一定能量后，撞击阳极产生的二次电子流。
通过测量二次电子流的大小可以推算真空度。
三、使用方法3.1 准备工作•确保接入电源电压符合要求，并连接正确的电源线。
•确保连接复合真空计的接口正确，避免倒插或错插。
3.2 操作步骤1.打开复合真空计，并等待其预热至工作温度。
2.设置测量模式，可以选择电离模式或热阴极模式。
3.根据需要设置测量范围，在合适的范围内进行真空度的测量。
4.开始测量，记录电离电流或二次电子流的数值。
5.根据记录的数值，使用标定曲线或公式计算出真空度。
3.3 注意事项•使用时避免频繁开启和关闭电源，以免影响复合真空计寿命。
•使用过程中避免水汽和气体泄漏进入复合真空计，防止污染或损坏设备。
•定期进行检查和维护，保持复合真空计处于良好工作状态。
四、常见问题解答4.1 复合真空计测量的误差是多少？复合真空计的测量误差通常在百分之几到几个百分点之间，具体取决于使用的型号和测量范围。
4.2 复合真空计如何校准？复合真空计的校准通常需要使用标准真空计进行，根据标准真空计的测量结果对复合真空计进行调整。
4.3 复合真空计的寿命是多久？复合真空计的寿命取决于使用频率和环境条件，一般可使用数年至数十年。
4.4 是否可以在高温环境下使用复合真空计？复合真空计可以在一定的高温范围内使用，但需根据具体型号和温度要求选择适当的型号。
YYZ-500便携式复合真空计使用说明书一. 概述YYZ-500复合真空仪，是新型的真空测量仪，它针对国内热电偶真空测量的实际情况，将国产热偶传感器和美国Hastings公司的热堆传感器的仪表组合成一个仪表，通过面板按键切换传感器测量的种类，测量数据则采用计算机技术进行优化处理，提升了产品功能性、实用性和方便性，可应用于航天、机械、石油、化工、冶金、电子及医疗、低温液体贮运设备等领域的各类真空测量。
产品符合JB/T6873-2005。
二. 工作原理1．ZJ-51热偶规管根据低压强下气体分子热传导特性，当热偶规管热丝的加热电流恒定时，热丝的温度将随管内的压强而变化，当压强降低时，气体分子的热传导运动减弱，热丝的温度升高；反之，热丝的温度减小，热偶规管输出的热电势反映了热丝温度的变化，只要测量规管的热电势值，与之对应的系统压强就确定了。
规管输出的热电势经计算机非线性处理后送液晶显示。
2. DV-6R热堆传感器美国Hastings公司DV-6系列真空测量传感器是用贵金属材料制作的热电偶真空传感器（附图）。
用低电压的交流电桥对其热电偶A和B进行加热，当真空系统中压力的变化引起气体分子碰撞的变化时，热电偶周围的气体或气体混合物的之间热传导随之变化，这使得热电偶A和B的温度变化，而温度的变化将引起热电偶A和B之间的直流输出变化（和压力变化方向相反），热电偶C用以对环境温度的瞬时变化进行补偿。
热偶变化的热电势反映了热丝温度的变化，测量热电势值，与之对应的系统压强就确定了，传感器输出的热电势经计算机非线性处理后送液晶显示。
三传感器技术指标1 ZJ-51型的主要技术指标1.1 量程：66.5Pa～ 0.1 Pa 1.2 真空度误差：± 15 %1.3 加热电流：90～130 mA2 DV-6R型的主要技术指标2.1 量程：1Torr～0.001 Torr2.2 真空度误差：±(读数的15 %+0.001 Torr)（最大）2.3 连接尺寸：1/8＂npt公螺纹 2.4 操作温度：－20 ～ +60℃四仪器的技术指标1 ZJ-51型1.1 测量范围：500Pa～0.1Pa（0～ 100格）1.2 有效误差范围：68Pa～0.1Pa 1.3 压力极限误差：±20 %1.4 加热电流范围：80mA～130mA 1.5 加热电流误差：±0.5%2 DV-6R型2.1 测量范围：450Pa～0.1Pa 2.2 有效误差范围：133Pa～0.1Pa2.2 压力极限误差：±20%3 其它技术指标3.1 工作电源：DC8V；充电AC220/50Hz 3.2 显示位数：四位数码LCD3.3 重量：0.3Kg 3.4 功率： 3 VA3.5 外型尺寸：185×95×38 mm3五使用方法1 功能操作说明功能键（SET）：测量转换。
复合真空计的原理与使用方法
发布: 2009-1-11 05:07 | 作者: ningbopeter | 来源: 万客化工在线
真空计是测量真空系统中气体压强的仪器,种类很多, 这里介绍的复合
真空计是常见的一种, 复合真空计是由温差电偶真空计与热阴极电离真空计组合而成。
温差电偶真空计的原理
温差电偶真空规管由玻璃制成, 通过小管8 和真空系统相接, 如图2 所示, 在规管内的两根引线上装有热丝3,另外两根引线上焊着一对温差电偶4, 温差电偶的另一端与热丝在A 点焊接。
由于在低压下, 气体的热传导系数与压强成正比,所以在通过热丝的电流( 90～150 mA)一定的条件下, 热丝的温度随着规管内真空度的提高而升高, 温差电偶电动势也就随之而增大。
因此, 通过测量温差电偶电动势, 就可确定出被测系统的真空度, 温差电偶真空计就是根据这个原理
制成的。
温差电偶真空计的电离真空计的测量范围1～5×10-2 Pa。
热阴极电离真空计的原理
电离真空规管就是一只三极管, 如图3 所示, 通过B 管与真空系统相接, 使用时, 在灯丝电路中通以电流5 mA, 灯丝受热后便发射电子, 由于栅极为正电压, 使电子加速, 中途与气体分子相碰, 气体的密度越大, 碰撞机会越大, 产生的正离子也越多。
另外, 由于板极电压为负, 便
吸引正离子在板极电路中形成板极电流Ip , 气体分子密度越大( 即压强越大) , 板极电流也越大, 反之就小。
所以, 通过测量板极电流便可以确定气体的压强, 热阴极电离真空计就是根据这个原理制成的。
热阴极电离真空计是测量极高真空的仪器,测量范围为1×10-2～1×10-5 Pa。
注意: 一旦测量完结, 立刻关闭电离真空规管灯丝, 这样可延长规管使用寿命。
复合真空计的使用
复合真空计由上述两种真空计组合而成, 现在常用的型号有WXK 型和FZH 型, 使用方法基本相同。
现就WZK-1A 型介绍如下。
如图4 所示是WXK-1A 型的板面图, K1 为电流总开关, 开关K3、K4 及电位器W5 和电表CB2 属于温差电偶真空计部分, 其余均属于热阴极电离真空计部分,温差电偶真空规管和电离真空规管已经焊接在真空系统上, 测量时, 各用一根电缆线与复合真空计相接, 在使用前或停止使用时, 应该使面板上的所有开关都处于关闭状态, 如图4 所示。
(1) 温差电偶真空计的使用: 接通电流, 预热10 min, 使K4 放在(加热电流) 位置,调节W5 使CB2 表的指针在下面一行刻度( mA) 上达到加热电流的规定值( 记在每只温差电偶真空管的管座上或按说明书规定) , 然后使K4 放在( 测量)位置,从CB2 表的上面一行刻度( mV) 可读出温差电偶电动势, 利用规管标准曲线, 即可查出所测的真空度( 有的温差电偶真空度直接刻在CB2 表分度盘上)。
(2) 电离真空计的使用: 当被测系统的真空度低于0.1 Pa 时,不能接通电离真空计,否则会烧坏电离真空规管, 必须在温差电偶真空计CB2表的指针达到满偏转刻度时, 才能使用电离计,电离真空计暂时不用时,需断开电离计电源,否则会影响电离真空规管的寿命。
①发射电源的调节: 在未接通电源时, 采用五芯电缆线把电离真空规管与仪器联接,带鳄鱼夹的接线与电离真空规管板极联接, 有香蕉插头一端与仪器背面接线柱连接, 接通电源, 预热10 min, 把K7放在( 测) 位置, K6 放在( 发射电流)位置,调W4 使CB1 表指针指在红色标线“5”处。
此时发射电流即为标准值5 mA。
②零点调整: 完成上一步后, K6放在( 测量)位置,K5 放在(调零)位置, 调节W3让表的指针指向零。
③满偏转刻度调整: 完成调零工作后, 把K5置于( 测量)位置,把W1 调到(校准)位置,调节W2使指针满刻度。
④测量压强( 真空度) : 完成上一步后, 将W1转到量程103, 102, ⋯ ; 由电表指示的数值乘以量程开关所指示的数值, 即所测量真空度之值。
