集成电路基础工艺和版图设计测试试卷
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专升本《集成电路版图设计》一、(共75题,共150分)1. 单词“LAYOUT”的含义是:()。
(2分)A.版图B.电路C.输出.标准答案:A2. 集成电阻通常由扩散或者淀积层形成,通常可以用厚度一定的薄膜作为模型,因此习惯上把电阻率和厚度合成一个单位,称为()。
(2分)A.方块电阻B.电阻C.半导体电阻.标准答案:A3. 由于其较小的方块电阻,发射区是唯一适合于制作较小电阻(0.5~100)的区域。
对于发射区电阻可以忽略()和电导调制效应。
(2分)A.电流调制B.电压调制C.电荷调制.标准答案:B4. 在模拟BiCMOS工艺中,发射区电阻可以直接置入()外延层内;(2分)A.P型B.N型C.P型或N型.标准答案:A5. 电容的标准单位是()。
(2分)A.法拉B.伏特C.安培.标准答案:A6. CMOS工艺中的多晶硅-多晶硅电容,()可以用作多晶硅-多晶硅电容的下电极。
(2分)A.电阻多晶硅B.电容多晶硅C.多晶硅栅.标准答案:C7. 单位面积电容与相对介电常数即电介质常数成()。
(2分)A.反比B.正比C.无关.标准答案:B8. 流过导体的电流会在导体周围产生()。
(2分)A.电场B.磁场C.电磁场.标准答案:B9. 发射结和集电结的击穿决定了一个双极型晶体管的()工作电压。
重要的三种击穿电压为VEBO,VCBO,VCEO等。
(2分)A.最大 B.最小 C.任意.标准答案:A10. 发射极开路时集电极的击穿电压表示为VCBO,绝大多数晶体管的集电区和基区都是()的,所以VCBO通常很大。
(2分)A.重掺杂B.不掺杂C.轻掺杂.标准答案:C11. 二极管连接形式的晶体管可以作为一个很方便的基准()源。
(2分)A.电压B.电流C.电压或电流.标准答案:A12. 使用P型外延层,必须加入深的轻掺杂()型扩散区用于制作PMOS晶体管。
(2分)A.NB.PC.N或P.标准答案:A13. MOS晶体管是一种()控制器件。
集成电路技术集成电路工艺原理试卷(练习题库)1、用来做芯片的高纯硅被称为(),英文简称(),有时也被称为()。
2、单晶硅生长常用()和()两种生长方式,生长后的单晶硅被称为()。
3、晶圆的英文是(),其常用的材料是()和()。
4、晶圆制备的九个工艺步骤分别是()、整型、()、磨片倒角、刻蚀、()、清洗、检查和包装。
5、从半导体制造来讲,晶圆中用的最广的晶体平面的密勒符号是()、O 和()。
6、CZ直拉法生长单晶硅是把()变为()并且()的固体硅锭。
7、CZ直拉法的目的是()。
8、影响CZ直拉法的两个主要参数是O和()。
9、晶圆制备中的整型处理包括()、()和()。
10、制备半导体级硅的过程:1、();2、();3、O011、热氧化工艺的基本传输到芯片的不同部分。
77、多层金属化指用来连接硅片上高密度堆积器件的那些金属层。
78、阻挡层金属是淀积金属或金属塞,其作用是增加上下层材料的附着。
79、关键层是指那些线条宽度被刻蚀为器件特征尺寸的金属层。
80、传统互连金属线的材料是铝,即将取代它的金属材料是铜。
81、溅射是个化学过程,而非物理过程。
82、表面起伏的硅片进行平坦化处理,主要采用将低处填平的方法。
83、化学机械平坦化,简称CMP,它是一种表面全局平坦化技术。
84、平滑是一种平坦化类型,它只能使台阶角度圆滑和侧壁倾斜,但高度没有显著变化。
85、反刻是一种传统的平坦化技术,它能够实现全局平坦化。
86、电机电流终点检测不适合用作层间介质的化学机械平坦化。
87、在CMP为零的转换器。
133、CD是指硅片上的最小特征尺寸。
134、集成电路制造就是在硅片上执行一系列复杂的化学或者物理操作。
简而言之,这些操作可以分为四大基本类:薄膜135、人员持续不断地进出净化间,是净化间沾污的最大来源。
136、硅片制造厂可分为六个的区域,各个区域的照明都采用同一种光源以达到标准化。
137、世界上第一块集成电路是用硅半导体材料作为衬底制造的。
第1篇引言:集成电路(IC)设计是一项复杂而精细的工作,要求设计者具备深厚的理论知识、丰富的实践经验以及出色的逻辑思维能力。
为了帮助您了解自己在IC设计领域的智力水平,我们特别设计了以下智力测试题。
请您认真作答,完成后可对自己的设计能力有一个初步的认识。
第一部分:基础知识1. 选择题- 下列哪个选项不是IC设计中所使用的制造工艺?A. CMOSB. TTLC. ECLD. LED2. 填空题- 在IC设计中,版图(Layout)是电路的__________,而原理图(Schematic)则是电路的__________。
3. 简答题- 简述CMOS工艺的基本原理。
第二部分:逻辑分析与设计1. 选择题- 下列哪个电路可以实现逻辑与功能?A. OR门B. AND门C. NOT门D. XOR门- 在组合逻辑电路中,如果某一输入变量经过不同途径传输后,到达电路中某一汇合点的时间有先有后,这种现象称为__________。
3. 简答题- 解释竞争与冒险现象,并说明如何消除它们。
第三部分:版图设计1. 选择题- 下列哪个工具常用于IC版图设计?A. Altium DesignerB. CadenceC. OrCADD. Pro/ENGINEER2. 填空题- 在版图设计中,为了防止寄生效应,通常需要将__________与__________保持一定的距离。
3. 简答题- 简述版图设计中的规则检查(DRC)和设计规则约束(DRC)。
第四部分:IC制造1. 选择题- 下列哪个步骤是IC制造过程中的关键步骤?A. 光刻B. 化学气相沉积C. 离子注入D. 刻蚀- 在IC制造中,__________是将电路图形转移到硅片上的关键步骤。
3. 简答题- 简述IC制造过程中可能遇到的问题及解决方法。
第五部分:模拟IC设计1. 选择题- 下列哪个电路属于模拟电路?A. 741运算放大器B. 555定时器C. 74LS00D. 74HC002. 填空题- 在模拟IC设计中,__________是放大信号的关键元件。
集成电路设计基础 2010-11年第一学期试题⼀一.填空题(20分)1、目前,国内已引进了12英寸0.09um芯片生产线,由此工艺线生产出来的集成电路特征尺寸是0.009um (大小),指的是右图中的 W (字母)。
2、CMOS工艺可分为 p阱 、 n阱 、 双阱 三种。
在CMOS工艺中,N阱里形成的晶体管是 p (PMOS,NMOS)。
3、通常情况下,在IC中各晶体管之间是由 场氧 来隔离的;该区域的形成用到的制造工艺是 氧化 工艺。
4.集成电路制造过程中,把掩膜上的图形转换成晶圆上器件结构一道工序是指 光刻 ,包括 晶圆涂光刻胶 、 曝光 、 显影 、 烘干 四个步骤;其中曝光方式包括 ① 接触式 、②非接触式 两种。
5、阈值电压V T是指 将栅极下面的si表面从P型Si变成N型Si所必要的电压,根据阈值电压的不同,常把MOS区间分成 耗尽型 、 增强型 两种。
降低V T的措施包括: 降低杂质浓度 、 增大Cox 两种。
二、名词解释(每词4分,共20分)①多项目晶圆(MPW)②摩尔定律③掩膜④光刻⑤外延三、说明(每题5分共10分)① 说明版图与电路图的关系。
② 说明设计规则与工艺制造的关系。
四、简答与分析题(10分)1、数字集成电路设计划分为三个综合阶段,高级综合,逻辑综合,物理综合;解释这三个综合阶段的任务是什么?2、分析MOSFET尺寸能够缩小的原因。
五、综合题(共4小题,40分)1.在版图的几何设计规则中,主要包括各层的最小宽度、层与层之间的最小间距、各层之间的最小交叠。
把下图中描述的与多晶硅层描述的有关规则进行分类: (1)属于最小宽度是: (2)属于层与层之间的最小间距的是: (3)属于各层之间的最小交叠是:2.请提取出下图所代表的电路原理图。
画出用MOSFET构成的电路。
图2 图3 图 4 3、图4是一个标准的CMOS 反相器电路,V TN 和V TP 分别为NMOS 、PMOS晶体管的阈值电压,讨论PMOS 和NMOS 晶体管导通和截至的条件。
集成电路版图设计考试题⽬1、集成电路版图设计师共设 4 个等级,分别是__版图设计员__、__助理版图设计师__、__版图设计师__、__⾼级版图设计师__。
2、元素周期表中⼀些元素(如硅锗)的电学特性介于⾦属与⾮⾦属之间,叫__半导体__。
3、标准双极⼯艺基区⽅块电阻的典型范围为__100 ~ 200 ?/□__。
4、发射区电阻必须置于适合的隔离岛中,通常的做法是发射区电阻制作在基区扩散内,基区扩散⼜制作在⼀个__N阱__内。
5、在零偏压下,这种电容能提供较⼤的单位⾯积电容(典型值为 0.8fF/um2),但这种电容会随着反偏电压的增⼤⽽逐渐__减⼩__。
6、使⽤⾼介电常数的电介质,利⽤相对较⼩的区域制作__⼤电容器__。
7、结电容通常作在隔离岛内,隔离岛必须制作接触以确保集电结__反偏__,该接触也是的集电结和发射结并联,从⽽增⼤了总电容。
8、品质因数的⼀般性原则寄⽣效应越⼩,Q__越⼤__。
9、集电极开路时发射结击穿电压表⽰为 VEBO。
对于标准双极型⼯艺制造的 NPN晶体管,VEBO⼤约 __7V__左右。
10、当 NPN 晶体管的发射结和集电结都处于正偏时就会进⼊__饱和⼯作__状态。
11、发射结齐纳⼆极管的发射区通常为圆形或椭圆形。
采⽤圆形是为了防⽌发射区拐⾓处的__电场增强__。
12、使⽤N型外延层,必须加⼊深的轻掺杂P型扩散区⽤于制作 __NMOS___ 晶体管13、MOS晶体管是__4__端器件。
14、器件的⼏何图形加⼯精确的介质物理学对图像的⼤⼩和__层次__15、集成电路版图设计步骤:__线路图__、___版图__、__DRC__、__LVS__16、LayOut的含义是指:___版图__17、集成电阻通常由扩散或者沉淀层形成,通常可以⽤厚层⼀定的薄膜作为模型,因此习惯上把电阻率和厚度合成⼀个单位,称为__⽅块电阻__。
18、由于其较⼩的⽅块电阻,发射区是唯⼀适合于制作较⼩电阻(0.5 ~ 100?)的区域。
IC设计基础(流程、工艺、版图、器件)笔试集锦1、我们公司的产品是集成电路,请描述一下你对集成电路的认识,列举一些与集成电路相关的内容(如讲清楚模拟、数字、双极型、CMOS、MCU、RISC、CISC、DSP、ASIC、FPGA等的概念)。
(仕兰微面试题目)什么是MCU?MCU(Micro Controller Unit),又称单片微型计算机(Single Chip Microcomputer),简称单片机,是指随着大规模集成电路的出现及其发展,将计算机的CPU、RAM、ROM、定时数器和多种I/O接口集成在一片芯片上,形成芯片级的计算机。
MCU的分类MCU按其存储器类型可分为MASK(掩模)ROM、OTP(一次性可编程)ROM、FLASH ROM等类型。
MASK ROM的MCU 价格便宜,但程序在出厂时已经固化,适合程序固定不变的应用场合;FALSH ROM的MCU程序可以反复擦写,灵活性很强,但价格较高,适合对价格不敏感的应用场合或做开发用途;OTP ROM的MCU价格介于前两者之间,同时又拥有一次性可编程能力,适合既要求一定灵活性,又要求低成本的应用场合,尤其是功能不断翻新、需要迅速量产的电子产品。
RISC为Reduced Instruction Set Computing的缩写,中文翻译为精简执令运算集,好处是 CPU核心很容易就能提升效能且消耗功率低,但程式撰写较为复杂;常见的RISC处理器如 Mac的Power PC系列。
CISC就是Complex Instruction Set Computing的缩写,中文翻译为复杂指令运算集,它只是 CPU分类的一种,好处是CPU所提供能用的指令较多、程式撰写容易,常见80X86相容的CPU即是此类。
DSP有两个意思,既可以指数字信号处理这门理论,此时它是Digital Signal Processing的缩写;也可以是Digital Signal Processor的缩写,表示数字信号处理器,有时也缩写为DSPs,以示与理论的区别。
集成电路基础工艺和版图设计测试试卷
(考试时间:60分钟,总分100分)
第一部分、填空题(共30分。
每空2分)
1、NMOS是利用电子来传输电信号的金属半导体;PMOS是利用空穴来传输电信号的金属半导体。
2、集成电路即“IC”,俗称芯片,按功能不同可分为数字集成电路和模拟集成电路,按导电类型不同可分为
双极型集成电路和单极型集成电路,前者频率特性好,但功耗较大,而且制作工艺复杂,不利于大规模集成;后者工作速度低,但是输入阻抗高、功耗小、制作工艺简单、易于大规模集成。
3、金属(metal)—氧化物(oxid)—半导体(semiconductor)场效应晶体管即MOS管,是一个四端有源器件,其四端分别是栅
极、源极、漏极、背栅。
4、集成电路设计分为全定制设计方法和半定制设计方法,其中全定制设计方法又分为基于门阵列和标准单元
的设计方法,芯片利用率最低的是基于门阵列的设计方法。
第二部分、不定项选择题(共45分。
每题3分,多选,错选不得分,少选得1分)
1、在CMOS集成电路中,以下属于常用电容类型的有(ABCD)
A、MOS电容
B、双层多晶硅电容
C、金属多晶硅电容
D、金属—金属电容
2、在CMOS集成电路中,以下属于常用电阻类型的有(ABCD)
A、源漏扩散电阻
B、阱扩散电阻
C、沟道电阻
D、多晶硅电阻
3、以下属于无源器件的是(CD )
A、MOS晶体管
B、BJT晶体管
C、POL Y电阻
D、MIM电容
4、与芯片成本相关的是(ABC)
A、晶圆上功能完好的芯片数
B、晶圆成本
C、芯片的成品率
D、以上都不是
5、通孔的作用是(AB )
A、连接相邻的不同金属层
B、使跳线成为可能
C、连接第一层金属和有源区
D、连接第一层金属和衬底
6、IC版图的可靠性设计主要体现在(ABC)等方面,避免器件出现毁灭性失效而影响良率。
A、天线效应
B、闩锁(Latch up)
C、ESD(静电泄放)保护
D、工艺角(process corner)分析
7、减小晶体管尺寸可以有效提高数字集成电路的性能,其原因是(AB)
A、寄生电容减小,增加开关速度
B、门延时和功耗乘积减小
C、高阶物理效应减少
D、门翻转电流减小
8、一般在版图设计中可能要对电源线等非常宽的金属线进行宽金属开槽,主要是抑制热效应对芯片的损害。
下面哪些做法符合宽金属开槽的基本规则?(ABCD)
A、开槽的拐角处呈45度角,减轻大电流密度导致的压力
B、把很宽的金属线分成几个宽度小于规则最小宽度的金属线
C、开槽的放置应该总是与电流的方向一致
D、在拐角、T型结构和电源PAD区域开槽之前要分析电流流向
9、以下版图的图层中与工艺制造中出现的外延层可能直接相接触的是(AB)。
A、AA(active area)
B、NW(N-Well)
C、POLY
D、METAL1
10、以下内容哪些被包含在设计规则检查中?(ABD)
A、宽度规则
B、间距规则
C、时序约束
D、交叠规则
11、属于PAD单元组成部分的是(ABC)。
A、ESD保护结构
B、绑定金属线所需的可靠连接区域
C、与PAD功能相关的逻辑电路,如输入/输出缓冲
D、片上存储单元
12、实际的MOS晶体管存在一些二阶效应,以下属于二阶效应的是(ABCD)。
A、阈值变化(受沟道长度影响,受源漏电压影响等)
B、热载流子效应
C、体效应
D、沟道长度调制效应
13、模拟差分对由于不匹配会存在一定的输入失调(offset),这主要由于(AB)的原因。
A、晶体管阈值电压存在偏差
B、晶体管的形状在制造上存在随机偏差
C、版图设计者的失误
D、制造过程中栅氧局部击穿
14、常见的CMOS工艺中,MOS晶体管的栅极采用多晶硅作为电极材料,下面关于多晶硅的表述正确的是(ABC)
A、多晶硅能承受源/漏参杂和退火时所需的高温
B、掺磷的多晶硅能够固定离子污染物
C、使用多晶硅可以更好的控制MOS晶体管的门限电压
D、可多用来制作PN结
15、以下哪些做法有利于提高MOS晶体管的匹配度(AD)。
A、采用相同的几何形状,摆放紧凑
B、采用比较小的有源区
C、采用较大的过驱动电压来保持电压匹配
D、尽量将晶体管采用共质心版图
第三部分、简答题(共15分。
每题5分)
1、根据你的理解,请用1~5标出IC设计流程的先后顺序
系统设计(1)版图设计(4)逻辑设计(2)版图后仿真(5)电路设计(3)
2、如果一条给定CMOS的工艺线有如下的层次,请按各层次在工艺制造过程中的先后顺序排列他们。
POL Y1 N_WELL DIFF N+(NPLUS) PAD P+(PPLUS) METAL1 CONTACT(CONT) VIA METAL2 顺序:N_WELL—DIFF—POL Y1—N+(NPLUS)或P+(PPLUS)—CONTACT(CONT)—METAL1—VIA—METAL2—PAD
3、请解释如下design rule 语句的含义。
Minimum DIFFUSION width for interconnect 0.5um
解释:用于连线的DIFFUSION层的最小宽度为0.5um.
Minimum N_WELL to P+ DIFFUSION spacing 1.0um
解释:N_WELL 层到P+ DIFFUSION 层的最小间距为 1.0um.
第四部分、分析题(共10分)
1、从下图分析Latch up现象产生机理,并指出在版图设计中如何抑制该现象的产生。
如何抑制该现象的产生:
尽量减小Rn 和Rp 两个电阻的大小,在版图上表现为在电源和地线上尽量多打tub_ties的孔。
尽量拉大nmos管与pmos管的间距。