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ch6微影技术6-1.248c193奈米波l深紫外光微影之缺c楹危氟化氪(krf)248奈米史肿永咨渖钭贤夤(deepuv,duv)微影此槲3-5年之主力cn，解像度可以_0.25~0.18微米，m合u256megabitdram[a][5-2-1]。
相p重要事2.皱r：良之皱r需考]其折射率(n)、色散(dispersion,dn/dl)、囟壬贫(dn/dt)、像是高(aberration)、反射(scatter)、稀释(absorption)、p偏折(birefringence)等困_。
另外，雷射}n激l臭氧分解成，⒘踊透r功能。
皱r常用材料如下：b.氟化}(caf2)：l晶y、不易研磨、u渫哥rc分光器困y、o昂f、且崤蛎s递^大。
透rm之囟壬散c光程差^小。
a生色心在s360奈米波l，ξ⒂o影。
透rm勖^l，整w性能^熔融氧化矽良。
槟壳斑m用於193c157奈米波l之最佳材料。
未硪嗫赡用於248奈米。
c.氟化v(mgf2)：殡p偏折材料，此可怕失c难于消除。
d.氟化(lif)：吸裥蕴，材|，不m合u渫哥r。
3.光学系y。
a.反射式(reflective,catoptric)：光源波可^大，但解像度受限。
b.折射式(refractive,dioptric)：光源波限2~3皮米。
h能够采用r格o昂f之光v 窄化雷射。
皱rm须要20m以上。
c.反射折射混合式(catadioptric)：光源波可_4奈米。
可用汞或汞-氙弧簟⒆杂杀捡y雷射。
透rmh需s12m，成本大榻档汀４嘶旌鲜捷^m步，可能槲沓上裣到y之主流。
4.步mcc呙c生a用248奈米c台，其抵悼郊s0.40~0.63，相_度s0.3~0.8，固定或分段{整。
c台有步m－重}c(step-and-repeat)，或q步mc(stepper)c步m－呙c(step-and-scan)，或q呙c(scanner)二n。
烧卟町c、缺c要f明如下：a.步mcc：光度^，照射景域一次完成照射，所需照射rg^短；h晶a平台移樱易控制蚀_度，瘦^易。
两者共同点：高能量激光束作用于工件，工件表面温度急剧上升，基体冷却
速度也很快，具有快速加热相变、快速熔凝的特征，可以大幅度提高工件的
抗压和抗疲劳强度。
激光相变硬化区域示意图
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激光淬火的硬度可比常规淬火硬度提。
铸铁激光淬火后，其耐磨可实现自冷淬火，不需水或油等淬火对工件的许多特殊部位，例如槽壁、槽底、小孔、盲孔、深孔以及腔筒内壁等，只要能将激光照射到位，均可10
激光相变硬化应用
发动机气缸
连接环套
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激光重熔加工原理及熔化凝固过程示意图
激光熔凝强化应用
6.3.1 激光表面熔覆
激光熔覆分为2大类
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激光熔覆加工应用：激光熔覆加工应用(a) 同轴送粉(b) 气氛保护装置
激光冲击强化加工过程及界面应力分布示意图
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工件表面涂上一层不透光材料（涂层），再覆盖一层透光材料高功率密度短脉冲（纳秒级）强激光透过约束层照射金属材料表涂层在极短时间内产汽化电离成由于约束层存在，等离子体的膨胀受限，产生向金属内部传播的强冲击波，使金属材料表层发生塑性变形，形成激光冲击强化区；从而改善金属材料的机械性能。
涂层
激光冲击强化技术应用于发动机叶片和轴
22。
第六章 激光放大特性习题1． 在增益工作物质两端设置二反射率为r 的反射镜，形成一个法布里—珀罗再生式放大器,如图6.1.1所示。
入射光频率为ν，谐振腔频率为c ν。
工作物质被均匀激励，其小信号增益系数为0g ，损耗系数为α。
试求：（1)用多光束干涉方法求再生放大器的小信号增益00()/G I l I =；(2)c νν=时再生放大器的增益0m G ； (3)再生放大器的带宽δν;(4）若无反射镜时放大器的增益为3，试作0m G —r 及δν-r 的曲线； (5）再生放大器正常工作时r 的范围。
解：(1） 若设入射光场为0E ，若忽略色散效应,则电场的传播情况如图所示，图中2k πνυ=，在输出端将各分波相加可得总的输出电场。
（这里的R 即为反射镜的反射率r )l g ikl ee E 2)(00)α--l g kli eeE R )(23300)α--这样就有：1()2()20(1)[1e ]g l ikli kl gll E R E eeR e αα----=-++其中中括号的内部是一个无穷等比数列,这样上式就可以写为:1()22()(1)1g l ikll i kl glR eeE E Re e αα-----=-放大器的小信号增益为:0000*2()0*22()()0002()()2()2()(1)12e cos 2(1) [1e ]4sin g l l l g l g l g lgl glE E I l R e G I E E R e R kl R eR Re klαααααα-------===+--=-+（2） c νν=的时候，c 2m lυνν==（m 为正整数）22sin sin 0kl m π==所以有02()0()2(1)[1]g lmg l R e G Reαα---=-（3) 2c δννν=+时，0012m G G =，比较0G 和0mG 的表达式有： 000()2()2()224sin()4sin 2[1]g lg lc gl Rel Rel Re αααπδνπδννυυ---+==-因为δν远小于/l νπ，所以22sin()l l πδνπδνυυ≈，由上式可得: 00()()12g lg l Re l Reααυδνπ---=（4) 根据题意知0()3g leα-=,可得：2023(1)(13)mR G R -=-，1323Rl Rυδνπ-=0m G -r 及δν—r 的曲线如下图所示。
2线制变送器电流信号的接
接线端子图
A-S规格80×160尺寸的仪表（mm）
外形尺寸
开孔尺寸接线端子图
B-F规格96×96尺寸的仪表（mm）
外形尺寸
开孔尺寸接线端子图
C-H规格96×48尺寸的仪表（mm）
外形尺寸
开孔尺寸接线端子图
C-S规格48×96尺寸的仪表（mm）
外形尺寸
开孔尺寸接线端子图
D-F规格72×72尺寸的仪表（mm）
外形尺寸
开孔尺寸接线端子图
E-F规格48×48尺寸的仪表（mm）
外形尺寸
注：
组参数之前的参数是否密码控制可以通过设置
键调出当前参数的原设定值，闪烁位为修正位
通过键移动修改位，键增值、
键存入修改好的参数，自动转到下一参数。
若为本组最后键后将转到本组第
重复②
，
键进入修改状态，在，，
密码在仪表上电时或
不松开，顺序进入各参数组，仪表键调出当前参数的原设定值，闪烁位为修改位
键移动修改位，键增值，
~
以下列出了测量及显示的相关的参数，设置不正确，可能使仪表显示不正
、
种：补偿前温度＋
注：
影响，该温度可能会高于室温。
在实际应用中，补偿导线接到输入端子，。
