安捷伦 7700 ICP-MS 仪器及原理介绍

非凡设计无双性能令人耳目一新的ICP-MSAgilent 7700系列ICP-MSOur measure is your success.产品|应用|软件|服务Agilent 7700系列ICP-MS推动ICP-MS技术发展，简化痕量元素分析无论您是想以最快的速度分析成百上千个基体复杂的样品，还是想要获得高纯试剂中超痕量杂质的最可信结果，安捷伦7700 系列ICP-MS都能助您满足当前以及未来的分析需求。

安捷伦7700系列ICP-MS– ICP-MS仪器的新面孔– 是世界上最小的商品化ICP-MS。

作为最畅销的安捷伦7500系列ICP-MS的继承者，7700性能在各方面更胜一筹：分析速度更快、操作更简便、灵敏度更高、背景噪音更低、消干扰效果更佳、应用面更广、维护更方便。

7700系列ICP-MS不但配置了新的软件平台，而且在仪器硬件方面也进行了革新设计，包括全新数字控制式射频匹配的RF 发生器和第三代八极杆碰撞/反应池系统(ORS3)。

7700x具有适应多种样品类型、应用范围广泛、性能稳定耐用的特点，是大多数常规实验室和分析大批量样品的商业实验室的最优选择。

7700s则是专为半导体行业应用而设计，具有半导体针对性的强大功能。

这两种型号都具有无可比拟的性能和易于使用的优点，即使您面对的是最棘手的样品基体，它们都能为您获取值得信赖的分析结果。

安捷伦7700x ICP-MS凭借第三代碰撞/反应池(ORS3)为复杂高基体样品的分析提供了无可比拟的准确性，它革命性地重新定义了碰撞/反应池：仅使用氦气碰撞即可消除所有可能的质谱干扰！欲了解有关安捷伦7700系列ICP-MS的更多信息，请访问/chem/ICPMS:cn杰出的第三代ICP-MS过去20多年来，安捷伦公司作为ICP-MS技术发展的重要推动力量，推出了许多原创性的领先技术。

7700将更进一步将ICP-MS 带入不依靠专家的时代，它广泛进入常规的实验室面对一般操作人员，而其分析性能、可靠性和自动化方面达到了最新标准。

ICPMS原理介绍（doc X页）ICP-MS中文培训资料1理论原理2硬件组成及功能讲解1ICP-MS原理部分概述ICP,MS是一种灵敏度非常高的元素分析仪器，可以测量溶液中含量在ppb或ppb以下的微量元素。

广泛应用于半导体、地质、环境以及生物制药等行业中。

ICP,MS全称是电感藕合等离子体质谱，它是一种将ICP技术和质谱结合在一起的分析仪器。

ICP利用在电感线圈上施加的强大功率的高频射频信号在线圈内部形成高温等离子体，并通过气体的推动，保证了等离子体的平衡和持续电离，在ICP,MS中，ICP起到离子源的作用，高温的等离子体使大多数样品中的元素都电离出一个电子而形成了一价正离子。

质谱是一个质量筛选和分析器，通过选择不同质核比(m/z)的离子通过来检测到某个离子的强度，进而分析计算出某种元素的强度。

ICP,MS的发展已经有20年的历史了，在长期的发展中，人们不断的将新的技术应用于ICP,MS的设计中，形成了各类ICP,MS。

ICP,MS主要分为以下几类:四极杆ICP,MS，高分辨ICP,MS(磁质谱)，ICP,tof,MS。

本文主要介绍四极杆ICP,MS。

主要组成部分图1是ICP,MS的主要组成模块。

接口离子镜分析器离子源检测器图1 ICP,MS主要组成模块样品通过离子源离子化，形成离子流，通过接口进入真空系统，在离子镜中，负离子、中性粒子以及光子被拦截，而正离子正常通过，并且达到聚焦的效果。

在分析器中，仪器通2过改变分析器参数的设置，仅使我们感兴趣的核质比的元素离子顺利通过并且进入检测器，在检测器中对进入的离子个数进行计数，得到了最终的元素的含量。

各部分功能和原理1. 离子源离子源是产生等离子体并使样品离子化的部分，离子源结构如图2所示，主要包括RF图 2 离子源的组成工作线圈、等离子体、进样系统和气路控制四个组成部分。

样品通过进样系统导入，溶液样品通过雾化器等设备进入等离子体，气体样品直接导入等离子体，RF工作线圈为等离子体提供所需的能量，气路控制不断的产生新的等离子体，达到平衡状态，不断的电离新的离子。

Agilent 7700 ICP-MS现场培训教材　安捷伦科技有限公司化学分析仪器部　7700 ICP-MS 现场培训教材　一、 培训目的:基本了解7700 ICP-MS 硬件操作。

　掌握7700 ICP-MS 的开机、关机、参数设定及数据采集，全定量分析的基本操作。

二、培训准备：　1、仪器设备: Agilent 7700 ICP-MS? C oncentric Nebulizer (同心雾化器)。

　2、气体准备：　?氩气压力　700KPa ±3.5%?反应气（氢气和氦气）压力　40KPa ±20KPa3、循环水：　?循环水的要求为：蒸馏水; 温度：15-20 ?C ；压力：230-400Kpa(33—58PSI) ?循环水中加入50ml IPA ，防止生菌。

4、排风：　?要求排风量为：5-7m 3/min(4.7-6.6m/s) 。

　Agilent 7700 Series7700 ICP-MS MassHunter基本操作步骤:一、　开机：1、开PC 显示器、打印机。

2、开PC 主机。

(password: 3000hanover)3、开ICP-MS 7700 电源开关。

（仪器背后总电源及前面板左下角的电源开关）4、双击桌面的“ICP-MS Top ”图标进入MassHunter，如下图所示：ICPMS工作站工具栏上提供了以下快捷方式5、从Instument菜单中选择“Instrument control ”或者单击“Instrument control ”图标进入下图所示的仪器控制面板。

从“Vacuum ”菜单中选择“vacuum on”，抽真空，仪器由shutdown状态向standby 状态装换*** 从Meters菜单中选择Meter Control Panel，进入如下图所示的画面，可以对真空、水流量、环境温度、雾室温度、气体压力及射频功率进行实时监测。

（最多同时可选 5 项）　IF/BK Pressure---接口及背压阀压力；　Analyzer Pressure---分析腔压力；　TMP Revolution—分子涡轮泵转数；　Water RF/WC/IF–循环水流量；Water Temperature–循环水温度；Inlet Temp仪器环境温度；Internal Temp仪器内部温度；S/C Temperature 雾室温度；　Forward Power入射功率；Reflected Power反射功率；Plasma Freq等离子体频率　Carrier Gas Press载气压力；Ar Gas Tank Press氩气钢瓶压力；　Carrier Gas载气流量；MU/Dil.Gas补充气/稀释气流量；Aux Gas辅助气流量6、如使用碰撞反应池，从Maintenance菜单中选择Reaction Gas，勾选Open Bypass Valve，设置所需反应气流量2-5ml/min，进行反应气气路吹扫。

[原创]ICP-MS原理介绍ICP-MS中文培训资料1理论原理2硬件组成及功能讲解ICP-MS原理部分概述ICP,MS是一种灵敏度非常高的元素分析仪器，可以测量溶液中含量在ppb或ppb以下的微量元素。

广泛应用于半导体、地质、环境以及生物制药等行业中。

ICP,MS全称是电感藕合等离子体质谱，它是一种将ICP技术和质谱结合在一起的分析仪器。

ICP利用在电感线圈上施加的强大功率的高频射频信号在线圈内部形成高温等离子体，并通过气体的推动，保证了等离子体的平衡和持续电离，在ICP,MS中，ICP起到离子源的作用，高温的等离子体使大多数样品中的元素都电离出一个电子而形成了一价正离子。

质谱是一个质量筛选和分析器，通过选择不同质核比(m/z)的离子通过来检测到某个离子的强度，进而分析计算出某种元素的强度。

ICP,MS的发展已经有20年的历史了，在长期的发展中，人们不断的将新的技术应用于ICP,MS的设计中，形成了各类ICP,MS。

ICP,MS主要分为以下几类:四极杆ICP,MS，高分辨ICP,MS(磁质谱)，ICP,tof,MS。

本文主要介绍四极杆ICP,MS。

主要组成部分图1是ICP,MS的主要组成模块。

接口离子镜分析器离子源检测器图1 ICP,MS主要组成模块样品通过离子源离子化，形成离子流，通过接口进入真空系统，在离子镜中，负离子、中性粒子以及光子被拦截，而正离子正常通过，并且达到聚焦的效果。

在分析器中，仪器通过改变分析器参数的设置，仅使我们感兴趣的核质比的元素离子顺利通过并且进入检测器，在检测器中对进入的离子个数进行计数，得到了最终的元素的含量。

各部分功能和原理1. 离子源离子源是产生等离子体并使样品离子化的部分，离子源结构如图2所示，主要包括RF图 2 离子源的组成工作线圈、等离子体、进样系统和气路控制四个组成部分。

样品通过进样系统导入，溶液样品通过雾化器等设备进入等离子体，气体样品直接导入等离子体，RF工作线圈为等离子体提供所需的能量，气路控制不断的产生新的等离子体，达到平衡状态，不断的电离新的离子。

ICPMS原理介绍ICP-MS中⽂培训资料1理论原理2硬件组成及功能讲解ICP-MS原理部分概述ICP－MS是⼀种灵敏度⾮常⾼的元素分析仪器，可以测量溶液中含量在ppb或ppb以下的微量元素。

⼴泛应⽤于半导体、地质、环境以及⽣物制药等⾏业中。

ICP－MS全称是电感藕合等离⼦体质谱，它是⼀种将ICP技术和质谱结合在⼀起的分析仪器。

ICP利⽤在电感线圈上施加的强⼤功率的⾼频射频信号在线圈内部形成⾼温等离⼦体，并通过⽓体的推动，保证了等离⼦体的平衡和持续电离，在ICP－MS 中，ICP起到离⼦源的作⽤，⾼温的等离⼦体使⼤多数样品中的元素都电离出⼀个电⼦⽽形成了⼀价正离⼦。

质谱是⼀个质量筛选和分析器，通过选择不同质核⽐（m/z）的离⼦通过来检测到某个离⼦的强度，进⽽分析计算出某种元素的强度。

ICP－MS的发展已经有20年的历史了，在长期的发展中，⼈们不断的将新的技术应⽤于ICP－MS的设计中，形成了各类ICP －MS。

ICP－MS主要分为以下⼏类：四极杆ICP－MS，⾼分辨ICP－MS（磁质谱），ICP－tof－MS。

本⽂主要介绍四极杆ICP－MS。

主要组成部分图1是ICP－MS的主要组成模块。

图1 ICP－MS主要组成模块样品通过离⼦源离⼦化，形成离⼦流，通过接⼝进⼊真空系统，在离⼦镜中，负离⼦、中性粒⼦以及光⼦被拦截，⽽正离⼦正常通过，并且达到聚焦的效果。

在分析器中，仪器通过改变分析器参数的设置，仅使我们感兴趣的核质⽐的元素离⼦顺利通过并且进⼊检测器，在检测器中对进⼊的离⼦个数进⾏计数，得到了最终的元素的含量。

各部分功能和原理1.离⼦源离⼦源是产⽣等离⼦体并使样品离⼦化的部分，离⼦源结构如图2所⽰，主要包括RF图 2 离⼦源的组成⼯作线圈、等离⼦体、进样系统和⽓路控制四个组成部分。

样品通过进样系统导⼊，溶液样品通过雾化器等设备进⼊等离⼦体，⽓体样品直接导⼊等离⼦体，RF⼯作线圈为等离⼦体提供所需的能量，⽓路控制不断的产⽣新的等离⼦体，达到平衡状态，不断的电离新的离⼦。

Agilent 7700 ICP-MS现场培训教材安捷伦科技有限公司化学分析仪器部1 / 227700 ICP-MS 现场培训教材一、培训目的:基本了解7700 ICP-MS 硬件操作。

掌握7700 ICP-MS的开机、关机、参数设定及数据采集，全定量分析的基本操作。

二、培训准备：1、仪器设备: Agilent 7700 ICP-MS• MicroMist(同心雾化器)。

2、气体准备：•氩气压力700KPa±3.5%•反应气（氢气和氦气）压力40KPa±20KPa3、循环水：•循环水的要求为：蒸馏水; 温度：15-20 ˚C；压力：230-400Kpa(33—58PSI)•循环水中加入50ml IPA ，防止生菌。

4、排风：•要求排风量为：8-10 m/sAgilent 7700 Series2 / 227700 ICP-MS MassHunter基本操作步骤:一、开机：1、开PC 显示器、打印机。

2、开PC 主机。

(Admin : 3000hanover)3、开ICP-MS 7700 电源开关。

（仪器背后总电源及前面板左下角的电源开关）4、待仪器右上角的红灯熄灭后，双击桌面的“ICP-MS 仪器控制”图标进入ICP-MS MassHunter工作站，选择仪器控制3 / 225、单击主机图标后在显示的子菜单中单击［真空打开］。

确认窗口弹出后单击［确定］。

真空泵开始工作6、点击[视图]，在菜单中选择[仪器状态]，并点击[仪表]选择所需监测的仪表（最多可选5个）4 / 225 / 22当四级杆真空度小于5x10-4Pa仪器进入待机模式，在［ICP- MS MassHunter］窗口的状态栏和仪器状态窗格的指示器中显示［待机］6 / 227、如使用碰撞反应池，点击反应池图标，选择[维护]，点击图标打开旁通阀，设置输出反应气流量5ml/min，进行反应气气路吹扫。

，如果每天使用反应池吹扫10min即可;如长期不用使用前建议提前2ml/min吹扫过夜8、开氩气（0.7Mpa）,循环水、排风。

Agilent ICP-MS原理ICP-MS是一种多元素分析技术，具有极好的灵敏度和高效的样品分析能力。

ICP-MS仪器用等离子体（ICP）作为离子源，质谱（MS）分析器检测产生的离子。

它可以同时测量周期表中大多数元素，测定分析物浓度可低至亚纳克/升（ng/l）或万亿分之几（ppt）的水平。

等离子体离子源通常，液体样品通过蠕动泵引入到一个雾化器产生气溶胶。

双通路雾室确保将气溶胶传输到等离子体。

在一套形成等离子体的同心石英管中通入氩气（Ar）。

炬管安置在射频(RF)线圈的中心位置，RF能量在线圈上通过。

强射频场使氩原子之间发生碰撞，产生一个高能等离子体。

样品气溶胶瞬间在等离子体中被解离（等离子体温度大约为6000 - 10000 K），形成被分析原子，同时被电离。

将等离子体中产生的离子提取到高真空（一般为10-4 Pa）的质谱仪部分。

真空由差式抽真空系统维持：被分析离子通过一对接口（称作采样锥和截取锥）被提取。

四极杆质谱仪被分析离子由一组离子透镜聚焦进入四极杆质量分析器，按其质荷比进行分离。

之所以称其为四极杆，是因为质量分析器实际上是由四根平行的不锈钢杆组成，其上施加RF和DC电压。

RF和DC电压的结合允许分析器只能传输具有特定质荷比的离子。

检测器最后，采用电子倍增器测量离子，由一个计数器收集每个质量的计数。

质谱质谱图非常简单。

每个元素的同位素出现在其不同的质量上（比如，27Al会出现在27 am u处），其峰强度与该元素在样品溶液中同位素的初始浓度直接成正比。

1-3分钟内可以同时分析从低质量的锂到高质量数的铀范围内的大量元素。

用ICP-MS，一次分析就可以测量浓度水平从ppt级到ppm级的很宽范围的元素。

应用ICP-MS广泛用于许多工业领域，包括半导体工业、环境领域、地质领域、化学工业、核工业、临床以及各类研究实验室，是痕量元素测定的关键分析工具。

操作规程电感耦合等离子体质谱仪Inductively Coupled Plasma Mass Spectrometerz仪器型号：ICPMS7700z仪器厂商：Agilentz启用日期：2010.3z应用范围：可用于洁净水、天然水、土壤、沉积物、矿物、食品、石油、化工产品等环境样品的金属元素和部分非金属元素的痕量分析，其检测限为ppt级，推荐检测范围：ppt~ppb高基体进样系统(HMI) 稀释气入口 半导体冷却控温雾室 离轴偏转透镜低流速进样高速频率匹配的 27MHz 射频发生器高性能真空系统池气体入口高频率 (3MHz)双曲面四极杆快速同时双模式检测器 (9 个数量级线性动态范围)高离子传输效率、耐高盐接口第3代八极杆反应池系统(ORS3)Agilent 7700 ICP-MS 系统详图Agilent 7700 ICP-MS 工作流程示意ICP-MS的组成ICP-MS的主要组成包括进样系统、离子源、接口、离子透镜、八极杆碰撞反应池、四极杆滤质器、检测器及真空系统，附属设备包括循环冷却水系统、供气系统、通风系统等。

ICP-MS的基本工作原理样品通过进样系统被送进ICP源中，并在高温炬管中蒸发、离解、原子化和电离，绝大多数金属离子成为单价离子，这些离子高速通过双锥接口（取样锥和截取锥，1级真空）进入质谱仪真空系统。

离子通过接口后，在离子透镜（2级真空）的电场作用下聚焦成离子束并进入四极杆离子分离系统（3级真空）。

离子进入四极杆质量分析器后，根据质量/电荷比的不同依次分开。

最后由离子检测器进行检测，产生的信号经过放大后通过信号测定系统检出。

操作步骤一、开机1.检查通风是否正常开启，要求稳定运行时的风速值为14。

2.打开氩气、氦气钢瓶，分压调至指定刻度（Ar：0.7~0.75Mpa，He：0.08Mpa），打开循环冷却水主面板上的开关，打开自动进样器电源，安装蠕动泵管。

3.开启电脑，用户名：admin，密码：3000hanover。