透射电子显微镜的原理及应用
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透射电子显微镜步骤透射电子显微镜(Transmission Electron Microscope,简称TEM)是一种非常重要的科学仪器,用于观察微观尺度下的物质结构。
与光学显微镜相比,透射电子显微镜使用的是电子束而不是光束,通过透射电子的原理来观察样本的巨细无遗的内部结构。
本文将介绍透射电子显微镜的工作原理和具体操作步骤。
一、透射电子显微镜的工作原理透射电子显微镜主要由电子源、电子光学系统(包括透镜和减速电势),样品台、显微镜筒和检测器等组成。
其工作原理基于透射电子的性质,通过像差补偿技术来获得清晰的图像。
首先,电子枪产生高能电子束,通过电子光学系统进行加速和聚焦。
然后,电子束通过样品台,与样品进行相互作用。
在样品内部,电子束受到不同区域的散射和吸收,产生干涉和衍射现象。
最后,通过检测器来记录电子束通过样品后的信号,形成图像。
二、透射电子显微镜的操作步骤1. 样品制备在使用透射电子显微镜之前,首先需要制备样品。
样品制备的过程包括选择合适的样品材料、切割样品成薄片或小块、样品抛光以去除表面粗糙度,并最终制备成适合透射电子显微镜观察的样本。
2. 样品放置将制备好的样品放置在透射电子显微镜的样品台上。
为保持样品的稳定性,通常会采用样品夹具或胶水等固定样品。
3. 外层真空打开透射电子显微镜的真空系统,将内部气体抽取,创造一个接近真空的环境。
这样可以防止电子束与空气中的分子发生散射。
4. 对准样品通过调整透射电子显微镜的调节杆,使电子束对准样品。
这个过程需要耐心和细致的调整,以确保电子束准确地通过样品。
5. 选择合适的倍数和放大率根据需要观察的样品特性,选择合适的倍数和放大率。
透射电子显微镜通常具有多个倍数和放大率可以选择,以满足不同的观察需求。
6. 调整对焦和亮度通过调整透射电子显微镜的对焦调节手轮,使得样品图像清晰可见。
同时,可以通过调节透射电子显微镜的亮度调节手轮,使图像亮度适宜。
7. 记录图像通过透射电子显微镜的检测器记录图像。
透射电镜结构原理及明暗场成像透射电子显微镜(Transmission Electron Microscope, TEM)是一种利用电子束来观察物质微观结构的仪器。
与光学显微镜相比,透射电镜具有更高的分辨率和更强的放大能力。
其结构原理主要包括电子源、透射电子束、样品与透射电镜之间的相互作用、透射电镜成像系统。
1.电子源:透射电子显微镜主要使用热电子发射阴极作为电子源。
通常使用钨丝发射、氧化物表面发射或冷钨阴极等方式来产生电子束。
2.透射电子束:电子源发射出的电子经过一系列的电子光学透镜系统进行聚焦和调节,形成一束准直的电子束。
透射电子束的能量通常为几千伏到几十万伏之间,能量越高,穿透力越强。
3.样品与透射电镜之间的相互作用:透射电子束通过样品后,会与样品中的原子和分子发生相互作用。
这些相互作用包括散射、散射衍射和吸收。
这些相互作用使得电子束的方向、速度、能量等发生变化。
透射电子显微镜中的明暗场成像原理如下:1.明场成像:在明场条件下,样品中的透射电子束被物镜聚焦,形成一个清晰的像。
物体的亮度取决于电子束的强度,在没有样品的地方透射电子束强度最大,物体越厚,透射强度就越小,呈现出亮度变暗的效果。
明场成像适合于观察形貌和表面特性。
2.暗场成像:在暗场条件下,样品被遮挡住一部分区域,只有经过遮挡区域的电子束能够通过。
这样,只有经过散射才能把电子束引入投影镜,通过暗场的形成,呈现出样品的内部结构。
暗场成像适合于观察晶体缺陷、界面反应等。
总之,透射电子显微镜利用电子束的穿透性质,通过样品与电子束的相互作用以及透射电镜的光学系统,实现了对物质微观结构的高分辨率观察。
明暗场成像原理使得我们可以观察到不同结构和特性的样品的不同信息。
tem工作原理
TEM(透射电子显微镜)工作原理是利用电子束穿透物质样
本并通过透射方式形成样本的显微图像。
TEM是一种高分辨
率的显微镜,可用于观察和研究非常细小的物质结构。
TEM的基本构造包括电子源、透镜系统和探测器。
首先,电
子源产生高能电子束。
然后,电子束通过一系列透镜系统,包括电子透镜和物镜透镜,来聚焦电子束并使其通过样本。
透过样本后,电子束进入投射透镜,再通过聚焦透镜,最后进入探测器。
在通过样本的过程中,一部分电子束会被样本中的原子核、电子等相互作用而散射出去,另一部分电子束则会透过样本并与探测器相互作用。
探测器收集到的透射电子信号会转化为电信号,并通过电子学系统进行放大和处理。
最终,这些电信号被转化为图像,并通过显示器或拍摄设备进行观察和记录。
TEM的工作原理基于电子的波粒二象性,在透明薄样品的情
况下,电子束的穿透性可以用来解析样本内部的微观结构。
TEM在分辨率方面具有很高的优势,可以观察到纳米级别的
细小结构和特征。
同时,TEM还可以通过调整电子束的能量,实现不同样本性质的观测,如原子分辨率、晶体结构、元素分析等。
总而言之,TEM的工作原理是通过电子束穿透样本,利用透
射方式形成样本的显微图像。
这种技术在材料科学、生物科学和纳米科技等领域具有重要的应用价值。
透射电子显微镜的工作原理
透射电子显微镜是一种利用电子束来观察样品内部结构的仪器。
它的工作原理基于电子的波粒二象性和探测电子与样品的相互作用。
1. 电子源:透射电子显微镜的关键部件是电子源,通常使用热阴极电子枪作为电子源。
热阴极通过加热产生的电子被电场加速形成电子束。
2. 电子加速:电子束通过一系列电场透镜和加速电场,以加速电子的速度。
通常,加速电压可达到数十至数百千伏,使电子的动能足够高,以达到穿透样品的要求。
3. 样品制备:为了观察样品的内部结构,需要将样品制备成非晶质薄片,通常使用切片机或离心切片法将样品切割成纳米至微米厚度的薄片。
然后,将薄片置于透射电子显微镜的样品台上。
4. 电子束透射:加速的电子束通过样品时,会与样品内的原子发生相互作用。
其中,部分电子会被散射,部分会被吸收。
透射电子会穿过样品并保持其原有的信息。
5. 透射电子检测:透射电子进入具有电磁透镜功能的物镜透镜,物镜透镜根据透射电子的波动性将其聚焦。
透射电子经过物镜透镜后进入投影平面,通过透射电子探测器的探测,最终形成透射电子显微图像。
6. 图像处理与观察:通过对透射电子显微图像进行图像增强,噪声滤波等处理,可以进一步恢复样品的细节信息。
最后,通过观察透射电子显微图像,可以获得关于样品内部结构和原子排列的信息。
总之,透射电子显微镜利用电子的波粒二象性以及电子与样品的相互作用,通过探测透射电子形成样品内部结构的显微图像。
这种显微镜技术在材料科学、纳米科学等领域有着重要的应用价值。
透射电子显微镜的原理一、透射电子显微镜的成像原理可分为三种情况:1、吸收像:当电子射到质量、密度大的样品时,主要的成相作用是散射作用。
样品上质量厚度大的地方对电子的散射角大,通过的电子较少,像的亮度较暗。
早期的透射电子显微镜都是基于这种原理。
2、衍射像:电子束被样品衍射后,样品不同位置的衍射波振幅分布对应于样品中晶体各部分不同的衍射能力,当出现晶体缺陷时,缺陷部分的衍射能力与完整区域不同,从而使衍射波的振幅分布不均匀,反映出晶体缺陷的分布。
3、相位像:当样品薄至100Å以下时,电子可以穿过样品,波的振幅变化可以忽略,成像来自于相位的变化。
二、扫描电子显微镜成像原理扫描电子显微镜通过用聚焦电子束扫描样品的表面来产生样品表面的图像。
电子与样品中的原子相互作用,产生包含关于样品的表面测绘学形貌和组成的信息的各种信号。
电子束通常以光栅扫描图案扫描,并且光束的位置与检测到的信号组合以产生图像。
扫描电子显微镜可以实现分辨率优于1纳米。
样品可以在高真空,低真空,湿条件(用环境扫描电子显微镜)以及宽范围的低温或高温下观察到。
最常见的扫描电子显微镜模式是检测由电子束激发的原子发射的二次电子。
可以检测的二次电子的数量,取决于样品测绘学形貌,以及取决于其他因素。
通过扫描样品并使用特殊检测器收集被发射的二次电子,创建了显示表面的形貌的图像。
它还可能产生样品表面的高分辨率图像,且图像呈三维,鉴定样品的表面结构。
扩展资料:在使用透视电子显微镜观察生物样品前样品必须被预先处理。
随不同研究要求的需要科学家使用不同的处理方法。
1、固定:为了尽量保存样本的原样使用戊二醛来硬化样本和使用锇酸来染色脂肪。
2、冷固定:将样本放在液态的乙烷中速冻,这样水不会结晶,而形成非晶体的冰。
这样保存的样品损坏比较小,但图像的对比度非常低。
3、脱干:使用乙醇和丙酮来取代水。
4、垫入:样本被垫入后可以分割。
5、分割:将样本使用金刚石刃切成薄片。
透射电镜的结构原理及应用1. 介绍透射电子显微镜(Transmission Electron Microscope,简称TEM)是一种基于电子束传输与样品交互作用的高分辨率显微镜。
透射电镜通过在样品上透射的电子束来形成图像,因此可以观察到原子尺度的细节。
本文将介绍透射电镜的结构原理以及其应用领域。
2. 结构原理透射电子显微镜的基本结构由以下几个主要组件组成:2.1 电子源透射电子显微镜使用高速电子束来照射样品。
电子源通常采用热阴极电子枪,通过加热阴极发射高能电子。
电子源生成的电子束必须具有高度的单色性和准直性。
2.2 准直系统准直系统用于控制电子束的方向和准直度,确保电子束可以尽可能准直地照射到样品上。
准直系统通常包括准直光阑和采购透镜。
2.3 束流衰减系统束流衰减系统用于控制电子束的强度,以适应不同的样品特性和实验需求。
束流衰减系统包括限制光阑、透镜和衰减器等组件。
2.4 对焦系统对焦系统用于控制电子束的焦距,以确保电子束能够聚焦在样品表面或其内部的特定区域。
对焦系统包括透镜和聚焦光阑。
2.5 样品台和检测系统样品台是放置样品的平台,通常具有三维移动的能力,以便于调整样品的位置和观察区域。
检测系统用于检测透射电子束与样品交互后的信号,并将其转化为图像。
3. 应用领域透射电子显微镜在各个科学领域中具有广泛的应用。
以下是几个常见的应用领域:3.1 材料科学透射电子显微镜可以观察和分析材料的微观结构、晶格缺陷、晶体取向等特征。
它被广泛应用于纳米材料、催化剂、半导体器件等领域。
3.2 生物学透射电子显微镜在生物学研究中发挥着重要作用,可以观察和研究生物细胞、组织和病毒等微观结构。
它被用于研究生物分子的结构、功能和相互作用。
3.3 纳米技术透射电子显微镜对于纳米技术的研究和开发非常关键。
它能够观察和控制纳米材料和纳米结构,有助于纳米器件的设计和制造。
3.4 地球科学透射电子显微镜在地质和地球科学中也具有重要的应用价值。
透射电子显微镜解析出材料结构与缺陷的微观形貌材料科学与工程领域中,了解材料的微观结构和缺陷是极为重要的。
透射电子显微镜(Transmission Electron Microscope,简称TEM)作为一种高分辨率的显微镜,被广泛应用于研究材料的微观结构和缺陷的形貌。
本文将对透射电子显微镜的原理以及其在解析材料结构和缺陷方面的应用进行探讨。
首先,我们来了解一下透射电子显微镜的原理。
TEM利用电子束的穿透性质,通过透射模式进行成像。
当电子束通过材料样品时,被材料中的原子核和电子云散射,形成折射、衍射和透射等效应。
其中,透射电子显微镜主要依靠透射电子的成像来解析材料的微观结构和缺陷。
在TEM中,电子束通过样品后,经过透射器(透镜)和投影透镜组件进行成像,最后由像差校正系统进行调整来提高成像质量。
透射电子显微镜的高分辨率使得它能够解析出材料的微观形貌,包括晶体结构、晶格缺陷和界面等。
透射电子显微镜在解析材料结构方面具有得天独厚的优势。
通过TEM的高分辨率成像,可以直接观察到材料的晶格结构。
晶体的晶体结构、晶胞参数、晶体方向和位错等重要的结构信息可以通过TEM成像来获得。
通过选取特定的衍射点和晶格平面,可以进一步通过电子衍射技术确定晶体结构。
透射电子衍射技术可以通过模式匹配和比对已知晶体结构的衍射图案来确定材料的晶体结构,为研究和设计材料提供了重要的依据。
此外,透射电子显微镜还可以帮助解析材料中的晶体缺陷。
晶格缺陷是材料中常见的现象,对材料的性能和行为产生显著影响。
通过透射电子显微镜观察,可以揭示出材料中的位错(dislocation)、嵌错(inclusion)、晶界(grain boundary)和尖晶石等各种缺陷。
位错是晶体中最常见的缺陷类型之一,它们对晶格的完整性和形貌起到了至关重要的作用。
透射电子显微镜可以通过成像和EDS(能谱分析)技术来定量和表征位错的类型和密度。
此外,透射电子显微镜还可以通过高分辨率透射电子显微镜(HRTEM)技术对材料的晶界和界面进行观察,揭示出材料微观结构中的复杂性。
透射电子显微镜的原理及应用一.前言人的眼睛只能分辨1/60度视角的物体,相当于在明视距离下能分辨0.1mm 的目标。
光学显微镜通过透镜将视角扩大,提高了分辨极限,可达到2000A 。
光学显微镜做为材料研究和检验的常用工具,发挥了重大作用。
但是随着材料科学的发展,人们对于显微镜分析技术的要求不断提高,观察的对象也越来越细。
如要求分表几十埃或更小尺寸的分子或原子。
一般光学显微镜,通过扩大视角可提高的放大倍数不是无止境的。
阿贝(Abbe )证明了显微镜的分辨极限取决于光源波长的大小。
在一定波长条件下,超越了这个极限度,在继续放大将是徒劳的,得到的像是模糊不清的。
图1-1(a )表示了两个点光源O 、P 经过会聚透镜L ,在平面上形成像O ,、P ,的光路。
实际上当点光源透射会聚成像时,由于衍射效应的作用在像平面并不能得到像点。
图1-1(b )所示,在像面上形成了一个中央亮斑及周围明暗相间圆环所组成的埃利斑(Airy )。
图中表示了像平面上光强度的分布。
约84%的强度集中在中央亮斑上。
其余则由内向外顺次递减,分散在第一、第二……亮环上。
一般将第一暗环半径定义为埃利斑的半径。
如果将两个光源O 、P 靠拢,相应的两个埃利斑也逐渐重叠。
当斑中心O ,、P ,间距等于案例版半径时,刚好能分辨出是两个斑,此时的光点距离d 称为分辨本领,可表示如下:αλsin 61.0d n = (1-1) 式中,λ为光的波长,n 为折射系数,α孔径半角。
上式表明分辨的最小距离与波长成正比。
在光学显微镜的可见光的波长条件下,最大限度只能分辨2000A 。
于是,人们用很长时间寻找波长短,又能聚焦成像的光波。
后来的X 射线和γ射线波长较短,但是难以会聚聚焦。
1924年德布罗(De Broglie )证明了快速粒子的辐射,并发现了一种高速运动电子,其波长为0.05A 。
,这比可见的绿光波长短十万倍!又过了两年布施(Busch )提出用轴对称的电场和磁场聚焦电子线。
TEM的工作原理及应用1.引言透射电子显微镜(Transmission Electron Microscope,TEM)是一种基于电子束的显微镜,具有较高的分辨率和放大倍数,能够观察材料的超微结构和原子排布。
本文将介绍TEM的工作原理,并探讨其在不同领域的应用。
2.TEM的工作原理TEM使用高速的电子束来照射样品,并通过样品中透射的电子来生成高分辨率的图像。
习惯上将电子束传输的路径分为两个主要部分,分别为电子管部分和像差校正部分。
2.1 电子管部分电子管部分包括电子源、准直系统和聚焦系统。
电子源产生高能电子束,准直系统用来调整束流的方向,聚焦系统用于使电子束聚焦至样品表面。
2.2 像差校正部分像差校正部分包括透镜系统和检测器系统。
透镜系统主要由一个或多个磁透镜组成,用于进一步聚焦电子束,并校正由于透镜系统自身的像差引起的成像偏差。
检测器系统用于接收透射过来的电子,并将其转换为图像。
3.TEM的应用3.1 材料科学TEM在材料科学中的应用广泛,可以对金属、半导体、陶瓷等材料的晶体结构进行观察和分析,揭示材料的微细结构,例如晶格缺陷、原子间的相互作用等。
此外,TEM还可以用于研究材料的相变过程和界面结构,为新材料的设计和合成提供理论基础。
3.2 生物学TEM可用于观察生物样品,如细胞、组织和病毒等的超微结构。
通过TEM,可以揭示细胞器官、蛋白质复合物以及病毒的形态和分布,研究生物过程中的亚细胞水平细节。
此外,TEM还可用于研究细胞内的纳米颗粒、药物输送系统等,为生物医学研究提供重要信息。
3.3 纳米科学在纳米科学领域,TEM被广泛应用于纳米颗粒和纳米结构材料的观察和表征。
通过TEM,可以直接观察和测量纳米颗粒的形状、尺寸、晶体结构等特征,并研究其在催化、光电、生物医学等方面的性质和应用。
此外,TEM还可用于纳米材料的制备和加工过程的实时监测,为纳米技术的发展提供支持。
3.4 物理学在物理学中,TEM可用于研究凝聚态物理和量子物理现象。
透射电子显微镜的原理及应用一.前言人的眼睛只能分辨1/60度视角的物体,相当于在明视距离下能分辨0.1mm 的目标。
光学显微镜通过透镜将视角扩大,提高了分辨极限,可达到2000A 。
光学显微镜做为材料研究和检验的常用工具,发挥了重大作用。
但是随着材料科学的发展,人们对于显微镜分析技术的要求不断提高,观察的对象也越来越细。
如要求分表几十埃或更小尺寸的分子或原子。
一般光学显微镜,通过扩大视角可提高的放大倍数不是无止境的。
阿贝(Abbe )证明了显微镜的分辨极限取决于光源波长的大小。
在一定波长条件下,超越了这个极限度,在继续放大将是徒劳的,得到的像是模糊不清的。
图1-1(a )表示了两个点光源O 、P 经过会聚透镜L ,在平面上形成像O ,、P ,的光路。
实际上当点光源透射会聚成像时,由于衍射效应的作用在像平面并不能得到像点。
图1-1(b )所示,在像面上形成了一个中央亮斑及周围明暗相间圆环所组成的埃利斑(Airy )。
图中表示了像平面上光强度的分布。
约84%的强度集中在中央亮斑上。
其余则由内向外顺次递减,分散在第一、第二……亮环上。
一般将第一暗环半径定义为埃利斑的半径。
如果将两个光源O 、P 靠拢,相应的两个埃利斑也逐渐重叠。
当斑中心O ,、P ,间距等于案例版半径时,刚好能分辨出是两个斑,此时的光点距离d 称为分辨本领,可表示如下:αλsin 61.0d n = (1-1) 式中,λ为光的波长,n 为折射系数,α孔径半角。
上式表明分辨的最小距离与波长成正比。
在光学显微镜的可见光的波长条件下,最大限度只能分辨2000A 。
于是,人们用很长时间寻找波长短,又能聚焦成像的光波。
后来的X 射线和γ射线波长较短,但是难以会聚聚焦。
1924年德布罗(De Broglie )证明了快速粒子的辐射,并发现了一种高速运动电子,其波长为0.05A 。
,这比可见的绿光波长短十万倍!又过了两年布施(Busch )提出用轴对称的电场和磁场聚焦电子线。
在这两个构想基础上,1931-1933年鲁斯卡(Ruska )等设计并制造了世界上第一台透射电子显微镜。
经图1-1 透镜的分辨本领过半个世纪的发展,透射电子显微镜(以下称透射电镜)已广泛应用在各个学科领域和技术部门。
现在对于材料科学和工程,它已经成为联系和沟通材料性能和内在结构的一个最重要的“桥梁”。
透射电镜所以发展这么迅速,是因为他有许多特点:具有高的分辨率,可以达到1A。
,能够在原子和分子尺寸直接观察材料的内部结构;能方便地研究材料内部的相组成和分布以及晶体中的位错、层错、晶界和空位团等缺陷,是研究材料微观组织结构最有力的工具;能同时进行材料晶体结构的电子衍射分析,并能同时配置X射线能谱、电子能损谱等测定微区成分仪器。
目前,它已经是兼有分析微相、观察图像、测定成分、鉴定结构四个功能结合、对照分析的仪器。
二.透射电子显微学发展史§世界上第一台电子显微镜始创于1932年,它由德国科学家Ruska研制,奠定了利用电子束研究物质微观结构基础;§1946年,Boersch在研究电子与原子的相互作用时提出,原子会对电子波进行调制,改变电子的相位。
他认为利用电子的相位变化,有可能观察到单个原子,分析固体中原子的排列方式。
这一理论实际上成为现代实验高分辨电子显微分析方法的理论依据;§1947年,德国科学家Scherzer提出,磁透镜的欠聚焦(即所谓的Scherzer 最佳聚焦,而非通常的高斯正焦)能够补偿因透镜缺陷(球差)引起的相位差,从而可显著提高电子显微镜的空间分辨率;§1956年,英国剑桥大学的Peter Hirsch教授等人不仅在如何制备对电子透明的超薄样品,并观察其中的结构缺陷实验方法方面有所突破,更重要的是他们建立和完善了一整套薄晶体中结构缺陷的电子衍射动力学衬度理论。
运用这套动力学衬度理论,他们成功解释了薄晶体中所观察到的结构缺陷的衬度像。
因此50~60年代是电子显微学蓬勃发展的时期,成为电子显微学最重要的里程碑;晶体理论强度、位错的直接观察-—50-60年代电子显微学的最大贡献;§1957年,美国Arizona洲立大学物理系的Cowley教授等利用物理光学方法来研究电子与固体的相互作用,并用所谓“多层法”计算相位衬度随样品厚度、欠焦量的变化,从而定量解释所观察到的相位衬度像,即所谓高分辨像。
Cowley 教授建立和完善了高分辨电子显微学的理基础;§1971年,Iijima等人首次获得了可解释的氧化物晶体的高分辨电镜像,证实了他们所看到的高分辨像与晶体结构具有对应关系,是晶体结构沿特定方向的二维投影;§70~80年代,分析型电子显微技术兴起、发展,可在微米、纳米区域进行成分、结构等微分析;§1982年,英国科学家Klug利用高分辨电子显微技术,研究了生物蛋白质复合体的晶体结构,因而获得了诺贝尔化学奖;§1984年,美国国家标准局的Shechtman等科学家、中科院沈阳金属所的郭可信教授等,利用透射电子显微技术,发现了具有5次、8次、10次,及12次对称性的新的有序结构----准晶体,极大地丰富了材料、晶体学、凝聚态物理研究的内涵;§1982年,瑞士IBM公司的G. Binning, H. Rohrer等人发明了扫描隧道显微镜(STM)。
他们和电子显微镜的发明者Ruska一同获得1986年诺贝尔物理奖;§1991年,日本的Iijima教授利用高分辨电子显微镜研究电弧放电阴极产物时,发现了直径仅几十纳米的碳纳米管。
最新进展:德国科学家利用计算机技术实现了对磁透镜进行球差矫正,可以实现零球差,以及负球差,从而大大提高了透射电镜的空间分辨本领,目前的最高点分辨率可以达到0.1纳米,估计5年内可以逼进0.05纳米的。
此外,通过在电子束照明光源上加装单色仪,可以大大提高电镜的能量分辨率,目前最高可以获得70毫电子伏特的水平。
现在,通过计算机辅助修正,可以实现零或负值的球差系数,大大提高了透射电镜的空间分辨率,达到低于0.1 纳米的点分辨率。
另外,通过单色仪等,可以使电子束的能力分辨率低于0.1 eV ,大大提高了能量分辩能力。
三.电子的波长与加速电压1924年,德布罗意(de Broglie )鉴于光的波粒二相性提出这样的假设:运动的实物粒子(静止质量不为零的那些粒子:电子、质子、中子等)都具有波动性质,后来被电子衍射实验所证实。
运动电子具有波动性使人们想到可以用电子束做为电子显微镜的光源。
对于运动速度为v ,质量为m 的电子波长:mv h /=λ (3-1) 式中,h 为普朗克常数。
一个初速度为零的电子,在电场中从电位为零处开始运动,因受加速电压u (阴极和阳极的电压差)的作用获得运动速度为v ,那么加速的每个电子(电子的电荷为e )所作的功(eu )就是电子获得的全部动能,即:221eu mv =(3-2) meu 2v = (3-3) 加速电压比较低时,电子运动的速度远小于光速,它的质量近似等于电子的静止质量,即m ≈m 。
,合并式(3-1)和式(3-3)得:u em h .2/=λ (3-4)把h=6.62×10-34J ·s ,e=1.60×10-19C ,m 。
=9.11×10-31Kg 代入,得:2/1)(u 1.5/=λ (3-5)式中,λ以mm 为单位,u 以伏为单位。
上式说明电子波长与其加速电压平方根成反比;加速电压越高,电子波长越短。
对于低于500eV 的低能电子来说,用式(3-4)计算波长已足够准确,但一般透射 电子显微镜的加速电压在80-500KV 或更高,而超高压电子显微镜的电压在1000-2000kv 。
对于这样高的加速电压,上述近似不再满足,因此必修引入相对论校正,即: 2)(1m cv m -=。
(3-6) 式中,c 为光速。
相应的电子动能为22.c m mc eu -= (3-7)整理式(3-4)、(3-5)得).2/1(.2/2c m eu u em h +=λ (3-8)与式(3-4)相比,式(3-8)中).2/1(2c m eu +为相对论校正因子。
在加速电压u 为50KV 、100KV 、200KV 时,这个修正值分别约为2%、5%、10%。
表3-1中列出了不同加速电压下电子的波长和速度。
从表中可知,电子波长比可见光波长短得多。
以电子显微镜中常用的80-200KV 的电子波长来看,其波长仅为0.00418-0.00251nm ,约为可见光波长的十万分之一。
表3-1 不同加速电压下的电子波长和速度提高加速电压,缩短电子的波长,可提高显微镜的分辨本领;加速电子速度越高,对试样穿透的能力也越大,这样可放宽对试样减薄的要求。
厚试样与近二维状态的薄试样相比,更接近三维的实际情况。
加速电压与电子的穿透厚度的关系,如图(3-1)所示,随着加速电压的提高,电子的穿透厚度也增加。
在500KV以上时,曲线由上升转为平缓。
考虑到实用性,仪器成本,安装方便等因素,目前加速电压400KV左右的透射电镜越来越引起人们的兴趣和重视,将得到广泛的应用。
图3-1 不锈钢穿透薄膜数据四.电磁透镜一定形状的光学介质界面(如玻璃凸透镜旋转对称的弯曲折射界面)可使光波聚集成像,而特殊分布的电场、磁场,也具有玻璃透镜类似的作用,可使电子束聚焦成像,人们把用静电场和磁场做成的透镜分别称为“静电透镜”(Electrostatic Lens)和“电磁透镜”(Electromagnetic Lens),统称为“电子透镜”(Electron Lens)。
最初,静电透镜既用于电子枪以获得会聚的电子束做为点光源,又用于照明系统的聚光镜和成像系统的物镜、中间镜和投影镜,后来,考虑到安全,照明系统和成像系统中的透镜均为电磁透镜。
下面分别讨论静电透镜和电磁透镜的会聚原理和特点。
4.1 静电透镜在电荷或带点物体的周围存在一种特殊的场,称为电场,若电场不随着时间变化,称为静电场。
在电位梯度变化的电场中存在许多相同的点电位,而这些电位相同的店构成等位面。
电场强度与电位梯度的关系为: n E dndu -= (4-1) 式中,E ——电场强度,其定义为电场对单位正电荷产生的作用力; n ——沿等位面法线朝着电位增大方向的单位矢量;du/dn ——沿电场等位面法线方向的电位变化率,即电位梯度。
式(4-1)表明电场强度在数值上等于电位梯度的绝对值,因此,电场强度的方向就是电位变化率最大的方向。
式中的负号表示电场强度方向与电位增加方向相反。
图4-1 平行板电极电场如果两块电位分别为u a 和u b 的平行板电极,当电极尺寸远大于它们的间距(l )时,除边缘外,电极之间形成均匀电场并呈现以下特征:等电位面是一系列与电极平板平行的平面;电场中任意一点的电场强度方向垂直于该点的等位面,并从高电位指向低电位,如图4-1所示。