金刚石超薄切割片制造方法研究_郭铁峰
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0.04mm的金刚石超薄切割片竟然是这么制造的!超薄金刚石切割片,由于具有超薄切割槽宽,切割断口平滑,废品率低,切割效率高等优点,已逐步得到人们的重视。
目前使用的普通刀片可大致分为厚度15~100μm的电镀刀片和100~500μm的树脂刀片两种。
今天小编找来了一篇可以做到40μm的制作方法,希望能和磨友们一起分享讨论~1、概述金刚石超薄切割片在国际上广泛用于大规模集成电路块、计算机芯片材料及其它贵重半导体材料的切割。
过去我国上海某研究所试制过该产品,但由于当时的实验条件限制未见过相关的产品。
金刚石超薄切割片目前主要由美国和日本生产,与进口切割设备配套使用,切割转数在30000r/min以上,由空气轴承支持。
切割对象对切口要求严格,容易打刀。
我们经过广泛的调研及艰苦的实验研究工作,利用复合电镀法成功研制出生产上使用合格的产品,获得国家专利。
2、试验研究的关键点1、确定使用的金刚石参数;2、制备一种特殊的化学转化膜;3、精确控制刀片厚度≤40μm;4、刀体表面光滑,不结瘤;5、必须使刀片具有足够的强度和韧性,保证在超高转速下不打刀、不偏摆,刀口宽度≤50μm;3、工艺方法3.1金刚石参数的确定根据刀具厚度、使用精度要求以及金刚石刀具原理,确定使用的金刚石为优质微单晶,试验时使用粒径10μm国产碎晶金刚石微粉,实用阶段选用粒径5μm高品级微单晶。
选购的金刚石采用溶液沉降法严格筛选。
3.2化学转化膜的制备3.2.1化学转化膜及其要求化学转化膜是电沉积前在阴极基片上制备的特种导电膜。
其要求是:1、有较好的导电性,使电沉积过程顺利进行;2、防止电沉积材料与基片强力结合,便于镀层的剥离。
经过多类试验,结果表明,以奥氏体不锈钢的磷酸盐化学转化膜为最好。
3.2.2制备磷酸盐化学转化膜配方为(g/L):草酸5,磷酸15,草酸钠4,磷酸二钠10,氯酸钠5。
操作条件为:环境温度20°C,工作时间5min。
3.3刀片生产方法3.3.1片体电镀用复合电沉积方法,在制备好转化膜的不锈钢阴极基片上沉积 Ni-Co-金刚石微粉薄片。
第22卷第6期超 硬 材 料 工 程V ol.222010年12月SU P ERH AR D M A T ERIA L EN G IN EERI NGDec.2010超薄金刚石切割片的研究及应用现状¹唐营,何伟春(河南工业大学材料科学与工程学院,河南郑州450007)摘 要:超薄金刚石切割片,由于具有超薄切割槽宽,切割断口平滑,废品率低,切割效率高等优点,已逐步得到人们的重视。
文章综述了近10年来超薄金刚石切割片的主要制作方法的研究进展及应用现状,介绍了超薄金刚石切割片的制备方法,包括电镀法和固化树脂法,其中电镀法以其设备简单、绿色环保、可循环生产等优点成为最有可能大规模工业应用的制备方法,文章最后指出了其发展方向。
关键词:超薄;金刚石切割片;电镀;固化树脂中图分类号:T Q164 文献标识码:A 文章编号:1673-1433(2010)06-0034-04Research and application status of ultra -thin diamond cutting bladeT ANG Ying ,H E We-i chun(School of M ater ials Science and Engineering ,H enan Univ er sity of T echnolog y ,Zhengz hou 450007,China)Abstract:T he ultra -thin diamo nd cutting blade has been gradually r ecognized because of its advantag es of narrow and smoo th slit,low rejection rate and high cutting efficiency.T his paper review s the prog ress and application status of main manufacturing m ethods of ultra -thin diam ond cutting blade in the recent 10y ears,w hich includes electro plating metho d and solidified resin method.T he electroplating m ethod w ith its sim ple equipment,env-i ronmental pr otectio n and recy cled production can be used for the larg e -scale industrial pr eparation.It also po ints out the developm ent directio ns at last.Keywords:ultra -thin;diamo nd cutting blade;electro plating;solidified resin1 前言太阳能作为一种取之不尽的清洁能源,它的开发利用正引起人类的极大关注,商业化利用太阳能已成为世界趋势。