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质量流量控制器和质量流量计使用说明书1、特点及应用领域质量流量控制器（Mass Flow Controller缩写为MFC）用于对气体的质量流量进行精密测量和控制。
质量流量计（Mass Flow Meter缩写为MFM），用于对气体的质量流量进行精密测量。
S49系列质量流量控制器和质量流量计特点：*采用主体不锈钢（316L）结构，与气体接触部分采用铁素体高耐腐蚀软磁不锈钢、*适用于各种腐蚀性气体*气体流量不因温度、压力的变化而失准*高精度 *重复性好*响应速度快、软启动、稳定可靠*低压降*工作压力范围宽（可以在高压或真空条件下工作）。
*操作使用方便，可任意位置安装*便于与计算机连接实现自动控制。
S49系列质量流量控制器和质量流量计主要应用领域：*半导体制造行业的气体流量控制*分析仪器设备的气体计量与控制*各种形式的真空镀膜设备*环境检测与分析设备*化工、石化、食品行业气体流量监测和控制*特种材料表面处理装置与燃烧控制*混气配气系统和泄漏探测系统等2．S49系列质量流量控制器和质量流量计型号本产品采用中华人民共和国电子行业标准SJ/T10583-94以及SJ37所规定的通用技术条件及命名方法。
其中：S49-33/MT型为高精度质量流量控制器S49-33A/MT型高精度质量流量计。
S49-33M/MT型为普通型质量流量控制器S49-33BM/MT型普通型质量流量计。
质量流量计主要精确测量气体流量，质量流量控制器不但具有质量流量计的功能还具备自动控制气体流量的功能。
执行Q/XCHBY001-2003企业标准3．主要技术指标质量流量计和质量流量控制器出厂通常用氮气（N）标定。
2质量流量的单位规定为: SCCM (标准毫升/分);SLM (标准升/分)标准状态规定为: 温度 --- 273.15K ( 0℃ );气压— 101325 Pa (760mm Hg)F.S (Full Scale): 表示满量程值表1 S49-33/MT型﹑S49-33M/MT型质量流量控制器技术指标表2. S49-33A/MT﹑ S49-33BM/MT型质量流量计技术指标注意： S49系列质量流量控制器，质量流量计分不同的流量范围，供用户选择，也可根据用户提出流量定制。
MFC-UT 系列气体质量流量计HP1:132****2805|HP2:186****5969|********************GAS MASS FLOW METER中国·山东·青岛产品规格书SPECIFICATION安装及使用前请先仔细阅读本规格书规格书中包含《产品保修卡》请保管好请遵守产品规格书里标记的警告和注意事项Datasheet MFC-UT |AUG.17 2021 | Version 1.3产品概述DescriptionM F C -U T 系列质量流量控制器（M a s s Flow Controller）是基于业内先进流量传感器芯片，结合高速数字处理技术和智能补偿算法，所开发的一款紧凑型的气体质量流量控制器产品。
该产品配备有高端电磁比例阀、航空级铝合金气路座、高精度微机电流量芯片等，对比传统的气体流量控制器，本产品采用集成化设计，使得该产品的体积大幅度缩小，可以在小体积、便携式设备中发挥更大优势，更好的适用于空间要求严格的安装场景。
产品应用Applications良好的重复性和再现性配气仪燃烧控制器质谱仪表面处理食品和制药过程控制气体分析仪产品规格Specification尺寸图DimensionDatasheet MFC-UT |AUG.17 2021 | Version 1.3参数说明环境条件电气参数通信接口（RS485）机械参数单位：mm67G 1/8OR G1/87.52618302M446安装尺寸洁净干燥无腐蚀性气体空气、氮气、氩气、二氧化碳、氦气、氢气、甲烷、氧气等(0～20, 50, 100, 200, 500) SCCM (0～1, 2, 3, 5) SLM读数误差的1%或满量程误差的0.8%，二者取最大值最低0.01SCCM ≤0.7S ±0.2%F .S ±0.5%F .S1×10 Pa·m /sec He -11310bar0~50℃10%~90%RH （无结冰，无凝露）0~1MPa -20~85℃介质要求介质种类量 程精 度分辨率响应时间重复精度线 性漏 率最大耐压工作温度工作湿度工作压力储存温度协 议设备地址最大节点数接头类型主体材质密封材质重 量供电电压功 耗启动时间预热时间接口类型通信速率RS485（默认Modbus-RTU ，可定制私有协议）1(默认)-250(可通过指令或者上位机修改)250卡套：8mm、12mm、 3/8 inch ，快插：6mm ，8mm ，其它可选底座：航空铝合金，外壳：碳钢FKM氟橡胶0.35kgDC24V ， 纹波 ≤50mV ＜2.4W ＜1s ＜10ms RJ45接口4800, 9600(默认), 14400, 19200, 38400, 56000, 57600, 115200,128000,230400, 256000, 460800, 500000（可通过指令或者上位机修改）Datasheet MFC-UT |AUG.17 2021 | Version 1.3产品选型Product choosing安全及保修Safety And Warranty产品用于有害气体或爆炸性气体时，须严格按照产品使用说明或咨询公司技术人员。
气体质量流量控制器 MFC 流量传感器产品名称气体质量流量控制器 MFC 流量传感器公司名称北京堀场汇博隆精密仪器有限公司价格8000.00/个规格参数建议零售价:¥8000.00加工定制:否品牌:HORIBAMETRON/堀场汇博隆公司地址北京市朝阳区北苑路40号23号、25号联系电话010-******** 130********产品详情提示：以下模板中任意文字及图片均可执行修改、复制、删除的操作，添加更多的图片和文字描述有助于增加产品对买家的吸引力。
产品介绍产品信息重量： 2.8kg毛重： 2.8kg 产地： 北京堀场汇博隆精密仪器有限公司流量规格流量规格： （100,150,200)l/min 调节阀类型：电磁调节阀 调节阀静止状态： 常闭 准确度： ± 1.0%f.s. 线性： ±0.5%f.s.重复性精度： ±0.2%f.s.响应时间：2s（t98）产品性能简介企业介绍北京堀场汇博隆精密仪器有限公司是一支由中方经营管理，中日双方共同协作的国际化团队，是由全球顶级热式质量流量控制器（mfc）制造商——horiba stec与中国知名热式质量流量控制器(mfc)制造商——北京汇博隆仪器有限公司共同出资成立，是以研发、生产、销售热式质量流量控制器为主业的高新技术企业。
公司经营层和整个国际化团队坚持"群策群力，持续发展，立足国内，走向世界"的企业总体发展方向。
力循"中外结合，品质为本"的经营理念，努力在人才、技术、生产、工艺、质量、市场、服务等各个方面引入和完善现代企业经营管理机制，以适应全球经济一体化的市场竞争，为加速我国相关产业的不断发展贡献一份力量。
企业证书购买须知1、货源说明厂家一手货源，公司生产周期短、产品品质有保证2、关于尺码与使用手册里尺寸一致，以收到实物为准3、关于颜色本店产品均为实物拍摄， 与实物平铺图最为接近，收到实物与图片颜色不一致的，可能与电脑显示器的色彩对比度和色温等因素有关4、关于客服如您的提问未能及时回复，可能是因为咨询量过大或系统故障5、关于售后6、关于发货合作快递 中通、德邦本产品的建议零售价是¥8000.00，加工定制是否，品牌是HORIBAMETRON/堀场汇博隆，型号是S4828，类型是质量流量计，测量范围是12（m3/h），精度等级是1.0%，适用介质是气体，工作压力是3（MPa ），工作温度是5~45（℃），产品属性是仪器仪表。
质量流量计（MFC）原理及如何来选择使用首先什么是质量流量计（MFC）?质量流量计，即Mass Flow Meter（缩写为MFM），是一种精确测量气体流量的仪表，其测量值不因温度或压力的波动而失准，不需要温度压力补偿。
质量流量控制器，即Mass Flow Controller（缩写为MFC），不但具有质量流量计的功能，更重要的是，它能自动控制气体流量，即用户可根据需要进行流量设定，MFC自动地将流量恒定在设定值上，即使系统压力有波动或环境温度有变化，也不会使其偏离设定值。
简单地说，质量流量控制器就是一个稳流装置，是一个可以手动设定或与计算机联接自动控制的气体稳流装置。
质量流量计/质量流量控制器的主要优点是什么？（1）流量的测量和控制不因温度或压力的波动而失准。
对于多数流量测控系统而言，很难避免系统的压力波动及环境和介质的温度变化。
对于普通的流量计，压力及温度的波动将导致较大的误差；对于质量流量计/质量流量控制器，则一般可以忽略不计。
（2）测量控制的自动化质量流量计/质量流量控制器可以将流量测量值以输出标准电信号输出。
这样很容易实现对流量的数字显示﹑累积流量自动计量﹑数据自动记录﹑计算机管理等。
对质量流量控制器而言，还可以实现流量的自动控制。
通常，模拟的MFC/MFM输入输出信号为0～+5V或4～20mA，数字式MFC/MFM还配有RS232或RS485数字串行通讯口，能非常方便地与计算机连接，进行自动控制。
（3）精确地定量控制流量质量流量控制器可以精确地控制气体的给定量，这对很多工艺过程的流量控制﹑对于不同气体的比例控制等特别有用。
（4）适用范围宽，有很宽的工作压力范围，我们的产品可以从真空直到10MPa；可以适用于多种气体介质（包括一些腐蚀性气体，如HCL）；有很宽的流量范围，我们的产品最小流量范围可达0～5 sccm，最大流量范围可达0～200 slm。
流量显示的分辨率可达满量程的0.1%，流量控制范围是满量程的2～100% （量程比为-- 50:1），因此在很多领域得到广泛应用。
【Alicat】如何挑选一款趁手的MFC质量流量控制器的选型，也是一门学问，接下来，我们聊聊如何像孙悟空选金箍棒一样挑选MFC。
01工作原理Alicat层流压差式质量流量计与高可调比的电磁比例阀结合，再配合高效率的PID控制算法，组成气体质量流量控制-反馈回路，实现气体质量流量的监控，这就是Alicat MFC的工作原理。
除了质量流量控制模式，Alicat MFC还可以切换到体积流量控制器模式，压力（绝压或表压）控制模式，在对应的控制模式下可以实现不同参数变量的控制。
敲黑板：层流差压式曾是我们Alicat的发明专利呦！02主要特点Alicat 质量流量控制器具有以下特点：1.响应快：最快可达到100ms响应，响应时间与实际工况和PID参数设置有关，可通过调节PID值改变响应速度和流量稳定性。
2.无需预热：上电即可使用，节省了预热等待时间。
3.多参数测量/控制：内置温度、压力传感器，可同时显示气体压力、温度、质量流量、体积流量等多种参数，可选择控制质量流量、体积流量或压力。
如果选配了累计流量功能，还可以控制批量气体累计流量。
4.背光液晶屏：具有单色或彩色液晶屏，带屏幕背光灯，可以更直观的查看实时数据，方便读数和调试。
5.支持上百种气体：内置100多种气体的校准数据，切换气体模式后即可测量/控制不同气体，无需换算或重新校准。
6.通讯和操作模式：有多种数字通讯和模拟信号模式可供选择，以便采集和记录数据，也有面板按键可手动操作调试。
7.精度：普通精度为±（0.8%读数+0.2%量程）；高精度为±（0.4%读数+0.2%量程）。
8.量程：量程范围宽，可定制。
常规流量计最小量程为0-0.5SCCM，最大量程为0-5000SLPM。
量程比200:1。
03型号系列Alicat质量流量控制器有多种不同系列，以满足不同客户和应用的需求。
04产品应用1. 气体混合、稀释，标准气体发生器流量控制。
常用型号：MC, MCR, MCS, Basis。
Bronkhorst High-Tech B.V. manufactures the largest variety of
thermal Mass Flow Meters and Controllers for gases and liquids available on the market. In this leaflet Bronkhorst present their
latest development, the “MASS-FLOW Select
“ Series of Digital Mass Flow Meters and Controllers for Gases. These new instru-ments offer greater flexibility for user selection of both flow
ranges and gas types whilst maintaining their high accuracy with turndown ranges for measurement and control up to 187,5 to 1 !As a result of the new feature, Original Equipment Manufacturers are able to drastically reduce the variety of spare instruments they keep on stock and thus reduce the cost of ownership. Users of MFC’s in pilot plants or laboratories can rescale their instruments on site, saving time and money; substantial costs for mounting and dismounting and also for service and recalibration are no longer
applicable! For the convenience of the user, Bronkhorst High-Tech has developed a free and easy-to-use software tool called
“FlowTune”. By hooking up the instrument to the RS232 port of a lap-top and running this freeware configuration tool, the selection of different gas types and flow ranges is as simple as 1, 2, 3.The instruments with the new “MASS-FLOW Select ” features, covering flow ranges from 0…0,7 ml n /min up to 0…1670 l n /min, are available in two configurations. The EL-FLOW Select series have a housing designed for laboratory and clean processing conditions, the IN-FLOW Select series are of rugged design according to IP65 (dust- and waterproof). The latter are also ATEX Category 3, approved for use in Zone 2
hazardous areas. In addition to the standard analog I/O-signals and the RS232 connection, there is the possibility of integrating an interface board with DeviceNet TM , Profibus-DP ®, Modbus or FLOW-BUS protocol.
> Multi Gas / Multi Range features
u M easurement and control of gas flow ranges from 0-0,7 ml n /min
up to 0-1670 l n /min covered with one product line u R angeability up to 187,5 : 1u F lexible, user-programmable ranges and gas types u S torage of max. 8 calibration curves u F ree, easy-to-use configuration software u M ulti Gas / Multi Range functionality up to 10 bar; pressure rating up to 100 bar u H igh accuracy and repeatability u O n request, very fast measuring and response times (msec)u A nalog or digital: RS232, DeviceNet TM , Profibus-DP ®, Modbus-RTU, FLOW-BUS
Select
> Model numbers and Air flow ranges
(valid for operating conditions from 0.8 to 10 bar abs and 0 to 70°C)IN-FLOW Select Mass Flow Meter model F-112AI
EL-FLOW Select Mass Flow Controller model F-201CV
> Minimum/Maximum flow ranges for other gases
(valid for operating conditions from 0.8 to 10 bar abs and 0 to 70°C)
> Notes
u Multi Gas / Multi Range is optional on the Select series and must be requested at the point of ordering
u Extended rangeability for digital communication only; turndown 50:1 when using analog I/O options
u T he selected orifice of the control valve may limit the rangeability
u S tandard accuracy (based on actual calibration): ±(0,5% RD + 0,1% FS);
ranges from 0-5 to 0-10 ml n/min: ±1% FS; ranges ≤ 0-5 ml n/min: ±2% FS
u M aximum range for gases not mentioned in this list; rule of thumb: nominal range for Air x Conversion Factor;
e.g. F-111B - 1K0: maximum range for SF6 = 1000 x 0.27 = 270 ml n/min
u M inimum range for gases not mentioned in this list; rule of thumb: minimum range for Air x Conversion Factor;
e.g. F-111B - 1K0: minimum range for SF6 = 400 x 0.27 = 108 ml n/min
u T he Conversion Factors for these calculations can be extracted from Fluidat on the Net (): Go to ‘Flow calculations’ and select “Gas Conversion factor’. Select ‘Fluid from’ and make sure ‘Fluid to’ is Air. Select the applicable instrument model from the pulldown menu. Then press ‘Calculate’ and look up the conversion factor from the table.
Nijverheidsstraat 1a, NL-7261 AK Ruurlo Netherlands
T +31(0)573 45 88 00 F +31(0)573 45 88 08 I E info@
E .M
F S .0110.F ©B H T 2010-001
Improved thermal mass flow sensor enables very fast response
Patented laminar flow devices in nominal flow ranges
Cavity suitable for standard RS-connections according to ISO 1179-4
Select。
