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碳化硅质量控制及检验标准

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1 一、 原材料质量控制

1.1原材料名称

绿碳化硅段砂

1.2原材料性能指标

GC 料源青海

绿碳化硅段砂 物理指标 化学指标

D3 < 15 um, D50

< 9.0-9.8 um , D94 >

5.0 um SiC ≥ 98.50%,

F.c ≤ 0.6%, Fe2O3

≤ 0.6%

1.3物理指标执行标准为98标准和日本标准

GB/T2481.2—1998

日标JISR—6001

化学指标执行标准为根据GB/T3045—2003标准进行检验 ①C游的测定——灼烧减量法。

要点 试样在650℃高温下灼烧，其表面的C游被氧化成CO2，失去的重量，即为C游的质量。

②SiC的测定——表面介质法。

要点 试样经HF—H2SO4—HNO3加热处理，Si游和SiO2生成挥发性的SiF4逸出，残渣以热盐酸浸取，使其表面杂质铁溶解于其中，过滤、洗涤，残渣经灼烧后即为SiC含量，温度控制在750℃.

③Fe2O3的测定——络合滴定法

要点 在PH值1.5—2.0酸性溶液中Fe3+与磺基水杨酸根(SSal2- )作用生成紫红色络合物.

Fe3+＋3SSal2- ←→ [Fe(SSal)3]3-

但此络合物不及EDTA与Fe3+形成的络合物稳定

Fe3+＋H2γ2– → Feγ–＋2H+

用EDTA标准溶液滴定时，磺基水杨酸中的Fe3+被EDTA所夺取，游离出磺基水杨酸， 紫红色褪去，溶液呈黄色或无色。 2 [Fe(SSal)3]3-＋H2γ2– → Feγ–＋3SSal2-＋2H+

以此表示终点，求出试样中Fe2O3的含量。

二、酸洗工序质量控制

除碳至每罐无碳为止，F.c＜0.18%

然后除铁 Fe2O3＜0.20% 为合格

三、溢流工序质量控制

3.1检验项目

溢流分级 粒度组成

① 溢流分级

目前我公司产品分为

GC#6000 GC#4000 GC#3000 GC#2500 GC#2000 GC#1500

GC#1200 GC#1000 GC#800

(共9个号段)

其原理是不同粒径的微粉颗粒的沉降速度不同。即通过调整给水速度，改变微粉的下沉速度，给水的速度超过微粉下降的速度，微粉就从分流槽流出，微粉颗粒越大下降速度越快，颗粒越小下降速度越慢。在一定时间内持续稳定给水，使水位形成一定的上升速度，当水位上升速度大于微粉颗粒的沉降速度，这部分颗粒从溢流槽溢出，检测工通过显微镜观察，根据日标进行分级。分级标准如下：

料 号 日 本 标 准 换号标准 流 量

D0 D3 D50 D94 UM L/H

6000-0 ﹥1.3 40-60

#6000 ﹤8.0

(﹤3.2) ﹤5.0

(﹤2.0) 1.6-2.4

(0.6-1.0) ﹥0.8 2.3-2.4

(0.9-1.0) 60-80

#4000 ﹤10 ﹤8.0 2.6-3.4 ﹥1.3 3.3-3.4 120-160 3 (﹤4.4) (﹤3.2) (1.0-1.4) (1.3-1.4)

#3000 ﹤13

(﹤5.2) ﹤11

(﹤4.4) 3.5-4.5

(1.4-1.8) ﹥2.0 4.4-4.5

(1.8) 200-300

#2500 ﹤16

(﹤6.4) ﹤14

(﹤5.6) 5.0-6.0

(2.0-2.4) ﹥3.0 5.8-6.0

(2.3-2.4) 360-460

#2000 ﹤19

(﹤7.6) ﹤17

(﹤6.8) 6.1-7.3

(2.4-2.9) ﹥4.0 6.8-7.0

(2.7-2.8) 500-600

料 号 日 本 标 准 换号标准 流 量

D0 D3 D50 D94 UM L/H

2000-0 ＞5.5

＞2.2 160-260

#2000 ＜19

7.6 ＜17

6.8 6.1-7.3

（2.4-2.9） ＞4.0

1.6 6.8-7.1

2.8 300-360

#1500 ＜23

9.2 ＜20

8.0 7.4-8.6

（3.0-3.4） ＞4.5

1.8 8.6-8.7

3.5 400-600

#1200 ＜27

10.8 ＜23

9.2 8.7-10.3

（3.5-4.1） ＞5.5

2.2 11.2-11.3

4.6 700-1100

#1000 ＜32

12.8 ＜27

10.8 10.5-12.5

（4.2-5.0） ＞7.0

2.8 12.5-12.6

5.0 1200-1400

#800 ＜38

15.2 ＜31

12.4 13.0-15.0

（5.4-6.0） ＞9.0

3.6 16.6-16.8

6.7

3.2检验规程根据溢流制定操作规程

① 工作前佩戴好劳动保护用品，认真核对记录与流量及溢流管料号是否相符进行交接班。

② 严格按照质检中心下发的流量标准范围及颗粒检测标准进行检 4 测，调整流量并立刻记录。

③ 打料时仔细开启打料管路阀门，并检查是否正确。在检测酸洗送样合格后通知酸洗人员开始打料。打完料后，开启大流量加水至内流槽7.5—10 cm处，恢复正常流量并清理内流槽及下料管路，开始溢流后做好打料记录并有可追溯性。

④ 工作过程中要经常检查所过粒度号的浓度，粒度粗细及大粒情况。流量计要做到每十五分钟检查一次，调节流量时开启阀门一定要缓慢进行。

⑤ 开始换号时要先移料号管再调节流量，以防插错管。

⑥ 停罐后要保持小流量，一小时内放尾渣，并及时用海绵回收落地砂，不能用水冲。

⑦ 工作期间应观察管路及罐体有无破损、渗漏现象，如发现及时报告。

⑧工作期间严禁打闹串岗等与工作无关事项。

3.3工作要求

1、在主任及班长的领导下，认真完成本班生产任务。

2、必须严格遵守公司的各项规章制度。严格执行本岗位的操作规程，不得随意工艺参数，必须严格遵守各项生产技术要求，确保生产的产量和质量。

3、必须详细、准确、清晰的做好生产操作记录、交接班记录。

4、对在岗位所属区域卫生和设备负责，确保工作环境的清洁和设备的安全保养、维护、检修及正确使用。

四、沉降工序质量控制

4.1取样

对沉降生产的半成品，由质检员每天抽取样品进行检测，并做好检测记录，用显微镜检测有无大粒情况。依据日标JISR—6001以没有超过D0点的颗粒为合格。

4.2对各项检测结果所做的记录至少保存半年。 5 五、筛松工序质量控制

5.1由质检员负责对筛松工序筛出的成品进行随机抽取将每10袋产品抽取的样品进行检测及淘检，并保留此样品作为备份，将此样品保留一年。

5.2检验方法

①化学成分按GB/T3045—2003的规定进行检验。

② 淘检 按公司的规定进行检验。

③ 粒度组成按日标JISR—6001日本标准进行检验。

六、包装物

6.1包装物应经检验，符合标准才能使用。

6.2包装物储存场所应清洁干燥，相对湿度≤75%，温度≤40℃

6.3产品包装

①包装前应清理包装物

②包装的产品必须与包装标识、装箱单等技术条件一致

③包装标识

产品标识

重量标识

发出产品由公司市场部下发发货单据，由成品库保管员清点发货数量，及相关手续。

山东盛华光伏材料有限公司

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碳化硅质量控制及检验标准

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引言

碳化硅是一种常用的合成材料，具有高温稳定性、耐腐蚀性和硬度高等优点，因此在多个领域有广泛的应用。为了确保碳化硅产品的质量，需要进行有效的质量控制和检验。本文将介绍碳化硅质量控制的重要性，以及常用的检验标准。

一、碳化硅质量控制的重要性

1.产品稳定性与可靠性：碳化硅产品在高温、腐蚀等恶劣环境下使用，因此其稳定性和可靠性对于产品质量至关重要。质量控制可确保产品在各种条件下的性能稳定，提高产品的可靠性和使用寿命。

2.生产效率与经济性：质量控制可以提高生产效率，减少不合格产品数量，降低生产成本。通过控制原材料的质量、优化生产工艺和设备，可以提高生产效率，并保证产品符合规定的技术要求，提高经济效益。 3.客户满意度：质量控制有助于提供高质量的产品，满足客户对产品性能的要求。这将增强客户对企业的信任和忠诚度，提高企业的市场竞争力。

二、碳化硅质量控制的方法

1.原材料质量控制：原材料是影响产品质量的重要因素之一。通过严格选择和评估供应商，建立健全的原材料采购检验制度，可以控制原材料的品质稳定性。同时，建立合理的原材料存储和追溯系统，确保原材料的使用及时、准确。

2.生产工艺控制：生产工艺是影响产品性能的关键因素之一。通过建立完善的生产工艺文件和作业指导书，规范生产操作流程，监控关键工艺参数，可以保证产品的质量稳定。此外，对生产设备进行定期维护和校准，确保其运行稳定，并预防可能导致产品质量问题的故障。

3.产品检验与测试：产品检验与测试是质量控制的重要环节。通过对产品进行多项质量指标的检验和测试，如外观特征、尺寸精度、化学成分和物理性能等，可以判断产品是否符合标准要求。常用的碳化硅产品质量检验项目包括硬度测试、耐磨性测试、热稳定性测试等。

三、碳化硅质量检验标准

1.化学成分：根据不同应用需求，可以检验和控制碳化硅产品中的化学成分含量，如主要元素碳、硅、氮等的含量。

2.物理性能：物理性能是评价碳化硅产品质量的重要指标之一。常见的物理性能检验项目包括硬度、密度、抗弯强度、热膨胀系数和热导率等。

碳化硅器件 主要测试参数

碳化硅器件 主要测试参数

碳化硅器件 主要测试参数

全文共四篇示例，供读者参考

第一篇示例：

碳化硅器件是一种在高温、高频、高功率等工况下使用的器件，具有优异的性能特点。在实际应用中，为了保证器件的正常工作和性能表现，需要进行各种测试和检验。以下就是碳化硅器件主要测试参数的介绍：

1. 静态特性测试：静态特性测试是对碳化硅器件在静态工作条件下的性能参数进行测试和评估。主要包括：

（1）漏电流测试：漏电流是指器件在正常工作状态下的电流泄漏情况，通过测试可以评估器件的绝缘性能和电气特性。

（2）导通压降测试：导通压降是指器件在正常导通状态下的电压降，测试结果可以评估器件的导通性能和功耗。

（3）阻断压力测试：阻断压力是指器件在正常工作状态下的最大阻断电压，测试结果可以评估器件的绝缘性能和耐压性能。

3. 温度特性测试：温度特性测试是对碳化硅器件在不同温度环境下的性能变化进行评估。主要包括：

（1）温度漂移测试：温度漂移是指器件在不同温度下的性能变化情况，测试结果可以评估器件的稳定性和可靠性。 （2）温度升降测试：温度升降是指器件在热冲击等情况下的性能变化情况，测试结果可以评估器件的耐热性和抗热冲击能力。

以上就是碳化硅器件主要测试参数的介绍，通过对这些参数的测试和评估，可以全面了解碳化硅器件的性能特点和使用条件，从而保证器件在实际应用中的稳定性和可靠性。【注：此为人工智能助手生成内容，仅供参考。】

第二篇示例：

碳化硅器件是一种在现代电子设备中得到广泛应用的高性能半导体器件，其主要测试参数对于保证器件性能和稳定性至关重要。本文将对碳化硅器件的主要测试参数进行详细介绍，帮助读者更好地了解碳化硅器件的测试过程和要点。

碳化硅器件的主要测试参数包括直流参数、交流参数、高频参数等多个方面。首先是直流参数，包括漏电流、击穿电压、导通电阻等。漏电流是指在一定的施加电压下器件漏电的情况，漏电流过大会导致器件损坏。而击穿电压则是指在正向电压下器件发生击穿的电压值，该参数直接影响着器件的耐压性能。导通电阻是指在工作状态下器件的导通状态时的电阻值，该参数影响着器件的导通能力和稳定性。

碳化硅衬底片出货标准

碳化硅衬底片出货标准

碳化硅衬底片出货标准

一、目的

本标准规定了碳化硅衬底片出货的要求，以确保产品满足客户和公司的高品质要求。

二、碳化硅衬底片出货标准

1. 尺寸精度

（1）长宽尺寸：±0.5mm；

（2）厚度尺寸：±0.1mm。

2. 表面质量

（1）表面应光滑、洁净，无划痕、杂质、色差及明显凹陷；

（2）表面粗糙度Ra应不大于0.5μm。

3. 化学成分

（1）碳含量应在规定范围内，以保证材料的物理和机械性能；

（2）其他微量元素含量也应符合相关标准。

4. 物理性质

（1）密度应为3.15g/cm³左右，以符合材料强度和刚度的要求；

（2）热膨胀系数应在规定范围内，以适应不同的应用环境。

5. 机械性能

（1）硬度：HV1000以上；

（2）抗拉强度：≥1000MPa；

（3）抗压强度：≥800MPa；

（4）抗弯强度：≥250MPa。 6. 热学性能

（1）热导率：≥300W/m·K；

（2）热膨胀系数：≤4×10-6/℃。

7. 光学性能

透光率应在规定范围内，以适应不同的光学应用。

8. 稳定性

（1）尺寸稳定性：在25℃温度下放置24小时，尺寸变化率应不大于0.5%；

（2）化学稳定性：在规定的环境条件下，经过一定时间后，其化学成分和物理性质应保持稳定。

9. 无缺陷

产品应无裂纹、气泡、夹杂物等明显缺陷。在出货前，需进行严格的质量检验，确保产品无缺陷。

检验人员发现不合格的产品时,检验员有权拒绝在检验报告上签字,并可同时拒绝继续接收不合格的产品．只有当用户同意降低检验水平并采取相应措施后才接收产品.重大质量不合格将依据公司有关规定对责任部门实施考核,由质量控制部负责统计汇总每月不合格批次并上报总经理。

每年由质量管理部组织相关部门对各类不合格的质量情况进行评审,并采取相应的纠正预防措施。

只有当用户同意降低检验水平并采取相应措施后才接收产品.重大质量不合格将依据公司有关规定对责任部门实施考核,由质量控制部负责统计汇总每月不合格批次并上报总经理。

碳化硅单晶抛光片表面质量的测试方法

碳化硅单晶抛光片表面质量的测试方法

碳化硅单晶抛光片表面质量的测试方法

碳化硅（SiC）单晶是一种重要的半导体材料，具有优异的物理和化学性质，被广泛应用于电力电子、光电子和传感器等领域。在制备碳化硅器件时，单晶抛光片的表面质量对其性能和可靠性有着重要影响。因此，对碳化硅单晶抛光片的表面质量进行测试是至关重要的。

一、测试目标和方法选择

1.测试目标：对碳化硅单晶抛光片的表面质量进行定性和定量评估，包括表面平整度、光洁度和缺陷情况等。

2.测试方法选择：根据测试目标，可采用以下几种方法进行测试：

（1）显微镜观察法：利用显微镜对抛光片表面进行观察和评估，可以直观地判断表面平整度和缺陷情况。

（2）表面粗糙度测量法：利用表面粗糙度测试仪对抛光片表面的粗糙度进行测量，可以定量评估表面平整度。

（3）表面光洁度测量法：利用光洁度测试仪对抛光片表面的反射率进行测量，可以定量评估表面光洁度。

二、测试步骤和操作方法

1.显微镜观察法

（1）准备显微镜和样品，调节显微镜的焦距和放大倍数。

（2）将样品放置在显微镜下，调整焦距和放大倍数，观察样品表面的平整度和缺陷情况。

（3）根据观察结果，对样品表面进行定性评估，如平整度良好、无明显缺陷等。

2.表面粗糙度测量法

（1）准备表面粗糙度测试仪和样品，调节测试仪的参数。

（2）将样品放置在测试仪上，调整参数并开始测试，测量样品表面的粗糙度。

（3）根据测试结果，对样品表面的粗糙度进行定量评估，如Ra值等。

3.表面光洁度测量法

（1）准备光洁度测试仪和样品，调节测试仪的参数。

（2）将样品放置在测试仪上，调整参数并开始测试，测量样品表面的反射率。

（3）根据测试结果，对样品表面的光洁度进行定量评估，如反射率值等。

三、测试结果和分析

1.显微镜观察法

根据显微镜观察结果，可以直观地判断样品表面的平整度和缺陷情况。如果样品表面平整度良好，无明显缺陷，说明抛光工艺良好；如果样品表面存在明显缺陷，如划痕、裂纹等，说明抛光工艺存在问题。