为了保证使用过程中对设备操作的规范性,为操作人员提供一份标准的操作方法,避免因人为操作不当造成设备损坏,以保证使用的正常进行和设备的使用寿命。
2.范围：
此标准操作程序适用于XSP-1C显微镜。
3.职责：
实验室人员按此文件正确的使用和维护XSP-1C显微镜。
4.内容：
4.1. 操作前准备：
4.1.1. 将显微镜平稳的放至在实验桌上。
4.1.2.打开开关，调节光源，将10*平场目镜转入通光孔，将聚光器上的虹彩光圈打
开到最大位置，用左眼观察目镜中视野的亮度，转动反光镜，使视野的光照达
到最明亮最均匀为止。光线较强时，用平面反光镜；光线较弱时，用凹面反光
镜。
4.1.3. 用擦镜纸将10*平场目镜、物镜(10*/0.25、100*1.25消色差物镜，半平场物
镜40*/0.65) 擦拭干净。
4.2．操作程序
4.2.1. 低倍镜观察：
A. 将标本片放置载物台上，用标本夹夹住；转动横向、纵向移动手轮，使被观察
的标本处在物镜正下方。
B. 转动粗动手轮，使载物台降至最低位置，旋上所需物镜。
C. 把10*平场目镜转入光路，插入目镜，并降聚光镜升至最高位置。
D. 转动粗调节旋钮，慢慢升起载物台，直至物像出现。
E. 再用细调节旋钮使物像清晰为止。
4.2.2. 高倍镜观察：
A. 用半平场物镜40*/0.65观察：
a. 先按步骤2使物像清晰，转换高倍物镜。
b. 从目镜观察，调节光源亮度。
c. 缓慢调节粗调节旋钮，使载物台上升，直至物像出现。
d. 再用细调节旋钮使物像清晰为止。
B. 用100*1.25消色差物镜观察（油镜）：
a. 先按步骤2使物像清晰，转出物镜。
b. 在玻片标本的物检部位滴上一滴香柏油。
c. 从侧面注视，用粗调节旋钮将载物台缓缓的上升，使100*1.25消色差物镜
浸入香柏油，使镜头几乎与标本接触。
d. 重新调节光线亮度：从目镜内观察，放大视场光阑及聚光器上的虹彩光圈，
上调聚光器至顶位，使光线充分照明。
e. 用粗调节旋钮将载物台徐徐下降，当出现物像一闪后改用细调节旋钮调至最
清晰为止。如油镜已离开油面而仍未见到物像，必须再从侧面观察，重复上
述操作。
4.2.3. 观察完毕后的处理：
A. 将各部分还原，转动物镜转换器，使物镜转离通光孔；若油镜观察完毕，下降
载物台，转出物镜，先用擦净纸擦去镜头上的香柏油，再用擦净纸蘸少许乙醚
乙醇混合液（乙醚2份，无水乙醇3份）或二甲苯，擦去镜头上残留油迹。
B. 用一个干净的防尘罩罩好目镜。
C. 关闭电源开关。
4.3．安全操作注意事项
4.3.1. 显微镜应放在干燥、清洁、无震、无腐蚀性气体和阴凉通风的地方。
4.3.2. 勿用手或硬物接触光学镜片，若镜片表面不清洁，可用擦镜纸或用脱脂棉沾
少许酒精、乙醚混合液轻轻擦洗，严禁用二甲苯擦洗。
4.3.3. 粗动手轮松紧的调节，一定使用调节手轮，切忌将两个粗动手轮向相反的方
向同时旋转，以免造成损坏。
4.3.4. 仪器不用时，应切断电源，并用防尘罩罩好。
4.3.
5. 使用油镜时，用粗调节旋钮上升载物台的速度不能太快，避免由于促碰损坏
物镜和标本。
1、目的：制定显微镜的操作规程，使检验人员正确使用显微镜。 2、适用范围：适用于显微镜的操作。 3、责任人：检测员。 4、正文： 4.1.仪器调整 4.1.1.将亮度调节轮调至最小，并关上开关。 4.1.2 将电源插头插入外接电源插座（插入前应检查外接电源电压与仪器所需输入电压是否一致）。 4.1.3 开启开关，拨动亮度调节轮至适当位置。 4.1.4 转动物镜转换器，将4×物镜置入光路中。 4.1.5 转动聚光镜升降手轮，使聚光镜上升至定位位置。 4.1.6 将标本置于载物台上，用片夹将其固定，利用载物台纵横移动手轮，将标本欲观察部分移入可观察的光路中。 4.1.7 拨动光栏拨杆，将孔径光栏升至中间位置。 4.1.8 用右眼观察，转动粗手轮使载物台缓慢上升至标本轮廓可见，再用微调手轮精细调焦到标本物象清晰。 4.1.9 视度调节，通常人的左右眼视度不完全一致，显微观察时应进行视度补偿。此时用左眼观察，并转动左目镜筒上的视度调节圈，使之成像清晰。 4.1.10 瞳距调节，双手握住双目外壳转动，使两目镜出瞳中心距离适合您的两眼瞳距（使两眼观察图像重叠合一为止）。 4.1.11 根据需要，选择10×, 40×, 100×等物镜后通过微调，对物体进行精调焦直至清晰。 注意：使用高倍物镜时，标本盖玻片厚度应为0.17±0.01mm，否则会影响图像的清晰度。 4.2 物像衬度调整：一般情况下，目镜视场中像的衬度依赖于标本物体本身的衬度，然而对于同一标本物体，合理地调整光源亮度，孔径光栏大小，会得到良好的物像衬度。所以不应只靠关小孔径光栏来降低视场中的亮度，当取下目镜向镜筒内观察时可看见孔径光栏像，调整孔径光栏，使其像充满物镜后光孔的70%-80%，通常效果会比较好。
光学显微镜标准操作规程 1 目的 规范光学显微镜标准操作规程，确保光学显微镜正确使用。 2 授权操作人员 经培训并通过考核的微生物实验室工作人员。 3 原理 当被观察物体置于镜前的焦点稍远处时，物体反射的光线经物镜放大后成一倒立实像位于目镜前焦点附近，再经目镜放大呈倒立虚像位于观察者的明视距离（约250mm）处。 4 工作环境 相对湿度：10% ~ 85%；运行温度：15 ~ 30℃。 5 操作程序 5.1 准备：将光学显微镜放置在采光好的实验台上，避免振动。向上转动粗调螺旋至一定高度后，将载物片放于载物台上。 5.2 调焦与低倍镜观察：将10×低倍物镜对准镜筒，转动粗调螺旋使物镜下降到快接触标本处后，选择平面反光镜的角度，调整聚光器的上下高度和光栅大小，使目视亮度适宜，再用细调螺旋上下调节焦点，使物像清晰。 5.3 高倍镜观察：转换40×高倍镜对准镜筒，一般不需重新调焦，仅调节细螺旋即可看到清晰物像。 5.4 油镜观察：于革兰氏染色处滴加香柏油一小滴，将玻片放在载物台上。使油镜头（100×）对准镜筒，转动粗调螺旋使之降至与玻
片轻轻接触。然后升高聚光镜使其与载物台平齐，将光栅放至最大，选择凹面反光镜调节角度，使射入光线最强。再转动粗调螺旋使物镜上升，待见到标本中物像后，调节细调螺旋使物像清晰，对标本进行顺序观察。 5.5 收镜：显微镜使用完毕，取下载物片，用擦镜纸将油镜头揩干净（必要是可滴一滴清洁液于擦镜纸上）。用绸布擦拭镜身，将物镜转成“八”字形，镜筒、聚光器下降至最低处，反光镜放水平位，以右手握镜臂，左手托镜座，轻轻放入显微镜箱内。 6 维护及保养 光学系统清洁，一般情况下可用洗耳球吹气、小毛刷刷除仪器表面的灰尘。当光学系统有污染时，可用擦镜纸蘸清洁液擦拭，如被尿、便等污染时可用棉签蘸1%氨水擦拭污染区。 7 应急处理 出现不能解决的故障，应及时联系维修人员并通知微生物负责人。 8 注意事项 8.1 要培养良好的操作习惯，使用螺旋时要注意，当对焦时以转动粗调螺旋为主，尽量少用细调螺旋，以延长机械系统的寿命。在转换高倍镜，特别是油镜观察时，切记粗调螺旋只能将镜头上移而不能下移，以免压碎载物片，碰坏镜头。 8.2 显微镜存放的环境条件应防震、防潮、防尘、防日晒、防温差过大。
稳定同位素质谱实验室规章制度 1.实验人员上机前必须经过培训，认真执行本室相关安全制度和操作规程。 2.进入无菌室需更换拖鞋，非实验室人员不得进入实验室。 3.禁止携带有毒、有害、易燃、腐蚀的物品进入实验室。 4.实验室内要保持清洁卫生，桌柜等表面保持无尘，杜绝污染。 5.仪器运行最佳温度为28℃，禁止自行调节实验室空调温度。 6.禁止挪动微克电子天平。 7.实验人员需详细填写使用记录，仪器出现故障时应立即停止使用并报告管理 人员，不可擅自拆卸仪器。 8.禁止使用U盘和移动硬盘等在主控计算机上拷取数据。 9.本实验室物品不经批准不得擅自外借或转让，更不得私自拿出。 10.离开实验室前，认真检查并关闭电源以及气体阀门，关好门窗方可离去。
扫描电镜操作规程 开机操作： 1.开变压器电源 2.开主电源 3.开真空（VAC SW I键点亮） 4.开水箱电源 5.开操作系统（右手OPE SW I键点亮） 6.开电脑（账户和密码均为SEMUser） 7.开软件（桌面PC_SEM）Guest账户，无密码 8.仪器进行自检，等待5分钟后，所有自检变绿通过，初始化样品台，主机上EXCHPOSN 灯亮起。 9.推入样品，EXCHPOSN以及HLDR灯亮起 10.开电子枪Maintance-Gun-Star up 电源会持续增加Filament Current 至 2.29 Extract Voltage 至3.0 11.半个小时后电子枪稳定，SIP-1<9E-8, SIP-2<2E-6 12.若真空读数稳定低于至5.0E-4后，则可进行实验 关机操作： 1.关闭主屏上观察OBSERATION OFF 2.关电子枪MAINTANENCE-GUN-SHUT DOWN 等待Filament Current 慢慢变为0 3.打开Camera，确认所有探头均退出样品舱，将样品取出或退到准备舱 4.关软件操作系统File-exit-exit 5.关闭电脑 6.关闭电镜操作系统（控制台右下方OPE SW 上O键点击变亮其中I键为开启） 7.关闭真空系统（控制台左下方VAC SW O键） 8.关水箱（控制台右后方的白色箱子MAIN 阀门拉下） 9.5分钟后，关闭主电源（控制台左下方MIAN SW O键点亮） 10.确定备用电源处于工作状态（控制台面上左上方，白色盒子，工作时绿灯亮起，电流 超过20uA） 11.关闭变压器（机器后，最左侧蓝色箱子，阀门拉下）
正置显微镜操作规程 1 目的 1.1 规范正置显微镜的使用和维护操作程序和方法，确保检验观察的正确性。 2 范围 2.1 适用于本中心正置显微镜的使用和维护。 3 职责 3.1 设备使用人有责任按本规程进行正确的操作和维护。 4 程序说明 4.1 操作前准备 4.1.1首先根据需要安装好目镜，物镜和光源部分，将准备好的载玻片置于载物台上。 4.1.2旋转物镜转换器，将物镜置于光路中，先自低倍开始，根据被观察物的特征，依次增高显微镜倍数。 4.1.3每次观察前，先将物镜调至与载玻最近距离处，再从目镜注视视野情况，缓慢由下向上凋节升降螺旋至视野内出现物像后，再调节细螺旋，至物像清晰。 4.2 低倍镜观察 4.2.1取镜和放置：显微镜平时存放在台面或箱中，使用时，右手紧握镜臂，左手托住镜座，将显微镜放在自己左肩前方的实验台上，镜座后端距桌边1-2寸为宜，便于坐着操作。 4.2.2对光：用拇指和中指移动旋转器（切忌手持物镜移动），使低倍镜对准镜台的通光孔。打开光圈，上升集光器，直到视野内的光线均匀明亮为止。 4.2.3放置玻片标本：取一玻片标本放在镜台上，一定使有盖玻片的一面朝上，切不可放反，用推片器弹簧夹夹住，然后旋转推片器螺旋，将所要观察的部位推到通光孔的正中。 4.2.4调节焦距：以左手按逆时针方向转动粗调节器，使镜台缓慢的上升至物镜
距标本片约5毫米处，应注意在上升镜台时，切勿在目镜上观察。一定要从右侧看着镜台上升，以免上升过多，造成镜头或标本片的损坏。左手顺时针方向缓慢转动粗调节器，使镜台缓慢下降，直到视野中出现清晰的物象为止。如果物象不在视野中心，可调节推片器将其调到中心（注意移动玻片的方向与视野物象移动的方向是相反的）。如果视野内的亮度不合适，可通过升降集光器的位置或开闭光圈的大小来调节，如果在调节焦距时，镜台下降已超过工作距离（>5. 40毫米）而未见到物象，说明此次操作失败，则应重新操作，切不可心急而盲目的上升镜台。 4.3 高倍镜观察 4.3.1选好目标：一定要先在低倍镜下把需进一步观察的部位调到中心，同时把物象调节到最清晰的程度才能进行高倍镜的观察。 4.2.2转动转化器，调换上高倍镜头，转换高倍镜时转动速度要慢，并从侧面进行观察（防止高倍镜头碰撞玻片），如高倍镜头碰到玻片，说明低倍镜的焦距没有调好，应重新操作。 4.2.3调节焦距：转换好高倍镜后，一般能见到一个不太清楚的物象，可将细调节器的螺旋逆时针移动约0. 5-1圈，即可获得清晰的物象。如果视野的亮度不合适，可用集光器和光圈加以调节，如果需要更换玻片标本时．必须顺时针转动粗调节器使镜台下降，方可取下玻片标本。 4.4 油镜观察 4.4.1在使用油镜之前，必须先经低、高倍镜观察，然后将需进一步放大的部分移到视野的中心。 4.4.2将集光器上升到最高位置，光圈开到最大。 4.4.3转动转换器，使高倍镜头离开通光孔，在需观察部位的玻片上滴加一滴香柏油，然后慢慢转动油镜，在转换油镜时，从侧面水平注视镜头与玻片的距离，使镜头浸入油中而又不以压破载玻片为宜。 4.4.4慢慢转动细调节器至物象清晰为止。如果不出现物象或者目标不理想要重找，在加油区之外重找时，应按照低倍→高倍→油镜程序操作；在加油区内重找应按照低倍→油镜程序操作，不得用高倍镜，以免由沾污镜头。 4.4.5油镜使用完毕，先用擦镜纸沾少许二甲苯将镜头上和标本上的香柏油擦去，
Tescan 钨灯丝扫描电镜操作规程 1.点击Vent （操作界面右下方）按钮，放气。等待右下方显示Venting Finish,即可进行下一步操作。 2.装载试样。需将试样用导电胶粘紧。（放样时注意操作界面Z轴距离，钨灯丝100以上。）检查每一个螺丝是否拧紧。不应有露在外的螺丝头。 3.小心关上仓门，点击Pump（位于Vent旁边）。抽真空。等待Chamber 真空度钨灯丝到达5*10-2以上即可进行下一步。 4. 操作前参数检查： A，首先检查高压（HV）是否为所需值，若不是可先点击右边信息盘的HV 再在右上边输入所要求值。 B，其次检查Beam intensity值，正常扫描时为10，打能谱时调节为12。 C，点样品操作盘，想要做的第一个样品所在位置（1-7标号）。样品台会移动到视野内。 5.调节Z轴逐次减小，使样品接近镜筒。（这个值为样品台到镜筒的距离。所以合适的值既是自己样品中最高的样的高度加10的余量）比如：自己样品中最高的为10，则最终可以调节z 轴至20。 6. 找好试样位置（点击鼠标的滚珠可以调节位置），开始先点击Mag（视野右手边一竖行快捷键中），再在右上边输入放大倍数（刚开始可先输入100倍），逐级放大。当视野中图像模糊，
但有图像时，点击WD(视野右手边一竖行快捷键中)，在再视野中双击左键可以出现一个小方框（右键调节方框大小），再左右滚动左手边放置的轨迹球聚焦至图像清楚。再放大，再聚焦，直至达到需求即可。 如果图像无法调清楚则观察是否为以下两种情况： 1）调节WD时图像有移动，选择右下方HV附近Adjustment 中第三项弹出一个对话框点Next 视野中会弹出一个闪动图像，然后调节轨迹球（按住F11调节上下方向，F12调节左右方向）直至图像在中心跳动（而不是左右或上下移动）再聚焦。 2）图像有单一方向的拉长，则判断为有相散，点击Stg右手边一竖行快捷键中。然后调节轨迹球。（按住F11调节上下方向，F12调节左右方向）直至图像不在变形，再聚焦。 （一般要求调节清楚地放大倍数大于需要拍照倍数。例如：需要1000倍，则应将2000倍调节清楚。） 7.拍照之前应检查亮度对比度是否合适，视野右手边一竖行快捷键中选择选项，然后轨迹球上下调节对比度，左右调节亮度。 8.右手边一竖行快捷键中选择Speed选项选择扫描速度6 或7，（调节时Speed选择4以下）。然后点击右手边一竖行快捷键中最后一项保存照片。 9.重复6-8完成拍照。 10.实验完成后归位操作： A. 将Z轴输入钨灯丝100，使样品台降回原位。
冷场发射扫描电子显微镜S4800操作说明（普通用户） 燕山大学材料学院材料管A104（场发射，钨灯丝） 编写人：李月晴吕益飞 普通用户在熟练操作1个月后，如无不良记录，可申请高级用户培训。 高倍调清晰：局部放大(Red) →聚焦Focus→消像散 一、日常开机 1，开启冷却循环水电源。 2，按下Display开关至，PC自动开机进入用户界面并自动运行PC_SEM程序，以空口令登入。 3，打开信号采集开关，位置打到1，为打开。 4，打开电源插排的开关。 5，打开装有EDS软件的主机电源。 6，记录仪器运行参数(右下角Mainte)，即钨灯丝真空度。如：IP1：0.0×10-8Pa；IP2：0.0×10-8Pa； IP3：9.6×10-7Pa。PeG-1，<1×10-3；PeG-2，<1×10+2。 注意：PeG≤1×10-3Pa时才能加高压测量。记录的参数：①点Flashing时会显示：In2(Ie)Flashing时电流最大值，如32.9μA；②加上高压后会显示，V ext=3.4kV。 二、轰击（点flashing，即在阴极加额外电压） 目的：高温去除针尖表面吸附的气体 1，最好在每天开始观察样品前一时做flashing； 2，选择flashing intensity为2 ； 3，若flashing运行时Ie小于20μA，则反复执行直至Ie值超过20μA且不再增加。 4，若flashing后超过8个小时仍继续使用，重新执行flshing 。 三、加液氮 容积不要超过1L，能维持4~6h。 四、样品制备及装入 样品制备简单，对样品要求较低，只要能放进样品室，都可进行观察。 1，化学上和物理上稳定的干燥固体，表面清洁，在真空中及在电子束轰击下不挥发或变形，无放射性和腐蚀性。 2，样品必须导电，非导电样品，可在表面喷镀金膜。 3，带有磁性的样品，由于物镜有强磁性，制样必须非常小心，防止在强磁场中样品被吸入
Philips XL30-ESEM环境扫描电镜操作规程 一、开机 1.分别打开电源总开关、主控面板上电源开关、UPS电源开关，等待计算机主机启动。 2.按照显示屏提示按CTRL+ALT+DEL键及桌面上的XL30图标，提示做Home时按Yes图标。 3.用鼠标点击真空Pump图标抽真空，待提示 Vac OK时，按主控面板上的高压钮，鼠标点击 显示屏高压图标，图象显示。 二、样品安装 1.关闭显示屏上的高压图标，关真空VENT图标，待镜筒完全放气后轻轻拉开样品室门，装入 样品（带手套），慢慢推回样品室门。 2.用鼠标点击真空图标抽真空，待提示真空OK时，鼠标点击显示屏高压图标，图象显示。 三、扫描图象观察 1.调整好亮度和反差，用鼠标右键横向移动粗调焦。按放大倍数要求设好样品高度，高倍下选 区扫描，用鼠标右键横向移动细调焦。 2.扫描速度1、2用于选择和粗调焦，扫描速度3、Photo用于细调焦及照相。 3.高倍下用Shift+鼠标右键横向移动消象散。 四、图象记录、储存和打印 1.点击扫描速度3或Photo进行慢扫描，扫描完成后点击显示屏上雪花图标锁定图象。 2.打开我的电脑E盘USR目录，按客户姓名建立文件名，点击显示屏In/Out菜单中的Imag e，输入样品名称，点击Save图标存盘。再点击In/Out菜单中的Photo，用120相机拍摄底片。 五、合轴操作及环境扫描模式 按仪器说明书操作。 六、关机 1.样品高度调至20毫米，放大倍数调至100倍，样品位置调至中心。 2.依次关闭显示屏上的高压图标、主控面板上的高压钮、真空Vent图标，点击显示屏左下角 的开始图标，选择现在关机。 3.待提示安全关机后，关闭主控面板上的电源、UPS电源和电源总开关。
扫描电镜结构与断口观察 一、实验目的： 1、了解扫描电镜的基本结构，成相原理； 2、掌握电子束与固体样品作用时产生的信号和各种信号在测试分析中的作用； 3、了解扫描电镜基本操作规程； 4、掌握扫描电镜样品制备技术； 5、掌握韧性断裂、脆性断裂的典型断口形貌。 二、实验原理： 1、扫描电子显微镜的构造和工作原理： 扫描电子显微镜(Scanning Electronic Microscopy, SEM)。扫描电镜是介于透射电镜和光学显微镜之间的一种微观性貌观察手段，扫描电镜的优点是，①有较高的放大倍数，20-30万倍之间连续可调；②有很大的景深，视野大，成像富有立体感，可直接观察各种试样凹凸不平表面的细微结构；③试样制备简单。目前的扫描电镜都配有X射线能谱仪装置，这样可以同时进行显微组织性貌的观察和微区成分分析，因此它像透射电镜一样是当今十分有用的科学研究仪器。 扫描电子显微镜是由电子光学系统，信号收集处理、图象显示和记录系统，真空系统三个基本部分组成。 其中电子光学系统包括电子枪、电磁透镜、扫描线圈和样品室。扫描电子显微镜中的各个电磁透镜不做成相透镜用，而是起到将电子束逐级缩小的聚光作用。一般有三个聚光镜，前两个是强磁透镜，可把电子束缩小；第三个透镜是弱磁透镜，具有较长的焦距以便使样品和透镜之间留有一定的空间，装入各种信号接收器。扫描电子显微镜中射到样品上的电子束直径越小，就相当于成相单元的尺寸越小，相应的放大倍数就越高。 扫描线圈的作用是使电子束偏转，并在样品表面做有规则的扫动。电子束在样品上的扫描动作和显相管上的扫描动作保持严格同步，因为它们是由同一个扫描发生器控制的。电子束在样品表面有两种扫描方式，进行形貌分析时都采用光栅扫描方式，当电子束进入上偏转线圈时，方向发生转折，随后又有下偏转线圈使它的方向发生第二次转折。发生二次偏转的电子束通过末级透镜的光心射到样品表面。在电子束偏转的同时还带用逐行扫描的动作，电子束在上下偏转线圈的作用下，在样品表面扫描出方形区域，相应地在样品上也画出一帧比例图像。样品上各点受到电子束轰击时发出的信号可由信号探测器收集，并通过显示系统在
Zeiss-Supra55扫描电子显微镜简明操作指南 一、开机启动 1、按下绿键。 按下绿键后，电脑会自动启动，输入计算机密码：zeiss 2、启动SmartSEM软件。 用户名：system 密码：无 3、检查真空值。 二、换样品(换样或加高压观察样品) 1、装试样。 在备用样品座上装好样品，并记录样品形状、编号和位置。 注意：各样品观察点高度基本一致。确认样品不会脱落，并用洗耳球吹一下。 2、关高压。 3、检查插入式探测器状态 打开TV，将EBSD等插入式探测器拉出。 4、放气。 点Vent等待3-5 分钟。 注意：确认Z move on vent选上，这样，放气时样品台会自动下降。 5、拉开舱门。 注意：拉开舱门前，确认样品台已经降下来，周围探测器处于安全位置。 6、更换样品座 注意：抓样品座时戴手套，避免碰触样品。 7、关上舱门。 注意：舱门上O圈有时会脱落，关门时勿夹到异物。 8、抽真空。 点击Pump，等待真空就绪(留意Vacuum面板上真空状态)，等待3-5分钟。 注意：当System Vacuum<2×10-5mBar时，会自动打开CIV阀门(column isolation valve)，并启动离子泵。 当Gun Vacuum=<5×10-9mBar时，可启动灯丝（Gun On），左下角Ready。 等待过程中，可先移动样品台初步定位样品。 9、换样完成。 加高压，观察样品台TV 三、成像过程 1、定位样品。 打开TV，移动样品台。升至工作距离约在8~10mm处，平移对准样品。可打开stage navigation帮助定位。 2、开高压。 根据检测要求和样品特性，设定加速电压； 3、观察样品，定位观察区。 全屏快速扫描（点击工具栏上）； 选择Inlens或SE2探头； 缩小放大倍数至最小； 聚焦并调整亮度和对比度（Tab键可设置粗调Coarse或细调Fine）；
纳米纤维课题组Tescan vega3扫描电镜操作规程 见贤思齐 1.最小化放大倍数，调整电流，home/calibrate样品台，关闭电压，点击Vent 放气。等待右下方显示Venting Finish。 2.装载试样。需将试样用导电胶粘紧。(检查每一个螺丝是否拧紧。没有放样品的螺丝也应该拧紧。) 3.小心关上仓门，点击Pump抽真空。等待Chamber 真空度进度条变绿后，即可进行下一步。 4. 操作前参数检查： A，首先检查高压（HV）是否为所需值，若不是可先点击右边信息盘的HV 再在右上边输入所要求值。 B，其次检查Beam intensity值，正常扫描时为10. C，点样品操作盘，想要做的第一个样品所在位置（1-6标号）。样品台会移动到视野内。 5.调节Z轴逐次减小，使样品接近镜筒。（这个值为样品台到镜筒的距离。所以合适的值既是自己样品中最高的样的高度加10的余量）比如：自己样品中最高的为10，则最终可以调节z轴至20。 6. 找好试样位置（点击鼠标的滚珠可以调节位置），开始先选择MODE模式(宽视野、连续宽视野)，再点击Mag（视野右手边一竖行快捷键中），再在右上边输入放大倍数（刚开始可先输入100倍），逐级放大。当视野中图像模糊，但有图像时，点击WD(视野右手边一竖行快捷键中)，在再视野中双击左键可以出现一个小方框（右键调节方
框大小），再左右滚动左手边放置的轨迹球聚焦至图像清楚。再放大，再聚焦，直至达到需求即可。 如果图像无法调清楚则观察是否为以下两种情况： 1）低倍时，调节WD时图像有移动，选择右下方HV附近Adjustment中第三项弹出一个对话框点Next 视野中会弹出一个闪动图像，然后调节轨迹球（按住F11调节上下方向，F12调节左右方向）直至图像在中心跳动（而不是左右或上下移动）再聚焦。 2）高倍时图像有单一方向的拉长，则判断为有相散，点击Stg 右手边一竖行快捷键中。然后调节轨迹球。（按住F11调节上下方向，F12调节左右方向）直至图像不再变形，再聚焦。 （一般要求高倍调节，低倍出图。例如：需要1000倍，则应将2000倍调节清楚。） 7.拍照之前应检查亮度对比度是否合适，调节亮度。 8.选择扫描速度Speed6或7保存照片，（调节时Speed选择3或4，找样品时选择1或2）。 9.重复6-8完成拍照。 10.实验完成后归位操作：放大倍数调至最小（MAG可以直接输入0，则自动变为最小值）、SPEED扫描速度最低（speed调节为1）；home/calibrate样品台，关闭高压（点击HV）。 11.点击Vent放气，venting finish后拉开仓门，取出试样后仍然应当将螺丝拧进去。 12.取样完成后关闭仓门抽上真空。
显微镜标准操作规程 目的：制订显微镜的标准操作规程。 适用范围：各类检定菌及物料的显微镜鉴别。 责任：显微镜操作人员对本规程实施负责。 程序： 1.显微镜主要包括物镜、目镜、聚光镜、反射镜四部分。还包括照明光源、滤光片、载玻 片和盖玻片。 2.采光 2.1用低倍镜对准栽物台中央之圆孔。 2.2打开光圆对好光源（不能直接对太阳光）。 3.观察照明是否良好，视野是否均匀。 4.调节焦距：从侧面注视物镜头，将大螺旋把镜筒转下，至镜头将接近标本玻片为止（注意 两者不能相碰，避免损坏），再从目镜观察，同时将大螺旋把镜筒慢慢转上，至视野内可见物象为止，再用小螺旋调节光线，以供视野内可见物象为止，再用小螺旋调节至物象清楚。 5.调节光线：使用聚镜或光圈调节光线，以供视野适宜光度。 6.观察步骤 6.1先用低倍镜观察全景，再转高倍镜进行局部观察。 6.2从低倍镜转到高倍镜时，必须在低倍镜下把目视移到视野中心，然后把镜筒转上，再转 动物镜转盘，将高倍镜对准标本，然后调节焦距。 6.3镜检时，须两眼同时睁开、用左眼观察，以便右眼以绘图或记录。 6.4使用完毕，进行使用登记。 7.注意事项 7.1拿镜时必须用右手紧握镜臂，左手平托镜座，注意放平放稳。 7.2使用时必须按步骤小心缓慢转动。 7.3使用高倍镜观察液体标本时，一定要加盖玻片，否则，不仅清晰度下降，而且试液会浸 入高倍镜的镜头内，使镜片受到污染和腐蚀。 7.4显微镜应在清洁、干燥、无震动、无腐蚀性气体存在的工作室操作。
7.5要保持清洁，勿使尘埃、污物、手指等接触光学部分。 7.6镜内零件不得任意拆出，或与他镜调换。 7.7用完后，把镜臂复原，物镜转成人字形，接近载物台。 7.8擦拭光学系统，必须用镜头纸，不准用毛巾、手帕、衣服擦拭，更严禁用手擦拭。乙醚、 酒精不可用得过多，以免脱胶。镜片表面有一层紫兰色的透光膜，不要误作污物来擦拭。
JSM-6700F扫描电镜使用说明 JSM-6700F, 扫描电镜, 使用说明 1．确认设备和环境状态正常后，按操作台上的OPNPOWER”的右钮开机，开启操控面板电源，开计算机，进入JEOLPC-SEM工作界面，程序会自动进行以下三方面准备： 1） Flash（加热灯丝去除灯丝表面污染），为了使灯丝工作电流稳定，最好在Flash30分钟后进行观察； 2）样品台复位，根据需要选择进行或取消。 3）样品台选择，根据需要选择或取消。 2．检查工作状态，确认主机上WD为8㎜，EXCH灯亮，TILT 为0；按VENT键，灯闪烁，停闪后打开样品室门，把样品架放在样品台坐上（注意运行样品台选择程序，否则样品台移动范围不对，造成设备损害），关上样品室门；按EVAC键，灯闪烁，停闪后将样品送入样品室内，这时要确认HLDR灯亮；抽真空10分钟左右，确认样品室真空度小于2×10-4Pa后方可加电压。 3．按主机上的GUN VAVLE CLOSE键，此灯熄灭，电子束开始扫描。用操控器上的LOW MAG选用低放大倍率，用样品台上的WD 轴粗调焦，出现图象后再逐步放大，最后用FOCUC细聚焦；为了调焦方便，可以按操控器上的RDC IMAG键选用小窗口，和按操控器上的QUICK VIEW快速扫描。当放大倍数高于5000倍时应注意图象的象散，检测的方法是把图象倍率再增加，用聚焦钮在焦点附近调焦，如果图象有“涂污”的痕迹，而且在焦点的欠焦一侧和过焦一侧涂污方向垂
直，就表示有象散存在，用操控器上的消象散X、Y纽使涂污消失，此时图象清晰度会明显提高，调焦和清象散应在比照相所需的放大倍数高的放大倍数下进行，至少高出1.5倍。 4．按操控器上的ACB钮即可自动调整亮度对比度,也可用CONTRAST和BRIGHTNESS钮手工调整。得到一幅满意的图象时,可按FREEZE记录下图象。 5．完成观测后关高压（HT），按GUN VAVLE CLOSE钮，指示灯变黄。 6．运行样品台位置初始化程序，EXCH POSN指示灯亮，拉动样品杆将样品置于样品交换室内，HLDR灯亮，按VENT按钮，样品交换室放气，取出样品后按EVAC按钮。 7．退出操作界面，关计算机。按“OPN POWER”左钮关机，关控制面板电源。 8．对于不同的样品的观测和图象倍率大小、不同信号图象分析的工作条件选择： 1）电压一般使用10kV；对于导电性差的样品可选低一点电压如3-10 kV，需要高的放大倍率且样品不易被电子束穿透，可选用较高的电压，如15kV左右；做EDS分析时电压要用15-20kV。 2）电流一般用10uA，做EDS能谱时可选用20uA。 3）工作距离（WD）一般用8mm，如果要观察高的放大倍率（5万倍以上）,可以把工作距离调小到3-8mm；如果放大倍率不高且要图像立体感强,可以把工作距离调大一点8-15mm。用EDS能谱时工作
为了保证使用过程中对设备操作的规范性,为操作人员提供一份标准的操作方法,避免因人为操作不当造成设备损坏,以保证使用的正常进行和设备的使用寿命。 2.范围： 此标准操作程序适用于XSP-1C显微镜。 3.职责： 实验室人员按此文件正确的使用和维护XSP-1C显微镜。 4.内容： 4.1. 操作前准备： 4.1.1. 将显微镜平稳的放至在实验桌上。 4.1.2.打开开关，调节光源，将10*平场目镜转入通光孔，将聚光器上的虹彩光圈打 开到最大位置，用左眼观察目镜中视野的亮度，转动反光镜，使视野的光照达 到最明亮最均匀为止。光线较强时，用平面反光镜；光线较弱时，用凹面反光 镜。 4.1.3. 用擦镜纸将10*平场目镜、物镜(10*/0.25、100*1.25消色差物镜，半平场物 镜40*/0.65) 擦拭干净。 4.2．操作程序 4.2.1. 低倍镜观察： A. 将标本片放置载物台上，用标本夹夹住；转动横向、纵向移动手轮，使被观察 的标本处在物镜正下方。 B. 转动粗动手轮，使载物台降至最低位置，旋上所需物镜。 C. 把10*平场目镜转入光路，插入目镜，并降聚光镜升至最高位置。 D. 转动粗调节旋钮，慢慢升起载物台，直至物像出现。 E. 再用细调节旋钮使物像清晰为止。 4.2.2. 高倍镜观察： A. 用半平场物镜40*/0.65观察： a. 先按步骤2使物像清晰，转换高倍物镜。 b. 从目镜观察，调节光源亮度。 c. 缓慢调节粗调节旋钮，使载物台上升，直至物像出现。 d. 再用细调节旋钮使物像清晰为止。 B. 用100*1.25消色差物镜观察（油镜）： a. 先按步骤2使物像清晰，转出物镜。 b. 在玻片标本的物检部位滴上一滴香柏油。 c. 从侧面注视，用粗调节旋钮将载物台缓缓的上升，使100*1.25消色差物镜 浸入香柏油，使镜头几乎与标本接触。 d. 重新调节光线亮度：从目镜内观察，放大视场光阑及聚光器上的虹彩光圈， 上调聚光器至顶位，使光线充分照明。
SIRION场发射扫描电镜操作规程 一.开机 1.首先检查循环水系统,压力显示约4.5，温度显示约11-18度,为正常范围。 2.检查不间断电源的”LINE”，”INV.”指示灯亮，上部6只灯仅一只亮是为正常。 3.开电镜电脑(白色机箱)的电源，通过密码进入WINDOWS后，先启动”SCS”，然后启 动”Microscope Control”。 二.操作过程 1.有关样品的要求： 需用电镜观测的样品，必须干燥，无挥发性，有导电性，能与样品台牢固粘结（块状试样的下底部需平整，利于粘结）。粉末样品用导电胶带粘结后，需敲击检查，或用吹风机吹去粘结不牢固的粉末。含有机成份的样品（包括聚合物等），需经过干燥处理。 2.交换样品特别注意点： 该电镜的样品台是4轴马达驱动的精密机械，定位精度1微米，同时也可以手动旋钮驱动。样品室中暴露着镜头极靴，二次电子探头，低压背散射电子探头，能谱探头，红外相机，涡轮分子泵等电镜的核心部件，样品台驱动过程中存在着碰撞的可能性，交换样品和驱动样品台时要特别小心。比如样品室门应轻拉轻推；样品要固定牢固，防止掉到镜筒里去；样品高度要合适，Z轴移动样品或手动倾斜样品前，用CCD图象检查样品位置等等。 3.换样品过程：换样品前必须先检查加速电压是否已经关闭，条件符合，可按放气键（“VENT”）。交换样品台操作必须戴干净手套。固定好样品台后（固紧内六角螺丝），必须用专用卡尺测量样品高度，不允许超过规定高度。推进样品室，左手按住样品室门上手柄，右手点击抽真空软件键”PUMP”。整个换样品过程中，不要手动调节样品台位置（倾动除外）。 4.关高压过程：按下软件键“xx kV”，稍等待，听到V6阀的动作声音后，键颜色由黄色变灰色,表示高压已正式关闭。 5.开高压过程：样品室抽真空到达5e -5 mBar以上，可以开高压，观察图象。开高压：检查“Detector”菜单项中的“SE”或“TLD”被选中，按“HT”键，数秒后按软键“xx kV”，应听到V6阀开启的声音，等待键颜色变黄色。图象出来后，同时会弹出一个窗口，提示首先必须聚焦图象，然后按“OK”，使电脑能测出实际的样品高度，次序不可颠倒。在数千倍聚焦完成后（In Focus），按“OK”。 6.聚焦图象：按住鼠标右键，左或右向移动鼠标来聚焦图象。 7.消像散：按住左Shift键，按住鼠标右键移动，消除像散。 8.拍照：按“F2”键，电镜开始单次扫描。扫描结束，过数秒，冻结键（雪花图形）自动激活（变黄色）。这时可用“InOut”菜单中的Image保存图象。 9.拷贝图象：须用新光盘或未开封的新软盘拷贝。 三.关机 1.先关高压，放气后，取出样品后，重抽真空，然后关“Microscope Control”，再关WINDOWS。 电镜的电脑是控制整台电镜的，电脑的CMOS管理，显示卡及驱动程序等与普通电脑不同，请不要当作普通电脑来使用。禁止修改电脑的任何设置，禁止安装任何软件。禁止使用USB
抚顺市计量测试所作业指导书 抚顺市计量测试技术研究所 K03ZY-CZ(A)-005万能工具显微镜操作规程 2009-8-1发布 2009-8-1实施抚顺市计量测试所/抚顺市计量测试研究所发布
本管理办法经抚顺市计量测试所/抚顺市计量测试技术研究所技术负责人于2009年8月1日批准，自2009年8月1日起施行。 起草人：白凤民 批准人：荆兆东
万能工具显微镜操作规程 一、概述 万能工具显微镜是利用显微系统进行瞄准、家位或读数的几何量测量工具。主要由基座、纵向滑板、横向滑板、主显微镜、立柱、顶针座、纵横读数显微镜、照明装置、工作台和分度台、分度头等附件组成。万能工具显微镜由辽宁省计量研究院检定，检定周期为一年。 二、使用环境要求： 温度（20±2）℃,温度波动不大于1℃/h,相对湿度不大于60%。 万能工具显微镜固定的工作台上,附近应无强磁场干扰,无强气流及腐蚀性气体存在。 三、操作程序 安全注意事项 由于万能工具显微镜精度高，仪器本身以有很多光学零件，所以要求环境清洁，没有振动，严格控制温度、湿度；另外仪器金属部分很容易生锈，光学零件容易发霉、生雾，光学零件表面的镀层容易划伤或脱落，所以，平时必须加强仪器的维护保养。 操作步骤 3.2.1使用前准备工作 3.2.1.1旋入物镜。 3.2.1.2插入目镜。 3.2.1.3接通电源,将变压器箱上电源插头和输出插头分别插在电源和仪器上,开启开关,仪器上各照明灯按功率分别插在相应的插座上。 3.2.1.4调节灯丝,用灯泡定中心器调整灯丝轴向与中心位置。 3.2.1.5调节孔径光兰。按所测圆柱体或螺纹直径来开启光兰直径。 3.2.1.6调焦。测量圆柱体或螺纹零件时，欲正确调焦可用定焦杆。 3.2.1.7按具体情况，装置所需要的附件。 3.2.2测量 3.2.2.1长度测量 在工作台上装压板(或带压板座),放上测件，使其纵、横方向与纵、横向滑
扫描电镜管理制度 扫描电子显微镜为大型精密仪器设备，为保证设备安全及正常运行，|加强对大型精密设备的管理，充分发挥其使用率、完好率，更好地服务于检验工作，结合中心实际情况，特制定本管理制度。1.扫描电镜由专人负责管理及使用，其他人未经培训，未经管理人员同意，不能擅自上机操作. 2.定期进行保养与维护，热场发射灯丝由专人负责更换。电器系统每年除尘一次，设备由专人维修并做好维修记录。 3.保证设备工作温度为20℃+/ -5℃，相对湿度不高于60%，室内温度使用由空调来保证上述条件的实现。 4.实验室必须干净整齐，试验者必须换拖鞋，将衣物等存放到指定的柜子中，操作者需穿工作服进行试验，保证设备清洁。 5.设备说明书及有关资料分类存放，重要部分和经常使用部分要有复制件，常用的程序要有备份。 6.仪器在运行中出现故障，操作人员应立即停止使用，在记录本上写明情况，并报告管理人员。 7.禁止在主控计算机上安装其它软件。实验结果和数据可由专用移动硬盘和优盘（无病毒）。
8.更换样品时，一定要检查样品高度，样品高度不得超过30mm， 以防止样品碰到极靴 9禁止在扫描电镜下观察有腐蚀性的化学试剂，液态及强磁性样品。 10.定期检查水箱，电源、空气压缩机、氮气压力等是否正常，及 时加注液氮。 11.设备应做到精心维护，定人点检。做好防光、防震、防潮，定期检修和检测，防止障碍性事故发生。若发生故障，不能排除，应及时报告设备部门。 12 每天及时填写使用记录及维修记录，详细记载使用及维修情况，由操作人员妥善保存。 13..严格执行设备的操作规程，按操作规程使用仪器，如因违反上述规定而造成仪器损坏，根据设备管路制度考核。
SU8200场发射扫描电镜技术说明文件 一、二次电子分辨率： 0.8 nm （加速电压 15 kV ，工作距离 4 mm） 1.1 nm （着陆电压 1 kV ，工作距离 1.5 mm）（减速模式）以上分辨率的测试都是基于日 立电镜的分辨率测试标样（蒸金磁带样品，蒸金碳样品） 二、放大倍率： 低倍模式： 20 到 2k 高倍模式： 100 到 1000k 三、电子光学： 1.电子枪：冷场发射电子枪（带有柔性 flash 功能） 2.加速电压 : 0.5 到 30 kV 着陆电压 : 0.01 到 2 kV 3.透镜系统三级电磁透镜系统 4.物镜光阑四孔可调光阑（内置加热自清洁功能） 5.扫描线圈 二级电磁式偏转线圈（高倍模 式）一级电磁式偏转线圈（低倍 模式） 6.消像散器八级电磁系统（ X， Y） 7.探测器： 低位（ Lower）、高位（ Upper ）、和顶位（ Top）三种探测器进行二次电子 / 背散射电子的接收能谱系统（选配） 8.束闸 电磁型 9.电位移： 12 m （工作距离 8 mm）注意：工作距离改变时，电位移范围会改变 四、样品室和样品台： 1.样品台控制：
五轴马达台 2.可移动范围和样品尺寸： 4. 换样 预抽室 5. 样品台控制： 图形界面控制自动样品更换位置定位功能样品台移动轨迹存储功能优中心旋转功能图片导航功能 五、显示系统 1.用户界面 电脑显示器上的图形用户界面 2.电脑 操作系统：微软Windows 7 专业版（32 位）操作台：鼠标、键盘、旋钮板、样品台控制方法（标
配轨迹球，或选配操纵杆） 3.显示器 24.1 寸液晶显示器或同等配置的显示器（屏幕：1,920 × 1,200 像素） 4.扫描模式： 二维图像显示 选区模式点分析模式平均浓度分析模式图像显示模式大屏显示模式（1280 960）单屏显示模式（800 600）双屏同时显示模式（800 600） 四屏同时显示模式（640 480） 选区显示模式（图像调整时使用） 5.电子光学对中： 电子束对中 光阑对中 像散对中 低倍对中 6.扫描模式 积分扫描 快扫 慢扫 缩小区域扫 高清捕图 积分捕图 荷电抑制扫描（CS 扫描） 7.扫描速度 TV：两级扫描速度（ Rapid1 ～ Rapid2 ） 快扫：两级扫描速度（ Fast1 ～ Fast2 ）慢扫：七级扫描速度（ Slow1～ Slow7 ） CS扫描：七级扫描速度（ CSS1～ CSS7）选区扫描 8.自动调节功能： ABCC （自动亮度 / 对比度调节），自动聚焦 9.信号和图像处理功能：通过积分，图像的信噪比提高桢积分（最大积分数量： 1,024 ）（ TV和快扫模式）彩色图像显示 两种颜色混合图像显示（实时）伪彩图像显示（保存图像）存储图像处理 渐变转换 Gamma调节多重滤波处理 10.图像存储：
手术显微镜1的标准操作规程（SOP） 3 页数：SOP编号：SOP-YK-YQGL-023-1 批准人：审核人：制定人：（签名、日期）（签名、日期）（签名、日期） 颁发日期：生效日期：修订登记：
审查登记： 。仪器有限公司Leica M841仪器型号：Leica 用途一、是眼科内、外眼手术的必备工具。组成二、 1.光学镜头（三光路镜头）控制转动显微镜支架2. 3.控制单元面板摄像导航装置4. 5.全视网膜镜装置 6.眼底激光自动保护镜装置 7.脚部控制开关 8.显微镜底座 三、操作方法
1.除掉防尘罩，打开控制转动显微镜支架底座上的固定按钮。 2.将显微镜推倒手术床旁边，锁定控制转动显微镜支架底座上的固定按钮，插上电源插头，打开控制单元面板侧面上的电源开关，显微镜自检正常后开机，打开显微镜镜头上方架的安全锁，使显微镜能上转动。 3.让病人平躺在手术床上，打开显微镜支架的左右臂调节钮，将光源调到术眼上，术者及助手扭动各自的双目显微镜头旁边的瞳距调节钮，调节瞳距。 4.术中，术者用脚部控制开关控制显微镜的亮度及位置（前后、左右、上下）至术野清晰。 如需摄像，将手术记录系统的数据线接在显微镜摄像导航5. 装置的录像转换接口处，可在显示屏上观看手术全过程，并刻录保存。 6.术闭，关闭电源，打开控制转动显微镜支架底座上的固定按钮，将显微镜退回原位，套上防尘罩。 四、维护与清洁 1.维护 1.1显微镜头注意防尘，每次使用后要套上防尘罩。 1.2保持使用环境干燥。 1.3保持相对无菌，只在手术室中使用。 1.4用闭要锁住显微镜支架底座上的固定按钮。。 1.5不能随意拨动显微镜杠杆臂上的平衡砣。
Quanta 200扫描电镜实验室安全操作规程 1．开机前的检查 1.1室温：18℃～25℃； 1.2湿度：<80％； 1.3Quanta 200 真空泵PVP1和PVP2的油面指示应在规定位置，油要干 净，无色透明，无污染，每月检查一次； 2．试样制备 2.1微细和超细粉体（粒度<10μm）样品，取少量样品直接放在烧杯中，用无水乙醇做溶剂，超声分散，用干净滴管吸取少量液滴置于铜托上，并用红外灯照射干燥； 2.2粗颗粒样品，取少量粘在铜托上的导电胶带上，用无毛纸轻压，使样品颗粒牢牢粘住，并清楚粘在铜托侧面上的粉样； 2.3块状样品，高度应在15mm以下，要用无水乙醇浸泡，清洗干净，放在超声波水槽中处理，以除去油脂、灰尘、赃物和水分； 2.4试样一定要无水、无油，观察前要用红外灯照射干燥。 3．开机 严格按开机顺序操作，开机抽真空5分钟内，系统真空应达到要求（<1.0?10-4Torr），如果系统真空不能达到要求，应检查样品室门是否关好、样品室密封圈垫圈及密封平面是否干净或其它连接处是否有漏气现象。如果不能解决应及时报告，并与厂商联系。 4．试样观察 4.1按仪器说明步骤操作，选择合适工作参数； 4.2注意样品高度，样品的高度要小于卡尺的长度，千万不要使样品观察面碰触物镜下方的背散射电子探测器； 4.3更换样品时，一定要先切断灯丝高压，待灯丝冷却5分钟以后再放气。开关样品室门，手扶住门下侧的拉杆，轻轻地向外或向里推。勿抓X、Y、Z、R调节杆来开关门，门要拉到合适的位置，才能更换试样。要带手套取放样品架，手千万不要伸到样品室内，以防止碰伤各种探测器；
4.4更换样品时，开关门动作要轻，不使镜筒产生过大振动。更换样品后要及时关门，样品室放大气的时间不宜过长，一般不得超过20分钟； 4.5样品室内如果脏了，用无尘纸（布）擦拭，注意不要碰触探测器； 4.6仪器观察过程中，若暂时停止观察，应立即切断灯丝高压； 4.7仪器观察过程中，若突然发生断电事故，应立即切断计算机电源开关再切断服务器电源开关，最后切断总电源开关。 5．关机 关机顺序： 1)切断灯丝高压； 2)将SEM放大倍数调至最小 3)等待灯丝冷却5分钟后，放大气； 4)关SEM程序，退出XT server； 5)关闭计算机； 6)关闭服务器电源； 7)关闭房间内总电源。 6．维护 6.1粉体样品易污染样品室和镜筒，制样时使用量尽量少，样品托上样 品层厚度要非常薄，不要“起皮”； 6.2更换试样时，开关门动作要轻，防止造成粉末样的飞溅，污染样品 室； 6.3SEM系统从安装起就应一直保持真空，所以在长期不用或放假时， 要求每隔五天抽真空一次； 6.4更换样品过程中，要等软件控制面板上的VENT键变成黑色后才可 以打开样品室的门，SEM样品室通大气的时间不宜过长，一般不超过20分钟； 6.5样品室内的探头，千万不要用气球吹，尤其是二次电子的闪烁体； 6.6每季度检查一次涡轮分子泵油的颜色和液位，及时更换或补充专用 真空油； 6.7保持实验室的清洁，擦拭仪器时，要切断整个仪器的电源，用柔软