技术部分
仪器设备名称：频谱分析仪
1.采购背景/目标：
1.1采购背景
随着半导体行业的迅猛发展，各种高精度、多分量、高性能振动传感器技术得到长足发展，广泛应用于航天、航空、海洋工程、医疗卫生、国民经济等领域，国际上以MEMS 传感器为代表的新型振动传感器正在逐步取代传统振动传感器，成为主流运动测量产品，2008年的销售额超过了10亿美元，2010年仅ST公司的销售额就超过了20亿美元。近年来我国生产的MEMS运动传感器已经达到了国际先进水平，国外一些传统传感器行业
巨头也正在寻求我国MEMS运动传感器生产企业为其代工。然而，我国缺乏对这类传感
器的一些主要技术参数进行计量的能力，且国外对我国进行技术封锁，致使我国同类产品难以得到国际认可，无法与国外贴牌产品竞争；另一方面无法对关键技术指标进行测量，难以摸清技术改进方向，制约企业的自主创新能力。以日本国家计量院（NMIJ）为代表的发达国家计量院正在帮助日本和美国企业在ISO、IEC国际标准化组织中将其产
品和计量方法起草为新的国际标准，从而帮助其垄断未来的国际市场。例如以日本为主导起草的国际标准“IEC 60747-14-4 半导体加速度计”明确要求采用多分量重力分量
法对MEMS加速度传感器进行校准。
传统的振动台随着振动频率的下降，振动台加速度幅值以频率平方的速率下降，使得信噪比变差，不能满足新兴振动传感器的量值溯源需求，急需购置三轴向精密转台系统，建立多分量重力分量法振动标准装置，利用重力场来进行振动校准，利用传感器与重力场的夹角确定加速度幅值，实现低频1g加速度幅值的多分量振动激励，以较高的
信噪比保障校准结果的精确性和可靠性。例如，用于风力发电机组振动监测的传感器由于灵敏度较低（10mV/(m/s2)），低频段只能通过重力分量法校准。美国PCB公司和美国标准技术研究院合作研制了重力分量法振动标准装置，使得美国PCB公司几乎垄断了风力发电机组振动监测传感器的市场。我国振动监测传感器生产企业虽然可以提供类似的传感器，但由于无法校准，难以进入风力发电机组振动监测市场。
1.2 采购目标
购置三轴向精密转台系统，开展多分量重力法振动计量技术研究，建立多分量重力分量法低频振动校准装置，提升和完善我国复杂、动态运动量值的溯源能力。新增重力分量法低频振动标准装置，解决多轴向加速度的量值溯源问题，为广泛地应用于航天航空、海洋工程、医疗卫生、国民经济等领域的多分量新型运动传感器提供量值传递，提升产品质量；服务于以我国为主的国际标准和国家标准的制修订工作，增强我国先进传感器的质量标准和国际竞争力；为空间卫星、惯性制导和遥感监测等高端国防装备提供高质量的量值溯源服务，支撑重大工程“归零”验证的有效性。
2.采购标的执行标准：
2.1 三轴向精密转台用于惯导产品载复合环境下的测试与标定；
2.2 三轴向精密转台可根据应用需求进行调节，能够满足不同情况下的实验要求；
2.3三轴向精密转台通过所配软件可进行数据处理与分析。
3.技术规格
三轴向精密转台主要技术指标
3.1 位置性能指标
3.1.1 运行模式：连续；
3.1.2 #角位置定位精度：内轴±1"、中框±1"、外框±1"；
3.1.3 #角位置分辨率：优于0.0001°；
3.1.4 #倾角回转误差：内轴±1"、中框±1.5"、外框±1"；
3.1.5 相邻轴线垂直度：±2"；
3.1.6 三轴相交度：Φ0.5mm球内。
3.2 速率性能指标
3.2.1 速率范围：
#内轴：±0.001°/s ～±600°/s；
中框：±0.001°/s～±250°/s；
外框：±0.001°/s ～±180°/s；
3.2.2 三轴联动速率范围：±60°/s；
3.2.3 速率精度及平稳性（GJB1801-93）：
#5×10－3（1°平均）；
5×10－4（10°平均）；
5×10－5（360°平均）；
3.2.4 #速率分辨率：优于0.0001°/s；
3.2.5 #最大角加速度：内轴：200°/s2、中框：150°/s2、外框：100°/s2；
3.3 温控性能指标
3.3.1 *温箱有效工作室容积：≥350mm×350mm×300mm；；
3.3.2 温度范围：-55℃～+150℃；
3.3.3 变温速率：不小于2℃/min；
3.3.4 温度偏差：±2℃；
3.3.5 控温精度：±1℃；
3.3.6 温度均匀性：±1℃。
3.4 负载
3.4.1 *负载重量：≥30kg；
3.4.2 *台面尺寸：≥Φ300mm；
3.4.3 负载安装面平面度：≤0.02mm（Φ280mm处）；
3.4.4 负载安装面端跳：≤0.02mm（Φ280mm处）。
3.5 接口
具备高速串口422、RS232、RS485、以太网及CAN总线，具备编码器外接接口。3.6 滑环
可用环数：50环/3A；静态接触电阻≤0.005Ω，动态接触电阻变化量≤0.01Ω，环间绝缘≥300MΩ/100V。
3.7 引北装置
提供引北镜，引北镜面与中框轴线垂直度不大于3"。
3.8 软件部分
控制系统软件由两个软件部件组成：即界面及控制管理软件部件和DSP轴运动控制软件部件。满足以下要求：
3.8.1 软件基于Microsoft Windows开发，兼容性好；
3.8.2 实现系统启动完备性自检管理；
3.8.3 运动参数（位置、速率和加速度）输入管理功能；
3.8.4 控制命令发布管理；
