超纯水工艺流程

超纯水系统工艺操作使用说明书84T/H M M F+U F+2R O+E D I+S M B超纯水系统（18MΩ²C M超纯水系统）目录一. 工艺流程 (2)二. 操作条件 (3)三．安全 (3)四．工艺说明 (3)五. 系统设备清单 (9)六．单体设备操作说明 (11)七. 安装说明 (67)八. 仪表校正与更换 (69)九. 控制说明 (69)十．耗材及加药明细 (70)本系统主要是对原水进行预处理及精处理，以达到去除水中的有机物、无机物、胶体、溶解性离子、颗粒物，满足终端用户超纯水水质要求。

一、工艺流程根据用户原水水质要求，本系统所配工艺流程如下：二、操作条件1）操作人员必须经过专业的培训；2）设备、仪器、仪表等应检查合格并已及时排除故障；3）在运行前确认控制盘上的开关在正确位置；4）设备的手动阀应在正确位置；5）注意化学加药必须符合操作要求；6) 排水沟排水通畅；7）控制电源：220V±10%，动力电源：380V±10%；8）水箱氮封用高纯氮气：3-5bar，约30Nm3/h；9) 仪表用压缩空气：3-5bar,约150NM3/H；三、安全1）保持持车间内无灰尘杂质，尤其在超纯水系统的车间；2）保持通讯设施正常；3）现场必须有足够的经过检查的防火设施来保证设备及员工的安全；4）门窗及加热保温设施应该处于良好的情况下，以保证设备的安全；5）工作环境中的所有设施都必须保证状态良好；6) 清洁水源、毛巾、塑料手套、防护眼镜等应该常备在工作及相关人员容易得到的地方；7）室内光照明系统等应做到保证操作人员的安全以及操作的顺利进行；8）操作人员必须经过安全培训并且通过相关测试；9) 为了保证设备及员工的安全，当系统在运行过程中，应使用挂上“禁止乱操作”、“危险”、“系统带电”等标牌；10）禁止让工作无关人员进入工作现场，以免带来系统设备的危害与损失；四、工艺说明如下：原水箱（TK-UPW-01-A）用于储存原水进水，起到缓冲及调节水量的作用，防止进水压力或水量有波动，保证后续系统安全稳定的运行。

超纯水制作原理超纯水是指除了水分子外，不含任何其他物质的水，其电导率常数小于0.055μS/cm。

超纯水的制作一直是化学、生物、半导体等领域研究的核心问题。

本文将介绍超纯水的制作原理及其工艺流程。

超纯水的制作主要通过两个关键步骤实现：去离子和电极反应。

去离子是指去除水中的离子，电极反应是指在水中加电解质使其发生电离反应，将其转化为离子，并在电极上反应，生成氢氧根离子和氢离子，最终进一步去除水中的离子。

二、超纯水制作工艺流程超纯水的制作过程一般分为预处理和纯水制备两个环节。

1. 预处理预处理的目的是去除水中的污染物和有机物，防止其对超纯水的制作和使用产生影响。

具体预处理过程如下：（1）杀菌：将水进行紫外线灭菌或加入过氧化氢进行杀菌处理，以保证水质清洁。

（2）滤除：用过滤器等对水进行过滤，去除颗粒物和悬浮物。

（3）除氯：加入还原剂或活性炭对水中的余氯进行去除。

（4）软化：通过离子交换剂软化水，去除碱性离子和钙、镁离子。

2. 纯水制备纯水制备过程主要分为离子交换和电极反应两个部分。

（1）离子交换：将水通过阴离子交换树脂和阳离子交换树脂进行去离子处理。

水先通过阳离子交换树脂的层，去除碳酸氢根离子、硫酸根离子、氯离子等阴离子，并释放出相应的氢离子；随后通过阴离子交换树脂的层，去除硝酸根离子、氯离子等阳离子，并释放出相应的氢氧根离子，使得水的离子浓度达到超纯水的标准。

（2）电极反应：将经过去离子处理的水通过电极间电离，使得水中的氢离子与氢氧根离子发生反应生成了水。

这个过程中一般采用两种方法：① 电解法：用电极将水加热至100℃左右，加入少量电解质，如NaOH或Na2CO3，使电解质发生电离，将其转化成离子，并在电极上与水中的氢离子和氢氧根离子反应形成水。

② 反渗透法：是一种低压、高效、无化学品的水脱盐技术。

这种技术是利用半透膜对水进行过滤，使得水中的大分子物质（如有机污染物、细菌等）和离子（包括阳离子和阴离子）被滤除，从而得到高质量的超纯水。

超纯水设备制水工艺及详细技术方案超纯水设备合用范围：本系统合用于树胶业清洗和生产用纯水。

工程类别：水处理系统销售、安装、服务。

系统总进水量：5m3/hr系统产水量：2m3/hr@25℃系统回收率：55～70%产水水质：电导率≤0.2μs/cm@25℃运行方式：自动运行(并具有手动操作功能)。

原水水源：自来水原水设计温度：25℃制水工艺：RO反渗透+EDI持续电除盐〔或IX树脂离子互换〕重要配置：预处理系统：原水箱、原水箱液位控制器、原水进水电磁阀、原水泵、PAM计量泵、多介质过滤器、活性炭过滤器、阻垢剂计量泵、管路、阀门。

RO反渗透系统：高压泵、反渗透膜、反渗透膜壳、膜架、控制系统、进水电磁阀、冲洗电磁阀、调压阀、高压开关、低压开关、精密过滤器。

储存系统：液位控制器、中间水箱。

EDI系统：〔工艺1)给水泵、模块、电源、流量计、压力表、电磁阀、在线电导仪、在线电阻仪、自动控制系统、机架。

IX系统：〔工艺2〕给水泵、再生泵、树脂容器、离子互换树脂、管路、阀门、机架。

工艺简介：反渗透技术是一种高效率、低能耗能、无污染旳先进技术，重要应用于纯水制备与海水淡化。

反渗透技术是运用压力差为动力旳膜分离过滤技术，通过压力差将H2O与源水中旳无机盐、重金属离子、有机物、胶体、细菌、病毒等杂质严格分离。

EDI是一种电渗析技术和离子互换技术相融合旳先进技术，系统可以通过电磁场通过阴、阳离子互换膜对阴、阳离子旳选择性透过作用与离子互换树脂对离子旳互换作用，在直流电场旳作用下实现离子旳定向迁移，从而完毕水旳深度除盐，系统可以完毕树脂持续不停旳自动再生，无需停机使用酸碱再生树脂，从而能持续制取高品质纯水。

可提供详细技术方案，内容如下：*项目分析：原水水质分析、施工规定分析;*引用水质原则;*超纯水处理方案：超纯水工艺阐明、详细工艺流程图; *施工处理方案;*设备技术参数;*系统配置及技术参数。

超纯水处理原理, 工艺流程及技术简介1.超纯水制备原理威立雅实验室超纯水器通常由原水预处理系统、反渗透纯化系统、超纯化后处理系统三部分组成。

预处理的目的主要是使原水达到反渗透膜分离组件的进水要求，保证反渗透纯化系统的稳定运行。

反渗透膜系统是一次性去除原水中98%以上离子、有机物及100%微生物(理论上)最经济高效的纯化方法。

超纯化后处理系统通过多种集成技术进一步去除反渗透纯水中尚存的微量离子、有机物等杂质，以满足不同用途的最终水质指标要求。

2.原水预处理系统预处理系统通常由聚丙烯纤维(PP)过滤器和活性炭(AC)过滤器组成。

对硬度较高的原水还需加装软化树脂过滤器。

PP滤芯可高效去除原水中5μm以上的机械颗粒杂质、铁锈及大的胶状物等污染物，保护后续过滤器，其特点是纳污量大, 价格低廉。

AC活性炭滤芯可高效吸附原水中余氯和部分有机物、胶体，保护聚酰胺反渗透复合膜免遭余氯氧化。

软化树脂可脱除原水中大部分钙镁离子，防止后续RO膜表面结垢堵塞，提高水的回收率。

3.反渗透纯化系统反渗透(Reverse Osmosis，简称RO)是以压力差为推动力的一种高新膜分离技术，具有一次分离度高、无相变、简单高效的特点。

反渗透膜“孔径”已小至纳米(1nm=10-9m)，在扫描电镜下无法看到表面任何“过滤”小孔。

在高于原水渗透压的操作压力下，水分子可反渗透通过RO半透膜，产出纯水，而原水中的大量无机离子、有机物、胶体、微生物、热原等被RO膜截留。

通常当原水电导率<200μS/cm时，一级RO纯水电导率≤5μs/cm，符合实验室三级用水标准。

对于原水电导率高的地区，为节省后续混床离子交换树脂更换成本，提高纯水水质，客户可考虑选择二级反渗透纯化系统，二级RO纯水电导率约1~5μS/cm，与原水水质有关。

4.超纯化后处理系统①混床离子交换纯化柱混床离子交换纯化柱由阴离子交换树脂和阳离子交换树脂按比例混合而成。

阳离子交换树脂用其H+交换去除水中的阳离子，阴离子交换树脂用其OH-交换去除水中的阴离子，在混床树脂中被交换出来的H+和OH-结合生成H2O，因此混床离子交换纯化柱可用来深度去除RO纯水中尚存的微量离子。

现代人生活天天手中不离电子产品，近年来，随着中国科技发展迅速，其中电子行业是科技发展主力军，电子行业中半导体占有重要位置。

半导体清洗用超纯水设备主要应用在电子行业半导体清洗中，其出水水质均能达到国际半导体清洗用超纯水标准。

半导体清洗用超纯水设备工艺流程
半导体清洗超纯水设备整套工艺流程相当严谨，所以这就需要每个工序点配合默契。

原水进入半导体清洗用超纯水设备后首先进入南方泵加压，加压后原水进入系统预处理装置，预处理过后通过反渗透水处理装置，此时的水可以作为纯水来使用，最后需经过过滤器进行深度过滤，使出水达到要求。

电子行业发生的变化给人们日常生活带来巨大影响，电子产品最不可缺少的配件半导体越来越受到人们关注。

电子行业超纯水设备对电子元件主要的生产起着至关重要的辅助作用。

电子行业超纯水设备中的RO膜孔径小至纳米级，采用双级反渗透之后出水标准超过国家半导体清洗用超纯水标准。

设备出水水质最高可达18.2兆，废水的回收率可以达到80%到90%以上。

超纯水制备技术工艺及其原理全面解析对于超纯水的需求随着半导体工业的发展，对超纯水质量要求提高，从而大大的推动了纯水技术的发展，膜技术得到了广泛的应用，微滤，超滤，电渗析和反渗透技术先进的水处理技术得到了飞速的发展，膜法制备纯水取代了传统的离子交换器系统，解决了TOC问题，满足了电子行业对纯水质量的要求。

超纯水制备工艺1.传统超纯水制备工艺流程：原水—多介质过滤器—活性炭过滤器—一级除盐—混床—超纯水2.膜法超纯水制备工艺流程：原水—超滤—反渗透—EDI—超纯水在膜法工艺中，超滤，微滤替代澄清，石英砂过滤器，活性炭过滤器，除去水中的悬浮物胶体和有机物，降低浊度，SDI，COD等，可以实现反渗透装置对污水回用的安全，高效运行，以反渗透替代离子交换器脱盐，进一步除去有机物，胶体，细菌等杂志，可以保证反渗透出水满足EDI进水的要求，以EDI代替混床深度脱盐，利用电而不是酸碱对树脂再生，避免了二次污染。

原水水质概论水中的杂质按存在的形态的不同可以分为悬浮物，胶体和溶解性固体三种，其中固体含量用总固体量作为指标，把一定量水样在105-110°烘箱中烘干到恒重，所得的重量及为总固含量。

第一类是悬浮物物指悬浮于水中的物质，颗粒直径在10-4mm 以上，如泥沙，粘土，动植物残骸，微生物，有机物，藻类等第二类是胶体，指水中带电荷的胶体为例，颗粒直径在10-5mm之间，胶体颗粒是许多分子或离子集合体，这种细小颗粒具有较大的比表面积，从而使他具有特殊的吸附能力，而被吸附的物质往往是水中的离子，因此胶体颗粒带有一定的电荷，如硅铁铝化合物及一些高分子有机物如腐殖质等，也有一些在此粒径范围的细菌，病毒等。

第三类是溶解物，只被水所溶解的，分子或离子状态的溶质或气体如氯化物，硫酸盐等。

悬浮物和胶体是使天然水产生浑浊的主要原因。

原水的预处理反渗透因为膜材料及元件的关系，对进水水质有一定的要求，预处理解决的问题是赌赛，结构，污染和波坏，堵塞时指水中的颗粒，悬浮物，胶体，铁氧化物沉淀等堵塞膜元件的流道，结垢是指难溶盐在浓水侧浓缩厚结晶析出，可预先除去或加阻垢剂。

图 7是常用的一级EDI全系统组成图。
图 7 常用的产水水质稳定的二级RO+一级EDI+MB电子Ⅰ级超纯水系统组成图
适合于源水硬度低，有机物含量高，电导率 <1000μs/cm,即TDS < 500ppm时，要求产水电阻率18～18.2MΩ·cm的纯水系统
图 3 常用的一级RO+二级EDI+MB 电子I级超纯水系统工艺配置图
适合于源水硬度高，有机物含量高，电导率高（小于1000μs/cm），要求产水电阻率18～18.2MΩ·cm的超纯水系统
图统工艺配置图
适合于源水硬度高，有机物含量高，电导率（小于1000μs/cm），要求产水电阻率15～18MΩ·cm的超纯水系统
图 5 常用的一级RO+二级EDI电子+MB 电子I级超纯水系统工艺配置图
适合于源水硬度低，有机物含量低，电导率高（小于1000μs/cm），要求产水电阻率18～18.2MΩ·cm的超纯水系统
图 6 常用的一级RO+二级EDI电子Ⅱ级超纯水系统工艺配置图
适合于源水硬度低，有机物含量低，电导率高（小于1000μs/cm），要求产水电阻率15～18MΩ·cm的超纯水系统

超纯水生产工艺流程图
主要技术：
1．超滤技术：超滤技术是指采用微孔超滤膜，截留水中胶体大小的颗粒，而水和低分子量溶质则允许透过膜。

超滤的机理是指由膜表面机械筛分、膜孔阻滞和膜表面及膜孔吸附的综合效应，以筛滤为主。

2．反渗透技术：反渗透是一种以压力差为推动力，从溶液中分离出溶剂的膜分离操作。

对膜一侧的料液施加压力，当压力超过它的渗透压时，溶剂会逆着自然渗透的方向作反向渗透，从而在膜的低压侧得到透过的溶剂，即渗透液；高压侧得到浓缩的溶液，即浓缩液。

3．电去离子（EDI）技术：电去离子技术利用树脂吸附离子，提高膜间导电性，同时利用电能迫使水解离为氢离子和氢氧根离子，对树脂进行再生，因而实现树脂在进行离子交换的同时进行就地再生，并不产生额外的废酸碱污染，提高生产效率并减少污染排放。

4.自适应氮封技术：利用专有氮封装置，精密控制氮封水箱压力平衡，并保证在微正压下运行，防止空气污染超纯水的同时节省氮气消耗，在故障时自适应连通大气防止水箱损坏。

5.离子交换技术：离子交换技术是指水通过离子交换柱时，水中的阳离子和水中的阴离子与交换柱中的阳树脂的H+离子和阴树脂的OH －离子进行交换，从而达到脱盐的目的。

离子交换器分为阳离子交换器（软化器）、阴离子交换器、混合离子交换器等。

注：以下资料由莱特莱德提供EDI超纯水系统工艺流程说明：本工艺包括预处理部分、反渗透部分、EDI部分。

1、预处理及反渗透部分组成和目的：为反渗透装置提供合格的进水。

A.反渗透系统进水要求：1) 污染指数SDI≤42) 余氯 <0.1 ppm3) 浊度 <1NTU4) 供水Fe3+ ≤0.01ppm5) 供水水温适宜范围 10～30℃6) 碳酸钙饱和指数LSI 0B.预处理就是通过过滤、吸附、交换等方法使反渗透进水达到以上要求，实现以下目的：防止反渗透膜面结垢(包括CaCO3、CaSO4、SrSO4、CaF2、SiO2、铁铝氧化物等);防止胶体物质及悬浮固体微粒对反渗透膜的污堵;防止有机物质的对反渗透膜的污堵和降解;防止微生物对反渗透膜的污堵;防止氧化性物质对反渗透膜的氧化破坏;C.预处理系统的组成：原水中含有多种杂质，如悬浮物、胶体、有机物和无机物。

为去除水中的悬浮物、胶体、有机物等，原水预处理部分设置机械滤器、活性炭滤器、软化器、保安滤器等装置。

机械滤器、活性炭柱可有效去除水中的悬浮物、胶体、有机物等杂质，并吸附自来水中的腐殖质、色度、嗅味、余氯等，可降低水的浊度和污染指数，经其处理后的水洁净，无异味，称之为清水。

机械滤器内装填无烟煤及石英砂，活性炭滤器内装填优质活性炭，软化器用钠离子交换树脂将原水中的钙、镁离子置换出去，经该设备流出后而为硬度极低的软化水，内装填优质树脂。

2、原水预处理部分：原水中含有多种杂质，如悬浮物、胶体、有机物和无机物。

为保证本系统中反渗透预除盐部分的正常运转，必须先去除水中的悬浮物、胶体、有机物等，使反渗透的进水达到要求，故本系统设置原水预处理部分。

原水预处理部分包括机械滤器、活性炭滤器、软化器、保安滤器、PH加药等装置。

(1)机械滤器：反渗透设备对进水的浊度有较高的要求，特别是反渗透进水的污染指数SDI值要求小于4，浊度小于1NTU。

多介质滤器中的滤料包括五种规格的石英砂，用于除去原水中的悬浮物及脱稳后的胶体。

符号说明:P Pc F R C电磁阀球阀止回阀压力表压力控制器流量计电阻率表电导率表流变控制开关FK图 3 常用的一级RO+二级EDI+MB 电子I级超纯水系统工艺配置图适合于源水硬度高，有机物含量高，电导率高（小于1000μs/cm），要求产水电阻率18～Ω·cm的超纯水系统符号说明:P Pc F R C电磁阀球阀止回阀压力表压力控制器流量计电阻率表电导率表流变控制开关FK图 4常用的一级RO+二级EDI电子Ⅱ级超纯水系统工艺配置图适合于源水硬度高，有机物含量高，电导率（小于1000μs/cm），要求产水电阻率15～18MΩ·cm的超纯水系统符号说明:P Pc F R C电磁阀球阀止回阀压力表压力控制器流量计电阻率表电导率表流变控制开关FK图 5 常用的一级RO+二级EDI电子+MB 电子I级超纯水系统工艺配置图适合于源水硬度低，有机物含量低，电导率高（小于1000μs/cm），要求产水电阻率18～Ω·cm的超纯水系统符号说明:P Pc F R C电磁阀球阀止回阀压力表压力控制器流量计电阻率表电导率表不合格排放流变控制开关FK 图 6 常用的一级RO+二级EDI电子Ⅱ级超纯水系统工艺配置图适合于源水硬度低，有机物含量低，电导率高（小于1000μs/cm），要求产水电阻率15～18MΩ·cm的超纯水系统图 7是常用的一级EDI 全系统组成图。

电导率表电阻率表流量计压力控制器压力表止回阀球阀电磁阀CR F PcP图 7 常用的产水水质稳定的二级RO+一级EDI+MB 电子Ⅰ级超纯水系统组成图适合于源水硬度低，有机物含量高，电导率 <1000μs/cm,即TDS < 500ppm 时，要求产水电阻率18～Ω·cm 的纯水系统P Pc F R C电磁阀球阀止回阀压力表压力控制器流量计电阻率表电导率表图 8 常用的产水水质稳定的二级RO+一级EDI电子Ⅱ级超纯水系统组成图7适合于源水硬度低，有机物含量高，电导率 <1000μs/cm,即TDS < 500ppm时，要求产水电阻率15～Ω·cm的的纯水系统8。

超纯水超纯水，即电阻率达到18MΩ*cm（25℃）的水，是美国科技界为了研制超纯材料（半导体原件材料、纳米精细陶瓷材料等）应用蒸馏、去离子化、反渗透技术或其它适当的超临界精细技术生产出来的水，这种水中除了水分子（H20）外，几乎没有什么杂质，更没有细菌、病毒、含氯二恶英等有机物，当然也没有人体所需的矿物质微量元素，一般不可直接饮用，对身体有害，会析出人体中很多离子它常用于集成电路工业中用于半导体原材料和所用器皿的清洗、光刻掩模版的制备和硅片氧化用的水汽源等。

此外，其他固态电子器件、厚膜和薄膜电路、印刷电路、真空管等的制作也都要使用超纯水。

超纯水的制备工艺大体可分为预处理、脱盐和精处理三步。

1.预处理:包括砂滤、多介质过滤、软化、加氯、调节pH、活性碳过滤、脱气等。

过滤可除去1～20微米大小的颗粒，软化和调节pH可防止反渗透膜结垢，加氯是杀菌。

活性碳过滤是除去有机物和自由氯，脱气是清除溶于水中的CO2等。

2.脱盐:包括电渗析、反渗透、离子交换。

电渗析的原理是在外加直流电场作用下利用阳离子和阴离子交换膜对离子选择性透过，脱盐率可达95%以上。

反渗透是渗透现象的逆过程，在浓溶液上加压力，使溶剂从浓溶液一侧通过半透膜向稀溶液一侧反向渗透，脱盐可达98%，并能除去99%的细菌颗粒和溶解在水中的有机物。

离子交换的原理是当水通过阳离子交换树脂时，水中的阳离子被阳离子交换树脂吸附，树脂上可交换的阳离子如H离子被置换到水中，并和水中的阴离子结合成相应的无机酸，这种含有无机酸的水，当下一步通过阴离子交换树脂层时，水中的阴离子被阴离子交换树脂吸附。

3.精处理:包括紫外线杀菌、终端膜过滤和超滤。

紫外线杀菌是因生物体的核酸吸收紫外线光的能量而改变核酸自身结构，破坏核酸功能而使细菌死亡。

杀菌最强的光谱波长为2600埃。

各种膜过滤能除掉直径大于0.2微米的颗粒，但对于清除有机物则不如反渗透和超滤有效。

超滤是把各种选择性的分子分离。

超纯水系统工艺操作使用说明书84T/H M M F+U F+2R O+E D I+S M B超纯水系统（18MΩ·C M超纯水系统）目录一. 工艺流程 (2)二. 操作条件 (3)三．安全 (3)四．工艺说明 (3)五. 系统设备清单 (9)六．单体设备操作说明 (11)七. 安装说明 (67)八. 仪表校正与更换 (69)九. 控制说明 (69)十．耗材及加药明细 (70)本系统主要是对原水进行预处理及精处理，以达到去除水中的有机物、无机物、胶体、溶解性离子、颗粒物，满足终端用户超纯水水质要求。

一、工艺流程根据用户原水水质要求，本系统所配工艺流程如下：二、操作条件1）操作人员必须经过专业的培训；2）设备、仪器、仪表等应检查合格并已及时排除故障；3）在运行前确认控制盘上的开关在正确位置；4）设备的手动阀应在正确位置；5）注意化学加药必须符合操作要求；6) 排水沟排水通畅；7）控制电源：220V±10%，动力电源：380V±10%；8）水箱氮封用高纯氮气：3-5bar，约30Nm3/h；9) 仪表用压缩空气：3-5bar,约150NM3/H；三、安全1）保持持车间内无灰尘杂质，尤其在超纯水系统的车间；2）保持通讯设施正常；3）现场必须有足够的经过检查的防火设施来保证设备及员工的安全；4）门窗及加热保温设施应该处于良好的情况下，以保证设备的安全；5）工作环境中的所有设施都必须保证状态良好；6) 清洁水源、毛巾、塑料手套、防护眼镜等应该常备在工作及相关人员容易得到的地方；7）室内光照明系统等应做到保证操作人员的安全以及操作的顺利进行；8）操作人员必须经过安全培训并且通过相关测试；9) 为了保证设备及员工的安全，当系统在运行过程中，应使用挂上“禁止乱操作”、“危险”、“系统带电”等标牌；10）禁止让工作无关人员进入工作现场，以免带来系统设备的危害与损失；四、工艺说明如下：原水箱（TK-UPW-01-A）用于储存原水进水，起到缓冲及调节水量的作用，防止进水压力或水量有波动，保证后续系统安全稳定的运行。

二级反渗透+EDI超纯水设备工艺流程图1.前言要求如下：1.1纯水水量18MΩ.cm 25 m3/h1.2、系统制备的主要技术参数：前处理产水量: ≥45m3/h;反渗透系统二级反渗透产水量: ≥28m3/h;EDI去离子系统产水量: ≥25m3/h;1.3产水水质指标10m3/h ≥18 MΩ·cm (参照国标EW-Ⅱ)供水压力 0.35Mpa 温度：常温;1.4 系统配置：预处理、二级反渗透、EDI超纯水设备电再生连续除盐装置床。

1.5供水方式：连续产出(24小时运行)。

2. 设计依据莱特莱德郑州水处理设备厂家为新老用户提供。

本电子工业纯水站工程项目设计依据如下：1.原水水质分析资料;2.高纯水的品质要求(产品水水质指标)，以及相关国家标准;3.高纯水的生产规模;4.用户对系统整体水准要求。

2.1 原水水质资料和技术指标表1. 原水水样水质分析报告(供参考)：检测报告表原水：市政自来水检测结果：无2.2 电子级水国家标准4.1 预处理部分目的：为反渗透装置提供合格的进水。

4.1.1原水预处理的目的和组成A.反渗透系统进水要求：（1）污染指数：SDI≤4；（2）余氯： <0.1 ppm（3）浊度 <1NTU（4）供水Fe3+ ≤0.01ppm。

（5）供水水温适宜范围 10～30℃。

（6）碳酸钙饱和指数 LSI：<0B.预处理系统就是通过过滤、吸附等方法使反渗透进水达到以上要求，以实现以下目的：（1）防止反渗透装置膜面结垢（包括CaCO3、CaSO4、SrSO4、CaF2、SiO2、铁铝氧化物等）；（2）防止胶体物质及悬浮固体微粒对反渗透的污堵；（3）防止有机物质的对反渗透的污堵和降解；（4）防止微生物对反渗透的污堵；（5）防止氧化性物质对反渗透膜的氧化破坏；C.预处理系统的组成：包括机械滤器、活性炭滤器。

4.1.2机械滤器机械滤器中的滤料包括多种规格的石英砂，用于除去原水中的悬浮物及及脱稳后的胶体,以使出水的污染指数SDI<4达到RO进水要求。

光电行业超纯水水质要求及制水流程
光电行业生产产品一般包含LED，触摸屏等，生产这些产品过程中需要采用大量的纯水，并且此类光电光学产品对水质要求十分高，光电工业超纯水出水水质一般需要达到下述要求：
电阻率：产水点>15兆欧以上；
SiQ2： <10ppb；
TOC： <50ppb；
PH：6.5-8；
硬度：<6dh；
金属阳离子：<1ppb；
纯水等级满足EW-2(GB/T11446.1-1997)。

光电行业超纯水系统一般采用下述流程：
1、原水箱—原水泵—砂过滤器—碳过滤器—软水器—精密过滤器--反渗透设备—混床—纯水箱—纯水泵—精密过滤器--用水点
2、原水箱—原水泵—砂过滤器—碳过滤器—软水器—精密过滤器--反渗透设备—EDI—纯水箱—纯水泵—精密过滤器—用水点
根据用水水质要求，电子光电行业超纯水处理系统一般采用反渗透+EDI工艺的较多，这种工艺既环保又经济，出水水质均能达到15兆欧以上，达到了光电行业的标准水质，且不需酸碱再生就可连续制取高纯水。

水质可通过增减配套工艺设备进行调整。

超纯水工艺流程
《超纯水工艺流程》
超纯水是一种极其纯净的水，其纯度高达18.25兆欧/厘米，远远超过了普通的饮用水和工业用水。

超纯水在微电子、光伏、医药等领域有着广泛的应用，因此其生产工艺也显得尤为重要。

以下是超纯水工艺的一般流程：
1. 原水处理
超纯水的原水通常选择自来水、蒸馏水或反渗透水，首先需要对原水进行预处理，包括过滤、软化、脱盐等步骤，一般选择反渗透膜进行脱盐处理，以去除水中的大部分离子、微生物和有机物。

2. 离子交换树脂处理
经过反渗透处理的水质虽然较好，但离子交换树脂可进一步去除水中的残余离子，采用混床树脂或阳离子/阴离子交换树脂
系统，使水中的离子浓度进一步降低。

3. 超滤处理
通过超滤膜进行微观过滤，去除水中的胶体、微生物、有机物等微小颗粒，提高水质的纯净度。

4. 紫外辐照
经过超滤处理的水进行紫外辐照消毒，在不使用化学药剂的情况下杀灭水中的微生物。

5. 臭氧氧化
采用臭氧氧化技术可以去除水中的有机物和氧化性物质，提高水的纯净度。

6. 在线检测
在生产过程中建立在线监测系统，对水质进行实时监测，及时调整生产工艺，保证超纯水的质量。

通过以上的一系列工艺步骤，可以生产出超纯水，保证其符合特定领域的要求。

超纯水工艺的流程虽然繁琐，但对于相关行业的发展和应用来说，其纯净度和稳定性是至关重要的。

超纯水技术过程
超纯水技术是指通过多种处理方法，将自来水或其他水源中的杂质和溶解物质彻底去除，从而获得水质非常纯净的水。

其过程包括以下几个步骤：
1. 初级处理：包括沉淀、过滤和氧化等步骤。

首先，通过加入化学药剂使水中的悬浮颗粒和胶体物质聚集成为沉淀物，然后用过滤器去除大颗粒物质。

最后，通过氧化剂氧化水中的有机物质和某些金属离子。

2. 倒置渗透（RO）：RO是一种常用的膜分离技术，通过逆向渗透膜将水中的溶解离子、微生物和有机物质等分离出来。

RO膜具有非常小的孔径，可以过滤掉多种物质，如盐类、重
金属、有机物等，从而得到相对纯净的水。

3. 离子交换：通过离子交换树脂，将水中的阳离子和阴离子与树脂上的交换离子发生置换反应。

这一过程可以有效去除水中的离子，如硫酸根离子、硝酸根离子等，从而提高水的纯净度。

4. 纤维滤过：利用纤维过滤器进一步去除水中的微生物和其他细小颗粒。

纤维过滤器通常具有更小的孔径，可以有效过滤掉微生物、胶体和悬浮颗粒等物质。

5. 紫外线消毒：使用紫外线辐射杀灭水中的细菌和病原体。

紫外线辐射对细菌和病毒的DNA和RNA具有破坏作用，以达
到消毒的目的。

以上是超纯水技术的基本过程，不同的设备和工艺流程可能略有差异。

超纯水广泛应用于实验室、制药、电子和光电子等领域，要求水质非常纯净和无菌。

EDI超纯水设备的工艺说明及标准EDI超纯水设备根据不同的源水水质采用不同的工艺。

一般自来水经一级反渗透系统处理后，产水电导率<10μS/cm，经二级反渗透系统后产水电导率<5μS/cm甚至更低，在反渗透系统后辅以离子交换设备或EDI设备可以制备超纯水，使电阻率达到18兆欧 (电导率=1/电阻率)。

本文主要介绍EDI水处理设备的工艺及标准。

一、技术工艺分析：1、采用RO反渗透+EDI离子交换系统相结合的成熟工艺，具有运行可靠、操作维护方便;2、与传统工艺相比具有运行稳定优点(离子交换器的再生周期大大延长)，与最新工艺相比无须再生，耗材;3、前置RO反渗透工艺技术先进，可靠。

并运用成熟的EDI工艺，使水质出水更趋于稳定安全;二、系统工艺流程预处理系统-反渗透系统-中间水箱-粗混合床-精混合床-纯水箱-纯水泵-紫外线杀菌器-抛光混床-精密过滤器-用水对象(≥18MΩ.CM)(传统工艺)三、工艺出水标准超纯化水标准、医疗生物水标准、显像管、液晶显示器用纯水水质(经验数据)集成电路PCB用纯水水质、光电技术、航空技术、半导体高晶硅制取及化合物提取国家电子级纯水标准美国SEMI协会标准四、设备特点为满足用户需要，达到符合标准的水质，尽可能地减少各级的污染，延长设备的使用寿命、降低操作人员的维护工作量。

在工艺设计上，取达国家自来水标准的水为源水，再设有介质过滤器，活性碳过滤器，钠离子软化器、精密过滤器等预处理系统、RO反渗透主机系统、离子交换混床(EDI电除盐系统)系统等。

系统中水箱均设有液位控制系统、水泵均设有压力保护装置、在线水质检测控制仪表、电气采用PLC可编程控制器，真正做到了无人职守，同时在工艺选材上采用推荐和客户要求相统一的方法，使设备与其它同类产品相比较，具有更高的性价比和设备可靠性。