化学气相沉积技术试题 .pptx

一、名词解释（1）化学气相沉积：化学气体或蒸气和晶圆表面的固体产生反应，在表面上以薄膜形式产生固态的副产品，其它的副产品是挥发性的会从表面离开。

（2）物理气相沉积：“物理气相沉积” 通常指满意下面三个步骤的一类薄膜生长技术:a.所生长的材料以物理的方式由固体转化为气体;b.生长材料的蒸汽经过一个低压区域到达衬底;c.蒸汽在衬底表面上凝聚，形成薄膜(3)溅射镀膜：溅射镀膜是利用电场对辉光放电过程中产生出来的带电离子进行加速，使其获得一定的动能后，轰击靶电极，将靶电极的原子溅射出来，沉积到衬底形成薄膜的方法。

(4)蒸发镀膜：加热蒸发源，使原子或分子从蒸发源表面逸出，形成蒸汽流并入射到硅片（衬底）表面，凝结形成固态薄膜。

(5)替位式扩散：占据晶格位置的外来原子称为替位杂质。

只有当替位杂质的近邻晶格上出现空位，替位杂质才能比较轻易地运动到近邻空位上(6)间隙式扩散：间隙式扩散指间隙式杂质从一个间隙位置运动到相邻的间隙位置。

(7)有限表面源扩散：扩散开始时，表面放入一定量的杂质源，而在以后的扩散过程中不再有杂质加入，此种扩散称为有限源扩散。

(8)恒定表面源扩散：在整个扩散过程中，杂质不断进入硅中，而表面杂质浓度始终保持不变。

(9)横向扩散：由于光刻胶无法承受高温过程，扩散的掩膜都是二氧化硅或氮化硅。

当原子扩散进入硅片，它们向各个方向运动：向硅的内部，横向和重新离开硅片。

假如杂质原子沿硅片表面方向迁移，就发生了横向扩散。

(10)保形覆盖：保形覆盖是指无论衬底表面有什么样的倾斜图形在所有图形的上面都能沉积有相同厚度的薄膜。

二、简述题1、简述两步扩散的含义与目的。

答：为了同时满足对表面浓度、杂质总量以及结深等的要求，实际生产中常采用两步扩散工艺：第一步称为预扩散或预淀积，在较低的温度下，采用恒定表面源扩散方式在硅片表面扩散一层杂质原子，其分布为余误差涵数，目的在于控制扩散杂质总量；第二步称为主扩散或再分布，将表面已沉积杂质的硅片在较高温度下扩散，以控制扩散深度和表面浓度，主扩散的同时也往往进行氧化。

板P试卷1.PECVD 全称＿＿Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition＿，中文意思＿＿＿＿＿等离子体增强的化学气相沉积＿＿＿。

2.板式PECVD所用原辅料有＿SiH4＿、＿NH3＿、＿N2＿＿。

3.开机时，打开CDA（压缩空气）、N2阀门，确定压力在＿5－6bar范围内。

4.开机时，打开冷却水阀门，先开＿＿回水＿＿阀，后开＿进水＿＿＿阀，确定冷却水温度在＿20±2＿＿℃、压差大于等于＿2bar＿＿。

5.当工艺腔压强抽到＿2.0e-2mbar＿＿时才可以开启工艺。

6.进料腔底压抽到小于＿5.0E-2mBbar＿＿＿，漏率抽到小于＿2.6E-3mBar/min＿才合格。

7.工艺腔底压抽到小于＿5.0E-2mBbar＿＿＿，漏率抽到小于＿5.0E-2mBar/min＿＿＿才合格。

8.出料腔底压抽到小于＿5.0E-2mBbar＿＿＿，漏率抽到小于＿2.6E-2mBar/min＿＿＿才合格。

9.上料时，如果硅片表面有切割线痕，保证线痕方向与＿石墨框运动＿方向一致。

10.上料完成后按“进板请求”，机器自动将石墨框送入进料腔并进行镀膜，禁止＿＿＿＿手动推送石墨框＿＿＿＿进料。

11.Roth&Rau PECVD由于保养、卡框、掉片等原因造成需要开腔处理的或长时间停机后开机生产时，在预设的带速下＿先只做一框＿，由当班工艺确认膜厚和折射率正常后才能批量生产。

12.在下料过程中，把片子翻过来看一下硅片镀膜面颜色是否为＿蓝色及均匀＿＿＿。

13.PECVD本道返工主要包括＿色差、氮化硅脱落＿＿等。

14.PECVD前道返工主要包括＿＿线痕、白斑＿＿等。

15.色差片：由于工艺或设备原因造成的＿＿片内膜色不均＿＿。

16.线痕片：由于＿＿制绒＿＿问题，在氮化硅膜上有一条或多条弯曲的＿线状金属线痕＿＿＿＿＿。

17.白斑片：由于＿制绒＿问题，而使局部区域存在＿膜的颜色发白＿＿＿，或镀膜面存在花纹状。

1.名词解释（5小题，每题4分，共20分）1)Chemical Vapor Deposition（CVD）：是指在一定的温度下，利用气态（或将液态或固态的物质转化为气态）的物质，在固体表面上进行化学反应，并生成固态沉积物的一种工艺方法2)温度—用来表示物体冷热程度物理量，它反应了物体内部大量粒子热运动的剧烈程度和粒子热运动平均动能的大小。

温度高的物体——内部粒子热运动烈，粒子热运动平均动能大，反之依然。

3)热量－物体吸收或放出热能的多少。

热量总是从高温物体自发的传向低温物体，就像水从高处→低处；电流从高电位→低电位。

4)导热（热传导）——指温度不同的物体各部分或温度不同的两物体间直接接触时，依靠分子、原子及自由电子等微观粒子热运动而进行的热量传递现象。

5)热对流－流体中（气体或液体）温度不同的各部分之间，由于发生相对的宏观运动而把热量由一处传递到另一处的现象。

6)热辐射(Thermal radiation)－由热运动产生的，以电磁波形式传递能量的现象。

7)黑体：能吸收投入到其表面上的所有热辐射的物体，包括所有方向和所有波长，因此，相同温度下，黑体的吸收能力最强。

8)等温面：同一时刻、温度场中所有温度相同的点连接起来所构成的面。

9)热流密度－单位时间、单位面积上所传递的热量，它具有明确的方向性，其方向与温度相反；10)流体压缩性：在温度不变的情况下，流体的压强增大，体积减小，密度增大的性质。

11)流体膨胀系数：表示流体膨胀性的一个指标。

它是指温度每增加1K，流体的体积或密度的相对变化率12)流量：单位时间内通过过流端面的流体的体积或质量。

13)过流断面:流体运动时,与流体的运动方向垂直的流体横断面，过流端面可能是平面,也可能是曲面。

14)质量传递——物质从高浓度区向低浓度区转移的过程称为质量传递（传输）过程。

或系统内部的物质在浓度梯度、化学位梯度和应力梯度的推动力下，由于质点的热运动而导致定向迁移，从宏观上表现为物质的定向输送，此过程叫做质量传输或扩散。