光束质量的评价方法20页PPT
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第36卷第7期2009年7月国激光CHINESEJOURNALOFLASERS中V01.36,No.7July,2009文章编号:0258—7025(2009)07—1643一ii激光光束质量综合评价的探讨冯国英1周寿桓1’2(1四川大学电子信息学院,四川成都610064;2华北光电技术研究所,北京100015)摘要综述了现有的3类激光光束质量评价方法,即近场质量、远场质量和传输质量。
主要的评价参数包括近场调制度和对比度、聚焦光斑尺寸、远场发散角、衍射极限倍数口因子、斯特列尔比、环围能量比以及肝因子等。
讨论了它们各自的适用范围、优点和局限性。
提出了采用胼因子矩阵以表述光束的像散特性,给出了Mz因子的不变量。
关键词激光技术;光束质量;膨因子;口因子文献标识码Adoi:10.3788/CJL20093607.1643中图分类号TN248.1DiscussionofComprehensiveEvaluationFengGuoyin91onLaserBeamQualityZhouShouhuanl'2,1CollegeofElectronics&InformationEngineering,SichuanUniversity,Chengdu,Sichuan610064,China、\2NorthChinaResearchInstituteofElectro-Optics,Beringqualitysuchas100015。
China/AbstractThreetypesareofevaluationonlaserbeamnear-fieldquality,far—fieldquality,andpropagationqualityspotsummarized.Theparametersincludemodulationratioandcontrastratioofnear—field,focusedsize,far-fielddivergenceangle,timesdiffractionlimitedfactor8,Strehlrate,energycirclethemrate,M2factor。
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)(博士学位论文题目)国防科学技术大学研究生院Study of Evaluating and Measuring LaserBeam QualityCandidate:He YuanxingSupervisor:Prof. Jiang WenhanProf. Li XinyangA dissertationSubmitted in partial fulfillment of the requirements for the degree of Doctor of Engineeringin Optics EngineeringGraduate School of National University of Defense Technology Changsha,Hunan,P.R.ChinaOctober,2012目录目录 (I)表目录 (VI)图目录 ................................................................................................................... V II 摘要 . (i)Abstract (iii)第一章绪论 (1)1.1 研究背景 (1)1.2 常见的激光光束质量评价指标 (3)1.2.1聚焦光斑尺寸和远场发散角 (4)1.2.2光束传播因子M2 (4)1.2.3峰值斯特列尔比 (4)1.2.4环围能量斯特列尔比 (5)1.2.5环围能量比 (5)1.2.6光束传输因子 (5)1.2.7光束质量β因子 (6)1.2.8评价指标小结 (6)1.3 激光光束质量测量的主要方法 (7)1.3.1扫描法 (7)1.3.2感光法 (10)1.3.3烧蚀法 (10)1.3.4阵列探测法 (10)1.3.5近场反演远场方法 (11)1.4 论文研究内容及研究意义 (12)第二章基础理论介绍 (14)2.1 经典标量衍射理论 (14)2.1.2柯林斯公式 (16)2.1.3圆环形平面光束的夫朗和费衍射 (17)2.1.4方环形平面光束的夫朗和费衍射 (19)2.2 畸变光束波像差的描述方法 (20)2.2.1波像差的泽尼克多项式描述 (20)2.2.2大气湍流随机相屏的产生方法 (23)2.3 本章小结 (24)第三章激光光束质量评价方法研究 (25)3.1 光束传输因子M2适用性分析 (25)3.1.1稳定腔高斯光束 (25)3.1.2非稳定腔环形光束 (27)3.1.3多路高斯光束的合成光束 (27)3.2 激光光束质量评价指标关键问题分析 (29)3.2.1理想参考光束和规范桶(规范能量比)的惯用取法 (29)3.2.2理想参考光束的选择问题探讨 (30)3.2.3规范桶(规范能量比)的选择问题探讨 (34)3.3 激光系统性能评判的核心特征量 (35)3.3.1现有评价激光远场能量集中度指标存在的问题 (35)3.3.2激光系统核心特征量 (37)3.3.3不同激光系统间性能优劣评判 (37)3.4 本章小结 (44)第四章激光通过大气湍流介质的远场传输计算方法 (45)4.1 激光通过大气湍流介质远场传输问题的理论计算 (45)4.1.1激光传输系统调制传递函数及远场光强分布模型 (45)4.1.2截断高斯光束通过大气湍流的远场传输计算 (48)4.1.3圆环形光束通过大气湍流的远场传输计算 (49)4.2.1残留相位结构函数 (53)4.2.2截断高斯光束的相位补偿效果分析 (55)4.2.3圆环形光束的相位补偿效果分析 (58)4.2.4圆环形光束的远场长曝光和短曝光光斑质量的定标关系 (61)4.3 高斯光束通过大气湍流远场传输的最优截断分析 (64)4.4 总系统与分系统间光束质量关系的一点讨论 (68)4.4.1总系统与分系统间光束质量的关系 (68)4.4.2一个简单的验证例子 (71)4.5 本章小结 (72)第五章基于CCD相机测量激光光束质量的误差分析 (74)5.1 光束质量评价参数计算公式 (74)5.2 光束质量评价参数测量误差源 (76)5.3 光束质量评价参数测量误差公式 (76)5.3.1光束质量评价参数测量系统误差 (77)5.3.2光束质量评价参数测量随机性误差 (78)5.3.3光束质量评价参数测量总误差 (79)5.4 计算光束质量评价参数的阈值方法 (80)5.5 计算结果及阈值选取 (82)5.5.1光束质量评价参数测量误差仿真计算模型 (82)5.5.2理论和仿真计算结果 (85)5.5.3阈值的选择 (88)5.6 本章小结 (91)第六章CCD光电响应非线性特性的标定方法及其对远场测量的影响分析 (93)6.1 标定方法理论依据 (94)6.2 CCD光电响应特性的实验标定 (95)6.2.1光栅标定系统结构 (95)6.2.3标定方法和步骤 (97)6.2.4实验标定结果及分析 (98)6.3 CCD光电响应非线性特性对激光远场参数测量的影响 (100)6.3.1仿真模型建立 (101)6.3.2 CCD光电响应非线性饱和效应的影响分析 (103)6.3.2 CCD存在响应“死区”的影响分析 (105)6.3.4 CCD存在响应“死区”和不存在“死区”的比较 (106)6.3.5消除和减小CCD非线性响应影响的方法 (108)6.4 本章小节 (109)第七章基于多焦斑重构原理的激光远场测量方法研究 (112)7.1 拓展CCD测量动态范围的方法概述 (112)7.2 基于衍射光栅分光特性的激光远场测量方法研究 (114)7.2.1方法基本原理 (114)7.2.2方法适用性分析 (117)7.2.3泽尼克像差对应远场光斑的重构仿真 (123)7.2.4测量方法的实验验证 (129)7.3 基于正交光楔分光特性的激光远场测量方法研究 (135)7.3.1方法基本原理 (135)7.3.2方法验证模型 (137)7.3.3测量方法的实验验证 (138)7.4 拓展CCD测量动态范围上限的讨论 (144)7.5 本章小结 (145)第八章总结与展望 (147)8.1 本论文的主要研究内容和结论 (147)8.2 本论文的主要创新点 (149)8.3 后续工作展望 (150)参考文献 (153)作者在学期间取得的学术成果 (161)表目录表2. 1零级衍射角半径 (18)表2. 2一级衍射环角半径 (18)表2. 3二级衍射环角半径 (19)表2. 4中心衍射暗环角半径 (20)表2. 5泽尼克多项式排布方式(n≤10) (21)表3. 1 v=0时不同发射环数相干合成光束BPF值 (34)表3. 2 不同理想光束在规范桶半径及规范能量比 (35)表3. 3影响激光系统最终性能的因素 (36)表5. 1 CCD探测噪声源及其统计特性 (76)表5. 2不同环境背景光噪声对应的最优阈值 (89)表5. 3不同CCD背景暗电平对应的最优阈值 (89)表5. 4不同CCD读出噪声对应的最优阈值 (90)表6. 1光栅参数 (97)表7. 1仿真参数 (124)表7. 2两套激光远场测量系统参数对比 (131)图目录图2. 1平面光瞳的衍射示意图 (14)图2. 2圆环形平面光束的夫朗和费衍射花样沿径向的分布 (18)图2. 3方环形平面光束的夫朗和费衍射花样沿x方向的分布 (20)图2. 4各阶泽尼克像差示意图(n≤7) (22)图3. 1低阶拉盖尔-高斯光束所对应的远场PIB曲线 (26)图3. 2六路基模高斯光束合成光束的近场和远场光强分布 (28)图3. 3相干合成和非相干合成光束远场PIB曲线比较 (28)图3. 4不同类型单路激光束的远场环围能量(PIB)曲线 (31)图3. 5相同孔径大小的截断高斯光束和均强平面光束的远场PIB曲线比较 (31)图3. 6截断高斯光束T BPF随截断系数的变化 (32)图3. 7截断高斯光束远场PIB曲线 (32)图3. 8合成激光的空间布局 (33)图3. 9相干合成光束与均强平面光束远场PIB曲线比较 (33)图3. 10不同类型理想光束的远场环围能量曲线及环围平均能量密度曲线。
成像器件法测量光束质量原理一、成像器件法测量光束质量原理的基础概念成像器件法测量光束质量呢,其实就是利用成像器件来对光束进行一些操作和分析。
成像器件就像是一个小侦探,专门去探索光束的各种特性。
比如说,它可以探测光束的光斑大小、形状还有能量分布这些情况。
你可以把光束想象成一群调皮的小精灵,成像器件就是要把这些小精灵的行踪和特点都给摸清楚。
我们先从光斑大小说起。
成像器件能精准地“看”到光束打在上面形成的光斑到底有多大。
这个光斑大小可不是随便看看的,它能反映出光束的发散程度呢。
就像你扔一颗小石子到水里,会形成一圈圈的涟漪,光斑的大小就有点像这涟漪的范围。
如果光斑大,可能意味着光束比较发散;要是光斑小,那这光束就相对比较集中啦。
再说说形状。
成像器件会像一个严格的检查员一样,检查光束的形状是不是规则的。
有时候光束可能是圆形的,就像一个完美的小太阳散发出来的光线;但有时候也可能是椭圆形或者其他奇奇怪怪的形状呢。
这形状可也藏着光束质量的秘密哦。
如果形状不规则,可能在一些需要精准光束的地方就不太好用啦,比如说激光切割的时候,要是光束形状不规则,切割出来的边缘可能就不那么整齐光滑啦。
还有能量分布这个重要的部分。
成像器件可以清楚地告诉我们光束的能量是怎么分布在这个光斑上的。
是均匀分布的呢,还是中间能量高、边缘能量低,就像一个小山包一样。
均匀的能量分布在很多应用里都是非常理想的,比如在光学治疗中,如果能量不均匀,可能就会有的地方治疗过度,有的地方又没治疗到。
二、成像器件在测量中的工作方式成像器件在测量光束质量的时候有自己独特的工作方式。
它就像一个有着超能力的小助手。
首先呢,成像器件要对光束非常敏感。
当光束照射到它上面的时候,它能迅速地做出反应,把光束的信息转化为可以被我们识别和分析的数据。
这就好比我们的眼睛看到东西后,大脑会把看到的画面信息进行处理一样。
然后,成像器件要能够准确地定位光束的中心。
这个中心的确定很关键哦,就像确定一个圆的圆心一样。